JPH05125522A - 圧電用ポリ弗化ビニリデンフイルムの製造方法 - Google Patents
圧電用ポリ弗化ビニリデンフイルムの製造方法Info
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- JPH05125522A JPH05125522A JP28606691A JP28606691A JPH05125522A JP H05125522 A JPH05125522 A JP H05125522A JP 28606691 A JP28606691 A JP 28606691A JP 28606691 A JP28606691 A JP 28606691A JP H05125522 A JPH05125522 A JP H05125522A
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- polyvinylidene fluoride
- corona discharge
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電用ポリ弗化ビニリデンフィルムの製造。
【構成】 一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフィルム
の表裏面を、その濡れ張力が３９dyne／cm以上になるよ
うにコロナ放電処理し、該コロナ放電処理の直後に該フ
ィルムの表裏面の静電気を除去し、得られたフィルムの
表裏面に電極金属を蒸着する。 【効果】 放電に伴うフィルムの穴明きの問題がなく、
かつその表面に金属電極を強固に蒸着させることができ
る。
の表裏面を、その濡れ張力が３９dyne／cm以上になるよ
うにコロナ放電処理し、該コロナ放電処理の直後に該フ
ィルムの表裏面の静電気を除去し、得られたフィルムの
表裏面に電極金属を蒸着する。 【効果】 放電に伴うフィルムの穴明きの問題がなく、
かつその表面に金属電極を強固に蒸着させることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサー等に使用され
るコロナ放電処理された圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムに関するものである。さらに詳しくは本発
明は、金属電極が強固に蒸着された圧電用一軸延伸ポリ
弗化ビニリデンフィルムの製造方法に関するものであ
る。
るコロナ放電処理された圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムに関するものである。さらに詳しくは本発
明は、金属電極が強固に蒸着された圧電用一軸延伸ポリ
弗化ビニリデンフィルムの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電用ポリ弗化ビニリデンフィルムは、
一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフィルムを分極する
ことにより得られる。分極は、一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムの表裏面を金属板等で挟んだ電極に、ある
いは、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面に
アルミニウム等の金属を蒸着した電極に、数ＫＶの電圧
を印加して行われる。一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィ
ルムの面積が数cm2以上になると、金属板等で挟む場合
は、金属板がフィルムの表裏に均一に接触しないため、
電圧をフィルムの全面に均一に印加することができなく
なり、均一に分極された圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムが得られなくなる。分極が不均一になる
と、得られたフィルムは、圧電性能が不均一となり、セ
ンサーとしての使用には不適当となる。これを解決する
ために、一般的には、一軸延伸されたポリ弗化ビニリデ
ンフィルムの表裏面にアルミニウム等の金属を蒸着し、
これを電極として分極することが行われている。この蒸
着法は、フィルムに電極が均一に密着しているため、金
属板法で挟む方法に比較し、均一に分極された圧電用一
軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムが得られる。しかし
一方、蒸着法の場合は、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフ
ィルム表面の濡れ張力が３５〜３７dyne／cmと低いた
め、蒸着されたアルミニウムの密着強度が弱く、蒸着電
極は操作中の摩擦等で簡単に剥がれてしまうという問題
点を有している。このような、蒸着電極が簡単に剥がれ
