JPH05134103A - マイクロレンズ・アレイ，そのスタンパおよびそれらの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 有効開口率が高く，かつ実用的に作製可能な
マイクロレンズ・アレイおよびその製造方法を提供す
る。 【構成】 マイクロレンズ・アレイ10は，基板11と，基
板11上に形成された複数の方形枠12と，各枠12内に形成
された上面からみて方形のレンズ素子13とから構成され
る。レンズ作用を行なわない部分は枠12の部分のみであ
るから，枠12を細くすることにより有効開口率を高める
ことができる。基板11上に枠12を形成し，各枠12内にレ
ンズ母材を形成する。レンズ母材を溶融することによ
り，レンズ母材の表面張力によってその上面が上方に湾
曲し，表面張力の等方性により湾曲面の曲率の等方性が
保たれる。非点収差の殆どないマイクロレンズ・アレイ
を比較的容易に作製可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】この発明はマイクロレンズ・アレイ，その
製造のためのスタンパ，およびそれらの製造方法に関す
る。

【０００２】

【背景技術】マイクロレンズ・アレイはファイン・オプ
ティクス，その他の分野において今後，重要な光学素子
としての需要が高まることが予想される。たとえば，液
晶ＴＶ（テレビジョン）プロジェクタにおいて利用可能
であり，マイクロレンズ・アレイの各マイクロレンズは
液晶パネルの各画素に対応して配置される。この場合，
マイクロレンズ・アレイは数万から数十万個のマイクロ
レンズを含むことが要求される。

【０００３】マイクロレンズ・アレイの作製方法の一つ
に電子ビーム描画法がある。しかしながら，直径100 μ
ｍ程度のマイクロレンズを数万から数十万個描画すると
すれば，きわめて長い時間がかかり（たとえば数十日か
ら数百日）実用的ではない。

【０００４】また，円形のマイクロレンズを二次元的に
配置した場合，たとえこれらの円形マイクロレンズを接
した状態で配列しても円形マイクロレンズ相互間にレン
ズ作用を行なわない領域が生じるのは不可避である。円
形マイクロレンズを配列したマイクロレンズ・アレイで
は有効開口率80％が限度とされている。

【０００５】

【発明の概要】この発明は，実用的なマイクロレンズ・
アレイおよびマイクロレンズ・アレイを作製するための
スタンパの製造方法を提供するものである。

【０００６】この発明はまた，有効開口率の高いマイク
ロレンズ・アレイ，およびそれを作製するためのスタン
パを提供するものである。

【０００７】第１の発明によるマイクロレンズ・アレイ
の製造方法は，基板上に二次元的に配列された複数の枠
を形成し，各枠内に枠に接しない程度の大きさの可溶性
をもつレンズ母材をそれぞれ形成し，各レンズ母材を各
枠内で溶融することによりマイクロレンズの凸面を成形
し，上記溶融したレンズ母材を硬化させるものである。

【０００８】各枠内に形成されたレンズ母材を溶融させ
ると，溶融したレンズ母材の広がる範囲は枠によって制
限され，レンズ形状が枠によって定まる。また，溶融レ
ンズ母材の表面は表面張力によって上方に突出した曲面
となる。枠によって制限された範囲内に収められている
溶融レンズ母材に生じる表面張力は等方性をもつから，
枠が方形等いかなる形状であっても上記曲面の曲率は等
方性をもつ。これにより，非点収差の殆ど無いまたは少
ないマイクロレンズが実現される。

【０００９】基板と枠は同一材料を用いて一体につくる
こともできるし，異なる材料を用いて作製してもよい。

【００１０】枠およびレンズ母材は成形法，フォトレジ
スト等のマスクを用いた露光，現像等の通常のＩＣ製造
工程で用いられる技術を利用して作製することができる
ので，比較的容易にマイクロレンズ・アレイを作製する
ことができる。

【００１１】第１の発明によるマイクロレンズ・アレイ
の製造のためのスタンパの製造方法は，上記の製造方法
により作製されたマイクロレンズ・アレイを原盤とし
て，スタンパ材料をその上に堆積させ，原盤を除去する
ことにスタンパを作製するものである。

