JPH05142144A - 分光学的に相関関係のある光走査顕微鏡検査法 - Google Patents

分光学的に相関関係のある光走査顕微鏡検査法

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JPH05142144A
JPH05142144A JP4116727A JP11672792A JPH05142144A JP H05142144 A JPH05142144 A JP H05142144A JP 4116727 A JP4116727 A JP 4116727A JP 11672792 A JP11672792 A JP 11672792A JP H05142144 A JPH05142144 A JP H05142144A
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Wolfgang Jacobsen
ヴオルフガング・ヤコブセン
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Bayer AG
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 共焦点走査光顕微鏡で、１度または２度、結
像される試料表面（５）の個々の要素を走査すること；
結像ビーム経路から分光器（１６）内へ光の一部を投射
すること；および２次元領域（１７）内に分光データを
蓄積することによる、像データと分光データとを相互に
関連させること；により、試料の波長に従って解像され
る光顕微鏡像と分光データを作成し、かつ相互に関連さ
せる方法。 【効果】 共焦点走査光顕微鏡と各種分光技法の潜在能
力が十分に活用できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】本発明は、共焦点走査光−顕微鏡検査法お
よび分光器により、試料の波長に従って解像される光顕
微鏡像と分光データとを作成し、かつ相互に関連させる
方法に関するものである。
【０００２】走査光顕微鏡検査法を用いて、透明または
半透明の被験体の光顕微鏡像を作ることは、既知の実施
事項である（アプライド・フィジクス Ａｐｐｌｉｅｄ
Ｐｈｙｓｉｃｓ ２２（１９８０），Ｐ．１１９）。
もしも、ビーム経路が、共焦点光顕微鏡（ＣＬＳＭ）の
原理と一致するならば、光学的部分像、即ち、顕微鏡レ
ンズの焦点面を囲む狭領域の像が得られる。もしも、上
記焦点面が上記被験体内にある時には、上記共焦点原理
に基づいて、上方および下方に横たわっている、上記試
料の領域からの強さは、大幅に削減される。この数年
間、上記原理に基づいて作動する装置は、商業的に入手
することができた。
【０００３】分光技法を用いること、特に上記スペクト
ルの可視領域からの光、または上記可視スペクトルに密
接した領域からの光を用いることにより、被験体を検査
することで、被験体の化学構造に関するデータを得るこ
とは、さらに既知の実施事項である。
【０００４】光顕微鏡検査法と分光技法との組合せは、
文献からも公知である：大量生産の共焦点光顕微鏡の大
多数の製造業者により、既に認識されている概念は、蛍
光のコントラストの中で拡散反射像を作るという概念で
ある。このために、試料は単色光源により照明される。
照明光源の波長をもつ光を、できるだけ完全に保持する
光学フィルタが、結像ビーム経路内に挿入されるので、
長い波長の蛍光だけが光電検出器に届く。
【０００５】さらに、従来型光顕微鏡の結像ビーム経路
に、被験体内に含まれる選択された物質の特定ラマン線
に調整された分光写真器を加入することが、マイクロス
コピア・アクタ（Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉａ Ａｃｔａ）
７９（１９７７），３，Ｐ．２６７−２７６，から周知
である。この様式においては、被験体の顕微鏡のラマン
暗視野が作られる。この像は上記被験体内の選択された
物質の局所分布を複写する。
【０００６】ネイチュア（Ｎａｔｕｒｅ）３４７，（２
０．０９．１９９０）Ｐ．３０１−３０３，によれば、
被験体内の予め選択できる小測定容積の、完全なラマン
スペクトルを記録可能とするために、共焦点光学ビーム
経路の概念を用いることは、周知の実施事項である。こ
のために、被験体は共焦点ビーム経路の概念に従って、
固定配列を経由するレーザーで照射され、そして結像ビ
ーム経路の開口部を通過する光がラマン分光計で分析さ
れる。この様式で、選択された測定容積のラマンスペク
トルは、１μｍ**３の大きさのオーダで得られる。
【０００７】光顕微鏡検査法と分光技法とを組み合わせ
る文献から周知のこれらの全方法の欠点は、両技法の全
潜在能力を同時に活用することが不可能なことにある：
現在まで利用されてきた、共焦点蛍光顕微鏡検査法の標
準方法は、像を作るために、測定フィルタで透過された
蛍光の平均強さだけを利用する。蛍光スペクトルの微妙
な細部は、別の見方をすれば利用されない。マイクロス
コピア・アクタ（Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉａ Ａｃｔａ）
７９（１９７７），３，Ｐ．２６７−２７６，による方
法は、共焦点光顕微鏡検査法と同様で、３次元の顕微鏡
の使用によるデータを供給することはないが、さらにラ
ーマンスペクトルで得られるデータの２次元像だけを供
給し、像を作る時に予め選択された線のデータだけを使
用する。
【０００８】ネイチュア（Ｎａｔｕｒｅ）２４７，Ｐ．
３０１−３０３，による方法は、走査顕微鏡像の作成が
ないために、同様に３次元の顕微鏡の使用によるデータ
を供給することなく、検査した試料容積の、完全なラマ
ンスペクトルを提供する。従って目的は、共焦点走査光
顕微鏡および分光技法の、全潜在能力を活用させる方法
を示すことにある。特に目的は、共焦点走査光顕微鏡お
よびそのスペクトルにより得られる、試料の像の間の相
関関係のデータ整理形式を示すことにある。
【０００９】上記目的は、下記ステップを実施すること
により達成される： ａ）共焦点走査顕微鏡で、１度または２度、結像される
試料表面の個々の要素を走査すること； ｂ）結像ビーム経路から分光器内へ、光の一部を投射す
ること； ｃ）２次元領域内に、上記分光データを蓄積することに
より、像データと分光データとを相互に関連させるこ
と、ここで１次元は、個々の要素の測定スペクトルを蓄
積するために用いられ、そして第２の次元は、上記走査
された要素で拡散反射された光の強度により、または像
処理により試料像の全データから得られる規準によって
活性化される。さらに実施の好適形式は、実施態様に示
される。
【００１０】共焦点走査光顕微鏡として、すべての装置
は、試料片が集束光ビームにより走査され、透過光また
は散乱光の一部分が、結像光学ビーム経路によって、開
口部または開口部の装置上に結像され、そして上記開口
部を通過する、上記光の一部は、光電検出器により測定
され、そして、上記測定信号の助けにより、全試料片の
像が作成されるのに適している。特に、共焦点レーザ走
査顕微鏡（例えば、テイ・ウイルソン・イーディー共焦
点顕微鏡検査法，アカデミックプレスロンドンその他、
１９９０の）（ｏｆ．ｅ．ｇ．Ｔ．Ｗｉｌｓｏｎ Ｅ
