JPH05126884A - 静電センサ装置 - Google Patents
静電センサ装置Info
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- JPH05126884A JPH05126884A JP31745391A JP31745391A JPH05126884A JP H05126884 A JPH05126884 A JP H05126884A JP 31745391 A JP31745391 A JP 31745391A JP 31745391 A JP31745391 A JP 31745391A JP H05126884 A JPH05126884 A JP H05126884A
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- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 発振回路１から放射される高周波電流による
バックグラウンドノイズと電源のシールド線９の振動変
位による振動雑音の除去を図る。 【構成】 静電センサ装置を発振回路１と共振回路２と
検出電極３と検波回路４と増幅回路５と電源回路７とを
有して構成し、発振回路１と共振回路２と電源の高周波
部分との高周波回路側と、増幅回路５と電源の低周波部
分を含む低周波回路側との間に超高周波フィルタ８を介
設して高周波回路側から低周波回路側に流れる高周波電
流を遮断する。
バックグラウンドノイズと電源のシールド線９の振動変
位による振動雑音の除去を図る。 【構成】 静電センサ装置を発振回路１と共振回路２と
検出電極３と検波回路４と増幅回路５と電源回路７とを
有して構成し、発振回路１と共振回路２と電源の高周波
部分との高周波回路側と、増幅回路５と電源の低周波部
分を含む低周波回路側との間に超高周波フィルタ８を介
設して高周波回路側から低周波回路側に流れる高周波電
流を遮断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＡＴＭ（Automated Te
llerMachine）、紙幣識別装置、改札装置、製紙産業、
パルプ産業、製版、木工、食品産業、ロボット、情報機
器等の各分野において、被検出体の厚みや性状を検出す
る静電センサ装置に関するものである。
llerMachine）、紙幣識別装置、改札装置、製紙産業、
パルプ産業、製版、木工、食品産業、ロボット、情報機
器等の各分野において、被検出体の厚みや性状を検出す
る静電センサ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】出願人は先に微小静電容量の変化を検出
することができる高感度の静電センサ装置を例えば特願
平1-126234号において提案している。
することができる高感度の静電センサ装置を例えば特願
平1-126234号において提案している。
【０００３】この提案装置は、図３に示すように、発振
回路１と、共振回路２と、被検出体との静電容量変化を
検出する検出電極３と、検波回路４と、増幅回路５とを
有している。前記発振回路１と共振回路２はそれぞれ別
個独立の誘電体共振器としてのセラミック共振器を含
み、例えば、図４に示すように、発振回路１のＧHz帯の
固定発振周波数ｆ1 に対して共振回路２の共振周波数ｆ
0 をわずかにずれた位置に設定しておき、検出電極３に
よって検出される微小静電容量の変化ΔＣに対応させて
共振周波数をｆ0 からΔｆだけ偏倚させ、前記静電容量
の変化ΔＣを出力電圧ΔＶの変化（発振周波数信号を搬
送波とするΔＶの変調信号）に変換し、これを検波して
低周波帯域の数mmＶの電圧信号とし、これをさらにボル
トのオーダまで増幅して取り出すものである。
回路１と、共振回路２と、被検出体との静電容量変化を
検出する検出電極３と、検波回路４と、増幅回路５とを
有している。前記発振回路１と共振回路２はそれぞれ別
個独立の誘電体共振器としてのセラミック共振器を含
み、例えば、図４に示すように、発振回路１のＧHz帯の
固定発振周波数ｆ1 に対して共振回路２の共振周波数ｆ
0 をわずかにずれた位置に設定しておき、検出電極３に
よって検出される微小静電容量の変化ΔＣに対応させて
共振周波数をｆ0 からΔｆだけ偏倚させ、前記静電容量
の変化ΔＣを出力電圧ΔＶの変化（発振周波数信号を搬
送波とするΔＶの変調信号）に変換し、これを検波して
低周波帯域の数mmＶの電圧信号とし、これをさらにボル
トのオーダまで増幅して取り出すものである。
【０００４】この提案装置では、発振回路１の発振周波
