JPH05142109A - 多成分ガス検出装置 - Google Patents
多成分ガス検出装置Info
- Publication number
- JPH05142109A JPH05142109A JP33160691A JP33160691A JPH05142109A JP H05142109 A JPH05142109 A JP H05142109A JP 33160691 A JP33160691 A JP 33160691A JP 33160691 A JP33160691 A JP 33160691A JP H05142109 A JPH05142109 A JP H05142109A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- component gas
- line
- intake
- gas
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- Pending
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的はライン抵抗の少ない多成分ガ
ス検出装置を得るにある。 【構成】 夫々ガスセンサと流量制御弁を介挿した複数
の吸気ラインに共通のポンプにより吸気せしめると共
に、吸気の一部を上記ポンプの排気側より吸気側にフィ
ードバックせしめた多成分ガス検出装置。
ス検出装置を得るにある。 【構成】 夫々ガスセンサと流量制御弁を介挿した複数
の吸気ラインに共通のポンプにより吸気せしめると共
に、吸気の一部を上記ポンプの排気側より吸気側にフィ
ードバックせしめた多成分ガス検出装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多成分ガス検出装置、特
に多成分ガスを共通のポンプにより吸引して検出する多
成分ガス検出装置に関するものである。
に多成分ガスを共通のポンプにより吸引して検出する多
成分ガス検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のガス検出装置を示し、１は
ガスボンベ貯蔵庫やクリーンルーム等の被測定室、２は
例えば電気化学式のガスセンサ、３は検知ガス表示器、
４は流量制御弁、５はダイヤフラムポンプ等の振動ポン
プであって、ポンプ５によって被測定室１から吸引され
たガスはガスセンサ２によって検知され表示器３に表示
される。一般にこの種ガスセンサはこれを通るガスの流
量によってその出力が左右される傾向があるので流量制
御弁４によってその流量を一定値、例えば１リットル／
ｍｉｎに制限している。
ガスボンベ貯蔵庫やクリーンルーム等の被測定室、２は
例えば電気化学式のガスセンサ、３は検知ガス表示器、
４は流量制御弁、５はダイヤフラムポンプ等の振動ポン
プであって、ポンプ５によって被測定室１から吸引され
たガスはガスセンサ２によって検知され表示器３に表示
される。一般にこの種ガスセンサはこれを通るガスの流
量によってその出力が左右される傾向があるので流量制
御弁４によってその流量を一定値、例えば１リットル／
ｍｉｎに制限している。
【０００３】然しながら、被測定室１から数種類のガ
ス、例えばホスフィン、シラン、アルシン、ジボラン、
塩化水素等が発生している場合には図３に示すように５
個のガスセンサ２ａ〜２ｅと流量制御弁４ａ〜４ｅを５
個の夫々の吸気ラインに介挿して用い、これら各ライン
からのガスを共通の１個のポンプ５によって吸引するよ
うにしている。
ス、例えばホスフィン、シラン、アルシン、ジボラン、
塩化水素等が発生している場合には図３に示すように５
個のガスセンサ２ａ〜２ｅと流量制御弁４ａ〜４ｅを５
個の夫々の吸気ラインに介挿して用い、これら各ライン
からのガスを共通の１個のポンプ５によって吸引するよ
うにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら上記図３に
示すような従来の装置ではガスセンサ２ａ〜２ｅの各吸
気ラインを流れる流量を流量制御弁４ａ〜４ｅによって
個別に制御し、夫々一定値に調節する必要があるため、
その調節の都度各吸気ラインの通気抵抗が変わるように
なり、その合計負荷も従って大きな幅で変動するため通
常は例えば総吸気量である５リットル／ｍｉｎより若干
大きい６リットル／ｍｉｎの吸引能力があればよいポン
プ５として８リットル／ｍｉｎのような大きな容量のポ
ンプを用い、このポンプ５の吸入側に流量制御弁６を介
挿し、この流量制御弁６を絞ってポンプ５からの総吸引
量が５リットル／ｍｉｎとなるようにしている。このた
めラインの通気抵抗が増大し、流量制御弁６で絞った分
だけ大きな負荷でポンプを使用することになるのでポン
プ寿命が短く、電力消費も無駄になり、またそのメンテ
ナンスも難しい等の欠点があった。
示すような従来の装置ではガスセンサ２ａ〜２ｅの各吸
気ラインを流れる流量を流量制御弁４ａ〜４ｅによって
個別に制御し、夫々一定値に調節する必要があるため、
その調節の都度各吸気ラインの通気抵抗が変わるように
なり、その合計負荷も従って大きな幅で変動するため通
常は例えば総吸気量である５リットル／ｍｉｎより若干
大きい６リットル／ｍｉｎの吸引能力があればよいポン
プ５として８リットル／ｍｉｎのような大きな容量のポ
ンプを用い、このポンプ５の吸入側に流量制御弁６を介
挿し、この流量制御弁６を絞ってポンプ５からの総吸引
量が５リットル／ｍｉｎとなるようにしている。このた
めラインの通気抵抗が増大し、流量制御弁６で絞った分
だけ大きな負荷でポンプを使用することになるのでポン
プ寿命が短く、電力消費も無駄になり、またそのメンテ
ナンスも難しい等の欠点があった。
【０００５】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の多成分ガス検出
装置は被測定室に連通せしめた複数の吸気ラインと、こ
の各ラインに夫々介挿したガスセンサ及び流量制御弁
と、上記各ラインの排気側に共通に接続した排気ライン
と、この排気ラインに介挿した吸気用ポンプと、このポ
ンプの吸入側と排気側間を連通せしめるフィードバック
ラインとより成ることを特徴とする。
装置は被測定室に連通せしめた複数の吸気ラインと、こ
の各ラインに夫々介挿したガスセンサ及び流量制御弁
と、上記各ラインの排気側に共通に接続した排気ライン
と、この排気ラインに介挿した吸気用ポンプと、このポ
ンプの吸入側と排気側間を連通せしめるフィードバック
ラインとより成ることを特徴とする。
【０００７】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
る。
【０００８】本発明においては図１に示すようにポンプ
５の吸入側に流量制御弁６を介挿することなく、ポンプ
