JPH0572067A - 圧力値設定方法 - Google Patents
圧力値設定方法Info
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- JPH0572067A JPH0572067A JP23063491A JP23063491A JPH0572067A JP H0572067 A JPH0572067 A JP H0572067A JP 23063491 A JP23063491 A JP 23063491A JP 23063491 A JP23063491 A JP 23063491A JP H0572067 A JPH0572067 A JP H0572067A
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- pressure
- flow rate
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- suction
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 22
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】フィルタの目詰まり、あるいは複数ある吸着用
パッドの夫々の流量が変動した際にあってもワークの吸
着の有無を検出するための圧力値を容易に設定する圧力
値設定方法を提供することを目的とする。 【構成】流体の第１の流量と、この第１の流量によって
得られる第１の真空圧力とから確定される流量真空圧力
特性から第１の吸着判別圧力値を決定し、前記流体の第
１の流量とは異なる第２の流量と、そのときの第２の真
空圧力とを確定し前記第１の吸着圧力の判別圧力値の第
１真空圧力に対する按分比に応じて第２の判別圧力値を
決定する。
パッドの夫々の流量が変動した際にあってもワークの吸
着の有無を検出するための圧力値を容易に設定する圧力
値設定方法を提供することを目的とする。 【構成】流体の第１の流量と、この第１の流量によって
得られる第１の真空圧力とから確定される流量真空圧力
特性から第１の吸着判別圧力値を決定し、前記流体の第
１の流量とは異なる第２の流量と、そのときの第２の真
空圧力とを確定し前記第１の吸着圧力の判別圧力値の第
１真空圧力に対する按分比に応じて第２の判別圧力値を
決定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力値設定方法に関
し、一層詳細には、例えば、吸着パッドを用いてワーク
の搬送等を行うとするとき、真空圧機器が経時変化等に
よってその性能を変化させた際、それに対応して吸着の
有無を決定するための設定圧力を容易に変更することが
可能な圧力値設定方法に関する。
し、一層詳細には、例えば、吸着パッドを用いてワーク
の搬送等を行うとするとき、真空圧機器が経時変化等に
よってその性能を変化させた際、それに対応して吸着の
有無を決定するための設定圧力を容易に変更することが
可能な圧力値設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、各種自動化の要請により、物
品の搬送、移動、取り出し等の作業を行う手段として真
空吸着方法が利用されている。この場合、エゼクタある
いは真空ポンプで吸着用パッドの内部を負圧にして所望
の作業を達成する。すなわち、吸着用パッドが物品を吸
着すると負圧状態が増すので、これを圧力センサで検出
して、吸着の有無を判断して次なる搬送等の動作を行
う。しかしながら、上記の方法では、真空供給源、流体
経路の特性の変化でワークを吸着しているにも係わらず
非吸着の信号を圧力センサが出力することがある。
品の搬送、移動、取り出し等の作業を行う手段として真
空吸着方法が利用されている。この場合、エゼクタある
いは真空ポンプで吸着用パッドの内部を負圧にして所望
の作業を達成する。すなわち、吸着用パッドが物品を吸
着すると負圧状態が増すので、これを圧力センサで検出
して、吸着の有無を判断して次なる搬送等の動作を行
う。しかしながら、上記の方法では、真空供給源、流体
経路の特性の変化でワークを吸着しているにも係わらず
非吸着の信号を圧力センサが出力することがある。
【０００３】上記のような欠点を除去すべく様々な工夫
が行われているが、ここでは代表的なものを図３および
図４を参照して説明する。
が行われているが、ここでは代表的なものを図３および
図４を参照して説明する。
【０００４】エゼクタあるいは真空ポンプである真空供
給源２から吸着用パッド４に連通する通路６上に圧力ス
イッチ８および流量計９を設け、前記吸着用パッド４の
吸着確認を行い、この確認信号をシーケンサ等の制御機
器に伝達する。吸着確認は、図４に示すように、圧力ス
イッチ８および流量計９の吸入流量−真空圧力特性図に
おいて、以下のように行われる。ここで、ＵおよびＷ
は、吸着時および非吸着時の吸入流量−真空圧力特性曲
線であり、吸着時と非吸着時の間に吸着確認用の設定値
を設ければ確実にワークを吸着したか否かの検出を行う
ことが可能である。
給源２から吸着用パッド４に連通する通路６上に圧力ス
イッチ８および流量計９を設け、前記吸着用パッド４の
吸着確認を行い、この確認信号をシーケンサ等の制御機
器に伝達する。吸着確認は、図４に示すように、圧力ス
イッチ８および流量計９の吸入流量−真空圧力特性図に