数を例えば１〜３ＧHzという高周波数で発振し、非常に
感度が高いために、例えば、検出電極３の近くに手を近
付けたりすると、検出電極３に対する浮遊分布容量が変
化し、これが共振回路２の共振周波数に影響を与えた
り、あるいは、検出電極３と共振回路２が内蔵するセラ
ミック共振器との導体リードの長さが、発振周波数の波
長をλとしたとき、ｎλ／４（ｎは１以上の整数）にな
ると、不安定な現象が生じるという問題がある。このよ
うな問題を解消するために、出願人は提案装置の改良を
重ね、検出電極３をグランド電位となっているシャーシ
と同一面かこれよりもやや引っ込めて配置することによ
り前記浮遊分布容量等の影響を除去することに成功し、
また、検出電極３と共振回路２のセラミック共振器まで
の導体リードをｎλ／４よりも短くすることにより前記
不安定化現象を解消することに成功した。その結果とし
て10-4PFの微小静電容量の変化を安定に検出することが
可能になった。
数を例えば１〜３ＧHzという高周波数で発振し、非常に
感度が高いために、例えば、検出電極３の近くに手を近
付けたりすると、検出電極３に対する浮遊分布容量が変
化し、これが共振回路２の共振周波数に影響を与えた
り、あるいは、検出電極３と共振回路２が内蔵するセラ
ミック共振器との導体リードの長さが、発振周波数の波
長をλとしたとき、ｎλ／４（ｎは１以上の整数）にな
ると、不安定な現象が生じるという問題がある。このよ
うな問題を解消するために、出願人は提案装置の改良を
重ね、検出電極３をグランド電位となっているシャーシ
と同一面かこれよりもやや引っ込めて配置することによ
り前記浮遊分布容量等の影響を除去することに成功し、
また、検出電極３と共振回路２のセラミック共振器まで
の導体リードをｎλ／４よりも短くすることにより前記
不安定化現象を解消することに成功した。その結果とし
て10-4PFの微小静電容量の変化を安定に検出することが
可能になった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検出感
度をさらに高め、10-5〜10-8PFの微小静電容量の変化を
検出しようとすると、ＧHz帯で回路駆動を行うときの特
有な不安定現象が生じ、前記改良された静電センサ装置
を用いてもその微小静電容量の変化を安定に検出するこ
とができなくなるという問題に直面した。すなわち、こ
の種の静電センサ装置ではどうしても高周波の回路部分
と、低周波の回路部分とを混在した回路構成とせざるを
得ず、発振回路１からＧHz帯の高周波数で発振すると、
この発振周波数信号が放射し、周りの回路導体に雑音と
して高周波電流が流れ、この高周波電流が高周波回路部
分から低周波回路部分に流れると、発振回路１の発振条
件が変動し、微小静電容量検出の分解能が低下するとい
う問題が生じ、また、周りから機械振動を受けると検出
電極や回路周辺の静電容量が変化し、これに起因して振
動によるノイズが発生し、前記10-5〜10-8PFの微小静電
容量の変化を安定に検出することができなくなるという
問題が生じるに至った。
度をさらに高め、10-5〜10-8PFの微小静電容量の変化を
検出しようとすると、ＧHz帯で回路駆動を行うときの特
有な不安定現象が生じ、前記改良された静電センサ装置
を用いてもその微小静電容量の変化を安定に検出するこ
とができなくなるという問題に直面した。すなわち、こ
の種の静電センサ装置ではどうしても高周波の回路部分
と、低周波の回路部分とを混在した回路構成とせざるを
得ず、発振回路１からＧHz帯の高周波数で発振すると、
この発振周波数信号が放射し、周りの回路導体に雑音と
して高周波電流が流れ、この高周波電流が高周波回路部
分から低周波回路部分に流れると、発振回路１の発振条
件が変動し、微小静電容量検出の分解能が低下するとい
う問題が生じ、また、周りから機械振動を受けると検出
電極や回路周辺の静電容量が変化し、これに起因して振
動によるノイズが発生し、前記10-5〜10-8PFの微小静電
容量の変化を安定に検出することができなくなるという
問題が生じるに至った。
【０００６】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、発振回路からの高周波の放
射干渉によるノイズ（以下、バックグラウンドノイズと
いう）や機械振動に起因するノイズ（以下、振動ノイズ
という）を大幅に低減してより分解能の高い安定した微
小静電容量の検出を可能にする静電センサ装置を提供す
ることにある。
たものであり、その目的は、発振回路からの高周波の放
射干渉によるノイズ（以下、バックグラウンドノイズと