【００１２】このスタンパを用いてマイクロレンズ・ア
レイを製造することができる。このマイクロレンズ・ア
レイの製造方法は，上記の製造方法により作製されたス
タンパ内に溶融樹脂を注入し，樹脂を硬化させたのちス
タンパを除去することによりマイクロレンズ・アレイを
作製するものである。

【００１３】このマイクロレンズ・アレイの製造方法は
特に，マイクロレンズ・アレイの量産に適している。

【００１４】この発明はさらに上記の製造方法により作
製されたマイクロレンズ・アレイ，およびその製造のた
めのスタンパを提供している。

【００１５】第１の発明によるマイクロレンズ・アレイ
は，基板と，基板上に形成され，二次元的に配列された
複数の枠と，各枠内に枠の内面と接した状態で形成され
た複数のレンズ素子とからなるものである。

【００１６】第１の発明によるマイクロレンズ・アレイ
を量産するために適したスタンパは，二次元的に配列さ
れた複数の枠に相当する凹部と，各枠内に枠の内壁と接
した状態で形成される複数のレンズ素子に相当する凹部
とを備えているものである。

【００１７】複数の枠の形状は任意であるが，方形（正
方形または長方形）が好ましい。

【００１８】第１の発明によるマイクロレンズ・アレイ
においては，レンズ作用を行なわない部分は枠が形成さ
れた領域のみであり，枠の幅をかなり狭くすることが可
能であるから有効開口率を高めることが可能である。有
効開口率はマイクロレンズ・アレイの全面積に対する枠
以外のレンズの占める面積で表わされるので，枠の幅に
依存するが，一例として95〜98％程度まで高めることが
可能である。

【００１９】この発明はまた，単一のマイクロレンズの
製造方法を提供している。

【００２０】この発明によるマイクロレンズの製造方法
は，基板上に囲み壁を形成し，この囲み壁内に，囲み壁
の内壁面に接しない程度の大きさの可溶性をもつレンズ
母材を形成し，このレンズ母材を囲み壁内で溶融するこ
とによりマイクロレンズの凸面を形成し，溶融したレン
ズ母材を硬化させるものである。

【００２１】この発明によるマイクロレンズの製造方法
もまた比較的容易に実現可能であり，しかも溶融レンズ
母材の表面に働く表面張力の等方性により非点収差の殆
どないないしは少ないマイクロレンズが実現される。

【００２２】この発明によるマイクロレンズの製造のた
めのスタンパの製造方法は，上記の製造方法により作製
されたマイクロレンズを原盤として，スタンパ材料をそ
の上に堆積させ，原盤を除去することによりスタンパを
作製するものである。

【００２３】このスタンパを用いてマイクロレンズを量
産することが可能である。すなわち，この発明によるマ
イクロレンズの量産のために適した製造方法は，上記の
製造方法により作製されたスタンパ内に溶融樹脂を注入
し，樹脂を硬化させたのちスタンパを除去することによ
りマイクロレンズを作製するものである。

【００２４】この発明は上記の製造方法により作製され
たマイクロレンズおよびスタンパを提供している。

【００２５】この発明によるマイクロレンズは，基板
と，この基板上に形成された囲み壁と，この囲み壁内に
その内面に接した状態で形成されたレンズ素子とからな
るものである。

【００２６】上記マイクロレンズを量産するのに適した
この発明によるスタンパは，囲み壁に相当する凹部と，
囲み壁内にその内面を接した状態で形成されるレンズ素
子に相当する凹部とを備えているものである。

【００２７】第２の発明によるマイクロレンズ・アレイ
の製造方法は，方形のマイクロレンズが多数個配列され
てなるマイクロレンズ・アレイを製造する方法であり，
可溶性をもつ方形のレンズ母材を複数個相互に間隔をあ
けて基板上に形成し，レンズ母材を溶融することにより
その上面に丸みをもたせ，溶融レンズ母材を硬化させる
ものである。