おいて、以下のように行われる。ここで、ＵおよびＷ
は、吸着時および非吸着時の吸入流量−真空圧力特性曲
線であり、吸着時と非吸着時の間に吸着確認用の設定値
を設ければ確実にワークを吸着したか否かの検出を行う
ことが可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実際
上、エゼクタまたは真空ポンプ、あるいはこれらに関連
して用いられているフィルタには、作業環境、経年変
化、フィルタの目詰まり等に起因する圧力変動が生じ
る。従って、圧力値ＰX と圧力値ＰY との間の吸着確認
用の設定値によっては前記の原因で圧力変動が生じる結
果、吸着用パッド４が確実にワークを吸着したか否かを
判別することが困難となる。
上、エゼクタまたは真空ポンプ、あるいはこれらに関連
して用いられているフィルタには、作業環境、経年変
化、フィルタの目詰まり等に起因する圧力変動が生じ
る。従って、圧力値ＰX と圧力値ＰY との間の吸着確認
用の設定値によっては前記の原因で圧力変動が生じる結
果、吸着用パッド４が確実にワークを吸着したか否かを
判別することが困難となる。
【０００６】しかも、エゼクタあるいは真空ポンプに複
数の吸着用パッド４が連通接続されているとき、一方の
吸着用パッドの吸着能力によって他方の吸着用パッドの
吸着能力に変動を生ずる。従って、一律に個々の吸着用
パッドに関連して吸着確認のための圧力の設定が困難と
なる。
数の吸着用パッド４が連通接続されているとき、一方の
吸着用パッドの吸着能力によって他方の吸着用パッドの
吸着能力に変動を生ずる。従って、一律に個々の吸着用
パッドに関連して吸着確認のための圧力の設定が困難と
なる。
【０００７】また、供給側圧力の変動、電気的制御下で
は電源の電動によっても同様の不都合が露呈する。
は電源の電動によっても同様の不都合が露呈する。
【０００８】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、圧力変動が生じたとき、予め設
定された圧力設定値に対して流体の流量が変化した場合
であっても、この圧力設定値に対して比例的に新たな圧
力設定を行い、これによって、流体の流量の変動があっ
た場合でも確実に吸着の有無を判断することが可能な圧
力値設定方法を提供することを目的とする。
なされたものであって、圧力変動が生じたとき、予め設
定された圧力設定値に対して流体の流量が変化した場合
であっても、この圧力設定値に対して比例的に新たな圧
力設定を行い、これによって、流体の流量の変動があっ
た場合でも確実に吸着の有無を判断することが可能な圧
力値設定方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、流体の第１の流量Ｑ1 と、該第１流量
Ｑ1 によって得られる第１の真空圧力Ｐ1 とから吸着状
態の有無を判断する第１の圧力値Ｖ1 を決定し、前記第
１圧力値Ｖ1 によって前記第１真空圧力Ｐ1 を按分して
ｃとｄの値を得、次いで、前記第１流量Ｑ1 が第２の流
量Ｑ2 に変化した際、この第２流量Ｑ2 によって得られ
る第２の真空圧力Ｐ2 を定め、さらに前記按分されたｃ
とｄの比に基づいて第２の圧力値Ｖ2 を決定することを
特徴とする
めに、本発明は、流体の第１の流量Ｑ1 と、該第１流量
Ｑ1 によって得られる第１の真空圧力Ｐ1 とから吸着状
態の有無を判断する第１の圧力値Ｖ1 を決定し、前記第
１圧力値Ｖ1 によって前記第１真空圧力Ｐ1 を按分して
ｃとｄの値を得、次いで、前記第１流量Ｑ1 が第２の流
量Ｑ2 に変化した際、この第２流量Ｑ2 によって得られ
る第２の真空圧力Ｐ2 を定め、さらに前記按分されたｃ
とｄの比に基づいて第２の圧力値Ｖ2 を決定することを
特徴とする
【００１０】
【作用】本発明に係る圧力値設定方法では、フィルタ等
の目詰まり、あるいは多数の吸着用パッドが連設されて
いる場合であっても、圧力変動に応じて個々の吸着用パ
ッドに対する吸着の有無を判別する圧力値の設定が容易
に行われる。
の目詰まり、あるいは多数の吸着用パッドが連設されて
いる場合であっても、圧力変動に応じて個々の吸着用パ
ッドに対する吸着の有無を判別する圧力値の設定が容易
に行われる。
【００１１】
【実施例】本発明に係る圧力値設定方法について、それ
に用いられる装置との関係で好適な実施例を挙げ、添付
の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
に用いられる装置との関係で好適な実施例を挙げ、添付
の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１２】図１において、参照符号１０はエゼクタを
示し、このエゼクタ１０には圧力流体としての圧縮空気
が導入される。エゼクタ１０には空気の圧縮性に影響さ
れず真空でも測定可能な質量流量計並びに疏水性エレメ
ントを用いたフィルタ１２が接続され、このフィルタ１
２は可変絞り１４を介して吸着用パッド１６に連通して
いる。可変絞り１４を挟んで上流側にはフィルタ１８と
このフィルタ１８を介して導入される真空圧力を検出す
るためのセンサ２０が設けられ、このセンサ２０の出力
はコントローラ２２に導入される。
示し、このエゼクタ１０には圧力流体としての圧縮空気
が導入される。エゼクタ１０には空気の圧縮性に影響さ
れず真空でも測定可能な質量流量計並びに疏水性エレメ
ントを用いたフィルタ１２が接続され、このフィルタ１