いう）や機械振動に起因するノイズ（以下、振動ノイズ
という）を大幅に低減してより分解能の高い安定した微
小静電容量の検出を可能にする静電センサ装置を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、次のように構成されている。すなわち、本
発明は、誘電体共振器を備え高周波数の発振周波数信号
を出力する発振回路と、誘電体共振器を備え検出部によ
って検出される静電容量の変化を受けて共振周波数を変
化させ、この共振周波数の変化に対応する信号を変調出
力する共振回路と、前記変調出力信号が低周波数帯域の
信号に検波された後、検波出力を増幅して出力する増幅
回路と、電源回路とが共通の回路基板に形成されている
静電センサ装置において、発振回路と共振回路と電源の
高周波部分とを含む高周波回路側と、増幅回路と電源の
低周波部分を含む低周波回路側との間には高周波回路側
から低周波回路側に高周波電流が流れるのを遮断する高
周波分離回路が介設されていることを特徴として構成さ
れている。
するために、次のように構成されている。すなわち、本
発明は、誘電体共振器を備え高周波数の発振周波数信号
を出力する発振回路と、誘電体共振器を備え検出部によ
って検出される静電容量の変化を受けて共振周波数を変
化させ、この共振周波数の変化に対応する信号を変調出
力する共振回路と、前記変調出力信号が低周波数帯域の
信号に検波された後、検波出力を増幅して出力する増幅
回路と、電源回路とが共通の回路基板に形成されている
静電センサ装置において、発振回路と共振回路と電源の
高周波部分とを含む高周波回路側と、増幅回路と電源の
低周波部分を含む低周波回路側との間には高周波回路側
から低周波回路側に高周波電流が流れるのを遮断する高
周波分離回路が介設されていることを特徴として構成さ
れている。
【０００８】
【作用】上記構成の本発明において、発振回路から高周
波信号が放射し、高周波回路側から低周波回路側に高周
波電流が流れようとするが、このとき、高周波分離回路
が高周波回路側から低周波回路側への高周波電流の流れ
を遮断する結果、低周波回路側と高周波回路側の干渉が
防止され、発振回路の発振周波数信号は安定に保たれ
る。
波信号が放射し、高周波回路側から低周波回路側に高周
波電流が流れようとするが、このとき、高周波分離回路
が高周波回路側から低周波回路側への高周波電流の流れ
を遮断する結果、低周波回路側と高周波回路側の干渉が
防止され、発振回路の発振周波数信号は安定に保たれ
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１には本発明に係る静電センサ装置の一実施例
の回路構成が示されており、また、図２には同実施例装
置を駆動するときの等価回路が示されている。本実施例
の静電センサ装置は、前記提案装置と同様に、誘電体共
振器（セラミック共振器）を備えてＧHz帯（この実施例
では１〜３ＧHz）の発振周波数信号を出力する発振回路
１と、誘電体共振器としてのセラミック共振器６を備え
た共振回路２と、検波回路４と、増幅回路５と、電源回
路７とを備えている。そして、回路動作も、前記提案装
置と同様に、被検出体の微小静電容量が検出部の検出電
極３によって検出されたときに、その静電容量の変化に
よって共振回路２の共振周波数が変化し、この共振周波
数の変化に対応する信号が発振周波数信号を搬送波とし
て振幅変調信号が作り出され、この振幅変調信号が検波
回路４によって低周波帯域の信号に包絡線検波され、こ
の検波出力が低周波の増幅回路５によって信号増幅され
て所望の信号処理回路に加えられる。
する。図１には本発明に係る静電センサ装置の一実施例
の回路構成が示されており、また、図２には同実施例装
置を駆動するときの等価回路が示されている。本実施例
の静電センサ装置は、前記提案装置と同様に、誘電体共
振器（セラミック共振器）を備えてＧHz帯（この実施例
では１〜３ＧHz）の発振周波数信号を出力する発振回路
１と、誘電体共振器としてのセラミック共振器６を備え
た共振回路２と、検波回路４と、増幅回路５と、電源回
路７とを備えている。そして、回路動作も、前記提案装
置と同様に、被検出体の微小静電容量が検出部の検出電
極３によって検出されたときに、その静電容量の変化に
よって共振回路２の共振周波数が変化し、この共振周波
数の変化に対応する信号が発振周波数信号を搬送波とし
て振幅変調信号が作り出され、この振幅変調信号が検波
回路４によって低周波帯域の信号に包絡線検波され、こ
の検波出力が低周波の増幅回路５によって信号増幅され
