JPH0513396Y2

JPH0513396Y2 -

Info

Publication number: JPH0513396Y2
Application number: JP198585U
Authority: JP
Priority date: 1985-01-11
Filing date: 1985-01-11
Publication date: 1993-04-08
Anticipated expiration: 2000-01-11
Also published as: JPS61118636U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］この考案は、半導体を製造するために用いる反
応管の吊り下げ装置に関するものである。

［従来の技術］半導体製造装置としては、たとえば、縦形炉に
材料を入れた反応管を吊り下げ、回転させつつ反
応管内に半導体を合成製造するものがある。

［考案が解決しようとする問題点］しかしながら、反応管を吊り下げつつ回転させ
ると、吊り下げ用のワイヤを反応管の中心に位置
させにくく、回転振れを生じやすい問題点があつ
た。

この考案の目的は、以上の点に鑑み、反応管の
心出しの容易な反応管吊り下げ装置を提供するこ
とである。

［問題点を解決するための手段］この考案は、反応管の上部に設けられたアーム
と、このアームにかけられたワイヤと、このワイ
ヤがその中心孔に挿通され反応管上部の内径部と
接するガイド板とを備えるようにした反応管吊り
下げ装置である。

［実施例］第１図は、この考案の一実施例を示す正面説明
図、第２図は、一部断面側面説明図である。

図において、１は、加熱炉、２は、昇降装置で
ある。加熱炉１は、適当な箱体１１内に炉芯管１
２を上下方向に設け、その周囲に加熱ヒータ１
３、底部に断熱材１４を設け、また、炉芯管１２
の上方の開口１５から反応管３が吊り下げ挿入さ
れ、炉心管１２内は図示しない制御手段により所
定の温度とされる。昇降装置２は、反応管３を吊
り下げるワイヤ等よりなる吊り下げ具４を支持装
置２１に支持させ、駆動軸２１０を自動または手
動ハンドル２１１で駆動して支持装置２１を上下
に昇降させるとともに、適当な回転手段により吊
り下げ具４を介して反応管３を回転させる構成と
なつている。

また、昇降装置２には、上下方向に２本の指示
軸５１，５２、この指示軸５１，５２を上下にス
ライドするスライド板５３，５４、下部に反応管
３の落下防止板５５等よりなる保持装置が設けら
れている。

スライド板５３，５４は、第３図で示すよう
に、反応管３が上下に十分挿通できる開口５３
０，５４０、吊り下げ具４のワイヤ等が水平方向
に挿通できるスリツト５３１，５３２が形成され
ている。なお、第４図で示すように、ガイド板５
３，５４の代わりに、指示軸５０を中心に水平方
向に回転可能な保持アーム５６の把持部５６０に
反応管３を挟持して炉芯管１２の開口１５上に位
置させるようにしてもよい。この把持部５６０
は、固定アーム５６１、回動アーム５６２を有
し、回動アーム５６２は軸５６３を中心にクリツ
ク５６４により、開、閉、および図示のように保
持管３の確定位置に一時保持させれる。なお、底
部には、軸５６３を中心に回動する定板５６５が
設けられ、落下防止を図つている。また、２個の
固定アーム５６１の中間に１個の回動アーム５６
２を設けるようにしてもよい。

また、落下防止板５５は、たとえば、第５図で
示すように、反応管３が上下に挿通できる開口を
有する下板５５１と、水平方向にスライドする反
応管３の底部を位置決めする穴を有する上板５５
２よりなるものである。なお、第６図で示すよう
に、上板として左右に開く開閉板５５３，５５４
を用いてもよい。

第７図は、反応管３と吊り下げ具４との接続構
成を示し、反応管３のアーム３０に、１本のワイ
ヤ４０を２つ折りにした折り曲げ部をかけ、円盤
状の第１のガイド板４１の中心孔４１０に挿通す
る。この第１のガイド板４１の中央円柱部４１１
には、反応管３の内径部と接する比較的やわらか
い材質の第２のガイド板４２が挿通され、止具４
３により抜け止めされている。円柱部４１１とガ
イド板４２、止具４３と接する部分はネジ山とす
るとよい。このように、反応管３の心出しを行い
反応管３の回転振れを少くしている。

さらにワイヤ４０は、案内管４４に案内され、
第８図で示すように、その上部は、案内管４４の
上部のネジ部４４１の上下方向に２箇所形成され
た切溝に引き込まれ、その外部を固定具４５でネ
ジ込んでワイヤ４０は固定される。固定具４５
は、さらに、ベアリング４６、バネ４７、リング
４８を含むチヤツク部４９により支持されるよう
になつている。

つまり、反応管３を、加熱炉１に挿入する前
に、吊り下げ具４により、第７図、第８図で示す
ような状態に吊り下げ、落下防止板５５上にその
底部をのせ、第３図で示すガイド板５３，５４の
開口５３０，５４０に通す。次いで、反応管３を
少しもち上げ、回転させ、振れ状態を確認する。
そして、落下防止板５５の第５図、第６図の上板
５５２，５５３，５５４をスライド、回転させて
開口を作り、反応管３を加熱炉１の炉芯管１２の
所定位置に降下させる。この反応管３の加熱炉１
内の接地位置として最適位置があり、この位置決
めは、スケール２２および支持装置２１、スライ
ド板５３，５４のインデツクス２３，２４，２５
により確認することができる。

そして、反応管３を回転させつつ加熱炉１内で
徐々に下降させ、半導体を合成製造し、製造終了
後は、反応管３を上昇させ、取り出すことができ
る。

［考案の効果］以上述べたように、この考案は、ガイド板を介
して反応管を吊り下げ心出しを行つているので、
反応管を回転させても回転振れは少く、より安全
で高精度のものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図、第５図、第
６図、第７図、第８図は、この考案の一実施例を
示す構成説明図である。１……加熱炉、２……昇降装置、３……反応
管、４……吊り下げ具、５１〜５５……保持装
置、３０……アーム、４１，４２……ガイド板。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

反応管の上部に設けられたアームと、このアー
ムにかけられたワイヤと、このワイヤがその中心
孔に挿通され反応管上部の内径部と接するガイド
板と、前記ワイヤを垂直に案内する案内管を含み
昇降または回転される吊り下げ具とを備えた反応
管吊り下げ装置。