２は可変絞り１４を介して吸着用パッド１６に連通して
いる。可変絞り１４を挟んで上流側にはフィルタ１８と
このフィルタ１８を介して導入される真空圧力を検出す
るためのセンサ２０が設けられ、このセンサ２０の出力
はコントローラ２２に導入される。
【００１３】一方、可変絞り１４の下流側には前記フィ
ルタ１８と同様に、分岐した管路に別異のフィルタ２４
が接続され、このフィルタ２４はさらにセンサ２６に接
続されている。センサ２６は真空圧を検出するものであ
り、その出力は前記コントローラ２２に導入される。コ
ントローラ２２の出力は、例えば、表示器（図示せず）
等に出力される。この場合、フィルタ２４、センサ２６
は念の為に設けられた回路であり、コントローラ２２は
センサ２０、２６のいずれの信号を取り込んで吸着の有
無の判別に用いてもよい。
ルタ１８と同様に、分岐した管路に別異のフィルタ２４
が接続され、このフィルタ２４はさらにセンサ２６に接
続されている。センサ２６は真空圧を検出するものであ
り、その出力は前記コントローラ２２に導入される。コ
ントローラ２２の出力は、例えば、表示器（図示せず）
等に出力される。この場合、フィルタ２４、センサ２６
は念の為に設けられた回路であり、コントローラ２２は
センサ２０、２６のいずれの信号を取り込んで吸着の有
無の判別に用いてもよい。
【００１４】そこで、以上のような構成において、先
ず、真空圧力を所望の値Ｐ1 と定める。エゼクタ１０の
特性からこの真空圧力Ｐ1 を得るための吸入流量Ｑ1 が
決定される。そこで、吸着特性曲線Ｓ1 と非吸着特性曲
線Ｓ2 の間で第１の圧力値Ｖ1 が定められる。この第１
圧力値Ｖ1 によって第１真空圧力値Ｐ1 を按分するｃ並
びにｄの値が得られる。
ず、真空圧力を所望の値Ｐ1 と定める。エゼクタ１０の
特性からこの真空圧力Ｐ1 を得るための吸入流量Ｑ1 が
決定される。そこで、吸着特性曲線Ｓ1 と非吸着特性曲
線Ｓ2 の間で第１の圧力値Ｖ1 が定められる。この第１
圧力値Ｖ1 によって第１真空圧力値Ｐ1 を按分するｃ並
びにｄの値が得られる。
【００１５】次に、例えば、フィルタ１２が目詰まりを
生じたとする。第１圧力値Ｖ1 が変動しないとすると、
このとき、この目詰まりによって、空気流量が減ったに
も係わらず、この第１圧力値Ｖ1 で吸着用パッド１６が
ワークに対する吸着動作を行っているか否かが判断され
ることになる。従って、目詰まりの存在によっては、吸
着しているにも係わらず吸着していないが如き信号をコ
ントローラ２２に送ることになる。例えば、図２に示す
一点鎖線に特性が移った場合であっても第１圧力値Ｖ1
によって吸着の有無を判別しようとすると、実質的にマ
ークを吸着していても吸着していないという信号をセン
サ２０は出力する。これを避けるために、第２の圧力値
Ｖ2 が選択される。これも吸着特性曲線Ｓ1 と非吸着特
性曲線Ｓ 2 との間に存在するものであるが、その決定は
以下のように行われる。
生じたとする。第１圧力値Ｖ1 が変動しないとすると、
このとき、この目詰まりによって、空気流量が減ったに
も係わらず、この第１圧力値Ｖ1 で吸着用パッド１６が
ワークに対する吸着動作を行っているか否かが判断され
ることになる。従って、目詰まりの存在によっては、吸
着しているにも係わらず吸着していないが如き信号をコ
ントローラ２２に送ることになる。例えば、図２に示す
一点鎖線に特性が移った場合であっても第１圧力値Ｖ1
によって吸着の有無を判別しようとすると、実質的にマ
ークを吸着していても吸着していないという信号をセン
サ２０は出力する。これを避けるために、第２の圧力値
Ｖ2 が選択される。これも吸着特性曲線Ｓ1 と非吸着特
性曲線Ｓ 2 との間に存在するものであるが、その決定は
以下のように行われる。
【００１６】先ず、目詰まり等の事態に至ったときに、
第２の真空圧力Ｐ2が決定される。次に、この第２真空
圧力Ｐ2 を得るための第２の吸入流量Ｑ2 が定められ
る。そして、この第２真空圧力Ｐ2 と第２吸入流量Ｑ2
との特性上で、前記按分されたｃ並びにｄの比の値に対
応してａ並びにｂの値が定められる。換言すれば、 ｃ／ｄ＝ａ／ｂ を演算する。これはコントローラ２２内の図示しないＣ
ＰＵによって行われる。それによって、吸着特性曲線Ｓ
1 と非吸着特性曲線Ｓ2 の領域内で第２の圧力値Ｖ2 が
決定される。すなわち、フィルタの目詰まり等により流
量の変動があってもこのエゼクタ１０の特性に応じた特
性曲線で平行移動しただけで第２の圧力値を設定するこ
とができる。従って、ａ／ｄとｃ／ｄの比の値が同じで
あること、すなわち、同じ比の値に設定すれば、フィル
タ１２に目詰まりが惹起したとしても容易に圧力値を設
定変更することが可能となる。
第２の真空圧力Ｐ2が決定される。次に、この第２真空
圧力Ｐ2 を得るための第２の吸入流量Ｑ2 が定められ
る。そして、この第２真空圧力Ｐ2 と第２吸入流量Ｑ2
との特性上で、前記按分されたｃ並びにｄの比の値に対
応してａ並びにｂの値が定められる。換言すれば、 ｃ／ｄ＝ａ／ｂ を演算する。これはコントローラ２２内の図示しないＣ
ＰＵによって行われる。それによって、吸着特性曲線Ｓ
1 と非吸着特性曲線Ｓ2 の領域内で第２の圧力値Ｖ2 が
決定される。すなわち、フィルタの目詰まり等により流
量の変動があってもこのエゼクタ１０の特性に応じた特
性曲線で平行移動しただけで第２の圧力値を設定するこ
とができる。従って、ａ／ｄとｃ／ｄの比の値が同じで