て所望の信号処理回路に加えられる。
【００１０】本実施例において特徴的なことは、発振回
路１と共振回路２と電源の高周波部分とを含む高周波回
路側と、増幅回路５と電源の低周波部分を含む低周波回
路側とを高周波分離回路としての超高周波フィルタ８に
よって高周波的に遮断したことである。
路１と共振回路２と電源の高周波部分とを含む高周波回
路側と、増幅回路５と電源の低周波部分を含む低周波回
路側とを高周波分離回路としての超高周波フィルタ８に
よって高周波的に遮断したことである。
【００１１】静電センサ装置の回路駆動時には、発振回
路１からＧHz帯の高周波の発振信号が放射される結果、
図２の等価回路では、発振回路１はバックグラウンドノ
イズの雑音源として働く。そして、雑音源から放射され
る高周波信号により、周りの電源ラインやグランドライ
ン等、至るところに高周波電流が流れ、高周波回路側に
は回路素子間や配線間にストレーキャパシタンスＣＳ1
〜ＣＳ4 が発生し、回路基板上の例えば銅箔等の細いと
ころにはインダクタンスＬｍ1 〜Ｌｍ4 の成分が現れ
る。
路１からＧHz帯の高周波の発振信号が放射される結果、
図２の等価回路では、発振回路１はバックグラウンドノ
イズの雑音源として働く。そして、雑音源から放射され
る高周波信号により、周りの電源ラインやグランドライ
ン等、至るところに高周波電流が流れ、高周波回路側に
は回路素子間や配線間にストレーキャパシタンスＣＳ1
〜ＣＳ4 が発生し、回路基板上の例えば銅箔等の細いと
ころにはインダクタンスＬｍ1 〜Ｌｍ4 の成分が現れ
る。
【００１２】この等価回路で、バックグラウンドノイズ
を低減するためにはバイパスコンデンサＣｂ1 ，Ｃｂ2
を設けることが必要となる。この場合、Ｃｂ2 の容量を
Ｃｂ1 の容量よりも大きくすると、Ｃｂ2 側に雑音電流
（高周波電流）Ｉｂ2 が流れ、バイパスコンデンサＣｂ
2 間の電位が高くなり、静電センサ装置の雑音電位と電
源供給部のシールド線９との電位が等電位となり、シー
ルド線９に雑音電流が乗り、雑音に対するバックグラウ
ンドノイズは低下するが、シールド線９の振れ等に起因
する振動雑音が新たに発生するという問題が生じる。こ
の振動雑音とバックグラウンド雑音をともに小さくする
ためには、バイパスコンデンサＣｂ1 の容量をＣｂ2 の
容量よりも遙かに大きくすることが必要になる。しか
し、現状の技術では、大容量の高周波コンデンサを作る
ことは困難であり、一般には、高周波のコンデンサであ
るＣｂ1 の容量よりも低周波のコンデンサであるＣｂ2
の容量の方が大きな容量となり、Ｃｂ1 の容量をＣｂ2
の容量よりも遙かに大きくすることは難しい。
を低減するためにはバイパスコンデンサＣｂ1 ，Ｃｂ2
を設けることが必要となる。この場合、Ｃｂ2 の容量を
Ｃｂ1 の容量よりも大きくすると、Ｃｂ2 側に雑音電流
（高周波電流）Ｉｂ2 が流れ、バイパスコンデンサＣｂ
2 間の電位が高くなり、静電センサ装置の雑音電位と電
源供給部のシールド線９との電位が等電位となり、シー
ルド線９に雑音電流が乗り、雑音に対するバックグラウ
ンドノイズは低下するが、シールド線９の振れ等に起因
する振動雑音が新たに発生するという問題が生じる。こ
の振動雑音とバックグラウンド雑音をともに小さくする
ためには、バイパスコンデンサＣｂ1 の容量をＣｂ2 の
容量よりも遙かに大きくすることが必要になる。しか
し、現状の技術では、大容量の高周波コンデンサを作る
ことは困難であり、一般には、高周波のコンデンサであ
るＣｂ1 の容量よりも低周波のコンデンサであるＣｂ2
の容量の方が大きな容量となり、Ｃｂ1 の容量をＣｂ2
の容量よりも遙かに大きくすることは難しい。
【００１３】そこで、本発明者はかかる困難を解消する
ために、低周波回路側と高周波回路側との間に高周波的
に負荷抵抗の大きいインダクタンスＬを介設し、前記バ
イパスコンデンサＣｂ1 ，Ｃｂ2 とによって超高周波フ
ィルタ８を形成している。このように、インダクタンス
Ｌを設けることにより、高周波回路側に流れる高周波電
流は負荷抵抗の大きいインダクタンスＬのところで遮断
され、高周波電流が高周波回路側から低周波回路側に流
れるのを確実に遮断する。この高周波電流の遮断によ
り、シールド線９に高周波電流が流れることもなくな
り、したがって、シールド線９が振動変位しても振動ノ
イズを発生させることがなくなり、発振回路１の発振動
作を安定に行うことが可能となるのである。
ために、低周波回路側と高周波回路側との間に高周波的
に負荷抵抗の大きいインダクタンスＬを介設し、前記バ
イパスコンデンサＣｂ1 ，Ｃｂ2 とによって超高周波フ
