JPH05128332A - 金属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置 - Google Patents
金属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置Info
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- JPH05128332A JPH05128332A JP31841291A JP31841291A JPH05128332A JP H05128332 A JPH05128332 A JP H05128332A JP 31841291 A JP31841291 A JP 31841291A JP 31841291 A JP31841291 A JP 31841291A JP H05128332 A JPH05128332 A JP H05128332A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体中の金属粒子を、簡単な構成で、インラ
インで、しかも粒子径毎にその粒子数量までも高精度に
推定又は検出し得る、全く新たな金属粒子検出センサ、
金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置を提供する。 【構成】 金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交互に
積層し、該積層断面が櫛形電極となるように、２本のリ
ード線３ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひ
とつおきに並列接続し、該積層端面を金属粒子存在流体
４内に浸漬させてなる構成とした。
インで、しかも粒子径毎にその粒子数量までも高精度に
推定又は検出し得る、全く新たな金属粒子検出センサ、
金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置を提供する。 【構成】 金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交互に
積層し、該積層断面が櫛形電極となるように、２本のリ
ード線３ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひ
とつおきに並列接続し、該積層端面を金属粒子存在流体
４内に浸漬させてなる構成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、潤滑油中の金属摩耗粉
等を検出するに好適な金属粒子検出技術に係わり、殊
に、簡単な構成で、インラインで、しかも粒子径毎にそ
の粒子数量までも高精度に推定又は検出し得る、全く新
たな金属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒
子検出装置に関する。
等を検出するに好適な金属粒子検出技術に係わり、殊
に、簡単な構成で、インラインで、しかも粒子径毎にそ
の粒子数量までも高精度に推定又は検出し得る、全く新
たな金属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒
子検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の代表的金属粒子検出技術
には、ラボ用（分析室用）又はインライン用として、分
光式、照射光減衰式、電気抵抗式、磁気抵抗式等があ
る。
には、ラボ用（分析室用）又はインライン用として、分
光式、照射光減衰式、電気抵抗式、磁気抵抗式等があ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記従来技術
の特徴は、大略列挙すれば、次のとおりである。 (1) 分光式は、ほとんどの種類の粒子量を該種類毎に検
出することができるが、その検出装置が大掛かりとなる
ためにインラインでの使用に不向きであり、また粒子径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。 (2) 照射光減衰式は、ほとんどの種類の粒子量を検出で
き、しかもインラインでの使用も好適であるが、粒子径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。 (3) 電気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、検出誤差が大きく、また粒子径毎の粒子数量までも
推定又は検出することができない。 (4) 磁気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、強磁性体粉Ｆｅ、Ｎｉの粒子以外は検出できず、ま
た粒子径毎の粒子数量までも推定又は検出することがで
きない。
の特徴は、大略列挙すれば、次のとおりである。 (1) 分光式は、ほとんどの種類の粒子量を該種類毎に検
出することができるが、その検出装置が大掛かりとなる
ためにインラインでの使用に不向きであり、また粒子径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。 (2) 照射光減衰式は、ほとんどの種類の粒子量を検出で
き、しかもインラインでの使用も好適であるが、粒子径
毎の粒子数量までも推定又は検出することができない。 (3) 電気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、検出誤差が大きく、また粒子径毎の粒子数量までも
推定又は検出することができない。 (4) 磁気抵抗式は、インラインでの使用に好適である
が、強磁性体粉Ｆｅ、Ｎｉの粒子以外は検出できず、ま
た粒子径毎の粒子数量までも推定又は検出することがで
きない。
【０００４】上述のとおり、上記従来技術に共通する欠
点は、流体中の金属粒子を粒子径毎の粒子数量までも推
定又は検出することができない点である。もっとも上記
従来技術を、複雑化し、かつ、専門化すれば、この共通
点を克服できないわけではなかろう。
点は、流体中の金属粒子を粒子径毎の粒子数量までも推
定又は検出することができない点である。もっとも上記
従来技術を、複雑化し、かつ、専門化すれば、この共通
点を克服できないわけではなかろう。
【０００５】本発明は、上記従来技術の欠点に着目し、
流体中の金属粒子を、簡単な構成で、インラインで、し
かも粒子径毎にその粒子数量までも高精度に推定又は検
出し得る、全く新たな金属粒子検出センサ、金属粒子検
出方法及び金属粒子検出装置を提供することを目的とす
る。
流体中の金属粒子を、簡単な構成で、インラインで、し
かも粒子径毎にその粒子数量までも高精度に推定又は検