ｄ，Ｃｏｎｆｏｃａｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，Ａｃａ
ｄｅｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ Ｌｏｎｄｏｎｅｔｃ．１９９
０）、および回転開口円板の概念に基礎をおいた装置
が、引用される。この様式で作られた試料片の像は、顕
微鏡の光学軸に垂直な部分像、そしてまた任意方向の切
断面、特に顕微鏡の光学軸の方向に延長する切断面の像
の両者である。
【００１１】分光測定方法は、可視光線の、または可視
光線付近の波長、例えば１００ｎｍ〜２０μｍの波長を
有する光線の、波長−従属強度を記録することに基礎を
置く任意の方法にすることもできる。特に引用する方法
は、紫外線，可視光線，近赤外線および赤外線領域なら
びに蛍光における吸収分光法、およびラマン分光法であ
る。蛍光分光法に対する励起波長が、また１００ｎｍ〜
２０μｍの領域にあり、通常３００ｎｍ〜７００ｎｍ領
域内にある。ラマン分光法に対する励起波長も１００ｎ
ｍ〜２０μｍの領域にあり、通常２５０ｎｍ〜１．５μ
ｍの領域内にある。
【００１２】同時に記録する分光計として、問題の分光
方法に適用できる全波長領域を考慮に入れ、またはそれ
らの部品、波長間隔ごとに測定光に含まれる放射強度の
時間分解能測定を考慮に入れ、すべての装置が引用され
る。好適装置は単一または多重分光写真器で、特に好適
装置は、線または単一平面光電検出器を備えた３部分構
成の分光写真器である。特に好適な検出器は、２次元Ｃ
ＣＤ（電荷結合デバイス）配列である。
【００１３】上記共焦点光顕微鏡が、多年にわたり市販
用であったにも拘わらず分光技法との完全な組合せが未
達成であったことは驚くべきことである。しかし、特別
のデータ整理手段なしに、即時かつ直接組合せが、下記
数値例を実演する時に、莫大なデータ転送速度とデータ
ボリュームに達する：８ビット分解，１，０２４で波長
補間ポイントリードで分光強度測定，５１２＊５１２画
素の像の作成と共に、像ごとに２６８ＭＢのデータ転送
速度、従って１Ｈｚの影像周波数で２６８ＭＢ／ｓｅｃ
のデータ転送速度に達する。
【００１４】本発明による上記方法は、共焦点光顕微鏡
の一方で光学部分像、かつ他方で分光強度分布のセット
の、同時または連続作成を可能にし、上記データを基礎
として上記の様式によるので、用いられる分光方法の関
連平均スペクトルは、この光学部分像の適当に選択され
た、それぞれの部分に示される。
【００１５】換言すれば、分離データは、光顕微鏡像の
異なるコントラストの結果として明らかな、形態学上の
構成要素の化学構造に関して得られる。複数の例は、多
相重合体の個々の相の物質確認、重合体内の添加剤およ
び不純物の位置および確認、または生物学的試料内の活
性物質の位置の確認である。
【００１６】本発明による方法は、次の説明および図面
を用いて詳細に説明する。本方法を実施する基本様式
は、共焦点レーザー走査顕微鏡の例を用いて記載する。
レーザー１で放射された光は、集束レンズ２により入射
開口部３の上に集束される。上記開口部は、顕微鏡レン
ズ４により、検査する試料５上または試料５内に結像さ
れる。開口部とレンズとの間に置かれる偏向ユニット６
は、上記レーザービームによる、選択された試料片の線
形走査に導く。
【００１７】上記試料により拡散反射された光は、上記
顕微鏡レンズ４により、再び集光された後、ビームスプ
リッター７により第２開口部８上に集束される。この第
２開口部を通過する光の一部は、ビームスプリッター９
を通り、さらに他のレンズ１０を経て光電検出器１１に
導かれる。上記光電検出器１１で作られた電気信号は、
信号処理ユニット１２内で増幅されてアナログからデジ
タルに変換される。デジタル化されたＣＬＳＭ像は、さ
らに処理されコンピューター１３内に記憶され、出力装
置１４で表示される。
【００１８】上記ビームスプリッター９により反射され
た、後方散乱強度の部分はレンズ１５により、分光写真
器１６の入射スリット上に結像される。上記後方散乱部
分から分光写真器１６は、同時に線または単一平面光電
検出器１７により検出されるスペクトル解析を行なう。
上記光電検出器の電気信号は分光評価ユニットで増幅さ
れる。両例ともに、共焦点レーザー走査顕微鏡とラマン
分光写真器との組合せが記載されている。この両例は、
分光測定データを記録する様式において相互に異なるも
のである。
【００１９】
【実施例】実施例１ 回転鏡によるラマン散乱光の偏向について記述する。こ
の例に対する技術的実施細部は図２に示される。市販の
ＣＬＳＭ２１は、市販の３部品構造分光写真器１６と組
み合わされ、そこで測定開口部を通過する測定光の一部
が、ビームスプリッタ９により上記ＣＬＳＭの測定チャ
ネルから分離されて、光ファイバー２４を経て分光写真
器内へ導かれる。上記分光写真器の最初の２段は、散乱
したレーザー光を弾力的に（すなわち、波長変更なし
に）保持する。保持されるものは、蛍光またはラマン効
果により散乱された光である。この光は上記分光写真器
の第３段においてスペクトル解析を受けて、冷却した２
次元ＣＣＤ配列１７上に結像する。上記ＣＣＤ配列上の
局所座標は、これに沿い測定光のスペクトル解析が行な
われるもので、以下ｘと呼ぶ。
【００２０】上記分光写真器の出射スリットと上記ＣＣ
Ｄ配列との間に、電動制御の回転鏡２７を備えたリレー
レンズ２６が置かれる。上記回転鏡は、測定光を上記ｘ
方向に垂直な、配列のｙ方向に偏向させる。上記回転鏡
は、その上試料内で弾性的に散乱した光の強度で制御さ
れ、この強度は上記分光写真器１６の第２段で光電検出
器２８によって測定される。他方これはまた従来型ＣＬ
ＳＭ拡散反射像にコントラストをつける変数である。上
記光電検出器の信号は、増幅器２９で増幅される。
【００２１】上記ＣＣＤ配列にＣＬＳＭ像を作成する完
全な走査処理中、測定されたラマン（および蛍光）強度
は、読出されその後の処理のためコンピューター１８に
送られる。ＳＮ比すなわち信号対雑音比を改良するた
め、多数のＣＬＳＭ走査から平均値が選ばれる。ここに
記載する、評価の信頼性に対する重要な要素は、回転鏡
の整定時間の、上記ＣＬＳＭの走査周波数に対する同調
である。何故ならば、回転鏡は、検査試料の構造に相応
する拡散反射強度の時間にともなう変化量に、十分敏速
に反応できることを確保する必要があるからである。分
光学的割当てに対して、もしも５画素の局所分解能が要
求され、そしてＣＬＳＭ像が５１２＊５１２画素の分解
能と１Ｈｚの像周波数を有すれば、約２０μｓｅｃの鏡
整定時間が必要である。もしも、像周波数が、例えば
０．０５Ｈｚに減少すれば、約０．４ｍｓｅｃの鏡整定
時間が適当である。
【００２２】実施例２ ラマン散乱強度の電子分類について記述する。この例の
技術的実施細部は図３に示される。共焦点レーザー走査
顕微鏡３１および分光写真器３２の、光学的および光エ
レクトロニクス設計は、例１に記述した装置と同一であ
る。この例において、分光写真器から生じるラマン（お
よび蛍光）強度は、１，０２４素子で一次元ＣＣＤ配列
１７に直接当たる。この分光写真器のスペクトル解析
は、このように選択されるので関連スペクトル領域が、
上記ＣＣＤ配列により確実に検出される。
【００２３】１次光電検出器から出力ラインへ、ラマン
