JPH05110183A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
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- JPH05110183A JPH05110183A JP3264747A JP26474791A JPH05110183A JP H05110183 A JPH05110183 A JP H05110183A JP 3264747 A JP3264747 A JP 3264747A JP 26474791 A JP26474791 A JP 26474791A JP H05110183 A JPH05110183 A JP H05110183A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ媒質ガスの消費量が低減するとともに
ランニングコストが低くなるガスレーザ発振器を得るこ
と。 【構成】 放電電極２ａ，２ｂに供給される電力量また
は電流値の信号を出力する高電圧電源３ａによりその信
号値を制御装置１５に取り入れ、積分処理して放電電極
２ａ，２ｂに供給される電力量または電流値に見合った
分だけ排気側の電磁バルブ１２ａを開してレーザ媒質ガ
スを筐体１から排気し、排気された分だけ新しいレーザ
媒質ガスを、圧力センサ１３と比較器１４と電磁バルブ
１０を用いてボンベ９から筐体１内に供給する。
ランニングコストが低くなるガスレーザ発振器を得るこ
と。 【構成】 放電電極２ａ，２ｂに供給される電力量また
は電流値の信号を出力する高電圧電源３ａによりその信
号値を制御装置１５に取り入れ、積分処理して放電電極
２ａ，２ｂに供給される電力量または電流値に見合った
分だけ排気側の電磁バルブ１２ａを開してレーザ媒質ガ
スを筐体１から排気し、排気された分だけ新しいレーザ
媒質ガスを、圧力センサ１３と比較器１４と電磁バルブ
１０を用いてボンベ９から筐体１内に供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ媒質ガスの交換
量を有効に制御することのできるガスレーザ発振器に関
するものである。
量を有効に制御することのできるガスレーザ発振器に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は例えば特開昭６３ー７８５８４号
公報に開示された従来の三軸直交形の炭酸ガスレーザ発
振器のガス交換装置の一例を示す構成図、図４はそのＡ
ーＡ断面図である。１は内部にレーザ媒質ガスが封入さ
れた筐体である。この筐体１内のレーザ媒質ガスは、一
般にＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅからなる混合ガスで、筐体１内
に数十Ｔｏｒｒ〜数百Ｔｏｒｒの負圧状態で封入されて
いる。２ａ，２ｂは一対の放電電極、３は放電電極２
ａ，２ｂ間に高電圧を印加する高電圧電源、４はレーザ
媒質ガスを循環させるブロワ、５はブロア４により循環
されたレーザ媒質ガスを冷却するための熱交換器であ
る。６，７は放電電極２ａ，２ｂの間に設けられた空間
の長手両方向に位置する全反射鏡及び部分反射鏡で、こ
れらにより光共振器が構成されている。８はレーザビー
ムである。
公報に開示された従来の三軸直交形の炭酸ガスレーザ発
振器のガス交換装置の一例を示す構成図、図４はそのＡ
ーＡ断面図である。１は内部にレーザ媒質ガスが封入さ
れた筐体である。この筐体１内のレーザ媒質ガスは、一
般にＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅからなる混合ガスで、筐体１内
に数十Ｔｏｒｒ〜数百Ｔｏｒｒの負圧状態で封入されて
いる。２ａ，２ｂは一対の放電電極、３は放電電極２
ａ，２ｂ間に高電圧を印加する高電圧電源、４はレーザ
媒質ガスを循環させるブロワ、５はブロア４により循環
されたレーザ媒質ガスを冷却するための熱交換器であ
る。６，７は放電電極２ａ，２ｂの間に設けられた空間
の長手両方向に位置する全反射鏡及び部分反射鏡で、こ
れらにより光共振器が構成されている。８はレーザビー
ムである。
【０００３】９は新しいレーザ媒質ガスを筐体１内に供
給するボンベで、炭酸ガスレーザである場合は筐体１内
