JPH0512882U - ふつ素樹脂製複合管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ふっ素樹脂製チューブのチューブ壁を浸透す
る高純度流体により電線を腐蝕させることのないふっ素
樹脂製複合管を提供する。 【構成】 ふっ素樹脂製複合管は、ふっ素樹脂製チュー
ブ（１）を被覆する合成樹脂製チューブ（２）の外周
に、その長手方向に延在する幅細の薄肉部（３）を介し
て合成樹脂製の電線チューブ（５）を一体的に連接し、
この電線チューブ（５）の中に電線を配線したことを特
徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はふっ素樹脂製複合管に係り、特にエッチング液や洗浄液等として使用 される硝酸、塩酸、超純水あるいはホスフィン等のガスを輸送するための高純度 流体用のふっ素樹脂製複合管に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、半導体製造分野等では粉塵等を嫌う純度の高い液体、または劇薬に含 まれるような液体等、種々の液体が使用されている。これら液体あるいはガスは 輸送管にて輸送されるが、流体の漏洩があると危険なのでその安全対策には充分 な注意が払われている。

【０００３】 図４は従来の安全対策の一例を示している。符号２１は内部を高純度の液体あ るいはガスが流れるふっ素樹脂製チューブを示し、このチューブ２１は継手２２ で接続されている。 ふっ素樹脂製チューブ２１は全長に亘って透明な塩化ビニル管２３で囲われ、 チューブ２１の接続部である継手２２の部分は透明な塩化ビニル箱２５で囲われ ている。この塩化ビニル箱２５には液漏れ検知用のセンサ２６が取付けられ、液 体あるいはガスの漏洩があった場合にはそれを検知できるようになっている。

【０００４】 ところで、この種のふっ素樹脂製チューブ２１には、その全長が数１００ｍに も及ぶものがあるため、上述の塩化ビニル管２３の施工あるいは液漏れセンサ２ ６の配線施工などの作業が極めて面倒になるという問題がある。 この問題を解消するため、図５に示すように、ふっ素樹脂製チューブ２１の外 側に合成樹脂製チューブ２７を被覆するとともに、ふっ素樹脂製チューブ２１と 合成樹脂製チューブ２７との間に複数本の電線２８を埋設し、この電線２８とふ っ素樹脂製チューブ２１とを一体化し、液漏れセンサ２６の配線施工などの作業 を簡単にできるようにした管が提案されている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述の電線２８とふっ素樹脂製チューブ２１とを一体化した管 では、ふっ素樹脂製チューブ２１の肉厚が薄い場合に、ふっ素樹脂製チューブ２ １のチューブ壁を高純度流体が浸透して電線２８を腐蝕させる恐れがある。 そこで、本考案の目的は、上述した従来の技術が有する問題点を解消し、ふっ 素樹脂製チューブのチューブ壁を浸透する高純度流体により電線を腐蝕させるこ とのないふっ素樹脂製複合管を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は、ふっ素樹脂製チューブを被覆する合成 樹脂製チューブの外周に、その長手方向に延在する幅細の薄肉部を介して合成樹 脂製の電線チューブを一体的に連接し、この電線チューブの中に電線を配線した ことを特徴とし、上記薄肉部の幅は上記電線チューブの直径よりも小寸法である ことを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

本考案によれば、ふっ素樹脂製チューブを被覆する合成樹脂製チューブの外周 に、その長手方向に延在する幅細の薄肉部を介して合成樹脂製の電線チューブを 一体的に連接し、この電線チューブの中に電線を配線したので、仮に高純度の流 体がふっ素樹脂製チューブを浸透しても、この流体は薄肉部の部分で止まり、電 線チューブ側に浸透することがなく、よって電線が腐蝕されることはない。

【０００８】

【実施例】

以下本考案によるふっ素樹脂製複合管の一実施例を図１乃至図３を参照して説 明する。 図１において、符号１は内部を高純度の液体あるいはガスが流れるふっ素樹脂 製チューブを示している。このふっ素樹脂製チューブ１の外側には合成樹脂製チ ューブ２が被覆されている。また、この合成樹脂製チューブ２の外周の一側縁に は、チューブ２の長手方向の全長に亙って延在する合成樹脂製の薄肉部３を介し て小径の合成樹脂製の電線チューブ５が一体的に連接されている。この電線チュ ーブ５の中には複数本の樹脂被覆電線６，６…６が配線されている。

【０００９】 ふっ素樹脂製チューブ１の素材としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴ ＦＥ）、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアルキルビニルとの共重合体（ ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとの共重合体（ ＥＴＦＥ）、ポリビニリデンフロライド（ＰＶｄＦ）ポリクロロトリフルオロエ チレン（ＰＣＴＦＥ）ポリビニルフルオライト（ＰＶＦ）、テトラフルオロエチ レンとヘキサフルオロプロピレンとパーフルオロビニルエーテルとの共重合体（ ＥＰＥ）などが好適である。

【００１０】 ふっ素樹脂製チューブ１の成形上で助剤、可塑剤などを混入している場合には 、チューブ１にこれらが残留しないように留意すること、また成形上においては 特にチューブ１の寸法精度に留意することが必要である。上記素材のうち耐薬品 性や耐熱性に優れるものは、ＰＦＡ、ＦＥＰであり、これら素材を使用すること が好ましい。 合成樹脂製チューブ２および合成樹脂製の電線チューブ５の素材としては、ポ リエチレン、ポリプロピレン、ポリアクリルニトリルポリビニルクロライドなど が好適である。なお、万一火災などが発生した際でも、ハロゲンガスなど有害な ガスが発生しないような素材、例えば、上記ポリエチレンなどを使用することが 好ましい。