強度の転送は、上記ＣＬＳＭ電子装置の同期信号３４
が、ＣＣＤ配列に送られる、実際のＣＬＳＭ像の検出と
同時に実施される。上記ラマン強度は、読出し装置３５
で増幅され、アナログ−デジタル変換後、画素ごとに１
０２４・８ｂｉｔ（ビット）＝１ＫＢ（キロバイト）の
データレコードになる。このデータレコードは従来のＣ
ＬＳＭ像が作られるのに同期して、１ＫＢに対してそれ
ぞれＮ位置の記憶配列３６内で加算される。この数Ｎは
通常１＜＝Ｎ＜＝１０の領域内にある。割当ては、アド
レス１からＮまでのうちの１つが、各画素に対する入力
である、ルックアップテーブル（ＬＵＴ）により行なわ
れる。もしも、Ｎ領域へ分割した割当てが、試料の弾性
的に散乱し、かつ分光器の第２段で測定された光の強度
を測定することにより実施されるならば、上記割当て
は、例えば上記強度の信号を用いることにより、上記試
料単一走査で容易に達成され、記憶配列３６内ラマンス
ペクトルの記憶場所をアドレス指定するため、第１の試
料において上記回転鏡を制御する。別法で、ＬＵＴがラ
マン強度の検出に先行するステップで計算される：
【００２４】このために、従来型ＣＬＳＭ後方散乱像
が、同一試料片から取られ、像解析装置３７に送られ
る。この装置は、物体識別の目的で、問題固有の様式に
限定される方法を用いて、上記像に関する像クリーニン
グおよび像処理操作を実施する。例えば、すべての単一
または２重に結合された物体は、それ自体ほぼ等しい後
方散乱強度を示し、そしてこの強度でそれらの環境と十
分に異なり、さらに特定小寸法を有して検出される。従
って、画像になった試料片は、多くの物体に分割され、
そして−残り部分が−それらの環境である。後者は多数
の副領域を含む。換言すれば、総合結果は試料片の像が
Ｎ物体から成る。図４はそのような分割部分（ａ，ｂ，
ｃ，ｄ，ｅおよび背景ｆ）の代表例を複写する。数Ｎが
後続のラマン検出に対して、なお大き過ぎるならば、物
体は付加基準を基礎にして分類される。最後に、物体ま
たは物体のクラスは連続番号で割当てられる。上記ＬＵ
Ｔを設置するために、行なうべきすべてのことは、それ
が属する、これらのＮ物体の各画素を決めることであ
る。上記ＬＵＴは、次に像解析コンピューターからラマ
ン信号検出器３８の制御電子装置へ送られる。
【００２５】２ステップの達成に関して： ａ）従来型ＣＬＳＭ像の作成および上記ＬＵＴの像解析
計算、および ｂ）ａ）のもとで形成した物体のおのおのに対し、別々
にラマン強度の検出、上記ＣＬＳＭ像の識別された物体
のおのおののラマンスペクトルは解析される。もしも、
試料の化学組成が、例えば他の解析処理の結果として、
全体として既知ならば、上記目標のおのおのの測定した
ラマンスペクトルは、試料内に含まれる化学成分の既知
ラマンスペクトルと比較できる。特に、（例えばアプラ
イド・スペクトロスコピ Ａｐｐｌ．Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃ．３３（１９７９），Ｐ３５１−３５７），既知の数
学的方法を用いれば、上記ＣＬＳＭ後方散乱像の個々の
目標の化学成分の割合が、定量的に決定できる。
【００２６】実施態様は次のとおりである： （１）試料の波長に従って解像される、光顕微鏡像と分
光データとを作成し、かつ相互に関連させる方法であっ
て ａ）共焦点走査光顕微鏡で、１度または２度、結像され
る試料表面の個々の要素を走査すること； ｂ）結像ビーム経路から分光器内へ、光の一部を投射す
ること； ｃ）２次元領域内に、上記分光データを蓄積することに
より、像データと分光データとを相互に関連させるこ
と、ここで１次元は、個々の要素の測定スペクトルを蓄
積するために用いられ、そして第２の次元は、上記走査
された要素で拡散反射された光の強度により、または像
処理により試料像の全データから得られる規準によって
活性化される、のステップから成るもの。
【００２７】（２）上記スペクトルが、光電検出器配列
を用いて測定かつデジタル化され、そして拡散反射光強
度のデジタル化した値により、データ記憶の有限個から
選択された記憶内に蓄積される、第１項記載の方法。 （３）走査要素のスペクトルが、２次元光電検出器配列
上に線として集束され、そして上記スペクトルが、上記
分光器のビーム経路内で偏向ユニットを用いて上記配列
上で垂直に変位され、上記偏向ユニットに関しては、上
記走査要素の拡散反射光強度により制御できるようにな
っている第１項および第２項記載の方法。
【００２８】（４）光感応半導体または光電倍率器の１
次元または２次元の配列が、光電検出器として用いられ
る第１項〜第３項記載の方法。 （５）電気駆動回転鏡が反射ユニットとして用いられる
第１項〜第４項記載の方法。 （６）最初の走査動作で得られた試料像が、像処理装置
により多数の領域に分割され、これに試料の第２走査か
ら得られたスペクトルが割当てられる第１項記載の方
法。
【００２９】（７）単色光源を備えた顕微鏡または連続
スペクトルを放射する光源を備えた顕微鏡が、共焦点走
査光顕微鏡として用いられる第１項〜第６項記載の方
法。 （８）下記分光計のうちの１個または組合せが、分光計
として用いられる： ａ）ラマン分光計； ｂ）蛍光分光計； ｃ）紫外分光計； ｄ）目視分光計； ｅ）赤外分光計； 第１項〜第７項記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】本方法を実施するための基本的配置を示し、
【図２】本方法が、画素に対して、スペクトルのどんな
機械的割当てで実施されるかを示し、
【図３】本方法が、画素に対して、スペクトルのどんな
電子的割当てで実施されるかを示し、
【図４】５個の物体と像解析装置による背景とになる、
試料像の分割を示す。
【符号の説明】
１ レーザー ２ 集束レンズ ３ 入射開口部 ４ 顕微鏡レンズ ５ 試料 ６ 偏向ユニット ７ ビームスプリッター ８ 第２開口部 ９ ビームスプリッター １０ レンズ １１ 光電検出器 １２ 信号処理ユニット １３ コンピューター １４ 出力装置 １５ レンズ １６ 分光写真器 １７ 単一平面光電検出器（ＣＣＤ配列） １８ 分光評価ユニット ２１ ＣＬＳＭ ２４ 光ファイバー ２６ リレーレンズ ２７ 回転鏡 ２８ 光電検出器 ２９ 増幅器 ３１ 共焦点レーザー走査顕微鏡 ３２ 分光写真器 ３４ 同期信号 ３５ 読出し装置 ３６ 記憶配列 ３７ 像解析装置 ３８ ラマン信号検出器 ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ 像の分割部分 ｆ 背景

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 試料の波長に従って解像される、光顕微
    鏡像と分光データとを作成し、かつ相互に関連させる方
    法であって ａ）共焦点走査光顕微鏡で、１度または２度、結像され
    る試料表面の個々の要素を走査すること； ｂ）結像ビーム経路から分光器内へ、光の一部を投射す
    ること； ｃ）２次元領域内に、上記分光データを蓄積することに
    より、像データと分光データとを相互に関連させるこ
    と、ここで１次元は、個々の要素の測定スペクトルを蓄
    積するために用いられ、そして第２の次元は、上記走査