のレーザ媒質ガスの成分と同様に、ＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅ
からなる混合ガスが充填されている。１０はボンベ９と
筐体１の間に設けられた電磁バルブで、ボンベ９内から
筐体１内に供給する新しいレーザ媒質ガスの供給量を調
整する。１１は筐体１内の古くなったレーザ媒質ガスを
排気する真空ポンプ、１２は排気量を調整する調整バル
ブである。１３は筐体１内のガス圧力を測定する圧力セ
ンサ、１４は設定されたガス圧力に対して筐体１内の媒
質ガスの圧力が設定値になるように電磁弁１０を開閉す
る比較器である。
給するボンベで、炭酸ガスレーザである場合は筐体１内
のレーザ媒質ガスの成分と同様に、ＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅ
からなる混合ガスが充填されている。１０はボンベ９と
筐体１の間に設けられた電磁バルブで、ボンベ９内から
筐体１内に供給する新しいレーザ媒質ガスの供給量を調
整する。１１は筐体１内の古くなったレーザ媒質ガスを
排気する真空ポンプ、１２は排気量を調整する調整バル
ブである。１３は筐体１内のガス圧力を測定する圧力セ
ンサ、１４は設定されたガス圧力に対して筐体１内の媒
質ガスの圧力が設定値になるように電磁弁１０を開閉す
る比較器である。
【０００４】次に、上記のように構成した従来の炭酸ガ
スレーザ発振器のガス交換装置の作用を説明する。高電
圧電源３から放電電極２ａ，２ｂ間に高電圧を印加する
と、放電電極２ａ，２ｂ間の空間に放電が発生する。こ
の放電により放電電極２ａ，２ｂ間の空間にあるレーザ
媒質ガスが励起状態となる。励起状態となったレーザ媒
質ガスは安定状態のエネルギーレベルに移動し、このと
き発生する１０．６μｍの光のみが全反射鏡６と部分反
射鏡７の間を往復して増幅され、その一部分がレーザビ
ーム８となって外部に取り出される。このレーザビーム
８のエネルギーは、放電電極２ａ，２ｂに投入されるエ
ネルギーの１０％〜２０％程度で、残りの８０％〜９０
％は熱エネルギーとしてレーザ媒質ガスの温度を上昇さ
せる。このため、放電後のレーザ媒質ガスはブロア４に
より熱交換器５に送られて冷却され、再び放電電極２
ａ，２ｂ間の空間に循環される。
スレーザ発振器のガス交換装置の作用を説明する。高電
圧電源３から放電電極２ａ，２ｂ間に高電圧を印加する
と、放電電極２ａ，２ｂ間の空間に放電が発生する。こ
の放電により放電電極２ａ，２ｂ間の空間にあるレーザ
媒質ガスが励起状態となる。励起状態となったレーザ媒
質ガスは安定状態のエネルギーレベルに移動し、このと
き発生する１０．６μｍの光のみが全反射鏡６と部分反
射鏡７の間を往復して増幅され、その一部分がレーザビ
ーム８となって外部に取り出される。このレーザビーム
８のエネルギーは、放電電極２ａ，２ｂに投入されるエ
ネルギーの１０％〜２０％程度で、残りの８０％〜９０
％は熱エネルギーとしてレーザ媒質ガスの温度を上昇さ
せる。このため、放電後のレーザ媒質ガスはブロア４に
より熱交換器５に送られて冷却され、再び放電電極２
ａ，２ｂ間の空間に循環される。
【０００５】しかしこのレーザ媒質ガスは、放電エネル
ギーにより、ＣＯ2→ＣＯ＋Ｏ2 のように解離され、循
環されるレーザ媒質ガス内のＣＯ2 濃度が低下するた
め、放電エネルギーに対して取り出されるレーザビーム
８の割合が低下するので、古くなったレーザ媒質ガスを
新しいレーザ媒質ガスに順次入れ替えなければならな
い。このため、調整バルブ１２と真空ポンプ１１によ
り、筐体１内のレーザ媒質ガスが排気される。この結
果、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
の出力電圧が低下するので、比較器１４は設定されたガ
ス圧力に対して筐体１内の媒質ガスの圧力が設定値にな
るように電磁バルブ１０を開き、筐体１内に媒質ガスを
供給して筐体１内の媒質ガス圧力を設定されたガス圧力
値にする。このようにして、常に新しいレーザ媒質ガス
が所定量だけ筐体１内に供給され、古いレーザ媒質ガス
と交換されて、安定したレーザビームが連続して取り出
される。
ギーにより、ＣＯ2→ＣＯ＋Ｏ2 のように解離され、循