出し得る、全く新たな金属粒子検出センサ、金属粒子検
出方法及び金属粒子検出装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の金属粒子検出センサは、図１及び図 2
（ｃ）を参照して説明すれば、金属フィルム１と絶縁フ
ィルム２とを交互に積層し、該積層断面が櫛形電極とな
るように、２本のリード線３ａ、３ｂの各々に対し、各
金属フィルム１をひとつおきに並列接続し、該積層端面
を金属粒子存在流体４内に浸漬させてなる構成とした。
め、請求項１の金属粒子検出センサは、図１及び図 2
（ｃ）を参照して説明すれば、金属フィルム１と絶縁フ
ィルム２とを交互に積層し、該積層断面が櫛形電極とな
るように、２本のリード線３ａ、３ｂの各々に対し、各
金属フィルム１をひとつおきに並列接続し、該積層端面
を金属粒子存在流体４内に浸漬させてなる構成とした。
【０００７】他方、請求項２の金属粒子検出方法は、上
記請求項１の金属粒子検出センサを利用した方法であっ
て、図４を参照して説明すれば、請求項１記載の金属粒
子検出センサにより、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ
(01))、次に各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ
毎にそのパルス数ｆ(v)を積算し（ステップ(02)) 、次
に同一電圧Ｖ毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式
（ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ
(03)、但しｋ1 とｋ2 とは所定定数）、最後に各結果ｒ
毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみな
す（ステップ(04)) こととした。
記請求項１の金属粒子検出センサを利用した方法であっ
て、図４を参照して説明すれば、請求項１記載の金属粒
子検出センサにより、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ
(01))、次に各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ
毎にそのパルス数ｆ(v)を積算し（ステップ(02)) 、次
に同一電圧Ｖ毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式
（ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ
(03)、但しｋ1 とｋ2 とは所定定数）、最後に各結果ｒ
毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみな
す（ステップ(04)) こととした。
【０００８】さらにまた、請求項３の金属粒子検出装置
は、上記請求項１の金属粒子検出センサを利用し、か
つ、上記請求項２の金属粒子検出方法を使用してなる装
置であって、図５及び図６を参照して説明すれば、請求
項１記載の金属粒子検出センサ１０と、この金属粒子検
出センサ１０に接続された処理器２０と、この処理器２
０に接続された出力器３０とを備え、処理器２０は、少
なくとも金属粒子検出センサ１０に合わせて予め設定し
た定数ｋ1 と、少なくとも金属粒子検出センサ１０と検
出時間とに合わせて予め設定した定数ｋ2とを記憶し
（ステップ(11)) 、次に金属粒子検出センサ１０からパ
ルス電圧Ｖを入力し（ステップ(12)) 、次に各検出パル
ス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパルス数ｆ(v)
を積算し（ステップ(13)) 、次に同一電圧Ｖ毎に、式
（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2
＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(14)) 、最後に各結果ｒ
毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみな
す旨を出力器３０により出力させる（ステップ(15)) 構
成とした。
は、上記請求項１の金属粒子検出センサを利用し、か
つ、上記請求項２の金属粒子検出方法を使用してなる装
置であって、図５及び図６を参照して説明すれば、請求
項１記載の金属粒子検出センサ１０と、この金属粒子検
出センサ１０に接続された処理器２０と、この処理器２
０に接続された出力器３０とを備え、処理器２０は、少
なくとも金属粒子検出センサ１０に合わせて予め設定し
た定数ｋ1 と、少なくとも金属粒子検出センサ１０と検
出時間とに合わせて予め設定した定数ｋ2とを記憶し
（ステップ(11)) 、次に金属粒子検出センサ１０からパ
ルス電圧Ｖを入力し（ステップ(12)) 、次に各検出パル
ス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパルス数ｆ(v)
を積算し（ステップ(13)) 、次に同一電圧Ｖ毎に、式
（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2
＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(14)) 、最後に各結果ｒ
毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみな
す旨を出力器３０により出力させる（ステップ(15)) 構
成とした。
【０００９】
【作用】上記金属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及
び金属粒子検出装置は、実験と、その結果に基づく試行
錯誤とによってなされたものである。このため、本発明
が導き出された過程と、帰着的効果（即ち、流体中の金
属粒子を簡単な構成でインラインでしかも粒子径毎にそ
の粒子数量までも高精度に検出すること）とを説明し、
もって本発明の作用の説明とする。以下、図７の実験成
績グラフを参照し、帰納的に説明する。
び金属粒子検出装置は、実験と、その結果に基づく試行
錯誤とによってなされたものである。このため、本発明
が導き出された過程と、帰着的効果（即ち、流体中の金
属粒子を簡単な構成でインラインでしかも粒子径毎にそ
の粒子数量までも高精度に検出すること）とを説明し、
もって本発明の作用の説明とする。以下、図７の実験成
績グラフを参照し、帰納的に説明する。
【００１０】実験は次の手順で実施した。先ず、金属粉
を顕微鏡で眺めながら、手作業で同一粒子径Ｒ毎に粒子