【００１１】 合成樹脂製チューブ２および合成樹脂製の電線チューブ５はその内部を流れる 液体やガスの識別ができるよう着色しても良い。着色はチューブ２，５の素材に 顔料を混入するか、塗料を塗布するかして行う。 合成樹脂製チューブ２および電線チューブ５は導電性を有するものにすること ができる。これにより、上記ふっ素樹脂製チューブ１で発生する静電気が帯電し ないようにし、火災などの危険性を防止することができる。導電性を有するもの にするには、チューブ２，５の素材にカーボン、金属粉などを混入するか、導電 性塗料を塗布するかして行う。

【００１２】 長手方向に連続する薄肉部３は上記のチューブ２，５と同一の素材で形成され ている。薄肉部３の幅ｗは、図２に示すように、ふっ素樹脂製チューブ１のチュ ーブ壁を浸透する高純度の流体が電線６を束ねた電線チューブ５の側に浸透しな いような、また強度的にはチューブ２，５の間が切断されないような、適度な細 い幅ｗに形成されている。 これによれば、もし高純度の流体がふっ素樹脂製チューブ１のチューブ壁を透 過しても、電線チューブ５の側に浸透して、電線６が腐蝕されることはなく、ま た薄肉部３の幅ｗが細いので、ナイフ等による切断加工が容易になる等種々の効 果を得ることができる。

【００１３】 通常、電線チューブ５は合成樹脂製チューブ２より小径であるから、上記薄肉 部３の幅ｗは電線チューブ５の直径より小寸法、約１〜３mm程度に形成すること が好ましい。もし反対に、電線チューブ５が合成樹脂製チューブ２より大径であ れば、上記薄肉部３の幅ｗは合成樹脂製チューブ２の直径より小寸法にすること が好ましい。

【００１４】 また、薄肉部３の高さｌ（図２）が大きい程、流体の透過量が少なくなるが、 その反面で大きい程、施工上で取扱い難くなるので、その高さｌは適度の大きさ に設定することが好ましい。 樹脂被覆電線６としては、線状または帯状の電線上にふっ素樹脂あるいはポリ エチレンなどを被覆して成形する。これは光ファイバーであってもよい。この樹 脂被覆電線６は液漏れセンサ用、バルブの開閉用、各種計器類の作動用あるいは 加熱用などの電気的接続線として使用される。

【００１５】 図３は上述したように成形された管を継手７を介して接続した状態を示してい る。 本実施例によれば、ふっ素樹脂製チューブ１を合成樹脂製チューブ２により被 覆して管を成形しているので、管自体からの液漏れが起きることはない。 したがって液漏れが起きるとすれば、継手７の部位からだけであり、この継手 ７の部位にポリエチレン製などの液漏れ防止用の継手ボックス８を設ければ良く 、管の施工は従来のものに比べて極めて簡単なものになる。 また漏れた液体 を検知するためのセンサ９を上記継手ボックス８に設けたとしても、管には電線 ６が一体化されているので、電気的接続は簡単に行うことができる。

【００１６】 なお、電線６は液漏れセンサ９以外の電気的接続線としても使用されることは 言うまでもない。 さらに本実施例によれば、管は二重に成形されているので、管としての耐圧は 従来のものに比べて大きなものになり、その上、小型にできるので継手７の部位 以外は数本あるいは数十本を束ねることも可能になり、配管設置面積を従来のも のに比べて大幅に減少することができる。

【００１７】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案によれば、ふっ素樹脂製チューブを被 覆する合成樹脂製チューブの外周にその長手方向に延在する幅細の薄肉部を介し て合成樹脂製の電線チューブを一体的に連接し、この電線チューブの中に電線を 配線したので、高純度の流体がふっ素樹脂製チューブを浸透しても、この流体は 薄肉部の部分で止まり、電線チューブ側に浸透することがなく、したがって電線 の腐蝕は確実に防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案によるふっ素樹脂製複合管の一実施例を
示す斜視図

【図２】同ふっ素樹脂製複合管の一実施例を示す横断面
図

【図３】本考案による管を接続した状態を示す一部縦断
面図

【図４】従来の管を接続した状態を示す一部縦断面図

【図５】従来の管を示す横断面図

【符号の説明】

１ ふっ素樹脂製チューブ ２ 合成樹脂製チューブ ３ 薄肉部、 ５ 電線チューブ ６ 樹脂被覆電線 ７ 継手 ８ 継手ボックス ９ 液漏れセンサ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ふっ素樹脂製チューブを被覆する合成樹脂
   製チューブの外周に、その長手方向に延在する幅細の薄
   肉部を介して合成樹脂製の電線チューブを一体的に連接
   し、この電線チューブの中に電線を配線したことを特徴
   とするふっ素樹脂製複合管。
2. 【請求項２】上記薄肉部の幅は上記電線チューブの直径
   よりも小寸法であることを特徴とする請求項１記載のふ
   っ素樹脂製複合管。