【００２８】レンズ母材は溶融されると表面張力により
その表面が丸みを帯びる。複数のレンズ母材は相互に間
隔をあけて配置されているから，溶融されても表面張力
によりその位置にとどまり，隣接するものと融合しあう
ことはない。溶融レンズ母材の表面が丸みを帯びたとこ
ろで硬化させることにより，マイクロレンズが形成され
る。

【００２９】このようにして第２の発明によると，比較
的簡単な方法によりマイクロレンズ・アレイを作製する
ことができる。第２の発明によって作製されたマイクロ
レンズ・アレイにおける各マイクロレンズの製造過程に
おいて溶融したレンズ母材に働く表面張力が等方性をも
つことは期待できないので，レンズ性能は若干劣るが，
第１の発明によるマイクロレンズ・アレイの製造方法に
比べて枠を形成する必要がないので，その分製造工程が
簡素となる。

【００３０】この発明は，方形マイクロレンズ・アレイ
を量産するのに適したスタンパの製造方法を提供してい
る。この発明によるスタンパの製造方法は，上記製造方
法により作製された方形マイクロレンズ・アレイを原盤
として，スタンパ材料をその上に堆積させ，原盤を除去
することによりスタンパを作製するものである。

【００３１】この発明はさらに上記スタンパを用いたマ
イクロレンズ・アレイの製造方法を提供している。この
発明によるマイクロレンズ・アレイの製造方法は，上記
の製造方法により作製されたスタンパ内に溶融樹脂を注
入し，樹脂を硬化させたのちスタンパを除去することに
より方形マイクロレンズ・アレイを作製するものであ
る。この製造方法は方形マイクロレンズ・アレイを量産
するのに適している。

【００３２】この発明はさらに上記の製造方法により作
製された方形マイクロレンズ・アレイおよびそれを製造
するためのスタンパを提供している。

【００３３】第２の発明による方形マイクロレンズ・ア
レイは，基板と，基板上に形成され，基板と接する面が
方形であり，かつ相互に間隔をあけて二次元的に配列さ
れた複数のマイクロレンズとからなるものである。

【００３４】第２の発明によるマイクロレンズ・アレイ
は方形マイクロレンズが相互に間隔をあけて配列されて
なるものである。マイクロレンズは方形であるから円形
のもの等と比べて，それらの間の間隙が占める面積を小
さくすることが可能であり，これによって有効開口率を
高めることができる。

【００３５】

【実施例の説明】

(1) 第１実施例 図１は第１実施例によるマイクロレンズ・アレイの一部
を示している。

【００３６】マイクロレンズ・アレイ10は，基板11と，
この基板11上に形成されかつ二次元的に配列された複数
の枠12と，各枠12内に枠12の内面と接した状態で形成さ
れた複数のマイクロレンズ素子13とから構成されてい
る。これらの基板11，枠12およびマイクロレンズ素子13
はいずれも透明な材料により形成されている。

【００３７】複数の枠12は縦，横にのびかつ相互に直角
に交叉する壁により形成されている。枠12はこの実施例
では平面からみて長方形であるが，正方形でも，三角
形，六角形等任意の形とすることができる。好ましく
は，基板11の縁の部分を除いて，枠12とマイクロレンズ
素子13のいずれもが設けられていない空白部分が生じな
いように枠12が形成される。枠12はできるだけ幅が狭
く，基板11上の占有面積を小さくする。

【００３８】枠12とその枠12内に設けられたマイクロレ
ンズ素子13の縦，横の断面を図２(A) および(B) に示
す。枠12の縦および横の長さが異なるにもかかわらず，
マイクロレンズ素子13の凸曲面の曲率は等方性をもって
いる。すなわち，マイクロレンズ素子13の断面形状は図
２(A) と(B) において同じである。このため，マイクロ
レンズ素子13の側面が枠12の内壁面と接する高さｄＡ，
ｄＢは枠の長さの長い断面における方が低く，長さの短
い断面における方が高くなっている。