    された要素で拡散反射された光の強度により、または像
    処理により試料像の全データから得られる規準によって
    活性化される、のステップから成るもの。
JP4116727A 1991-04-12 1992-04-10 分光学的に相関関係のある光走査顕微鏡検査法 Pending JPH05142144A (ja)

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DE (2) DE4111903A1 (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11249023A (ja) * 1997-11-17 1999-09-17 Max Planck Ges Foerderung Wissenschaft Ev 共焦点分光システムおよび分光方法
JPH11352067A (ja) * 1998-05-19 1999-12-24 Agrovision Ab 成分濃度判定装置および成分均一性判定装置
JP2000056244A (ja) * 1998-08-04 2000-02-25 Carl Zeiss Jena Gmbh レ―ザ走査顕微鏡および照明およびまたは検出装置
JP2001041821A (ja) * 1999-08-02 2001-02-16 Hamamatsu Photonics Kk スリット像検出装置
JP2002122787A (ja) * 2000-08-02 2002-04-26 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 光線のスペクトル領域の選択と検出のための光学装置
JP2004354937A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Olympus Corp レーザ顕微鏡
JP2005055895A (ja) * 2003-08-02 2005-03-03 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh ラスタ顕微鏡
US6909542B2 (en) 2001-03-13 2005-06-21 Olympus Optical Co., Ltd. Laser microscope
JP2006064693A (ja) * 2004-07-27 2006-03-09 Horiba Ltd カーボンナノチューブ解析方法及び試料解析方法
JP2006098419A (ja) * 2001-10-16 2006-04-13 Carl Zeiss Jena Gmbh 照射サンプルの特性寸法の光学的取得方法
JP2006119152A (ja) * 2000-08-08 2006-05-11 Carl Zeiss Jena Gmbh 照明された試料の波長依存特性把握のための方法および装置
JP2006133345A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Nikon Corp 共焦点顕微鏡
JP2007071669A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Horiba Ltd カーボンナノチューブ分類装置、コンピュータプログラム、及びカーボンナノチューブ分類方法
JP2008065331A (ja) * 2006-09-08 2008-03-21 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd 共焦点電気発光分光顕微鏡
JP2009508094A (ja) * 2005-09-08 2009-02-26 ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー 光センサチップ、光センサチップを含むレーザ顕微鏡および光センサチップの読み出し方法
JP2013195264A (ja) * 2012-03-21 2013-09-30 Nikon Corp 分光器及び顕微分光システム
JP2017049611A (ja) * 2012-03-07 2017-03-09 ソニー株式会社 観測装置、観測プログラム及び観測方法

Families Citing this family (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5822061A (en) * 1992-01-20 1998-10-13 Dilor Spectrometry apparatus
USH1530H (en) * 1993-06-17 1996-05-07 Ultrapointe Corporation Surface extraction from a three-dimensional data set
US5785651A (en) * 1995-06-07 1998-07-28 Keravision, Inc. Distance measuring confocal microscope
US6175754B1 (en) 1995-06-07 2001-01-16 Keravision, Inc. Method and apparatus for measuring corneal incisions
US6104945A (en) * 1995-08-01 2000-08-15 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
US5813987A (en) * 1995-08-01 1998-09-29 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe for analysis of materials
US5713364A (en) * 1995-08-01 1998-02-03 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe analysis of materials
US5854063A (en) * 1996-01-16 1998-12-29 The State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University Method and apparatus for spectrophotometric observation of plants
US5981958A (en) * 1996-01-16 1999-11-09 Li; Ning Method and apparatus for detecting pathological and physiological change in plants
US5844598A (en) * 1996-01-17 1998-12-01 Pixel Vision, Inc. CCD based optical detector for a confocal microscope
DK0904557T3 (da) * 1996-06-11 2006-01-09 Evotec Ag Konfokalt mikroskop til optisk registrering af et observationsvolumen