てしまうという問題を解決するために、一軸延伸ポリ弗
化ビニリデンフィルムの表裏にコロナ放電処理を施して
濡れ張力を高くし、蒸着金属の密着力を強くする方法が
提案されている。
一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフィルムを分極する
ことにより得られる。分極は、一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムの表裏面を金属板等で挟んだ電極に、ある
いは、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面に
アルミニウム等の金属を蒸着した電極に、数ＫＶの電圧
を印加して行われる。一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィ
ルムの面積が数cm2以上になると、金属板等で挟む場合
は、金属板がフィルムの表裏に均一に接触しないため、
電圧をフィルムの全面に均一に印加することができなく
なり、均一に分極された圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリ
デンフィルムが得られなくなる。分極が不均一になる
と、得られたフィルムは、圧電性能が不均一となり、セ
ンサーとしての使用には不適当となる。これを解決する
ために、一般的には、一軸延伸されたポリ弗化ビニリデ
ンフィルムの表裏面にアルミニウム等の金属を蒸着し、
これを電極として分極することが行われている。この蒸
着法は、フィルムに電極が均一に密着しているため、金
属板法で挟む方法に比較し、均一に分極された圧電用一
軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムが得られる。しかし
一方、蒸着法の場合は、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフ
ィルム表面の濡れ張力が３５〜３７dyne／cmと低いた
め、蒸着されたアルミニウムの密着強度が弱く、蒸着電
極は操作中の摩擦等で簡単に剥がれてしまうという問題
点を有している。このような、蒸着電極が簡単に剥がれ
てしまうという問題を解決するために、一軸延伸ポリ弗
化ビニリデンフィルムの表裏にコロナ放電処理を施して
濡れ張力を高くし、蒸着金属の密着力を強くする方法が
提案されている。
【０００３】ところが、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフ
ィルムの表裏にコロナ放電処理を施した後、直ちに巻芯
等にロール巻きすると、理由は定かではないが、フィル
ム表面で放電が発生し、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフ
ィルムの表裏面を貫通する直径０.５mm程度の穴が明い
てしまうことが判った。直径０.５mm程度の穴が明く
と、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏に蒸着
したアルミニウム等の電極金属が、フィルムの表裏で導
通してしまい、分極できなくなるという問題を有してい
る。このコロナ放電処理は、処理の程度を強くすれば、
蒸着金属の密着力も大きくなるが、処理の程度を強くす
るとフィルム表面での放電が頻発し、貫通穴が多発する
結果になる。一方、処理の程度を弱くすると、放電は少
なくなるが、蒸着金属の密着力が得られなくなってしま
う。
ィルムの表裏にコロナ放電処理を施した後、直ちに巻芯
等にロール巻きすると、理由は定かではないが、フィル
ム表面で放電が発生し、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフ
ィルムの表裏面を貫通する直径０.５mm程度の穴が明い
てしまうことが判った。直径０.５mm程度の穴が明く
と、一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏に蒸着
したアルミニウム等の電極金属が、フィルムの表裏で導
通してしまい、分極できなくなるという問題を有してい
る。このコロナ放電処理は、処理の程度を強くすれば、
蒸着金属の密着力も大きくなるが、処理の程度を強くす
るとフィルム表面での放電が頻発し、貫通穴が多発する
結果になる。一方、処理の程度を弱くすると、放電は少
なくなるが、蒸着金属の密着力が得られなくなってしま
う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点を解決しようとするものである。すなわち、コ
ロナ放電処理時に穴を明けることなく、フィルムの表裏
面に十分な程度のコロナ放電処理を行い、蒸着金属を強
固に密着させた圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィ
ルムの製造方法を提供することにある。