【００３９】このマイクロレンズ・アレイ10の一例を挙
げると次の通りである。

【００４０】基板11はガラス基板，枠12およびマイクロ
レンズ素子13はフォトレジストまたは樹脂（たとえば紫
外線硬化樹脂），枠12の大きさは120 μｍ×94μｍ，枠
12の幅は２μｍ，マイクロレンズ素子13の個数は235,20
0 個（480 ×490 ）である。

【００４１】このマイクロレンズ・アレイ10の有効開口
率（枠およびマイクロレンズ素子の占める面積に対する
マイクロレンズ素子の占める面積の割合）は96％以上に
もなる。

【００４２】図３は上述したマイクロレンズ・アレイ10
の製造工程を示している。この図において，図１に示す
ものと同一物には同一符号に添字Ａが付されている。た
とえば基板11は基板11Ａと表記される。

【００４３】ガラス基板11Ａ上にネガティブ・タイプの
フォトレジスト12ａをコートする（図３(A) ）。

【００４４】形成すべき枠の形状の光透過部分をもつマ
スク15を用いて，フォトレジスト12ａを露光する（図３
(B) ）。

【００４５】露光後，現像することにより，基板11Ａ上
にフォトレジストよりなる枠12Ａが残る（図３(C) ）。
必要ならばディプＵＶ（deep ＵＶ：波長の短い紫外
光）を照射してフォトレジスト枠12Ａを硬化させておく
（ deep ＵＶ cure または deepＵＶ hardening）。

【００４６】基板11Ａ上に形成された枠12Ａを覆うよう
にポジティブ・タイプのフォトレジスト13ａをコートす
る（図３(D) ）。

【００４７】形成すべきレンズ母材の形状の遮光部分を
もつマスク16を用い，各遮光部分が枠12Ａの中央に位置
するように位置決めし，フォトレジスト13ａを露光する
（図３(E) ）。

【００４８】露光後，現像することにより，基板11Ａ上
の枠12Ａの中央部分にフォトレジストよりなるレンズ母
材13ｂが残る。さらにニアＵＶ（ near ＵＶ：波長の長
い紫外光）を照射して，フォトレジスト・レンズ母材13
ｂの融点を下げておく（図３(F) ）。

【００４９】最後に，全体をベーク（加熱）して，母材
13ｂを溶融する（図３(G) ）。母材13ｂは枠12Ａ内に広
がり，かつその上面は表面張力により上に突出した曲面
となる。これにより，枠12Ａ内にマイクロレンズ素子13
Ａができる。このまま常温に放置すればマイクロレンズ
素子13Ａは硬化する。

【００５０】このようにして，マイクロレンズ・アレイ
10Ａが完成する。

【００５１】図５は図３(F) に示す工程が終了した状態
を示すものである。枠12Ａ内に形成されるレンズ母材13
ｂは円柱状であっても，角柱状であっても，他の任意の
形状でもよい。好ましくはレンズ母材13ｂは枠12Ａに接
しない。

【００５２】図６は図３(G) に示す工程が終了すること
により形成されたマイクロレンズ13Ａと枠12Ａを示して
いる。レンズ母材13ｂは加熱により溶融され，枠12Ａ内
に広がり，その周辺部分は枠12Ａに接する。溶融レンズ
母材13ｂの広がりは枠12Ａにより制限されるので，その
表面張力は等方性をもち，形成されるレンズ曲面の曲率
も等方性をもつようになる。すなわち，図２(A) および
(B) を参照して説明したように，縦および横の断面形状
が同形となる。このようにして，非点収差の殆どないな
いしは少ない集光性にすぐれたマイクロレンズが実現さ
れる。

【００５３】上記において，枠12Ａと基板11Ａとはあら
かじめ一体的に形成してもよい。たとえば，図３(C) の
工程の終了後，枠12Ａをもつ基板11Ａを用いて，後述す
る電鋳法等により枠12Ａと同形の凹部をもつニッケル・
スタンパを形成する。このニッケル・スタンパと基板と
の間に樹脂を注入し，樹脂を硬化させたのち，スタンパ
を剥離すれば，基板上に樹脂一体成形された枠を得るこ
とができる。基板と枠との両方を樹脂一体成形してもよ
い。