DE19630956A1 (de) * 1996-07-31 1998-02-05 Basf Ag Verfahren und Vorrichtung zur Raman-Korrelationsspektroskopie
US5929986A (en) * 1996-08-26 1999-07-27 Kaiser Optical Systems, Inc. Synchronous spectral line imaging methods and apparatus
FR2754341B1 (fr) * 1996-10-04 1998-12-24 Dilor Appareil d'analyse spectrale apte a fonctionner dans plusieurs domaines spectraux de longueurs d'onde differentes
DE19649605A1 (de) * 1996-11-29 1998-06-04 Deutsches Krebsforsch Fluoreszenzkorrelationsspektroskopiemodul für ein Mikroskop
US6826422B1 (en) 1997-01-13 2004-11-30 Medispectra, Inc. Spectral volume microprobe arrays
US6847490B1 (en) 1997-01-13 2005-01-25 Medispectra, Inc. Optical probe accessory device for use in vivo diagnostic procedures
US5837475A (en) * 1997-01-30 1998-11-17 Hewlett-Packard Co. Apparatus and method for scanning a chemical array
DE19707967A1 (de) * 1997-02-27 1998-09-03 Basf Ag Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung des Vernetzungsgrads von vernetzten Haftklebstoffschichten
US6407856B1 (en) 1997-06-11 2002-06-18 Evotec Biosystems Ag Confocal microscope for optical determination of an observation volume
SG66376A1 (en) * 1997-07-03 1999-07-20 Inst Of Microlectronics Nation Multiwavelength imaging and spectroscopic photoemission microscope system
DE19829944C2 (de) * 1998-07-04 2002-03-28 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Gerätekonfiguration eines Fluoreszenz-Laserscanmikroskops
FR2784749B1 (fr) * 1998-10-14 2000-12-29 Instruments Sa Appareil de caracterisation optique de materiau en couche mince
US6069690A (en) * 1998-11-13 2000-05-30 Uniphase Corporation Integrated laser imaging and spectral analysis system
JP2002533142A (ja) 1998-12-23 2002-10-08 メディスペクトラ， インコーポレイテッド サンプルの光学的試験のためのシステムおよび方法
AU760402B2 (en) 1998-12-23 2003-05-15 Medispectra, Inc. Optical methods and systems for cervical screening
DE19923822A1 (de) * 1999-05-19 2000-11-23 Zeiss Carl Jena Gmbh Scannende Anordnung, vorzugsweise zur Erfassung von Fluoreszenzlicht
US6548796B1 (en) * 1999-06-23 2003-04-15 Regents Of The University Of Minnesota Confocal macroscope
EP1203218A1 (en) 1999-07-30 2002-05-08 California Institute of Technology System and method for monitoring cellular activity
US6459484B1 (en) * 1999-10-21 2002-10-01 Olympus Optical Co., Ltd. Scanning optical apparatus
US7260248B2 (en) 1999-12-15 2007-08-21 Medispectra, Inc. Image processing using measures of similarity
US7187810B2 (en) 1999-12-15 2007-03-06 Medispectra, Inc. Methods and systems for correcting image misalignment
US6902935B2 (en) * 1999-12-15 2005-06-07 Medispectra, Inc. Methods of monitoring effects of chemical agents on a sample
DE10004233B4 (de) * 2000-02-01 2005-02-17 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Mikroskop-Aufbau
US6747737B2 (en) 2000-06-29 2004-06-08 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for optical detection of an illuminated specimen in a plurality of detection channels
US6958811B2 (en) 2000-06-29 2005-10-25 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for the detection of dyes in fluorescence microscopy
US6858852B2 (en) 2000-08-08 2005-02-22 Carl Zeiss Jena Gmbh Method and apparatus for rapid change of fluorescence bands in the detection of dyes in fluorescence microscopy