数Ｎを選り分けた。この層別結果を図７（ａ）に示す。
同図の横軸は実際粒子径Ｒ〔単位：μｍ〕、縦軸は各粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎ〔単位：個〕である。
を顕微鏡で眺めながら、手作業で同一粒子径Ｒ毎に粒子
数Ｎを選り分けた。この層別結果を図７（ａ）に示す。
同図の横軸は実際粒子径Ｒ〔単位：μｍ〕、縦軸は各粒
子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎ〔単位：個〕である。
【００１１】次に、この金属粉を潤滑油中に投入し、超
音波で懸濁しつつ、またさらにこの懸濁をより効果的に
持続させるため、かつ、エンジン等の実機稼働に合わせ
るため、該潤滑油容器をホットプレート上に乗せて８０
°Ｃに一定加熱して、次の検出を行った。
音波で懸濁しつつ、またさらにこの懸濁をより効果的に
持続させるため、かつ、エンジン等の実機稼働に合わせ
るため、該潤滑油容器をホットプレート上に乗せて８０
°Ｃに一定加熱して、次の検出を行った。
【００１２】金属粉入り潤滑油内に後述する請求項１の
実施例なる金属粒子検出センサ１０を浸漬し、該金属粒
子検出センサ１０によってパルス電圧Ｖを検出した。図
７（ｂ）は、５０分間における検出結果のグラフであ
り、横軸は検出パルス電圧Ｖ〔単位：Ｖ〕、縦軸は同一
電圧Ｖ毎の検出パルス数ｆ(v) 〔単位：個〕である。
実施例なる金属粒子検出センサ１０を浸漬し、該金属粒
子検出センサ１０によってパルス電圧Ｖを検出した。図
７（ｂ）は、５０分間における検出結果のグラフであ
り、横軸は検出パルス電圧Ｖ〔単位：Ｖ〕、縦軸は同一
電圧Ｖ毎の検出パルス数ｆ(v) 〔単位：個〕である。
【００１３】ところで上記図７（ａ）、（ｂ）は、外観
上、相関関係を認め難いが、本発明は、これら図７
（ａ）、（ｂ）の相関関係を明らかにした上で、利用
し、実用に耐え得る金属粒子検出センサ、金属粒子検出
方法及び金属粒子検出装置を提供しようとするものであ
る。
上、相関関係を認め難いが、本発明は、これら図７
（ａ）、（ｂ）の相関関係を明らかにした上で、利用
し、実用に耐え得る金属粒子検出センサ、金属粒子検出
方法及び金属粒子検出装置を提供しようとするものであ
る。
【００１４】即ち、発明者等は「電流が導体断面積の二
乗に比例して流れる」ことに着目し、所定の関係式を構
築すれば、図７（ｂ）の検出パルス電圧Ｖを同図（ａ）
の実際粒子径Ｒに変換でき、かつ、同図（ｂ）の検出パ
ルス数ｆ(v)を同図（ａ）の実際粒子数Ｎに変換できる
のではないかと考え、その末に導き出した式が、ｋ1 ×
Ｖ1/2 ＝ｒ（式）と、ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ
（式）とである。これら関係式、は、下記するよ
うに、上記の相関関係を明らかにしている。
乗に比例して流れる」ことに着目し、所定の関係式を構
築すれば、図７（ｂ）の検出パルス電圧Ｖを同図（ａ）
の実際粒子径Ｒに変換でき、かつ、同図（ｂ）の検出パ
ルス数ｆ(v)を同図（ａ）の実際粒子数Ｎに変換できる
のではないかと考え、その末に導き出した式が、ｋ1 ×
Ｖ1/2 ＝ｒ（式）と、ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ
（式）とである。これら関係式、は、下記するよ
うに、上記の相関関係を明らかにしている。
【００１５】即ち、図７（ｃ）は、上記関係式、に
従って得られたグラフであり、図７（ｂ）の検出パルス
電圧Ｖを式によって補正した値が同図（ｃ）の横軸の
みなし粒子径ｒ、他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ(v)
を式によって補正した値が同図（ｃ）の縦軸のみなし
粒子数Ｐｎである。即ち、図７（ｃ）と同図（ａ）との
グラフの形状は、誰が見ても、相似又は同一であると
（即ち、ほぼ有違差のない相関関係を有すると）判定す
ることができる。
従って得られたグラフであり、図７（ｂ）の検出パルス
電圧Ｖを式によって補正した値が同図（ｃ）の横軸の
みなし粒子径ｒ、他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ(v)
を式によって補正した値が同図（ｃ）の縦軸のみなし
粒子数Ｐｎである。即ち、図７（ｃ）と同図（ａ）との
グラフの形状は、誰が見ても、相似又は同一であると
（即ち、ほぼ有違差のない相関関係を有すると）判定す
ることができる。
【００１６】尚、請求項２及び請求項３記載の「相似又
は同一」の用語について説明しておく。「相似」とは本
発明の目的で掲げた「粒子径毎にその粒子数量までも高
精度に推定し得る」こと、他方「同一」とは本発明の目
的で掲げた「粒子径毎にその粒子数量までも高精度に検
出し得る」ことを意味する。もっとも、「同一」といっ
ても、全く同一ということは、一切有り得ないのである
から、ここで言う「同一」とは、少なくとも、粒子径の
単位と粒子数とを特定できる程度に該粒子の分布を検出
できる程度を言い（勿論、粒子径と粒子数とには多少の
誤差が含まれるが、これは止むを得ないことである）、
他方「相似」とは、粒子径の単位までは特定できない
が、粒子径毎の粒子数の分布が判明できる程度を指すも
のとする（勿論、これも、粒子径と粒子数とには多少の
誤差が含まれるが、これも止むを得ないことである）。
は同一」の用語について説明しておく。「相似」とは本
発明の目的で掲げた「粒子径毎にその粒子数量までも高
精度に推定し得る」こと、他方「同一」とは本発明の目
的で掲げた「粒子径毎にその粒子数量までも高精度に検
出し得る」ことを意味する。もっとも、「同一」といっ
ても、全く同一ということは、一切有り得ないのである
から、ここで言う「同一」とは、少なくとも、粒子径の
単位と粒子数とを特定できる程度に該粒子の分布を検出
できる程度を言い（勿論、粒子径と粒子数とには多少の
誤差が含まれるが、これは止むを得ないことである）、
他方「相似」とは、粒子径の単位までは特定できない
が、粒子径毎の粒子数の分布が判明できる程度を指すも
のとする（勿論、これも、粒子径と粒子数とには多少の
誤差が含まれるが、これも止むを得ないことである）。
【００１７】これを具体的に示す。図７（ｃ）は、定数
ｋ1 を２．５５、定数ｋ2 を２．３３として得たグラフ
である。このように定数ｋ1 、ｋ2 を設定すると、同図
（ｃ）は同図（ａ）と同一となる。即ち、図７（ｂ）の
検出パルス電圧Ｖを式によって補正した図７（ｃ）の
みなし粒子径ｒは、その単位〔Ｖ〕を単に〔μｍ〕とす
るだけで、図７（ａ）の横軸の実際粒子径Ｒに、単位ま
で一致している。他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ(v)