５の吐出側から吸入側に到るフィードバックライン７を
設け、このフィードバックライン７に絞り弁８を介挿
し、この絞り弁８を調節してフィードバックライン７を
介して例えばガスを３リットル／ｍｉｎだけポンプ５の
吐出側から吸入側にフィードバックせしめ、総吸入量を
５リットル／ｍｉｎとするようにする。
５の吸入側に流量制御弁６を介挿することなく、ポンプ
５の吐出側から吸入側に到るフィードバックライン７を
設け、このフィードバックライン７に絞り弁８を介挿
し、この絞り弁８を調節してフィードバックライン７を
介して例えばガスを３リットル／ｍｉｎだけポンプ５の
吐出側から吸入側にフィードバックせしめ、総吸入量を
５リットル／ｍｉｎとするようにする。
【０００９】
【発明の効果】本発明の多成分ガス検出装置は上記のよ
うな構成であるから流量制御弁６を用いない分だけライ
ンの通気抵抗が少なくなり、それだけポンプ負荷を小さ
くすることができ、またポンプの寿命が長くなると共
に、振動ポンプを用いている場合には流通路中の脈動も
少なくなりガスセンサへの振動影響を低減できるのみな
らず流量計の指示の誤差を少なくできる等大きな利益が
ある。
うな構成であるから流量制御弁６を用いない分だけライ
ンの通気抵抗が少なくなり、それだけポンプ負荷を小さ
くすることができ、またポンプの寿命が長くなると共
に、振動ポンプを用いている場合には流通路中の脈動も
少なくなりガスセンサへの振動影響を低減できるのみな
らず流量計の指示の誤差を少なくできる等大きな利益が
ある。
【図１】本発明の多成分ガス検出装置の説明図である。
【図２】従来のガス検出装置の説明図である。
【図３】従来の多成分ガス検出装置の説明図である。
１ 被測定室 ２ ガスセンサ ３ 検知ガス表示器 ４ 流量制御弁 ５ ポンプ ６ 流量制御弁 ７ フィードバックライン ８ 絞り弁
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定室に連通せしめた複数の吸気ライ
ンと、この各ラインに夫々介挿したガスセンサ及び流量
制御弁と、上記各ラインの排気側に共通に接続した排気
ラインと、この排気ラインに介挿した吸気用ポンプと、
このポンプの吸入側と排気側間を連通せしめるフィード
バックラインとより成ることを特徴とする多成分ガス検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33160691A JPH05142109A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 多成分ガス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33160691A JPH05142109A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 多成分ガス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142109A true JPH05142109A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18245539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33160691A Pending JPH05142109A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 多成分ガス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142109A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300743A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Shizuoka Prefecture | 複数のセンサを利用した化学物質検出装置 |
| JP2017515093A (ja) * | 2014-03-06 | 2017-06-08 | エクストラリス・グローバルＸｔｒａｌｉｓ Ｇｌｏｂａｌ | 多チャンネル型検出器 |
| WO2018101653A1 (ko) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 먼지 측정 장치 |
| CN112345598A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-09 | 中国电力科学研究院有限公司 | 用于输变电设备故障气体检测的微纳传感设备 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP33160691A patent/JPH05142109A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300743A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Shizuoka Prefecture | 複数のセンサを利用した化学物質検出装置 |
| JP2017515093A (ja) * | 2014-03-06 | 2017-06-08 | エクストラリス・グローバルＸｔｒａｌｉｓ Ｇｌｏｂａｌ | 多チャンネル型検出器 |
| US10495618B2 (en) | 2014-03-06 | 2019-12-03 | Xtralis Global | Multi-channel detector |
| TWI716345B (zh) * | 2014-03-06 | 2021-01-21 | 愛爾蘭商愛克斯崔里斯環球公司 | 多通道偵測器 |
| WO2018101653A1 (ko) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | 엘지전자 주식회사 | 먼지 측정 장치 |
| KR20180062628A (ko) * | 2016-12-01 | 2018-06-11 | 엘지전자 주식회사 | 먼지 측정 장치 |
| US11112343B2 (en) | 2016-12-01 | 2021-09-07 | Lg Electronics Inc. | Dust measurement apparatus |
| CN112345598A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-09 | 中国电力科学研究院有限公司 | 用于输变电设备故障气体检测的微纳传感设备 |
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