US6947133B2 (en) * 2000-08-08 2005-09-20 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for increasing the spectral and spatial resolution of detectors
DE10051299A1 (de) * 2000-10-13 2002-04-25 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskop mit multifunktionalen Bedienelementen
US6670087B2 (en) * 2000-11-07 2003-12-30 Canon Kabushiki Kaisha Toner, image-forming apparatus, process cartridge and image forming method
US6839661B2 (en) 2000-12-15 2005-01-04 Medispectra, Inc. System for normalizing spectra
WO2002097409A1 (de) * 2001-05-31 2002-12-05 Rap.Id Particle Systems Gmbh Verfahren zur automatisierten erkennung, spektroskopischen analyse und identifizierung von partikeln
DE10132638A1 (de) 2001-07-05 2003-01-16 Leica Microsystems Scanmikroskop und Verfahren zur wellenlängenabhängigen Detektion
US6888148B2 (en) * 2001-12-10 2005-05-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample
US6947127B2 (en) * 2001-12-10 2005-09-20 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and/or back scattered light beam in a sample
DE20216583U1 (de) 2001-12-20 2003-01-23 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh, 68165 Mannheim Mikroskop und Durchflusszytometer
US7282723B2 (en) 2002-07-09 2007-10-16 Medispectra, Inc. Methods and apparatus for processing spectral data for use in tissue characterization
US7136518B2 (en) 2003-04-18 2006-11-14 Medispectra, Inc. Methods and apparatus for displaying diagnostic data
US7459696B2 (en) 2003-04-18 2008-12-02 Schomacker Kevin T Methods and apparatus for calibrating spectral data
US6818903B2 (en) 2002-07-09 2004-11-16 Medispectra, Inc. Method and apparatus for identifying spectral artifacts
US6933154B2 (en) 2002-07-09 2005-08-23 Medispectra, Inc. Optimal windows for obtaining optical data for characterization of tissue samples
US7469160B2 (en) 2003-04-18 2008-12-23 Banks Perry S Methods and apparatus for evaluating image focus
US7309867B2 (en) 2003-04-18 2007-12-18 Medispectra, Inc. Methods and apparatus for characterization of tissue samples
US6768918B2 (en) 2002-07-10 2004-07-27 Medispectra, Inc. Fluorescent fiberoptic probe for tissue health discrimination and method of use thereof
US7103401B2 (en) 2002-07-10 2006-09-05 Medispectra, Inc. Colonic polyp discrimination by tissue fluorescence and fiberoptic probe
US6897950B2 (en) * 2002-07-16 2005-05-24 East Carolina University Laser tweezers and Raman spectroscopy systems and methods for the study of microscopic particles
US7923260B2 (en) 2002-08-20 2011-04-12 Illumina, Inc. Method of reading encoded particles
US7872804B2 (en) 2002-08-20 2011-01-18 Illumina, Inc. Encoded particle having a grating with variations in the refractive index
US7901630B2 (en) 2002-08-20 2011-03-08 Illumina, Inc. Diffraction grating-based encoded microparticle assay stick
US7441703B2 (en) 2002-08-20 2008-10-28 Illumina, Inc. Optical reader for diffraction grating-based encoded optical identification elements
US7619819B2 (en) * 2002-08-20 2009-11-17 Illumina, Inc. Method and apparatus for drug product tracking using encoded optical identification elements
