JPH0513507A - キヤリヤテープ規正装置 - Google Patents
キヤリヤテープ規正装置Info
- Publication number
- JPH0513507A JPH0513507A JP3166723A JP16672391A JPH0513507A JP H0513507 A JPH0513507 A JP H0513507A JP 3166723 A JP3166723 A JP 3166723A JP 16672391 A JP16672391 A JP 16672391A JP H0513507 A JPH0513507 A JP H0513507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier tape
- semiconductor element
- holding
- stage
- trainer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャリヤテープのリードと半導体素子の電極
とを接合する際、キャリヤテープを所定の位置に保持す
るためのキャリヤテープ規正装置を提供する。 【構成】 キャリヤテープ3に設けられたリードと半導
体素子2の電極とを接合する時に、半導体素子2の近傍
でキャリヤテープ3を吸着するための吸着溝6が形成さ
れたステージと、吸着溝6の外側にあってキャリヤテー
プ3を上方より押えるための押え治具7を有する。
とを接合する際、キャリヤテープを所定の位置に保持す
るためのキャリヤテープ規正装置を提供する。 【構成】 キャリヤテープ3に設けられたリードと半導
体素子2の電極とを接合する時に、半導体素子2の近傍
でキャリヤテープ3を吸着するための吸着溝6が形成さ
れたステージと、吸着溝6の外側にあってキャリヤテー
プ3を上方より押えるための押え治具7を有する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はキャリヤテープと半導体
素子の電極とを接合するときに使用するキャリヤテープ
の反りを修正するためのキャリヤテープ規正装置に関す
る。
素子の電極とを接合するときに使用するキャリヤテープ
の反りを修正するためのキャリヤテープ規正装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶パネルの普及が本格化し、キ
ャリヤテープを用いたテープオートメーテッドボンディ
ング方式(以下TAB方式と称する)が広く採用される
ようになってきた。
ャリヤテープを用いたテープオートメーテッドボンディ
ング方式(以下TAB方式と称する)が広く採用される
ようになってきた。
【0003】以下従来のTAB方式について説明する。
図2は従来のTAB方式に使用するボンダーの要部側面
図である。図2に示すように、ボンディングツール1が
半導体素子2を吸着し、キャリヤテープ3の上方より下
りてくる。キャリヤテープ3には半導体素子2の電極
(図示せず)に対応したリード(図示せず)が設けられ
ており、その電極とリードの先端とを位置合わせし、ボ
ンディングツール1で加圧して接合する。接合が終了す
ると、ボンディングツーツ1が上昇し、キャリヤテープ
3が巻取られる。ステージ4にはガイドピン5が設けら
れており、キャリヤテープ3に設けられたガイド孔(図
示せず)がガイドピン5にはまりリードの先端と半導体
素子2の電極との大体の位置合わせができるようになっ
ている。
図2は従来のTAB方式に使用するボンダーの要部側面
図である。図2に示すように、ボンディングツール1が
半導体素子2を吸着し、キャリヤテープ3の上方より下
りてくる。キャリヤテープ3には半導体素子2の電極
(図示せず)に対応したリード(図示せず)が設けられ
ており、その電極とリードの先端とを位置合わせし、ボ
ンディングツール1で加圧して接合する。接合が終了す
ると、ボンディングツーツ1が上昇し、キャリヤテープ
3が巻取られる。ステージ4にはガイドピン5が設けら
れており、キャリヤテープ3に設けられたガイド孔(図
示せず)がガイドピン5にはまりリードの先端と半導体
素子2の電極との大体の位置合わせができるようになっ
ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、キャリヤテープの巻取りの時キャリヤテ
ープがガイドピンを乗り越えたり、キャリヤテープに反
りが残っているために、位置決めしてもボンディングツ
ールで押える時に位置がずれるという課題を有してい
た。
来の構成では、キャリヤテープの巻取りの時キャリヤテ
ープがガイドピンを乗り越えたり、キャリヤテープに反
りが残っているために、位置決めしてもボンディングツ
ールで押える時に位置がずれるという課題を有してい
た。
【0005】本発明は上記の従来の課題を解決するもの
で、キャリヤテープのリードと半導体素子の電極とを接
合するに際し、キャリヤテープを所定の位置に保持する
ためのキャリヤテープ規正装置を提供することを目的と
する。
で、キャリヤテープのリードと半導体素子の電極とを接
合するに際し、キャリヤテープを所定の位置に保持する
ためのキャリヤテープ規正装置を提供することを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のキャリヤテープ規正装置は、キャリヤテープ
の半導体素子を搭載する領域近傍でキャリヤテープを吸
着するための吸着溝をステージに設け、この吸着溝の外
側にあってキャリヤテープを上方より押えるための押え
治具を設けた構成を有している。
に本発明のキャリヤテープ規正装置は、キャリヤテープ
の半導体素子を搭載する領域近傍でキャリヤテープを吸
着するための吸着溝をステージに設け、この吸着溝の外
側にあってキャリヤテープを上方より押えるための押え
治具を設けた構成を有している。
【0007】
【作用】この構成によって、接合時にキャリヤテープを
確実にステージに押し付けることができ、キャリヤテー
プを巻取るときにキャリヤテープがガイドピンを乗り越
えることがない。
確実にステージに押し付けることができ、キャリヤテー
