JPS6376388A - ガスレ−ザ発振器の起動方法 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器の起動方法Info
- Publication number
- JPS6376388A JPS6376388A JP21918186A JP21918186A JPS6376388A JP S6376388 A JPS6376388 A JP S6376388A JP 21918186 A JP21918186 A JP 21918186A JP 21918186 A JP21918186 A JP 21918186A JP S6376388 A JPS6376388 A JP S6376388A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- laser
- starting
- laser gas
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は孔明加工、溶接、焼入れ、および切断加工など
に使用される大出力のガスレーザ発振器の放電励起のた
めの起動方法に関する。
に使用される大出力のガスレーザ発振器の放電励起のた
めの起動方法に関する。
（従来の技術）
既に使用されているこの種のガスレーザ発振器は１７３
０気圧程度の低圧のレーザガス中でグロー放電を行いレ
ーザ発振によりレーザ光を得ている。
０気圧程度の低圧のレーザガス中でグロー放電を行いレ
ーザ発振によりレーザ光を得ている。
（発明が解決しようとする問題点）
レーザ発振器の出力を高めるためレーザガス圧を１７２
０気圧程度まで高くして起動することが考えられるが、
この程度ガスの圧力で放電を開始すると、電極に対しグ
ロー放電が不均一となったり、グロー放電を維持できず
アーク放電へ移行したりする。
０気圧程度まで高くして起動することが考えられるが、
この程度ガスの圧力で放電を開始すると、電極に対しグ
ロー放電が不均一となったり、グロー放電を維持できず
アーク放電へ移行したりする。
グロー放電が不均一になると、得られるレーザ光の強度
分布が一様でなくなり、アーク放電へ移行するとレーザ
発振できなくなる。
分布が一様でなくなり、アーク放電へ移行するとレーザ
発振できなくなる。
このため、主放電の他に補助放電を行なうことも考えら
れるが、補助放電用、電極および電源が必要となるなど
経済的ではないという問題点があった。
れるが、補助放電用、電極および電源が必要となるなど
経済的ではないという問題点があった。
本発明は上記の点を考慮してなされたものでその目的と
するところは簡単な構造で経済的で且つ確実にグロー放
電が得られるガスレーザ発振器の起動方法を提供するこ
とである。
するところは簡単な構造で経済的で且つ確実にグロー放
電が得られるガスレーザ発振器の起動方法を提供するこ
とである。
（問題点を解決するための手段）
かかる目的を達成するために、本発明によれば、レーザ
ガス圧力を運転ガス圧力に到達する前に１７３０圧力程
度で放電を行ない、その後再度ガス充填を行うようにす
る。
ガス圧力を運転ガス圧力に到達する前に１７３０圧力程
度で放電を行ない、その後再度ガス充填を行うようにす
る。
（作 用）
このように運転ガス圧より低い圧力で放電を開始し、そ
の後ガスを追加充填するので、特に補助放電電極や補助
放電電源を設けなくても放電が電極に均一に分布するの
で強度の一様な良質のレーザ光を得ることができる。
の後ガスを追加充填するので、特に補助放電電極や補助
放電電源を設けなくても放電が電極に均一に分布するの
で強度の一様な良質のレーザ光を得ることができる。
（実 施 例）
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照して
説明する。ガスレーザ発振器１０は第２図（ａ）、 Ｃ
ｂ）に示すように通常の構成である。すなわちレーザガ
スを送風機１１によって放電部１２へ送り込む、放電部
１２でレーザガスは励起され共振器１３によってレーザ
光を発する。放電部１２を通過したレーザガスは温度上
昇しているので熱交換器１４により冷却され送風機１１
に戻り一巡する。
説明する。ガスレーザ発振器１０は第２図（ａ）、 Ｃ
ｂ）に示すように通常の構成である。すなわちレーザガ
スを送風機１１によって放電部１２へ送り込む、放電部
１２でレーザガスは励起され共振器１３によってレーザ
光を発する。放電部１２を通過したレーザガスは温度上
昇しているので熱交換器１４により冷却され送風機１１
に戻り一巡する。
レーザ運転中ガス供給口１５からレーザガスが風洞内へ
供給される。風洞内のレーザガス圧力を一定に保つため
圧力センサ１６により制御された排気装！ｌ！１７によ
り供給量と同量のレーザガスが排気され風洞内のレーザ
ガスは運転中室にリフレッシュされている。
供給される。風洞内のレーザガス圧力を一定に保つため
圧力センサ１６により制御された排気装！ｌ！１７によ
り供給量と同量のレーザガスが排気され風洞内のレーザ
ガスは運転中室にリフレッシュされている。
第３図に従来までの起動のパターンを示す。
まだ風洞内を１７１０００気圧程度の真空に排気し、レ
ーザガスを充填し放電を行ないレーザ発振する。
ーザガスを充填し放電を行ないレーザ発振する。
第１図に本発明の起動のパターンを示す。
まず風洞内を１ ／１０００気圧程度の真空に排気しレ
ーザガスをあらかじめ決められた１／３０気圧程度のガ
ス圧まで充填する。圧力センサ１６によりこのガス充填
が完了したことを検知し放電を開始する。
ーザガスをあらかじめ決められた１／３０気圧程度のガ
ス圧まで充填する。圧力センサ１６によりこのガス充填
が完了したことを検知し放電を開始する。
そのあとレーザガスを１／２０気圧まで追加充填する。
このように１７３０気圧程度で放電を開始すると電極全
面にわたって均一にグロー放電が分布する。このあとレ
ーザガスを追加充填しても、各電極のグロー長さが序々
に均一に短かくなり、消弧しないのでグローが電極に対
し不均一に分布することはない。従ってレーザガスの励
起も均一に行われレーザ発振の利得（ゲイン）も空間的
に一様となり良質な光が得られる。
面にわたって均一にグロー放電が分布する。このあとレ