US7900836B2 (en) 2002-08-20 2011-03-08 Illumina, Inc. Optical reader system for substrates having an optically readable code
US7508608B2 (en) 2004-11-17 2009-03-24 Illumina, Inc. Lithographically fabricated holographic optical identification element
US7164533B2 (en) 2003-01-22 2007-01-16 Cyvera Corporation Hybrid random bead/chip based microarray
AU2003267192A1 (en) 2002-09-12 2004-04-30 Cyvera Corporation Method and apparatus for aligning elongated microbeads in order to interrogate the same
US20100255603A9 (en) 2002-09-12 2010-10-07 Putnam Martin A Method and apparatus for aligning microbeads in order to interrogate the same
US7092160B2 (en) 2002-09-12 2006-08-15 Illumina, Inc. Method of manufacturing of diffraction grating-based optical identification element
US7627141B2 (en) 2003-04-25 2009-12-01 Quad/Tech, Inc. System and method for measuring color on a printing press
US8441700B2 (en) 2003-04-25 2013-05-14 Quad/Tech, Inc. Image processing of a portion of multiple patches of a colorbar
US20040213436A1 (en) * 2003-04-25 2004-10-28 Quad/Tech, Inc. System and method for measuring color on a printing press
DE10341285B4 (de) * 2003-09-04 2016-11-03 Carl Zeiss Meditec Ag Operationsmikroskop mit Spektrometer und zugehöriges Verfahren
US7433123B2 (en) 2004-02-19 2008-10-07 Illumina, Inc. Optical identification element having non-waveguide photosensitive substrate with diffraction grating therein
US7604173B2 (en) 2004-11-16 2009-10-20 Illumina, Inc. Holographically encoded elements for microarray and other tagging labeling applications, and method and apparatus for making and reading the same
WO2006055735A2 (en) 2004-11-16 2006-05-26 Illumina, Inc Scanner having spatial light modulator
EP1869615B1 (en) 2004-11-16 2010-03-03 Illumina, Inc. Methods and apparatus for reading coded microbeads
US7623624B2 (en) 2005-11-22 2009-11-24 Illumina, Inc. Method and apparatus for labeling using optical identification elements characterized by X-ray diffraction
DE102006016229B4 (de) * 2006-03-29 2010-05-27 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Zusammensetzungen einer Festkörperprobe mittels Glimmentladungsspektroskopie und zur Ermittlung von Höhenunterschieden simultan dazu
US7830575B2 (en) 2006-04-10 2010-11-09 Illumina, Inc. Optical scanner with improved scan time
CN100567963C (zh) * 2006-04-19 2009-12-09 中国科学院半导体研究所 显微拉曼谱仪与近红外光谱仪的联合测试系统
US7668355B2 (en) * 2006-08-31 2010-02-23 Carestream Health, Inc. Method for detection of caries
US7595873B1 (en) * 2008-02-11 2009-09-29 Thermo Electron Scientific Instruments Llc Rapid spatial averaging over an extended sample in a Raman spectrometer
FI20115999A0 (fi) * 2011-10-11 2011-10-11 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Optinen mittaus
JP5918658B2 (ja) * 2012-08-29 2016-05-18 株式会社日立エルジーデータストレージ 光学装置
US10078204B2 (en) * 2014-03-29 2018-09-18 Intel Corporation Non-destructive 3-dimensional chemical imaging of photo-resist material
JP6859554B2 (ja) * 2015-06-02 2021-04-14 ライカ ミクロジュステムス（シュヴァイツ）アーゲー 観察補助装置、情報処理方法、およびプログラム
DE102015111702A1 (de) 2015-07-20 2017-01-26 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Hochauflösende, spektral selektive Scanning-Mikroskopie einer Probe
EP3222964B1 (en) * 2016-03-25 2020-01-15 Fogale Nanotech Chromatic confocal device and method for 2d/3d inspection of an object such as a wafer