【００５４】さらに，枠12Ａおよびレンズ母材13ｂの両
方をポジティブ・タイプのフォトレジストを用いてつく
ることもできる。図３(A) の工程において，基板11Ａ上
にポジティブ・タイプのフォトレジストを塗布する。図
３(B) の工程において，成形すべき枠の形状に相当する
遮光部分をもつマスクを用い，フォトレジストを露光す
る。その後，現像すると，図３(C) に示すように，フォ
トレジストによる枠が基板11Ａ上に残る。このフォトレ
ジストによる枠にディープＵＶを照射し，フォトレジス
ト枠を硬化する。この硬化によってフォトレジスト枠は
図３(E) に示す露光工程における露光によって感光され
なくなる。以下の工程は図３(D) 〜(G)と同じである。

【００５５】フォトレジストに代えて，電子ビーム（Ｅ
Ｂ）レジストを用いることも可能である。この場合には
電子ビーム露光が行なわれる。

【００５６】上述のようにして作製されたマイクロレン
ズ・アレイ10Ａをそのまま利用することが可能である。
好ましくは，上述したマイクロレンズ・アレイ10Ａを原
盤としてスタンパを作製し，このスタンパを用いてマイ
クロレンズ・アレイを量産する。

【００５７】スタンパの作製およびスタンパを利用した
マイクロレンズ・アレイの作製の工程が図４に示されて
いる。

【００５８】マイクロレンズ・アレイ10Ａを原盤とし
て，電鋳法等によりニッケル等のスタンパ材料をこの原
盤10Ａ上に堆積し，ニッケル・スタンパ14を作製する
（図14(H) ）。スタンパ14と原盤10Ａとを分離する。ス
タンパ14は，枠12Ａに対応する第１の凹部とマイクロレ
ンズ素子13Ａに対応する第２の凹部とを有する形状をも
つ。

【００５９】このようにして得られたスタンパ14と別途
用意したガラス等よりなる基板11Ｂとの間に溶融樹脂を
充填し，スタンパ14と基板11Ｂとの間に適当な圧力を加
えた状態で樹脂を硬化させる。樹脂にはたとえば紫外線
硬化樹脂を用い，基板11Ｂ側から紫外線を照射すること
によりこの樹脂を硬化させることができる。スタンパ14
の上記第１の凹部の部分に枠12Ｂが，第２の凹部の部分
にマイクロレンズ素子13Ｂがそれぞれ樹脂によって成形
される（図４(I) ）。

【００６０】最後にスタンパ14を除去すれば，基板11Ｂ
上に多数の枠12Ｂと各枠12Ｂ内にマイクロレンズ素子13
Ｂとが形成されたマイクロレンズ・アレイ10Ｂが得られ
る（図４(J) ）。このマイクロレンズ・アレイ10Ｂと上
述のマイクロレンズ・アレイ10Ａは同形であり，いずれ
も利用可能である。

【００６１】スタンパ14を用いてマイクロレンズ・アレ
イ10Ｂを量産することが可能である。

【００６２】このようにして得られたマイクロレンズ・
アレイ10Ａと10Ｂが図１においては符号10として示され
ている訳である。

【００６３】上記実施例においては，一つの基板上に複
数の枠が形成され，各枠内にマイクロレンズ素子が形成
されている。一つの基板上に一つの枠（囲み壁）を成形
し，この枠内に一つのマイクロレンズ素子を形成するよ
うにしてもよい。このような単一のマイクロレンズまた
はその原盤の製造方法，および量産のためのスタンパの
製造方法，ならびにスタンパを用いたマイクロレンズの
製造方法には，図３および図４を用いて説明した方法が
そのまま適用可能である。

【００６４】(2) 第２実施例 図７は第２実施例による方形マイクロレンズ・アレイを
示している。この図において，図１に示すものと同一物
には同一符号を付す。

【００６５】図７に示す方形マイクロレンズ・アレイ20
は，図１に示すマイクロレンズ・アレイ10と比較する
と，複数の枠が存在しない点で異なっている。方形マイ
クロレンズ・アレイ20を構成する複数の方形マイクロレ
ンズ素子13は縦，横に規則正しく配列され，かつ相互間
にわずかの間隔があけられている。