あること、すなわち、同じ比の値に設定すれば、フィル
タ１２に目詰まりが惹起したとしても容易に圧力値を設
定変更することが可能となる。
【００１７】なお、本実施例では、流体の流量がＱ1 か
らＱ2 に変化した際の圧力設定値の変更を行う場合につ
いて説明したが、真空圧力Ｐが変動した際に応用可能で
あることは勿論である。
らＱ2 に変化した際の圧力設定値の変更を行う場合につ
いて説明したが、真空圧力Ｐが変動した際に応用可能で
あることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】本発明に係る圧力値設定方法によれば、
以上のように極めて簡単に圧力変動、例えば、フィルタ
の目詰まり等に対応することが可能である。従って、常
時、完全な吸着状態にあるか否かを自動的に検出するこ
とができるため、吸着不良に基づくワークの落下等の事
故から未然に回避することが可能となる。勿論、圧力変
動によるために、複数の吸着用パッドを一つのエゼクタ
あるいは真空ポンプ等に連結した場合であっても、同様
な効果が得られる。本発明は４方弁を用いたシリンダ搬
送システム等に好適に用いられる。
以上のように極めて簡単に圧力変動、例えば、フィルタ
の目詰まり等に対応することが可能である。従って、常
時、完全な吸着状態にあるか否かを自動的に検出するこ
とができるため、吸着不良に基づくワークの落下等の事
故から未然に回避することが可能となる。勿論、圧力変
動によるために、複数の吸着用パッドを一つのエゼクタ
あるいは真空ポンプ等に連結した場合であっても、同様
な効果が得られる。本発明は４方弁を用いたシリンダ搬
送システム等に好適に用いられる。
【図１】本発明に係る圧力値設定方法を実施するための
エゼクタとコントローラとの概略説明図である。
エゼクタとコントローラとの概略説明図である。
【図２】第１の圧力設定値から第２の圧力設定値へと圧
力値の設定変更を行う際の概略特性説明図である。
力値の設定変更を行う際の概略特性説明図である。
【図３】従来技術に係る吸着有無判別装置のブロック説
明図である。
明図である。
【図４】図３に示す装置における吸着判別のための圧力
値を決定する際の特性図である。
値を決定する際の特性図である。
１０…エゼクタ １２、１８、２４…フィルタ １４…可変絞り １６…吸着用パッド ２０、２６…センサ ２２…コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】流体の第１の流量Ｑ1 と、該第１流量Ｑ1
によって得られる第１の真空圧力Ｐ 1 とから吸着状態の
有無を判断する第１の圧力値Ｖ1 を決定し、 前記第１圧力値Ｖ1 によって前記第１真空圧力Ｐ1 を按
分してｃとｄの値を得、 次いで、前記第１流量Ｑ1 が第２の流量Ｑ2 に変化した
際、この第２流量Ｑ2 によって得られる第２の真空圧力
Ｐ2 を定め、 さらに前記按分されたｃとｄの比に基づいて第２の圧力
値Ｖ2 を決定することを特徴とする圧力値設定方法。 - 【請求項２】請求項１記載の方法において、第１圧力値
Ｖ1 と第２圧力値Ｖ2 とは吸着特性曲線Ｓ1 と非吸着特
性曲線Ｓ2の間で定められることを特徴とする圧力値設
定方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063491A JP3225063B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 圧力値設定方法 |
| PCT/JP1992/001148 WO1993004963A1 (fr) | 1991-09-09 | 1992-09-09 | Appareil pour assurer le serrage d'une ventouse et procede pour fixer le niveau de pression assurant le serrage de la ventouse |
| EP92919504A EP0603396B1 (en) | 1991-09-09 | 1992-09-09 | Vacuum-chuck ascertaining apparatus and vacuum-chuck ascertaining pressure level setting method |
| DE69225486T DE69225486T2 (de) | 1991-09-09 | 1992-09-09 | Gerät zur funktionsüberwachung eines sauggreifers und verfahren zur einstellung des druckniveaus für die funktionsüberwachung eines saugreifers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23063491A JP3225063B2 (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 圧力値設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572067A true JPH0572067A (ja) | 1993-03-23 |