ィルタ８を形成している。このように、インダクタンス
Ｌを設けることにより、高周波回路側に流れる高周波電
流は負荷抵抗の大きいインダクタンスＬのところで遮断
され、高周波電流が高周波回路側から低周波回路側に流
れるのを確実に遮断する。この高周波電流の遮断によ
り、シールド線９に高周波電流が流れることもなくな
り、したがって、シールド線９が振動変位しても振動ノ
イズを発生させることがなくなり、発振回路１の発振動
作を安定に行うことが可能となるのである。
【００１４】この実施例では図１に示すように、高周波
分離回路としての超高周波フィルタ８をインダクタンス
Ｌと電解コンデンサ11とコンデンサ12とによって構成
し、電源と超高周波フィルタ８とを３端子レギュレータ
10を用いて接続し、高周波回路側のグランドラインＧＮ
1 と低周波回路側のグランドラインＧＮ2 との間に高周
波的に負荷抵抗の大きいインダクタンスＬを介設し、さ
らに、高周波回路側の電源ラインＶcc1 と低周波回路側
の電源ラインＶcc2 との間に同様に高周波的に負荷抵抗
の大きいインダクタンスＬを介設している。なお、図１
の回路図で、グランドラインＧＮは回路仕様に応じ、高
周波回路側のグランドラインＧＮ1 あるいは低周波回路
側のグランドラインＧＮ2 のいずれかに接続されるもの
である。
分離回路としての超高周波フィルタ８をインダクタンス
Ｌと電解コンデンサ11とコンデンサ12とによって構成
し、電源と超高周波フィルタ８とを３端子レギュレータ
10を用いて接続し、高周波回路側のグランドラインＧＮ
1 と低周波回路側のグランドラインＧＮ2 との間に高周
波的に負荷抵抗の大きいインダクタンスＬを介設し、さ
らに、高周波回路側の電源ラインＶcc1 と低周波回路側
の電源ラインＶcc2 との間に同様に高周波的に負荷抵抗
の大きいインダクタンスＬを介設している。なお、図１
の回路図で、グランドラインＧＮは回路仕様に応じ、高
周波回路側のグランドラインＧＮ1 あるいは低周波回路
側のグランドラインＧＮ2 のいずれかに接続されるもの
である。
【００１５】この実施例によれば、発振回路１から放射
される高周波信号によって高周波電流がバックグラウン
ドノイズとして高周波回路側に流れたとしても、この高
周波電流は負荷抵抗の大きいインダクタンスＬによって
遮られて低周波回路側に流れることがなく、高周波回路
側のループに沿って流れるので、高周波回路側と低周波
回路側とで干渉を起こすことがなくなり、これにより、
発振周波数の安定化が図れるとともに、シールド線９の
振動等に起因する振動ノイズの発生もなく、10-5〜10-8
PFという極めて微小な静電容量の変化を高分解のもとで
安定に検出することが可能となった。
される高周波信号によって高周波電流がバックグラウン
ドノイズとして高周波回路側に流れたとしても、この高
周波電流は負荷抵抗の大きいインダクタンスＬによって
遮られて低周波回路側に流れることがなく、高周波回路
側のループに沿って流れるので、高周波回路側と低周波
回路側とで干渉を起こすことがなくなり、これにより、
発振周波数の安定化が図れるとともに、シールド線９の
振動等に起因する振動ノイズの発生もなく、10-5〜10-8
PFという極めて微小な静電容量の変化を高分解のもとで
安定に検出することが可能となった。
【００１６】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
とはなく、様々な実施の態様を採り得るものである。
とはなく、様々な実施の態様を採り得るものである。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、静電センサ装置の高周波回路
側と低周波回路側との間には高周波回路側から低周波回
路側に高周波電流が流れるのを遮断する高周波分離回路
を設けたものであるから、高周波電流が高周波回路側か
ら低周波回路側に流れて高周波回路側と低周波回路側と
の干渉を起こすことがなくなり、これにより、発振回路
から放射されるバックグラウンドノイズや電源のシール
ド線の振動等による振動ノイズのほとんどない静電セン
サ装置の提供が可能となる。このように、雑音を除去す
ることができるので、分解能も飛躍的に改善され、前記
提案装置に較べ10倍以上の安定化が可能となり、これに
伴い検出能も飛躍的に改善され、10-5〜10-8という微小
静電容量の変化を安定に検出することが可能になる。
側と低周波回路側との間には高周波回路側から低周波回
路側に高周波電流が流れるのを遮断する高周波分離回路
を設けたものであるから、高周波電流が高周波回路側か