を式によって補正した図７（ｃ）のみなし粒子数Ｐｎ
は、図７（ａ）の縦軸の実際粒子数Ｎと一致している。
即ち、図７（ｃ）と図７（ａ）とは同一であると考えて
よい。繰り返すが、かかる場合が、請求項２及び請求項
３記載の「同一」であり、「粒子径毎にその粒子数量ま
でも高精度に検出し得る」と言う本発明の目的の達成と
なる。
ｋ1 を２．５５、定数ｋ2 を２．３３として得たグラフ
である。このように定数ｋ1 、ｋ2 を設定すると、同図
（ｃ）は同図（ａ）と同一となる。即ち、図７（ｂ）の
検出パルス電圧Ｖを式によって補正した図７（ｃ）の
みなし粒子径ｒは、その単位〔Ｖ〕を単に〔μｍ〕とす
るだけで、図７（ａ）の横軸の実際粒子径Ｒに、単位ま
で一致している。他方図７（ｂ）の検出パルス数ｆ(v)
を式によって補正した図７（ｃ）のみなし粒子数Ｐｎ
は、図７（ａ）の縦軸の実際粒子数Ｎと一致している。
即ち、図７（ｃ）と図７（ａ）とは同一であると考えて
よい。繰り返すが、かかる場合が、請求項２及び請求項
３記載の「同一」であり、「粒子径毎にその粒子数量ま
でも高精度に検出し得る」と言う本発明の目的の達成と
なる。
【００１８】他方、仮にｋ1 とｋ2 とを上記以外の他の
値（例えばｋ1 ＝０．２５５、ｋ2 ＝０．２３３、その
他の数）とした場合、図７（ｃ）は図７（ａ）に単に相
似するだけであって、粒子径ｒ毎の粒子数の分布状況は
判明するが、実際粒子径Ｒも実際粒子数Ｎも分からな
い。即ち、かかる場合が、請求項２及び請求項３記載の
「相似」であり、「粒子径毎にその粒子数量までも高精
度に推定し得る」と言う本発明の目的の達成となる。
値（例えばｋ1 ＝０．２５５、ｋ2 ＝０．２３３、その
他の数）とした場合、図７（ｃ）は図７（ａ）に単に相
似するだけであって、粒子径ｒ毎の粒子数の分布状況は
判明するが、実際粒子径Ｒも実際粒子数Ｎも分からな
い。即ち、かかる場合が、請求項２及び請求項３記載の
「相似」であり、「粒子径毎にその粒子数量までも高精
度に推定し得る」と言う本発明の目的の達成となる。
【００１９】従って、「相似」又は「同一」（別言すれ
ば、「推定」又は「検出」）であるかは、定数ｋ1 、ｋ
2 の設定値如何に係わる。そこでこの定数ｋ1 、ｋ2 の
設定について、これも図７を利用し、以下説明する。
尚、これに先立ち、関係式、の成り立ちについて予
め説明しておく。
ば、「推定」又は「検出」）であるかは、定数ｋ1 、ｋ
2 の設定値如何に係わる。そこでこの定数ｋ1 、ｋ2 の
設定について、これも図７を利用し、以下説明する。
尚、これに先立ち、関係式、の成り立ちについて予
め説明しておく。
【００２０】式は、上述「電流が導体断面積の二乗に
比例して流れる」により、Ｖ1/2 が不可欠と考えられ
た。これに対し、式は次のとおりである。Ｖ1/2 は、
図７（ａ）、（ｂ）のグラフの外観類似から判断し、
「式は式（即ち、はＶ1/2 ）の関数である」と考
え、これも当然に式に折り込むこととした。またｆ
(V) は検出パルス数自体であるから、これも当然に式
に折り込むこととした。尚、思考錯誤では、その他幾多
の近似式で試行したが、結果として、上記式、式に
落ち着いたのが本音である。
比例して流れる」により、Ｖ1/2 が不可欠と考えられ
た。これに対し、式は次のとおりである。Ｖ1/2 は、
図７（ａ）、（ｂ）のグラフの外観類似から判断し、
「式は式（即ち、はＶ1/2 ）の関数である」と考
え、これも当然に式に折り込むこととした。またｆ
(V) は検出パルス数自体であるから、これも当然に式
に折り込むこととした。尚、思考錯誤では、その他幾多
の近似式で試行したが、結果として、上記式、式に
落ち着いたのが本音である。
【００２１】次に定数ｋ1 、ｋ2 の決定を、上述のｋ1
＝２．５５及びｋ2 ＝２．３３の決定過程を元に説明す
る。即ち、上記実験において、金属粒子の実際分布は、
図７（ａ）に示すとおり、手作業により、予め実際粒子
径Ｒ毎の実際粒子数Ｎが判明していた。そこで、この各
Ｒ、Ｎと、図７（ｂ）の検出値Ｖ、ｆ(V) とを対応比較
し、上記定数ｋ1 、ｋを決定したものである。
＝２．５５及びｋ2 ＝２．３３の決定過程を元に説明す
る。即ち、上記実験において、金属粒子の実際分布は、
図７（ａ）に示すとおり、手作業により、予め実際粒子
径Ｒ毎の実際粒子数Ｎが判明していた。そこで、この各
Ｒ、Ｎと、図７（ｂ）の検出値Ｖ、ｆ(V) とを対応比較
し、上記定数ｋ1 、ｋを決定したものである。
【００２２】これを分かり易く説明する。図７（ａ）の
座標（Ｒ、Ｎ）におけるＡ1 点（１．１、３００）とＢ
1 点（１．４、２８０）とは、図７（ｂ）の座標（Ｖ、
f(V)）において、Ａ1 点はＡ2 点（０．１８、２７０）
に、Ｂ1 点はＢ2 点（０．３１、２４５）に対応する。
そこで式をｒ＝Ｒとして、Ａ1 点とＡ2 点とからの
１．１＝ｋ1 ×０．１８1/2 によるｋ1 ≒２．５９と、
Ｂ1 点とＢ2 点とからの１．４＝ｋ1 ×０．３１1/2 に
よるｋ1≒２．５１とを平均し、ｋ1 ≒２．５５を得
た。他方式をＰｒ＝Ｎとして、Ａ1 点とＡ2 点とから
の３００＝ｋ2 ×２７０×０．１８1/2 によるｋ2 ≒
２．６２と、Ｂ1 点とＢ2 点とからの２８０＝ｋ2 ×２
４５×０．３１1/2 によるｋ2 ≒２．０５とを平均し、
ｋ2 ≒２．３３を得た。尚、上記Ａ1 点とＡ2 点及びＢ
1 点とＢ2 点の対応抽出の仕方自体については、概ね、
図７（ａ）と同図（ｂ）とのグラフの形状を参酌する
と、容易に求めることができる。
座標（Ｒ、Ｎ）におけるＡ1 点（１．１、３００）とＢ
1 点（１．４、２８０）とは、図７（ｂ）の座標（Ｖ、
f(V)）において、Ａ1 点はＡ2 点（０．１８、２７０）
に、Ｂ1 点はＢ2 点（０．３１、２４５）に対応する。
そこで式をｒ＝Ｒとして、Ａ1 点とＡ2 点とからの
１．１＝ｋ1 ×０．１８1/2 によるｋ1 ≒２．５９と、
Ｂ1 点とＢ2 点とからの１．４＝ｋ1 ×０．３１1/2 に
よるｋ1≒２．５１とを平均し、ｋ1 ≒２．５５を得
た。他方式をＰｒ＝Ｎとして、Ａ1 点とＡ2 点とから
の３００＝ｋ2 ×２７０×０．１８1/2 によるｋ2 ≒
２．６２と、Ｂ1 点とＢ2 点とからの２８０＝ｋ2 ×２
４５×０．３１1/2 によるｋ2 ≒２．０５とを平均し、
ｋ2 ≒２．３３を得た。尚、上記Ａ1 点とＡ2 点及びＢ
1 点とＢ2 点の対応抽出の仕方自体については、概ね、
図７（ａ）と同図（ｂ）とのグラフの形状を参酌する
と、容易に求めることができる。
【００２３】上記説明から分かるとおり、本発明での関
係式、自体は変更し難いが、その定数ｋ1 、ｋ2 は
極めて自由度の高い値である。即ち、上述のように、予
め試料を元に厳格に決定しておけば、「同一」検出する
ことができるようになる。尚、この定数ｋ1 、ｋ2 は、