WO2018059657A1 (de) * 2016-09-27 2018-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Operationsmikroskop mit einem infrarotspektrometer und verfahren zur feststellung pathologischer implikationen damit
US11009394B2 (en) 2016-11-03 2021-05-18 Oregon Health & Science University Multispectrum super resolution microscopy
RU2728495C1 (ru) * 2019-11-06 2020-07-29 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт космических исследований Российской академии наук Видеоспектрометр для экспресс-контроля светоотражающих объектов

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2253410A5 (ja) * 1973-12-03 1975-06-27 Inst Nat Sante Rech Med
DE3037983C2 (de) * 1980-10-08 1983-03-31 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und Vorrichtung zur lichtinduzierten rastermikroskopischen Darstellung von Probenparametern in ihrer räumlichen Verteilung
WO1991005360A1 (en) * 1989-09-26 1991-04-18 The University Of Connecticut Video pixel spectrometer
GB9014263D0 (en) * 1990-06-27 1990-08-15 Dixon Arthur E Apparatus and method for spatially- and spectrally- resolvedmeasurements

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11249023A (ja) * 1997-11-17 1999-09-17 Max Planck Ges Foerderung Wissenschaft Ev 共焦点分光システムおよび分光方法
JPH11352067A (ja) * 1998-05-19 1999-12-24 Agrovision Ab 成分濃度判定装置および成分均一性判定装置
JP2000056244A (ja) * 1998-08-04 2000-02-25 Carl Zeiss Jena Gmbh レ―ザ走査顕微鏡および照明およびまたは検出装置
JP2001041821A (ja) * 1999-08-02 2001-02-16 Hamamatsu Photonics Kk スリット像検出装置
JP2002122787A (ja) * 2000-08-02 2002-04-26 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh 光線のスペクトル領域の選択と検出のための光学装置
JP2006119152A (ja) * 2000-08-08 2006-05-11 Carl Zeiss Jena Gmbh 照明された試料の波長依存特性把握のための方法および装置
US6909542B2 (en) 2001-03-13 2005-06-21 Olympus Optical Co., Ltd. Laser microscope
JP2006098419A (ja) * 2001-10-16 2006-04-13 Carl Zeiss Jena Gmbh 照射サンプルの特性寸法の光学的取得方法
JP2004354937A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Olympus Corp レーザ顕微鏡
JP2005055895A (ja) * 2003-08-02 2005-03-03 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh ラスタ顕微鏡
JP2006064693A (ja) * 2004-07-27 2006-03-09 Horiba Ltd カーボンナノチューブ解析方法及び試料解析方法
JP2006133345A (ja) * 2004-11-04 2006-05-25 Nikon Corp 共焦点顕微鏡
JP2007071669A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Horiba Ltd カーボンナノチューブ分類装置、コンピュータプログラム、及びカーボンナノチューブ分類方法
JP2009508094A (ja) * 2005-09-08 2009-02-26 ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー 光センサチップ、光センサチップを含むレーザ顕微鏡および光センサチップの読み出し方法
JP2008065331A (ja) * 2006-09-08 2008-03-21 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd 共焦点電気発光分光顕微鏡
JP2017049611A (ja) * 2012-03-07 2017-03-09 ソニー株式会社 観測装置、観測プログラム及び観測方法
US10151910B2 (en) 2012-03-07 2018-12-11 Sony Corporation Image analysis using microscope optical system
JP2013195264A (ja) * 2012-03-21 2013-09-30 Nikon Corp 分光器及び顕微分光システム

Also Published As

Publication number Publication date
US5329352A (en) 1994-07-12
EP0508257A3 (en) 1993-12-15
DE4111903C2 (ja) 1993-02-04
CA2065668A1 (en) 1992-10-13
EP0508257B1 (de) 1996-08-28
DE59206974D1 (de) 1996-10-02
DE4111903A1 (de) 1992-10-15
EP0508257A2 (de) 1992-10-14

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