ーザガスを追加充填しても、各電極のグロー長さが序々
に均一に短かくなり、消弧しないのでグローが電極に対
し不均一に分布することはない。従ってレーザガスの励
起も均一に行われレーザ発振の利得（ゲイン）も空間的
に一様となり良質な光が得られる。
他の実施例を第４図乃至第６図に示す。
第４図、第５図はレーザガスの各成分を単独に充填して
いくもので第５図の場合は放電開始時点で最終運転状態
と混合比が一致しているもので第１図の場合と同等の効
果を得ることができる。
いくもので第５図の場合は放電開始時点で最終運転状態
と混合比が一致しているもので第１図の場合と同等の効
果を得ることができる。
第６図は放電開始時点での放電々流をレーザ発振をひき
おこさない値に制限しガス圧力が運転圧力に達した後電
流値を上昇させるもので、第１図の実施例の効果のほか
、運転直前までレーザ光が出ないので安全であり、アー
ク放電への移行を抑制する効果も得られる。
おこさない値に制限しガス圧力が運転圧力に達した後電
流値を上昇させるもので、第１図の実施例の効果のほか
、運転直前までレーザ光が出ないので安全であり、アー
ク放電への移行を抑制する効果も得られる。
以上説明したように本発明によればガス圧の低いところ
で放電開始して再度充填するので特別な回路電極を付加
しなくても高ガス圧運転が可能となるため、経済的で確
実にグロー放電が得られるガスレーザ発振器の起動方法
を提供することができる。
で放電開始して再度充填するので特別な回路電極を付加
しなくても高ガス圧運転が可能となるため、経済的で確
実にグロー放電が得られるガスレーザ発振器の起動方法
を提供することができる。
第１図は本発明の起動パターンを示す線図、第２図はガ
スレーザ発振器の構成を示す図、（ａ）は正面図、（ｂ
）は側面図、第３図は従来の起動パターンを示す線図、
第４図乃至第６図はその他の実施例を示す線図である。 １０・・・レーザ発振器 １１・・・送風機１２・
・・放電部 １３・・・共振器１４・・・熱
交換器 １５・・・ガス供給口１６・・・圧力
センサ １７・・・排気装置代理人 弁理士 則
近 憲 佑 同 三俣弘文 η°ス圧力 τｉ 第１図 ／７”７圧力 開 汝白 第３図 第４図
スレーザ発振器の構成を示す図、（ａ）は正面図、（ｂ
）は側面図、第３図は従来の起動パターンを示す線図、
第４図乃至第６図はその他の実施例を示す線図である。 １０・・・レーザ発振器 １１・・・送風機１２・
・・放電部 １３・・・共振器１４・・・熱
交換器 １５・・・ガス供給口１６・・・圧力
センサ １７・・・排気装置代理人 弁理士 則
近 憲 佑 同 三俣弘文 η°ス圧力 τｉ 第１図 ／７”７圧力 開 汝白 第３図 第４図
Claims (4)
- （１）風洞内にレーザガスを封入し圧力を一定に保ちな
がら放電により前記ガスを励起しレーザ光を得るガスレ
ーザ発振器の起動方法において、運転中保持される一定
圧力よりも低い圧力で放電を開始し、その後レーザガス
を追加充填することを特徴とするガスレーザ発振器の起
動方法。 - （２）ガスレーザが各成分ごとに順に充填されることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振
器の起動方法。 - （３）レーザガスが各成分ごとに順に充填され、放電開
始圧力において運転圧力の時と同一の混合比に充填され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガ
スレーザ発振器の起動方法。 - （４）放電開始時の放電々流をレーザ発振を起こすしき
い値よりも小さくしたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のガスレーザ発振器の起動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918186A JPS6376388A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21918186A JPS6376388A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6376388A true JPS6376388A (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=16731467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21918186A Pending JPS6376388A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | ガスレ−ザ発振器の起動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6376388A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321672A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56142688A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Driving method of gas laser |
| JPS60170282A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP21918186A patent/JPS6376388A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56142688A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Driving method of gas laser |
| JPS60170282A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01321672A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
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