な問題点を解決しようとするものである。すなわち、コ
ロナ放電処理時に穴を明けることなく、フィルムの表裏
面に十分な程度のコロナ放電処理を行い、蒸着金属を強
固に密着させた圧電用一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィ
ルムの製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、一軸
延伸されたポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面を、そ
の濡れ張力が３９dyne／cm以上になるようにコロナ放電
処理し、該コロナ放電処理の直後に該フィルムの表裏面
の静電気を除去し、得られたフィルムの表裏面に電極金
属を蒸着することを特徴とする、圧電用ポリ弗化ビニリ
デンフィルムの製造方法を提供するものである。
延伸されたポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面を、そ
の濡れ張力が３９dyne／cm以上になるようにコロナ放電
処理し、該コロナ放電処理の直後に該フィルムの表裏面
の静電気を除去し、得られたフィルムの表裏面に電極金
属を蒸着することを特徴とする、圧電用ポリ弗化ビニリ
デンフィルムの製造方法を提供するものである。
【０００６】以下に本発明をさらに詳細に説明する。本
発明においては、一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフ
ィルムを、まずコロナ放電処理にかけ、次いでその直後
にフィルムの表面の静電気を除去する。こうすることに
よって、フィルム表面における静電気の放電が防止さ
れ、フィルムに穴が明くことも防止される。この後でフ
ィルム表面に電極となるべきアルミニウム、亜鉛等の金
属を蒸着すれば、フィルムと金属電極との結合が強固に
なり、分極処理またはセンサー加工の際、あるいはセン
サーとしての使用の際等に金属電極とフィルムが剥離す
ることがない。
発明においては、一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフ
ィルムを、まずコロナ放電処理にかけ、次いでその直後
にフィルムの表面の静電気を除去する。こうすることに
よって、フィルム表面における静電気の放電が防止さ
れ、フィルムに穴が明くことも防止される。この後でフ
ィルム表面に電極となるべきアルミニウム、亜鉛等の金
属を蒸着すれば、フィルムと金属電極との結合が強固に
なり、分極処理またはセンサー加工の際、あるいはセン
サーとしての使用の際等に金属電極とフィルムが剥離す
ることがない。
【０００７】（一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルム）
本発明の方法に使用する一軸延伸されたポリ弗化ビニリ
デンフィルムとは、未延伸のポリ弗化ビニリデンフィル
ムを、常温ないし融点以下、好ましくは融点より稍低い
温度、例えば７０〜１５０℃で、一方向に延伸したもの
である。延伸は、通常、ロールの周速差を利用して一軸
方向に２.５〜１０倍、好ましくは３〜６倍に延伸され
る。好ましい一軸延伸フィルムの厚みは５〜２００μ、
特に好ましくは１０〜１００μである。ポリ弗化ビニリ
デンとしては、例えばカイナー（アトケム社製）、ソー
レフ（ソルベイ社製）等、市場で入手可能のものを使用
することができる。
本発明の方法に使用する一軸延伸されたポリ弗化ビニリ
デンフィルムとは、未延伸のポリ弗化ビニリデンフィル
ムを、常温ないし融点以下、好ましくは融点より稍低い
温度、例えば７０〜１５０℃で、一方向に延伸したもの
である。延伸は、通常、ロールの周速差を利用して一軸
方向に２.５〜１０倍、好ましくは３〜６倍に延伸され
る。好ましい一軸延伸フィルムの厚みは５〜２００μ、
特に好ましくは１０〜１００μである。ポリ弗化ビニリ
デンとしては、例えばカイナー（アトケム社製）、ソー
レフ（ソルベイ社製）等、市場で入手可能のものを使用
することができる。
【０００８】（コロナ放電処理）本発明におけるコロナ
放電処理としては、真空管方式、サイリスター方式等の
公知のコロナ放電処理装置を用い、通常用いられている
処理条件、例えば、放電電極と被処理フィルムとの間隔
を０.１〜７mm、好ましくは０.２〜５mm、処理の程度を
１０〜５００Ｗ／m2／分、好ましくは３０〜３００Ｗ／
m2／分として、空気中または窒素雰囲気下、室温〜１０
０℃の温度で実施する。コロナ放電処理は連続的にも間
欠的にも可能であるが、生産性を考慮した場合、連続的
に行うのが最も一般的である。コロナ放電処理の程度
は、処理された一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの
表面の濡れ張力が、好ましくは３９dyne／cm以上、特に
好ましくは４０dyne／cm以上になるようにすることが必
要である。フィルムの表面の濡れ張力が３９dyne／cm未