【００６６】このような方形マイクロレンズまたはその
原盤は図３(D) 〜(E) に示す工程によって作製すること
ができる。上述したマイクロレンズ・アレイ10Ａの製造
工程と異なる点は基本的には枠を作製する工程が不要な
ことである。

【００６７】すなわち，基板11Ａ上にフォトレジスト13
ａをコートし，方形マイクロレンズ素子を形成すべき領
域を遮光するマスクを用い（ポジティブ・タイプのフォ
トレジストの場合），フォトレジスト13ａを露光し，そ
の後現像する。

【００６８】現像後得られる半製品が図８に示されてい
る。平面からみて方形のレンズ母材13ｂは相互にわずか
の間隙をあけて縦，横に規則正しく配列されている。必
要に応じてニアＵＶ照射によりレンズ母材13ｂの融点を
低下させたのち，ベーク（加熱）すると，レンズ母材13
ｂが溶融する。溶融したレンズ母材13ｂは表面張力によ
って上面が丸みを帯びる。この溶融レンズ母材13ｂは表
面張力によって流れ出すことはない。レンズ母材13ｂ間
に間隙があるので，隣接する溶融レンズ母材13ｂがくっ
つくこともない。この後，レンズ母材13ｂを硬化させる
ことにより，方形マイクロレンズ・アレイまたはその原
盤が得られる。

【００６９】この原盤を用いてスタンパを作製するこ
と，およびスタンパを用いて方形マイクロレンズ・アレ
イを量産することは，図４に示す工程と同じように実現
することができる。

【００７０】レンズ母材13ｂの作製工程において，第１
段階としてレンズ母材13ｂの台となるべき部分を形成
し，この台をディープＵＶ照射により硬化させ，その上
にレンズ母材13ｂを形成するようにすることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例によるマイクロレンズ・アレイの一
部を示す斜視図である。

【図２】(A) は図１のＡ−Ａ線にそう断面図，(B) は図
１のＢ−Ｂ線にそう断面図である。

【図３】(A) から(G) はマイクロレンズ・アレイまたは
その原盤の製造工程を示す断面図である。

【図４】(H) から(J) はマイクロレンズ・アレイの製造
のためのスタンパ，およびこのスタンパを用いて作製さ
れるマイクロレンズ・アレイの製造工程を示す斜視図で
ある。

【図５】枠内に形成されたレンズ母材を示す斜視図であ
る。

【図６】枠内に形成されたマイクロレンズ素子を示す斜
視図である。

【図７】第２実施例による方形マイクロレンズ・アレイ
の一部を示す斜視図である。

【図８】方形マイクロレンズ・アレイを作製するために
基板上に方形レンズ母材を作製した状態を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

10，10Ａ，10Ｂ マイクロレンズ・アレイ 11，11Ａ，11Ｂ 基板 12，12Ａ，12Ｂ 枠 13，13Ａ，13Ｂ マイクロレンズ素子 13ｂ レンズ母材 20 方形マイクロレンズ・アレイ