| JP3225063B2 JP3225063B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=16910867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23063491A Expired - Fee Related JP3225063B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-10 | 圧力値設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3225063B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003101678A1 (en) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Yamatake Corporation | Negative pressure attraction device and attraction confirming sensor |
| WO2004094105A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-04 | Nikon Corporation | 真空吸着保持装置及び保持方法と、該保持装置を用いた研磨装置及びこの研磨装置を用いたデバイス製造方法 |
| WO2021144935A1 (ja) * | 2020-01-16 | 2021-07-22 | オムロン株式会社 | 制御装置、制御方法、及び制御プログラム |
| US11092642B2 (en) | 2018-09-27 | 2021-08-17 | Ns Technologies, Inc. | Electronic component handler and electronic component tester |
-
1991
- 1991-09-10 JP JP23063491A patent/JP3225063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
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| WO2003101678A1 (en) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Yamatake Corporation | Negative pressure attraction device and attraction confirming sensor |
| US7261350B2 (en) | 2002-06-04 | 2007-08-28 | Yamatake Corporation | Negative pressure attraction device and attraction confirming sensor |
| WO2004094105A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-04 | Nikon Corporation | 真空吸着保持装置及び保持方法と、該保持装置を用いた研磨装置及びこの研磨装置を用いたデバイス製造方法 |
| US7175504B2 (en) | 2003-04-24 | 2007-02-13 | Nikon Corporation | Vacuum suction holding apparatus and holding method, polishing apparatus using this holding apparatus, and device manufacturing method using this polishing apparatus |
| US11092642B2 (en) | 2018-09-27 | 2021-08-17 | Ns Technologies, Inc. | Electronic component handler and electronic component tester |
| WO2021144935A1 (ja) * | 2020-01-16 | 2021-07-22 | オムロン株式会社 | 制御装置、制御方法、及び制御プログラム |
| JPWO2021144935A1 (ja) * | 2020-01-16 | 2021-07-22 | ||
| EP4091777A4 (en) * | 2020-01-16 | 2023-05-03 | OMRON Corporation | CONTROL DEVICE, CONTROL METHOD, AND CONTROL PROGRAM |
| US12109686B2 (en) | 2020-01-16 | 2024-10-08 | Omron Corporation | Control apparatus, control method, and computer-readable storage medium storing a control program |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3225063B2 (ja) | 2001-11-05 |
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