金属粒子検出センサの仕様（主に絶縁フィルム２の厚
さ）によって必然的に決定されてしまう値であり、同一
仕様の金属粒子検出センサに対しては、例えば仕様表に
記載しておけば、その後の使用（即ち、本発明の使用）
では、その値を使用するだけである。これに対し、「推
定」の場合は、極端には、ｋ1 ＝ｋ2 ＝１としてもよ
い。即ち、「推定」にしろ、「同一」にしろ、その定数
ｋ1 、ｋ2 の設定は、検出要求精度如何によって適宜決
定することができる値である。
係式、自体は変更し難いが、その定数ｋ1 、ｋ2 は
極めて自由度の高い値である。即ち、上述のように、予
め試料を元に厳格に決定しておけば、「同一」検出する
ことができるようになる。尚、この定数ｋ1 、ｋ2 は、
金属粒子検出センサの仕様（主に絶縁フィルム２の厚
さ）によって必然的に決定されてしまう値であり、同一
仕様の金属粒子検出センサに対しては、例えば仕様表に
記載しておけば、その後の使用（即ち、本発明の使用）
では、その値を使用するだけである。これに対し、「推
定」の場合は、極端には、ｋ1 ＝ｋ2 ＝１としてもよ
い。即ち、「推定」にしろ、「同一」にしろ、その定数
ｋ1 、ｋ2 の設定は、検出要求精度如何によって適宜決
定することができる値である。
【００２４】付記すれば、定数ｋ1 は、少なくとも、上
述したとおり、金属粒子検出センサを考慮して設定する
必要があり、他方定数ｋ2 は、少なくとも、上記同様に
金属粒子検出センサのほか、検出時間をも考慮して設定
する必要がある。この検出時間とは、上記実験では５０
分間であったが、仮に１分間とすれば、単純計算によれ
ば、ｋ2 ＝２．３３×５０＝１１６．５とすべきだから
である。もっとも、この場合、定数ｋ1 にも前記検出時
間と言う要素を加味してもよいが、かかる加減の有無
は、上記及び請求項記載の定数ｋ1 、ｋ2 の設定条件に
おける「少なくとも」に含まれるものとする。
述したとおり、金属粒子検出センサを考慮して設定する
必要があり、他方定数ｋ2 は、少なくとも、上記同様に
金属粒子検出センサのほか、検出時間をも考慮して設定
する必要がある。この検出時間とは、上記実験では５０
分間であったが、仮に１分間とすれば、単純計算によれ
ば、ｋ2 ＝２．３３×５０＝１１６．５とすべきだから
である。もっとも、この場合、定数ｋ1 にも前記検出時
間と言う要素を加味してもよいが、かかる加減の有無
は、上記及び請求項記載の定数ｋ1 、ｋ2 の設定条件に
おける「少なくとも」に含まれるものとする。
【００２５】即ち、「少なくとも」のこの用語は、「相
似（＝推定）」」であれ、「同一（検出）」であれ、そ
れなりの値を設定できるのであるから、上記金属粒子検
出センサ及び／又は検出時間のほか、自在に他の因子を
も加味できる趣旨を含んだものとする。
似（＝推定）」」であれ、「同一（検出）」であれ、そ
れなりの値を設定できるのであるから、上記金属粒子検
出センサ及び／又は検出時間のほか、自在に他の因子を
も加味できる趣旨を含んだものとする。
【００２６】上記は、主として、請求項２及び請求項３
についての説明であるが、請求項１の金属粒子検出セン
サについて、述べておく必要がある。本発明者等は先に
特願平２ー８３１５０号で本請求項１の構成に類似する
金属粒子検出センサを提案している。ところが、この金
属粒子検出センサにおける櫛形電極は、蒸着法等によっ
て成形された薄膜パターン電極であり、本発明の上記請
求項２、３の説明（即ち、本発明の目的、作用及び効
果）を得ることができないのが実情である。即ち、本請
求項１の金属粒子検出センサは、上記先に提案の金属粒
子検出センサと同じ櫛形電極ではあっても、金属フィル
ム１と絶縁フィルム２との積層断面が櫛形であって、飽
くまでフィルム間はコンデンサの機能を有していると考
えられる。従って、当該請求項１の金属粒子検出センサ
の構成自体には特徴があり、この請求項１の金属粒子検
出センサを使用して初めて、請求項２の金属粒子検出方
法及び請求項３の金属粒子検出装置において、上述の説
明（即ち、目的、作用及び効果）を達成できると考えら
れる。
についての説明であるが、請求項１の金属粒子検出セン
サについて、述べておく必要がある。本発明者等は先に
特願平２ー８３１５０号で本請求項１の構成に類似する
金属粒子検出センサを提案している。ところが、この金
属粒子検出センサにおける櫛形電極は、蒸着法等によっ
て成形された薄膜パターン電極であり、本発明の上記請
求項２、３の説明（即ち、本発明の目的、作用及び効
果）を得ることができないのが実情である。即ち、本請
求項１の金属粒子検出センサは、上記先に提案の金属粒
子検出センサと同じ櫛形電極ではあっても、金属フィル
ム１と絶縁フィルム２との積層断面が櫛形であって、飽
くまでフィルム間はコンデンサの機能を有していると考
えられる。従って、当該請求項１の金属粒子検出センサ
の構成自体には特徴があり、この請求項１の金属粒子検
出センサを使用して初めて、請求項２の金属粒子検出方
法及び請求項３の金属粒子検出装置において、上述の説
明（即ち、目的、作用及び効果）を達成できると考えら
れる。
【００２７】
【実施例】以下本発明の好ましい実施例を、図１〜図６
を参照し、説明する。図１は、請求項１の金属粒子検出
センサの構成図である。同図において、１は厚さ１０μ
ｍの金属フィルム、２は厚さ１０μｍの絶縁フィルムで
あり、これら１、２が交互に積層されている。そして、
該積層断面は櫛形電極となるように、２本のリード線３
ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひとつおき
に並列接続してある。そして、図示しないが、該積層端
面が金属粒子存在流体内に浸漬するように構成してあ
る。
を参照し、説明する。図１は、請求項１の金属粒子検出
センサの構成図である。同図において、１は厚さ１０μ
ｍの金属フィルム、２は厚さ１０μｍの絶縁フィルムで
あり、これら１、２が交互に積層されている。そして、
該積層断面は櫛形電極となるように、２本のリード線３
ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１をひとつおき
に並列接続してある。そして、図示しないが、該積層端
面が金属粒子存在流体内に浸漬するように構成してあ
る。
【００２８】図２は、上記金属粒子検出センサのインラ
イン用としての第１具体例であって、同図（ａ）に示す
ように、ねじ込みプラグ形金属粒子検出センサ６として
構成した。同図において、金属粒子検出センサは、絶縁
体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、２だけを
露出し、かつ、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出され