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に二次元的に配列された複数の枠
   を形成し，各枠内に枠に接しない程度の大きさの可溶性
   をもつレンズ母材をそれぞれ形成し，各レンズ母材を各
   枠内で溶融することによりマイクロレンズの凸面を成形
   し，上記溶融したレンズ母材を硬化させる，マイクロレ
   ンズ・アレイの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の製造方法により作製さ
   れたマイクロレンズ・アレイを原盤として，スタンパ材
   料をその上に堆積させ，原盤を除去することにスタンパ
   を作製する，スタンパの製造方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の製造方法により作製さ
   れたスタンパ内に溶融樹脂を注入し，樹脂を硬化させた
   のちスタンパを除去することによりマイクロレンズ・ア
   レイを作製する，マイクロレンズ・アレイの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１または３に記載の製造方法によ
   り作製されたマイクロレンズ・アレイ。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の製造方法により作製さ
   れたマイクロレンズを製造するためのスタンパ。
6. 【請求項６】 基板と，基板上に形成され，二次元的に
   配列された複数の枠と，各枠内に枠の内面と接した状態
   で形成された複数のレンズ素子と，からなるマイクロレ
   ンズ・アレイ。
7. 【請求項７】 二次元的に配列された複数の枠に相当す
   る凹部と，各枠内に枠の内壁と接した状態で形成される
   複数のレンズ素子に相当する凹部と，を備えたマイクロ
   レンズ・アレイを製造するためのスタンパ。
8. 【請求項８】 請求項６に記載のマイクロレンズ・アレ
   イを原盤とし，この原盤上にスタンパ材料を堆積させ，
   原盤を除去することによりスタンパを作製する，スタン
   パの製造方法。
9. 【請求項９】 請求項７に記載のスタンパを用い，この
   スタンパ内に溶融樹脂を注入し，樹脂を硬化させたのち
   スタンパを除去することによりマイクロレンズ・アレイ
   を作製する，マイクロレンズ・アレイの製造方法。
10. 【請求項１０】 基板上に囲み壁を形成し，この囲み壁
    内に，囲み壁の内壁面に接しない程度の大きさの可溶性
    をもつレンズ母材を形成し，このレンズ母材を囲み壁内
    で溶融することによりマイクロレンズの凸面を形成し，
    溶融したレンズ母材を硬化させる，マイクロレンズの製
    造方法。
11. 【請求項１１】 請求項10に記載の製造方法により作製
    されたマイクロレンズを原盤として，スタンパ材料をそ
    の上に堆積させ，原盤を除去することによりスタンパを
    作製する，スタンパの製造方法。
12. 【請求項１２】 請求項11に記載の製造方法により作製
    されたスタンパ内に溶融樹脂を注入し，樹脂を硬化させ
    たのちスタンパを除去することによりマイクロレンズを
    作製する，マイクロレンズの製造方法。
13. 【請求項１３】 請求項10または12に記載の製造方法に
    より作製されたマイクロレンズ。
14. 【請求項１４】 請求項11に記載の製造方法により作製
    されたマイクロレンズを製造するためのスタンパ。
15. 【請求項１５】 基板と，この基板上に形成された囲み
    壁と，この囲み壁内にその内面に接した状態で形成され
    たレンズ素子とからなるマイクロレンズ。
16. 【請求項１６】 囲み壁に相当する凹部と，囲み壁内に
    その内面と接した状態で形成されるレンズ素子に相当す
    る凹部とを備えたマイクロレンズを製造するためのスタ
    ンパ。
17. 【請求項１７】 可溶性をもつ方形のレンズ母材を複数
    個相互に間隔をあけて基板上に形成し，レンズ母材を溶
    融することによりその上面に丸みをもたせ，溶融レンズ
    母材を硬化させる，方形マイクロレンズ・アレイの製造
    方法。
18. 【請求項１８】 請求項17に記載の製造方法により作製
    された方形マイクロレンズ・アレイを原盤として，スタ
    ンパ材料をその上に堆積させ，原盤を除去することによ
    りスタンパを作製する，スタンパンの製造方法。
19. 【請求項１９】 請求項18に記載の製造方法により作製
    されたスタンパ内に溶融樹脂を注入し，樹脂を硬化させ
    たのちスタンパを除去することにより方形マイクロレン
    ズ・アレイを作製する，方形マイクロレンズ・アレイの
    製造方法。
20. 【請求項２０】 請求項17または19に記載の製造方法に
    より作製された方形マイクロレンズ。
21. 【請求項２１】 請求項18に記載の製造方法により作製
    された方形マイクロレンズを製造するためのスタンパ。
22. 【請求項２２】 基板と，基板上に形成され，基板と接
    する面が方形でありかつ相互に間隔をあけて二次元的に
    配列された複数のマイクロレンズからなるマイクロレン
    ズ・アレイ。