環されるレーザ媒質ガス内のＣＯ2 濃度が低下するた
め、放電エネルギーに対して取り出されるレーザビーム
８の割合が低下するので、古くなったレーザ媒質ガスを
新しいレーザ媒質ガスに順次入れ替えなければならな
い。このため、調整バルブ１２と真空ポンプ１１によ
り、筐体１内のレーザ媒質ガスが排気される。この結
果、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
の出力電圧が低下するので、比較器１４は設定されたガ
ス圧力に対して筐体１内の媒質ガスの圧力が設定値にな
るように電磁バルブ１０を開き、筐体１内に媒質ガスを
供給して筐体１内の媒質ガス圧力を設定されたガス圧力
値にする。このようにして、常に新しいレーザ媒質ガス
が所定量だけ筐体１内に供給され、古いレーザ媒質ガス
と交換されて、安定したレーザビームが連続して取り出
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成した
従来の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置（特開昭６
３ー７８５８４号公報）では、炭酸ガスレーザ発振器の
稼動状態に関係なくレーザ媒質ガスの交換がおこなわれ
るので、レーザ媒質ガスの消費量が非常に多くなり、ラ
ンニングコストが高くなるという問題があった。また上
記従来例とは別に、特開昭６０ー５２０８１号公報にも
従来の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置が開示され
ているが、この装置は真空容器中の混合ガスを連続的に
吸引するもので、稼動状態に合わせて適正に交換するも
のではなく、従って上記の問題点を十分に解決するもの
ではない。
従来の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置（特開昭６
３ー７８５８４号公報）では、炭酸ガスレーザ発振器の
稼動状態に関係なくレーザ媒質ガスの交換がおこなわれ
るので、レーザ媒質ガスの消費量が非常に多くなり、ラ
ンニングコストが高くなるという問題があった。また上
記従来例とは別に、特開昭６０ー５２０８１号公報にも
従来の炭酸ガスレーザ発振器のガス交換装置が開示され
ているが、この装置は真空容器中の混合ガスを連続的に
吸引するもので、稼動状態に合わせて適正に交換するも
のではなく、従って上記の問題点を十分に解決するもの
ではない。
【０００７】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、ガスレーザ発振器の稼動状態に合わせてレ
ーザ媒質ガスを適正に交換でき、レーザ媒質ガスの消費
量が低減するとともにランニングコストが低くなるガス
交換装置を備えたガスレーザ発振器を得ることを目的と
する。
れたもので、ガスレーザ発振器の稼動状態に合わせてレ
ーザ媒質ガスを適正に交換でき、レーザ媒質ガスの消費
量が低減するとともにランニングコストが低くなるガス
交換装置を備えたガスレーザ発振器を得ることを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるガスレー
ザ発振器は、高電圧電源から放電電極へ供給される電力
量または電流値を検出し、その検出量に応じてレーザ媒
質ガスのガス交換装置を制御するようにしたものであ
る。
ザ発振器は、高電圧電源から放電電極へ供給される電力
量または電流値を検出し、その検出量に応じてレーザ媒
質ガスのガス交換装置を制御するようにしたものであ
る。
【０００９】
【作用】ガスレーザ発振器の放電電力量または電流値を
検出してガスレーザ発振器の稼動状態を知り、それに併
せてレーザ媒質ガスを適正に交換する。
検出してガスレーザ発振器の稼動状態を知り、それに併
せてレーザ媒質ガスを適正に交換する。
【００１０】
【実施例】実施例 １ 図１は本発明の実施例を示す構成図である。なお、図３
で示した従来例と同一または相当部分には同じ符号を付
し、説明を省略する。図は、放電方向とガス流方向とレ
ーザビームの方向が互いに直交する三軸直交形の炭酸ガ
スレーザ発振器で、３ａは放電電極２ａ，２ｂに高電圧
を印加するとともに、放電電極２ａ，２ｂに供給する電
力量または電流値の状態を検出する機能を有する高電圧