ている。この一部拡大断面図を同図（ｂ）に、当該ねじ
込みプラグ形金属粒子検出センサ６のインラインへの使
用例を同図（ｃ）に示す。同図（ｃ）において、ねじ込
みプラグ形金属粒子検出センサ６は、流体４が流れるチ
ュウブ７の外壁にに螺合され、その金属粒子検出センサ
１０（以下、本請求項１の金属粒子検出センサのみにつ
いては、これを符号１０で示す）の櫛形積層面は流体上
流側に面するようになっている。
イン用としての第１具体例であって、同図（ａ）に示す
ように、ねじ込みプラグ形金属粒子検出センサ６として
構成した。同図において、金属粒子検出センサは、絶縁
体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、２だけを
露出し、かつ、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出され
ている。この一部拡大断面図を同図（ｂ）に、当該ねじ
込みプラグ形金属粒子検出センサ６のインラインへの使
用例を同図（ｃ）に示す。同図（ｃ）において、ねじ込
みプラグ形金属粒子検出センサ６は、流体４が流れるチ
ュウブ７の外壁にに螺合され、その金属粒子検出センサ
１０（以下、本請求項１の金属粒子検出センサのみにつ
いては、これを符号１０で示す）の櫛形積層面は流体上
流側に面するようになっている。
【００２９】図３は、上記金属粒子検出センサ１０のイ
ンライン用としての第２具体例であって、同図（ａ）、
（ｂ）に示すように、ボルト取付け形金属粒子検出セン
サ８である。同図において、金属粒子検出センサ１０
は、絶縁体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、
２だけを露出し、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出さ
れている。この一部拡大断面図を同図（ｃ）に示す。
ンライン用としての第２具体例であって、同図（ａ）、
（ｂ）に示すように、ボルト取付け形金属粒子検出セン
サ８である。同図において、金属粒子検出センサ１０
は、絶縁体５に包埋されてその櫛形状なる積層断面１、
２だけを露出し、リード線３ａ、３ｂが外部に取り出さ
れている。この一部拡大断面図を同図（ｃ）に示す。
【００３０】尚、上記金属粒子検出センサ１０の実施例
での金属フィルム１と絶縁フィルム２との厚さは、各々
１０μｍとしたが、実際粒子径Ｒによって自在に変更す
るのがよい。即ち、検出可能粒子径ｒを制約するのは、
基本的には、絶縁フィルム２の厚さであり、金属フィル
ム１の厚さではないからである。例えば、絶縁フィルム
２の厚さを１０μｍとしたまま、金属フィルム１の厚さ
を１０〜３０μｍまで各種変更して実験してみたが、こ
の範中での成績（即ち、検出粒子径ｒと検出粒子数ｆ
(V) との検出分布と、実際分布との関係）における有違
差はほとんど認められなかった。
での金属フィルム１と絶縁フィルム２との厚さは、各々
１０μｍとしたが、実際粒子径Ｒによって自在に変更す
るのがよい。即ち、検出可能粒子径ｒを制約するのは、
基本的には、絶縁フィルム２の厚さであり、金属フィル
ム１の厚さではないからである。例えば、絶縁フィルム
２の厚さを１０μｍとしたまま、金属フィルム１の厚さ
を１０〜３０μｍまで各種変更して実験してみたが、こ
の範中での成績（即ち、検出粒子径ｒと検出粒子数ｆ
(V) との検出分布と、実際分布との関係）における有違
差はほとんど認められなかった。
【００３１】次に請求項２の金属粒子検出方法の実施例
を、図４を参照し、説明する。同図は、本金属粒子検出
方法のフローチャートであり、上記金属粒子検出センサ
１０により、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ(01)) 、
次に各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にその
パルス数ｆ(v) を積算し（ステップ(02)) 、次に同一電
圧Ｖ毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×
ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(03)、但
しｋ1 とｋ2 とは所定定数）、最後に、各結果ｒ毎の結
果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒子径Ｒ
毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみなしてい
る（ステップ(04)) 。
を、図４を参照し、説明する。同図は、本金属粒子検出
方法のフローチャートであり、上記金属粒子検出センサ
１０により、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ(01)) 、
次に各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にその
パルス数ｆ(v) を積算し（ステップ(02)) 、次に同一電
圧Ｖ毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×
ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(03)、但
しｋ1 とｋ2 とは所定定数）、最後に、各結果ｒ毎の結
果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒子径Ｒ
毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみなしてい
る（ステップ(04)) 。
【００３２】尚、上記金属粒子検出方法における関係式
、、その定数ｋ1 、ｋ2 、「少なくとも」の意味及
び「相似又は同一」の意味等については、作用の欄で説
明済みのため、ここでは省略する。
、、その定数ｋ1 、ｋ2 、「少なくとも」の意味及
び「相似又は同一」の意味等については、作用の欄で説
明済みのため、ここでは省略する。
【００３３】次に請求項３の金属粒子検出装置の実施例
を、図５及び図６を参照し、説明する。図５は、金属粒
子検出センサ１０と、処理器２０と、出力器３０との接
続ブロックである。より詳しくは、処理器２０は、検出
パルスを波高値別に集計し、これをマイコン２１で処理
して出力器３０でグラフィック表示をさせるため、検出
パルスのピーク値を保持するピークホールド回路２２、
検出時間特定のためのトリガー回路２３とをＡ／Ｄコン
バータ２４を介して前記マイコン２１（ＰＣ９８０１）
に取り込んでいる。尚、金属粒子検出センサ１０の櫛形
電極には５０Ｖの電圧を印加している。ところで本実施
例での前記Ａ／Ｄコンバータ２４は最大変換電圧が１０