満であると、蒸着金属の密着力が弱くなり、分極処理時
あるいは、センサー製作時に蒸着金属が剥がれてしまう
という問題が発生する。なおここで濡れ張力とは、空気
中においてフィルム上に液滴がある場合、液滴の表面張
力とフィルムの液滴間の界面張力との差で定義され、Ｊ
ＩＳ Ｋ６７６８に準拠して測定される値である。
放電処理としては、真空管方式、サイリスター方式等の
公知のコロナ放電処理装置を用い、通常用いられている
処理条件、例えば、放電電極と被処理フィルムとの間隔
を０.１〜７mm、好ましくは０.２〜５mm、処理の程度を
１０〜５００Ｗ／m2／分、好ましくは３０〜３００Ｗ／
m2／分として、空気中または窒素雰囲気下、室温〜１０
０℃の温度で実施する。コロナ放電処理は連続的にも間
欠的にも可能であるが、生産性を考慮した場合、連続的
に行うのが最も一般的である。コロナ放電処理の程度
は、処理された一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの
表面の濡れ張力が、好ましくは３９dyne／cm以上、特に
好ましくは４０dyne／cm以上になるようにすることが必
要である。フィルムの表面の濡れ張力が３９dyne／cm未
満であると、蒸着金属の密着力が弱くなり、分極処理時
あるいは、センサー製作時に蒸着金属が剥がれてしまう
という問題が発生する。なおここで濡れ張力とは、空気
中においてフィルム上に液滴がある場合、液滴の表面張
力とフィルムの液滴間の界面張力との差で定義され、Ｊ
ＩＳ Ｋ６７６８に準拠して測定される値である。
【０００９】（静電気の除去）本発明における静電気の
除去には、コロナ放電処理された直後の一軸延伸ポリ弗
化ビニリデンフィルムの表面に、除電ブラシ、除電ワイ
ヤー等を近接させあるいは接触させるか、イオン化エア
ーを吹き付ける等の公知の方法を用いることができる。
本発明においてコロナ放電処理の直後とは、コロナ放電
処理につづいておこなわれる事を意味し、具体的には、
フィルムを巻きとる前の工程を意味し、時間的長さを意
味しない。コロナ放電処理が連続的になされる場合に
は、静電気除去装置をフィルムの進行方向についてコロ
ナ放電処理装置の直後に設けることにより、コロナ放電
処理されたフィルムから直ちに静電気が除去されること
になる。静電気除去の程度は、コロナ放電処理された一
軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表面電位が、２０
ＫＶ以下、好ましくは４ＫＶ以下、特に好ましくは２Ｋ
Ｖ以下にまでなるようにする。フィルムの表面電位が２
０ＫＶを越えると、フィルム上で放電が発生し、穴明き
の原因となってしまうので好ましくない。
除去には、コロナ放電処理された直後の一軸延伸ポリ弗
化ビニリデンフィルムの表面に、除電ブラシ、除電ワイ
ヤー等を近接させあるいは接触させるか、イオン化エア
ーを吹き付ける等の公知の方法を用いることができる。
本発明においてコロナ放電処理の直後とは、コロナ放電
処理につづいておこなわれる事を意味し、具体的には、
フィルムを巻きとる前の工程を意味し、時間的長さを意
味しない。コロナ放電処理が連続的になされる場合に
は、静電気除去装置をフィルムの進行方向についてコロ
ナ放電処理装置の直後に設けることにより、コロナ放電
処理されたフィルムから直ちに静電気が除去されること
になる。静電気除去の程度は、コロナ放電処理された一
軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの表面電位が、２０
ＫＶ以下、好ましくは４ＫＶ以下、特に好ましくは２Ｋ
Ｖ以下にまでなるようにする。フィルムの表面電位が２
０ＫＶを越えると、フィルム上で放電が発生し、穴明き
の原因となってしまうので好ましくない。
【００１０】（電極金属蒸着）本発明において一軸延伸
ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面に電極金属を蒸着
するには、任意の公知の方法を使用することができる。
例えば、真空度１０-3〜１０-7torrの真空槽内でアルミ
ニウム、亜鉛、金等の金属をルツボ内で加熱蒸発させて
フィルム表裏面に沈着させる方法がある。
ポリ弗化ビニリデンフィルムの表裏面に電極金属を蒸着
するには、任意の公知の方法を使用することができる。
例えば、真空度１０-3〜１０-7torrの真空槽内でアルミ
ニウム、亜鉛、金等の金属をルツボ内で加熱蒸発させて
フィルム表裏面に沈着させる方法がある。
【００１１】
【実施例】以下、具体的実施例により本発明に付いて更
に説明する。実施例 １ ポリ弗化ビニリデン（カイナー#720）を２２０℃で１２
０μのシートに押出し冷却後、再び加熱して１３０℃の
延伸温度で、低速ロール０.５m／分、高速ロール２m／
分の間で一軸方向に４倍延伸し、３０μの一軸延伸ポリ
弗化ビニリデンフィルムを得た。得られたフィルムの両
面を、コロナ放電処理装置（春日電機株式会社製、タイ