電源である。１５は高電圧電源３ａにより検出された供
給電力量の状態を電気信号として受けとり、その信号値
の時間的積分をおこなう制御装置、１２ａは制御装置１
５からの指令により開閉する電磁バルブである。
で示した従来例と同一または相当部分には同じ符号を付
し、説明を省略する。図は、放電方向とガス流方向とレ
ーザビームの方向が互いに直交する三軸直交形の炭酸ガ
スレーザ発振器で、３ａは放電電極２ａ，２ｂに高電圧
を印加するとともに、放電電極２ａ，２ｂに供給する電
力量または電流値の状態を検出する機能を有する高電圧
電源である。１５は高電圧電源３ａにより検出された供
給電力量の状態を電気信号として受けとり、その信号値
の時間的積分をおこなう制御装置、１２ａは制御装置１
５からの指令により開閉する電磁バルブである。
【００１１】次に、上記のように構成した第１の実施例
の作用を説明する。なお、炭酸ガスレーザ発振器の発振
動作、レーザ媒質ガス内のＣＯ2 濃度の減少については
従来例で述べたのと同様なので説明を省略する。高電圧
電源３ａは放電電極２ａ，２ｂに電圧を印加するが、同
時に放電電極２ａ，２ｂに供給した電力量または電流値
を検出する。その状態を示す電気信号は制御装置１５に
伝えられ、その電気信号値の時間的な積分がおこなわれ
る。制御装置１５からは電磁バルブ１２ａに制御信号が
送られ、放電電極２ａ，２ｂに供給した電力量または電
流値に見合った分だけ電磁バルブ１２ａは開放され、真
空ポンプ１１でレーザ媒質ガスが排気される。この結
果、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
の出力電圧が低下するので、比較器１４は、設定された
ガス圧力に対して筐体１内の媒質ガスの圧力が設定値に
なるように電磁弁１０を開き、筐体１内の媒質ガス圧力
を設定されたガス圧力値にする。こうして、常に新しい
レーザ媒質ガスが所定量だけ筐体１内に供給され、古い
レーザ媒質ガスと交換されて安定したレーザビームが連
続して取り出される。
の作用を説明する。なお、炭酸ガスレーザ発振器の発振
動作、レーザ媒質ガス内のＣＯ2 濃度の減少については
従来例で述べたのと同様なので説明を省略する。高電圧
電源３ａは放電電極２ａ，２ｂに電圧を印加するが、同
時に放電電極２ａ，２ｂに供給した電力量または電流値
を検出する。その状態を示す電気信号は制御装置１５に
伝えられ、その電気信号値の時間的な積分がおこなわれ
る。制御装置１５からは電磁バルブ１２ａに制御信号が
送られ、放電電極２ａ，２ｂに供給した電力量または電
流値に見合った分だけ電磁バルブ１２ａは開放され、真
空ポンプ１１でレーザ媒質ガスが排気される。この結
果、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
の出力電圧が低下するので、比較器１４は、設定された
ガス圧力に対して筐体１内の媒質ガスの圧力が設定値に
なるように電磁弁１０を開き、筐体１内の媒質ガス圧力
を設定されたガス圧力値にする。こうして、常に新しい
レーザ媒質ガスが所定量だけ筐体１内に供給され、古い
レーザ媒質ガスと交換されて安定したレーザビームが連
続して取り出される。
【００１２】上記の第１の実施例では、電気信号値の時
間的な積分がおこなわれるが、連続レーザ発振で定格値
をレーザ出力している場合の放電電力量または電流値を
１００％とした場合、例えば５０％のＯＮ，ＯＦＦ発振
で使用された場合は電気信号値の時間的な積分値は５０
％となり、電磁バルブ１２ａに伝えられるＯＮーＯＦＦ
信号は５０％ＯＮ、５０％ＯＦＦとなるため、連続で使
用される場合に比べて真空ポンプ１１で排気されるレー
ザ媒質ガスは２分の１となる。すなわち、筐体１内のガ
ス圧力が一定となるように圧力センサー１３と比較器１
４により制御される電磁弁１０のＯＮーＯＦＦの割合も
２分の１となり、レーザ媒質ガスのボンベ９から供給さ
れる新しいレーザ媒質ガスも２分の１となる。
間的な積分がおこなわれるが、連続レーザ発振で定格値
をレーザ出力している場合の放電電力量または電流値を
１００％とした場合、例えば５０％のＯＮ，ＯＦＦ発振
で使用された場合は電気信号値の時間的な積分値は５０
％となり、電磁バルブ１２ａに伝えられるＯＮーＯＦＦ
信号は５０％ＯＮ、５０％ＯＦＦとなるため、連続で使