Ｖであるため、前記金属粒子検出センサ１０で発生する
パルス電圧を１／５とするようにしている。尚、抵抗は
単なる電流制限用である。
を、図５及び図６を参照し、説明する。図５は、金属粒
子検出センサ１０と、処理器２０と、出力器３０との接
続ブロックである。より詳しくは、処理器２０は、検出
パルスを波高値別に集計し、これをマイコン２１で処理
して出力器３０でグラフィック表示をさせるため、検出
パルスのピーク値を保持するピークホールド回路２２、
検出時間特定のためのトリガー回路２３とをＡ／Ｄコン
バータ２４を介して前記マイコン２１（ＰＣ９８０１）
に取り込んでいる。尚、金属粒子検出センサ１０の櫛形
電極には５０Ｖの電圧を印加している。ところで本実施
例での前記Ａ／Ｄコンバータ２４は最大変換電圧が１０
Ｖであるため、前記金属粒子検出センサ１０で発生する
パルス電圧を１／５とするようにしている。尚、抵抗は
単なる電流制限用である。
【００３４】以上のように構成とすると、該金属粒子検
出センサ１０からパルス波が観察される。そこで、処理
器２０は、図６のフローチャートに示す処理を実施す
る。即ち、少なくとも金属粒子検出センサ１０に合わせ
て予め設定した定数ｋ1 と、少なくとも金属粒子検出セ
ンサ１０と検出時間とに合わせて予め設定した定数ｋ2
とを記憶し（ステップ(11)) 、次に金属粒子検出センサ
１０からパルス電圧Ｖを入力し（ステップ(12)) 、次に
各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパル
ス数ｆ(v) を積算し（ステップ(13)) 、次に同一電圧Ｖ
毎に、式（ｋ1×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×ｆ(v)
×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(14)) 、最後
に、各結果ｒ毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒
子の各実際粒子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一
であるとみなす旨を出力器３０により出力させる（ステ
ップ(15)) 。このようにすると、図 7（ｃ）に示す結果
を得ることができる。
出センサ１０からパルス波が観察される。そこで、処理
器２０は、図６のフローチャートに示す処理を実施す
る。即ち、少なくとも金属粒子検出センサ１０に合わせ
て予め設定した定数ｋ1 と、少なくとも金属粒子検出セ
ンサ１０と検出時間とに合わせて予め設定した定数ｋ2
とを記憶し（ステップ(11)) 、次に金属粒子検出センサ
１０からパルス電圧Ｖを入力し（ステップ(12)) 、次に
各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパル
ス数ｆ(v) を積算し（ステップ(13)) 、次に同一電圧Ｖ
毎に、式（ｋ1×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×ｆ(v)
×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(14)) 、最後
に、各結果ｒ毎の結果Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒
子の各実際粒子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎとは相似又は同一
であるとみなす旨を出力器３０により出力させる（ステ
ップ(15)) 。このようにすると、図 7（ｃ）に示す結果
を得ることができる。
【００３５】尚、上記金属粒子検出装置における処理器
２０は、上記請求項２の金属粒子検出方法に準じた手順
であるため、その関係式、、その定数ｋ1 、ｋ2 、
「少なくとも」の意味及び「相似又は同一」の意味等に
ついても、上記金属粒子検出方法と同様、作用の欄の説
明を参照されたい。
２０は、上記請求項２の金属粒子検出方法に準じた手順
であるため、その関係式、、その定数ｋ1 、ｋ2 、
「少なくとも」の意味及び「相似又は同一」の意味等に
ついても、上記金属粒子検出方法と同様、作用の欄の説
明を参照されたい。
【００３６】また上記出力器３０とは、漠然とした表現
の用語であるが、これは、例えば単なるデータ出力器だ
けを指す場合（例えば、単なる数字の羅列出力）、また
例えばこれに画像処理器を伴った画像表示器をセットし
たもの（図７（ｃ）の画像出力はこの例による）等、適
宜選択することができる。
の用語であるが、これは、例えば単なるデータ出力器だ
けを指す場合（例えば、単なる数字の羅列出力）、また
例えばこれに画像処理器を伴った画像表示器をセットし
たもの（図７（ｃ）の画像出力はこの例による）等、適
宜選択することができる。
【００３７】また、本金属粒子検出装置自体をインライ
ンで使用する際は、出力器３０は何もグラフィック表示
器である必要はないのであるから、また、処理器２０
は、例えば所定のみなし粒径ｒにおける検出粒子数Ｐｎ
に対してならば閾値ｒ0 を、又は粒子数ｐｎのみに対し
てならば閾値Ｐn0を予め処理器２０内に記憶させてお
き、入力された検出パルスを逐次演算して、ｒ＝ｒ0 か
つＰｎ＝Ｐn0となったとき又はＰｎ＝Ｐn0となったと
き、新たな出力器なる警報器３０で警報を発するだけで
よい。即ち、インライン式の金属粒子検出装置では、何
も上記実施例のＰＣ９８０１のような大袈裟なマイコン
を使用する必要はない。
ンで使用する際は、出力器３０は何もグラフィック表示
器である必要はないのであるから、また、処理器２０
は、例えば所定のみなし粒径ｒにおける検出粒子数Ｐｎ
に対してならば閾値ｒ0 を、又は粒子数ｐｎのみに対し
てならば閾値Ｐn0を予め処理器２０内に記憶させてお
き、入力された検出パルスを逐次演算して、ｒ＝ｒ0 か
つＰｎ＝Ｐn0となったとき又はＰｎ＝Ｐn0となったと
き、新たな出力器なる警報器３０で警報を発するだけで
よい。即ち、インライン式の金属粒子検出装置では、何
も上記実施例のＰＣ９８０１のような大袈裟なマイコン
を使用する必要はない。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる金
属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒子検出
装置によれば、流体中の金属粒子を、簡単な構成で、イ
ンラインで、しかも粒子径毎にその粒子数量までも高精
度に推定又は検出することができるようになる。
属粒子検出センサ、金属粒子検出方法及び金属粒子検出
装置によれば、流体中の金属粒子を、簡単な構成で、イ