プHFS-401）に通し、処理強度１００Ｗ／m2／分で連続
的に処理した。コロナ放電処理の直後のフィルム両面に
は、イオン化エアー発生装置（東神電機社製、タイプTS
-30）により、風速５m／秒、風量１.７m3／分でイオン
化エアーを吹き付けながら静電気を除去し、フィルムの
表面電位が１ＫＶ（ヒューグルエレクトニクス株式会社
製、モデル2C の静電測定器にて測定）となるようにし
た。得られた一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムは、
３００mm幅×１０００ｍ長さであり、濡れ張力は４８dy
ne／cmであった。このコロナ放電処理された一軸延伸ポ
リ弗化ビニリデンフィルムの両面に、１０-5torrでアル
ミニウムを１０００オングストロームの厚さに蒸着し
た。蒸着したフィルムの表裏の導通をテスターにて検査
したところ、導通は認められなかった。また、蒸着アル
ミニウムの密着強度は、セロテープ剥離テストでも剥離
は認められず強固であった。これに、８０℃で２ＫＶの
電圧を６０分印加したところ、圧電性能２０ＰＣ／Ｎの
圧電性能を有するフィルムが得られた。
に説明する。実施例 １ ポリ弗化ビニリデン（カイナー#720）を２２０℃で１２
０μのシートに押出し冷却後、再び加熱して１３０℃の
延伸温度で、低速ロール０.５m／分、高速ロール２m／
分の間で一軸方向に４倍延伸し、３０μの一軸延伸ポリ
弗化ビニリデンフィルムを得た。得られたフィルムの両
面を、コロナ放電処理装置（春日電機株式会社製、タイ
プHFS-401）に通し、処理強度１００Ｗ／m2／分で連続
的に処理した。コロナ放電処理の直後のフィルム両面に
は、イオン化エアー発生装置（東神電機社製、タイプTS
-30）により、風速５m／秒、風量１.７m3／分でイオン
化エアーを吹き付けながら静電気を除去し、フィルムの
表面電位が１ＫＶ（ヒューグルエレクトニクス株式会社
製、モデル2C の静電測定器にて測定）となるようにし
た。得られた一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムは、
３００mm幅×１０００ｍ長さであり、濡れ張力は４８dy
ne／cmであった。このコロナ放電処理された一軸延伸ポ
リ弗化ビニリデンフィルムの両面に、１０-5torrでアル
ミニウムを１０００オングストロームの厚さに蒸着し
た。蒸着したフィルムの表裏の導通をテスターにて検査
したところ、導通は認められなかった。また、蒸着アル
ミニウムの密着強度は、セロテープ剥離テストでも剥離
は認められず強固であった。これに、８０℃で２ＫＶの
電圧を６０分印加したところ、圧電性能２０ＰＣ／Ｎの
圧電性能を有するフィルムが得られた。
【００１２】比較例 １ 実施例１の方法において、コロナ放電処理の後に一軸延
伸ポリ弗化ビニリデンフィルムにイオン化エアーを吹き
付けなかった以外は、実施例１と同一条件にてコロナ放
電処理し、濡れ張力４８dyne／cm、３００mm幅×１００
０ｍ長さの一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムを得
た。この一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの両面
に、実施例１と同一条件でアルミニウムを１０００オン
グストロームの厚さに蒸着した。蒸着アルミニウムの密
着強度は実施例１と同様に強固であったが、蒸着したフ
ィルムの表裏の導通をテスターにて検査したところ、導
通が認められた。導通の原因となる表裏の貫通穴は、フ
ィルム全体で３５箇所認められた。
伸ポリ弗化ビニリデンフィルムにイオン化エアーを吹き
付けなかった以外は、実施例１と同一条件にてコロナ放
電処理し、濡れ張力４８dyne／cm、３００mm幅×１００
０ｍ長さの一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムを得
た。この一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィルムの両面
に、実施例１と同一条件でアルミニウムを１０００オン
グストロームの厚さに蒸着した。蒸着アルミニウムの密
着強度は実施例１と同様に強固であったが、蒸着したフ
ィルムの表裏の導通をテスターにて検査したところ、導
通が認められた。導通の原因となる表裏の貫通穴は、フ
ィルム全体で３５箇所認められた。
【００１３】比較例 ２ 実施例１で使用した一軸延伸ポリ弗化ビニリデンフィル
ムの両面に、コロナ放電処理をせず、実施例１と同一の
条件でアルミニウムを１０００オングストロームの厚さ
に蒸着した。蒸着したフィルムの表裏の導通をテスター
にて検査したところ、導通は認められなかったが、導通
検査中に蒸着したアルミニウムが剥がれてしまった。セ
ロテープ剥離テストを実施したところ、簡単に剥離して
しまった。
ムの両面に、コロナ放電処理をせず、実施例１と同一の