用される場合に比べて真空ポンプ１１で排気されるレー
ザ媒質ガスは２分の１となる。すなわち、筐体１内のガ
ス圧力が一定となるように圧力センサー１３と比較器１
４により制御される電磁弁１０のＯＮーＯＦＦの割合も
２分の１となり、レーザ媒質ガスのボンベ９から供給さ
れる新しいレーザ媒質ガスも２分の１となる。
【００１３】ところで、ガスレーザ発振器は主としてレ
ーザ加工機のレーザ発生源に利用される。この場合、レ
ーザ加工機はレーザビームを集光させて被加工物に照射
し、被加工物を切断したり熔接したりする。被加工物に
レーザビームが照射されている時間は一般に５０％程度
であり、またガスレーザ発振器の定格出力値に対して８
０％位しか使用されていない。このことから、第１の実
施例の制御手段を用いることにより、ガスレーザ発振器
の媒質ガス消費量は５０％×８０％＝４０％となり、６
０％のレーザ媒質ガスが節約できる。
ーザ加工機のレーザ発生源に利用される。この場合、レ
ーザ加工機はレーザビームを集光させて被加工物に照射
し、被加工物を切断したり熔接したりする。被加工物に
レーザビームが照射されている時間は一般に５０％程度
であり、またガスレーザ発振器の定格出力値に対して８
０％位しか使用されていない。このことから、第１の実
施例の制御手段を用いることにより、ガスレーザ発振器
の媒質ガス消費量は５０％×８０％＝４０％となり、６
０％のレーザ媒質ガスが節約できる。
【００１４】実施例 ２ 図２は本発明の第２の実施例を示す構成図である。１０
ａは制御装置１５からの指令により開閉する電磁バル
ブ、１２ｂは比較器１４からの信号により開閉する排気
側に設けられた電磁バルブである。
ａは制御装置１５からの指令により開閉する電磁バル
ブ、１２ｂは比較器１４からの信号により開閉する排気
側に設けられた電磁バルブである。
【００１５】次に上記のように構成した第２の実施例の
作用を説明する。高電圧電源３ａは放電電極２ａ，２ｂ
に電圧を印加するが、同時に放電電極２ａ，２ｂに供給
した電力量または電流値を検出する。その状態を示す電
気信号は制御装置１５に伝えられ、その電気信号値の時
間的な積分がおこなわれる。制御装置１５からは電磁バ
ルブ１０ａに信号が送られ、電磁バルブ１０ａが開かれ
て新しいレーザ媒質ガスが筐体１内に供給される。一
方、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
が筐体１内のガス圧力の上昇を感知して比較器１４に信
号を送り、比較器１４は設定されたガス圧力に対して筐
体１内の媒質ガスの圧力が設定値になるように電磁弁１
２ｂを開き、真空ポンプ１１でレーザ媒質ガスを排気
し、筐体１内の媒質ガス圧力を設定されたガス圧力値に
する。こうして、常に新しいレーザ媒質ガスが所定量だ
け筐体１内に供給され、古いレーザ媒質ガスと交換され
て安定したレーザビームが連続して取り出される。
作用を説明する。高電圧電源３ａは放電電極２ａ，２ｂ
に電圧を印加するが、同時に放電電極２ａ，２ｂに供給
した電力量または電流値を検出する。その状態を示す電
気信号は制御装置１５に伝えられ、その電気信号値の時
間的な積分がおこなわれる。制御装置１５からは電磁バ
ルブ１０ａに信号が送られ、電磁バルブ１０ａが開かれ
て新しいレーザ媒質ガスが筐体１内に供給される。一
方、筐体１内のガス圧力を測定している圧力センサ１３
が筐体１内のガス圧力の上昇を感知して比較器１４に信
号を送り、比較器１４は設定されたガス圧力に対して筐
体１内の媒質ガスの圧力が設定値になるように電磁弁１
２ｂを開き、真空ポンプ１１でレーザ媒質ガスを排気
し、筐体１内の媒質ガス圧力を設定されたガス圧力値に
する。こうして、常に新しいレーザ媒質ガスが所定量だ
け筐体１内に供給され、古いレーザ媒質ガスと交換され
て安定したレーザビームが連続して取り出される。
【００１６】なお、第１，第２の実施例では、放電方向
とガス流方向とレーザビームの方向が互いに直交する三
軸直交形の炭酸ガスガスレーザ発振器に就いて説明した
が、本発明はこれに限定するものではなく、他の方式の
レーザ発振器であってもよい。
とガス流方向とレーザビームの方向が互いに直交する三
軸直交形の炭酸ガスガスレーザ発振器に就いて説明した
が、本発明はこれに限定するものではなく、他の方式の