プを巻取るときにキャリヤテープがガイドピンを乗り越
えることがない。
【0008】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。図1は本発明の一実施例におけるキ
ャリヤテープ規正装置の部分断面図である。なお図1に
おいて、図2に示す従来例と同一箇所には同一符号を付
して詳細説明を省略した。ただし、6は吸着溝、7はロ
ーラーである。
しながら説明する。図1は本発明の一実施例におけるキ
ャリヤテープ規正装置の部分断面図である。なお図1に
おいて、図2に示す従来例と同一箇所には同一符号を付
して詳細説明を省略した。ただし、6は吸着溝、7はロ
ーラーである。
【0009】以上のように構成されたキャリヤテープ規
正装置について、以下にその動作について説明する。
正装置について、以下にその動作について説明する。
【0010】まずボンディングツール1が半導体素子2
を吸着し、キャリヤテープ3の所定位置に下りてくる。
このときキャリヤテープ3は吸着溝6で吸着され反りが
矯正された状態でステージ4に押しつけられている。こ
の状態で精密な位置合わせを行い、キャリヤテープ3の
リードと半導体素子2の電極とを接合する。接合終了後
は、ボンディングツール1が上昇し、キャリヤテープ3
が巻取られるのであるが、この時ローラー7がキャリヤ
テープ3を押えながら巻取るため、ガイドピン5を乗り
越えることはない。
を吸着し、キャリヤテープ3の所定位置に下りてくる。
このときキャリヤテープ3は吸着溝6で吸着され反りが
矯正された状態でステージ4に押しつけられている。こ
の状態で精密な位置合わせを行い、キャリヤテープ3の
リードと半導体素子2の電極とを接合する。接合終了後
は、ボンディングツール1が上昇し、キャリヤテープ3
が巻取られるのであるが、この時ローラー7がキャリヤ
テープ3を押えながら巻取るため、ガイドピン5を乗り
越えることはない。
【0011】
【発明の効果】以上のように本発明は、キャリヤテープ
の半導体素子を搭載する領域近傍でキャリヤテープを吸
着するための吸着溝をステージに設け、この吸着溝の外
側にあってキャリヤテープを上方より押えるための押え
治具を設けることにより、TAB方式において高精度の
ボンディングができる優れたキャリヤテープ規正装置を
実現することができる。
の半導体素子を搭載する領域近傍でキャリヤテープを吸
着するための吸着溝をステージに設け、この吸着溝の外
側にあってキャリヤテープを上方より押えるための押え
治具を設けることにより、TAB方式において高精度の
ボンディングができる優れたキャリヤテープ規正装置を
実現することができる。
【図1】本発明の一実施例におけるキャリヤテープ規正
装置の部分断面図
装置の部分断面図
【図2】従来のTAB方式に使用するボンダーの要部側
面図
面図
2 半導体素子
3 キャリヤテープ
4 ステージ
6 吸着溝
7 ローラー(押え治具)
Claims (2)
- 【請求項1】 キャリヤテープに設けられたリードと半
導体素子の電極とを接合する時に前記半導体素子の近傍
でキャリヤテープを吸着するための吸着溝が形成された
ステージと、前記吸着溝の外側にあって前記キャリヤテ
ープを上方より押えるための押え治具とを有するキャリ
ヤテープ規正装置。 - 【請求項2】 押え治具が回転ローラーである請求項1
記載のキャリヤテープ規正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3166723A JPH0513507A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | キヤリヤテープ規正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3166723A JPH0513507A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | キヤリヤテープ規正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0513507A true JPH0513507A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=15836563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3166723A Pending JPH0513507A (ja) | 1991-07-08 | 1991-07-08 | キヤリヤテープ規正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0513507A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194314A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ボンディング装置及びボンディングツール |
| WO2025248914A1 (ja) * | 2024-05-31 | 2025-12-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 搭載装置 |
-
1991
- 1991-07-08 JP JP3166723A patent/JPH0513507A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007194314A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ボンディング装置及びボンディングツール |
| WO2025248914A1 (ja) * | 2024-05-31 | 2025-12-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 搭載装置 |
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