条件でアルミニウムを１０００オングストロームの厚さ
に蒸着した。蒸着したフィルムの表裏の導通をテスター
にて検査したところ、導通は認められなかったが、導通
検査中に蒸着したアルミニウムが剥がれてしまった。セ
ロテープ剥離テストを実施したところ、簡単に剥離して
しまった。
【００１４】
【発明の効果】本発明においては、一軸延伸ポリ弗化ビ
ニリデンフィルムをコロナ放電処理した後に直ちに静電
気の除去を行うので、放電に伴う穴明きの問題がなく、
かつその表面に金属電極を強固に蒸着させることができ
るので、均一に分極された圧電用ポリ弗化ビニリデンフ
ィルムの製造に利用することができる。
ニリデンフィルムをコロナ放電処理した後に直ちに静電
気の除去を行うので、放電に伴う穴明きの問題がなく、
かつその表面に金属電極を強固に蒸着させることができ
るので、均一に分極された圧電用ポリ弗化ビニリデンフ
ィルムの製造に利用することができる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/24 7308−4Ｋ Ｈ０１Ｌ 41/26 Ｈ０５Ｆ 3/00 7028−5Ｇ // Ｂ２９Ｋ 27:12 4Ｆ Ｂ２９Ｌ 7:00 4Ｆ Ｃ０８Ｌ 27:16 9166−4Ｊ
Claims (1)
- 【請求項１】 一軸延伸されたポリ弗化ビニリデンフィ
ルムの表裏面を、その濡れ張力が３９dyne／cm以上にな
るようにコロナ放電処理し、該コロナ放電処理の直後に
該フィルムの表裏面の静電気を除去し、得られたフィル
ムの表裏面に電極金属を蒸着することを特徴とする、圧
電用ポリ弗化ビニリデンフィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28606691A JPH05125522A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 圧電用ポリ弗化ビニリデンフイルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28606691A JPH05125522A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 圧電用ポリ弗化ビニリデンフイルムの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05125522A true JPH05125522A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=17699514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28606691A Pending JPH05125522A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 圧電用ポリ弗化ビニリデンフイルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05125522A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08144041A (ja) * | 1994-11-17 | 1996-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取り式真空蒸着装置 |
| JP2008171935A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Kureha Corp | 高分子圧電体フィルムの製造方法および高分子圧電体フィルム |
| CN102256426A (zh) * | 2011-05-05 | 2011-11-23 | 大华金辉(北京)科技有限公司 | 抗静电用板、装置及其应用 |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP28606691A patent/JPH05125522A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| JPH08144041A (ja) * | 1994-11-17 | 1996-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取り式真空蒸着装置 |
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| US8356393B2 (en) | 2007-01-10 | 2013-01-22 | Kureha Corporation | Method for manufacturing a polymeric piezoelectric film |
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