レーザ発振器であってもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、ガスレーザ発振器のレーザ媒質ガス交換装置を、高
圧電源から放電電極に供給される電力量または電流値に
より制御するようにしたので、ガスレーザ発振器で消費
されるレーザ媒質ガスの量がガスレーザ発振器の稼動状
態に見合ったものとなり、レーザ媒質ガスが節約でき
る。また、レーザ媒質ガス交換装置の全体を制御するの
ではなく、検出された信号により排気側の電磁バルブま
たは供給側の電磁バルブを制御することで、容易にレー
ザ媒質ガスを節約できる。
は、ガスレーザ発振器のレーザ媒質ガス交換装置を、高
圧電源から放電電極に供給される電力量または電流値に
より制御するようにしたので、ガスレーザ発振器で消費
されるレーザ媒質ガスの量がガスレーザ発振器の稼動状
態に見合ったものとなり、レーザ媒質ガスが節約でき
る。また、レーザ媒質ガス交換装置の全体を制御するの
ではなく、検出された信号により排気側の電磁バルブま
たは供給側の電磁バルブを制御することで、容易にレー
ザ媒質ガスを節約できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す構成図である。
【図３】従来のガスレーザ発振器の一例を示す構成図で
ある。
ある。
【図４】図３のＡーＡ断面図である。
１１ 筐体 ２ａ，２ｂ 放電電極 ３ａ 高電圧電源 ４ ブロワ ５ 熱交換器 ６ 全反射鏡 ７ 部分反射鏡 ８ レーザビーム ９ ボンベ １０，１０ａ，１２ａ，１２ｂ 電磁バルブ １１ 真空ポンプ １３ 圧力センサ １４ 比較器 １５ 制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の放電電極間にエネルギーを供給し
て放電を起こさせる高電圧電源と、前記放電により励起
されたレーザ媒質ガスからレーザエネルギーを取り出す
光共振器と、前記レーザ媒質ガスを入れ替えるガス交換
装置等を備えたガスレーザ発振器において、 前記高電圧電源から前記放電電極へ供給される電力量ま
たは電流値を検出する手段と、その検出量に応じて前記
レーザ媒質ガスのガス交換装置を制御する手段とを備え
たことを特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264747A JPH05110183A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3264747A JPH05110183A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110183A true JPH05110183A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17407623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3264747A Pending JPH05110183A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05110183A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9147994B2 (en) | 2014-01-24 | 2015-09-29 | Fanuc Corporation | Gas laser system capable of maintaining laser gas state during power supply cutoff |
| CN120839311A (zh) * | 2025-09-22 | 2025-10-28 | 奔腾激光(浙江)股份有限公司 | 一种具有内嵌电气柜的激光切割机 |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP3264747A patent/JPH05110183A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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