ンラインで、しかも粒子径毎にその粒子数量までも高精
度に推定又は検出することができるようになる。
【図１】本発明の金属粒子検出センサの一実施例を示す
図である。
図である。
【図２】本発明の金属粒子検出センサの使用例を示す図
であり、（ａ）は全体外観図、（ｂ）は部分拡大断面
図、（ｃ）は装着例を示す図である。
であり、（ａ）は全体外観図、（ｂ）は部分拡大断面
図、（ｃ）は装着例を示す図である。
【図３】本発明の金属粒子検出センサの他の使用例を示
す図であり、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は部分拡大断面図である。
す図であり、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）は部分拡大断面図である。
【図４】本発明の金属粒子検出方法の一実施例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図５】本発明の金属粒子検出装置の一実施例の全体ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図６】本発明の金属粒子検出装置の一実施例を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図７】本発明の目的、作用及び効果を説明する実験成
績図であって、（ａ）は実際粒子径毎の実際粒子数の分
布グラフ、（ｂ）は金属粒子検出センサによって得られ
る検出パルス電圧毎の検出パルス数の分布グラフ、
（ｃ）は金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置によっ
て得られるみなし粒子径毎のみなし粒子数の分布グラフ
である。
績図であって、（ａ）は実際粒子径毎の実際粒子数の分
布グラフ、（ｂ）は金属粒子検出センサによって得られ
る検出パルス電圧毎の検出パルス数の分布グラフ、
（ｃ）は金属粒子検出方法及び金属粒子検出装置によっ
て得られるみなし粒子径毎のみなし粒子数の分布グラフ
である。
１ 金属フィルム ２ 絶縁フィルム ３ａ リード線 ３ｂ リード線 ４ 金属粒子存在流体 １０ 金属粒子検出センサ ２０ 処理器 ３０ 表示器 Ｖ パルス電圧 ｆ(v) パルス数 ｋ1 定数 ｋ2 定数 ｒ みなし粒子径 Ｒ 実際粒子径 Ｐｎ みなし粒子数 Ｎ 実際粒子数
フロントページの続き (72)発明者 山崎 国博 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 金属フィルム１と絶縁フィルム２とを交
互に積層し、該積層断面が櫛形電極となるように、２本
のリード線３ａ、３ｂの各々に対し、各金属フィルム１
をひとつおきに並列接続し、該積層端面を金属粒子存在
流体４内に浸漬させてなる構成を特徴とする金属粒子検
出センサ。 - 【請求項２】 請求項１記載の金属粒子検出センサによ
り、パルス電圧Ｖを検出し（ステップ(01)) 、次に、各
検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ毎にそのパルス
数ｆ(v) を積算し（ステップ(02)) 、次に、同一電圧Ｖ
毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、式（ｋ2 ×ｆ
(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステップ(03)、但し
ｋ1 とｋ2 とは所定定数）、最後に、各結果ｒ毎の結果
Ｐｎと、被検出流体４内の金属粒子の各実際粒子径Ｒ毎
の実際粒子数Ｎとは相似又は同一であるとみなす（ステ
ップ(04))ことを特徴とする金属粒子検出方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の金属粒子検出センサ１０
と、この金属粒子検出センサ１０に接続された処理器２
０と、この処理器２０に接続された出力器３０とを備
え、処理器２０は、少なくとも金属粒子検出センサ１０
に合わせて予め設定した定数ｋ1 と、少なくとも金属粒
子検出センサ１０と検出時間とに合わせて予め設定した
定数ｋ2 とを記憶し（ステップ(11)) 、次に、金属粒子
検出センサ１０からパルス電圧Ｖを入力し（ステップ(1
2)) 、次に、各検出パルス電圧Ｖについて、同一電圧Ｖ
毎にそのパルス数ｆ(v) を積算し（ステップ(13)) 、次
に、同一電圧Ｖ毎に、式（ｋ1 ×Ｖ1/2 ＝ｒ）と、
式（ｋ2 ×ｆ(v) ×Ｖ1/2 ＝Ｐｎ）とを演算し（ステッ
プ(14)) 、最後に、各結果ｒ毎の結果Ｐｎと、被検出流
体４内の金属粒子の各実際粒子径Ｒ毎の実際粒子数Ｎと
は相似又は同一であるとみなす旨を出力器３０により出
力させる（ステップ(15)) 構成を特徴とする金属粒子検
出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31841291A JP3123794B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 油中金属粒子の検出装置及び導電性粒子検出方法 |
| PCT/JP1992/001436 WO1993009425A1 (fr) | 1991-11-06 | 1992-11-06 | Detecteur de grains metalliques, procede et dispositif de detection de grains metalliques |
| US08/232,235 US5596266A (en) | 1991-11-06 | 1992-11-06 | Metal particle detecting sensor, metal particle detecting method and metal particle detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31841291A JP3123794B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 油中金属粒子の検出装置及び導電性粒子検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05128332A true JPH05128332A (ja) | 1993-05-25 |
| JP3123794B2 JP3123794B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=18098864
Family Applications (1)
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