ら低周波回路側に流れて高周波回路側と低周波回路側と
の干渉を起こすことがなくなり、これにより、発振回路
から放射されるバックグラウンドノイズや電源のシール
ド線の振動等による振動ノイズのほとんどない静電セン
サ装置の提供が可能となる。このように、雑音を除去す
ることができるので、分解能も飛躍的に改善され、前記
提案装置に較べ10倍以上の安定化が可能となり、これに
伴い検出能も飛躍的に改善され、10-5〜10-8という微小
静電容量の変化を安定に検出することが可能になる。
【図１】本発明に係る静電センサ装置の一実施例を示す
回路図である。
回路図である。
【図２】同実施例装置の回路動作の等価回路図である。
【図３】出願人が先に提案した静電センサ装置のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図４】提案装置および本実施例装置の微小静電容量の
検出動作の説明図である。
検出動作の説明図である。
１ 発振回路 ２ 共振回路 ３ 検出電極 ４ 検波回路 ５ 増幅回路 ８ 超高周波フィルタ 10 ３端子レギュレータ Ｌ インダクタンス
Claims (1)
- 【請求項１】 誘電体共振器を備え高周波数の発振周波
数信号を出力する発振回路と、誘電体共振器を備え検出
部によって検出される静電容量の変化を受けて共振周波
数を変化させ、この共振周波数の変化に対応する信号を
変調出力する共振回路と、前記変調出力信号が低周波数
帯域の信号に検波された後、検波出力を増幅して出力す
る増幅回路と、電源回路とが共通の回路基板に形成され
ている静電センサ装置において、発振回路と共振回路と
電源の高周波部分とを含む高周波回路側と、増幅回路と
電源の低周波部分を含む低周波回路側との間には高周波
回路側から低周波回路側に高周波電流が流れるのを遮断
する高周波分離回路が介設されていることを特徴とする
静電センサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31745391A JPH05126884A (ja) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | 静電センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31745391A JPH05126884A (ja) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | 静電センサ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126884A true JPH05126884A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=18088397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31745391A Pending JPH05126884A (ja) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | 静電センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05126884A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009079897A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | センサ装置及び表示装置 |
| JP2015001435A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | ローム株式会社 | 電気回路の評価方法および電気回路 |
-
1991
- 1991-11-05 JP JP31745391A patent/JPH05126884A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009079897A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | センサ装置及び表示装置 |
| JP2015001435A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | ローム株式会社 | 電気回路の評価方法および電気回路 |
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