JPH05145135A - 圧電アクチユエータ - Google Patents

圧電アクチユエータ

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JPH05145135A
JPH05145135A JP3303031A JP30303191A JPH05145135A JP H05145135 A JPH05145135 A JP H05145135A JP 3303031 A JP3303031 A JP 3303031A JP 30303191 A JP30303191 A JP 30303191A JP H05145135 A JPH05145135 A JP H05145135A
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spring
laminated piezoelectric
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piezoelectric body
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Tasuke Kimura
太助 木村
Yuji Oshime
雄二 押目
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は圧電アクチュエータに関し、積層圧電
体への曲げ応力等の発生を防止することを目的とする。 【構成】複数の圧電素子1、1・・を積層して形成され
た積層圧電体2の上下端部間にプリロードスプリングを
架設し、該積層圧電体2間に予備圧縮力を負荷する圧電
アクチュエータであって、前記積層圧電体2の上下端部
に配置される予圧ブロック3と、前記積層圧電体2を覆
う角筒形状に形成され、所定のばね定数を有する筒形プ
リロードスプリング4とを有し、前記筒形プリロードス
プリング4は、上下端内周壁を予圧ブロック3に接合し
て構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電アクチュエータお
よびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図7に従来の圧電アクチュエータが示さ
れている。この従来例において、圧電アクチュエータは
複数の圧電素子1、1・・が積層された積層圧電体2を
有し、該積層圧電体2に連結される拡大機構(図示せ
ず)の駆動時の慣性力により、積層圧電体2に引っ張り
荷重が負荷され、積層界面から破壊されるのを防止する
ために、積層圧電体2には、プリロードスプリング9が
装着されて、圧縮方向の予圧を与えている。なお、図7
においてはプリロードスプリング9を固定するために積
層圧電体2の上下端に配置される予圧ブロック3、10
は圧電素子1の内部電極、11は内部電極10間を接続
する外部電極、12は絶縁体、13は積層圧電体2に駆
動電圧を印加するためのリード線である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
例においては、プリロードスプリング9は、積層圧電体
2の対向側壁面に沿って2個溶着されるために、溶着時
の作業ばらつき、あるいは各プリロードスプリング9、
9のばね定数のばらつきが生じやすく、この結果、積層
圧電体2には、図7において矢印で示すように、ねじ
り、あるいは曲げ応力が発生して積層圧電体2の破壊を
惹起するという欠点を有するものであった。
【0004】本発明は、以上の欠点を解消すべくなされ
たものであって、積層圧電体に曲げ応力等の発生がない
圧電アクチュエータを提供することを目的する。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的は、実施例に対応する図1に示すように、複数の圧電
素子1、1・・を積層して形成された積層圧電体2の上
下端部間にプリロードスプリングを架設し、該積層圧電
体2間に予備圧縮力を負荷する圧電アクチュエータであ
って、前記積層圧電体2の上下端部に配置される予圧ブ
ロック3と、前記積層圧電体2を覆う角筒形状に形成さ
れ、所定のばね定数を有する筒形プリロードスプリング
4とを有し、前記筒形プリロードスプリング4は、上下
端内周壁を予圧ブロック3に接合される圧電アクチュエ
ータを提供することにより達成される。
【0006】
【作用】本発明において、プリロードスプリングは、角
筒形状に形成されており、上下端部により予圧ブロック
3を包囲して該予圧ブロック3に接合される。この結
果、予圧ブロック3への接合位置のバラ付きが可及的に
押さえられ、かつ、筒部の各側壁部のばね定数も一致さ
せることが可能となる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の望ましい実施例を添付図面に
基づいて詳細に説明する。本発明に係る圧電アクチュエ
ータを図1、および図2に示す。この圧電アクチュエー
タは、下端からリード線13が引き出される積層圧電体
2と、この積層圧電体2の上下端部に配置される予圧ブ
ロック3と、上記積層圧電体2を包囲する筒形プリロー
ドスプリング4とからなる。
【0008】積層圧電体2は、セラミックス焼成工程を
経て形成されるもので、例えば、PZT等の粉末と、適
宜の焼成助剤、および成形助剤との混合物をスラリー状
に混練した後、シート状に成形し、さらに、その表裏両
面に銀電極材を塗布したグリーンシートを複数枚積層し
た後、焼成炉において適宜温度で焼成して焼成ブロック
を形成し、必要な分極処理を行うことにより形成され
る。
【0009】以上のようにして形成された積層圧電体2
は、圧電素子1、1・・間に内部電極10を有してお
り、内部電極10同士は、積層圧電体2の対向2壁面に
配置される外部電極11により接続される(図におい
て、外部電極11は、一方の側壁面に形成されたものの
みが示されている。)。なお、上記内部電極10は、1
個おきに同一の外部電極11により接続されており、非
接続部分には、絶縁体12が設けられる。
【0010】筒形プリロードスプリング4は、薄板のS
K材等により形成される角筒形状の部材であり、内周形
状は、積層圧電体2の上下端部に配置される平面視矩形
状の予圧ブロック3の外周形状と略同一に形成され、該
筒形プリロードスプリング4により積層圧電体2を覆う
ようにした状態で、その上下端を予圧ブロック3の側壁
にレーザスポット溶接して固定される。
【0011】図3は本発明の第2の実施例である。この
実施例において、筒形プリロードスプリング4の上端部
は外方に折り返されており、該折り返し部5において、
レーザスポット溶接がなされる。この結果、筒形プリロ
ードスプリング4と予圧ブロック3との接合部位の強度
の向上が図られる。
【0012】図4に本発明の第3の実施例を示す。この
実施例において、筒形プリロードスプリング4の筒部中
央部には、孔6が開設されており、この孔6から絶縁材
料が注入されて絶縁性能の向上が図られる。絶縁材料の
注入作業は、ピストン状の治具を使用してもよく、ある
いは、全体を絶縁材料中にディッピングすることによっ
てもよい。
【0013】なお、以上の実施例においては、筒形プリ
ロードスプリング4は、上下端が開放された形状を有し
ているが、この他に、図5に示すように、上端部に位置
決め孔14を開設するとともに、予圧ブロック3側に突
起部15を突出させ、これらを嵌合させることにより位
置決め精度を向上させることもでき、さらには、図6に
示すような形状に形成することも可能である。
【0014】すなわち、この実施例において、筒形プリ
ロードスプリング4は、予圧ブロック3への接合部7
と、スプリング部8とから形成され、接合部7は、予圧
ブロック3を外嵌して溶着することができるように筒状
に形成される。一方、スプリング部8は短冊形状に形成
されており、上記接合部7から延長される。
【0015】この実施例の利点は、筒形プリロードスプ
リング4全体のばね定数を容易に管理することができる
点にあり、スプリングは、少なくとも対向する2側壁面
に形成される。
【0016】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
による圧電アクチュエータによれば、積層圧電体の側方
に負荷される圧縮力を等しくすることができるので、駆
動中における曲げモーメント等の発生を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図2】積層圧電体を示す斜視図である。
【図3】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図4】本発明の第3の実施例を示す図である。
【図5】本発明の変形例を示す図である。
【図6】筒形プリロードスプリングの変形例を示す図で
ある。
【図7】従来例を示す図である。
【符号の説明】
1 圧電素子 2 積層圧電体 3 予圧ブロック 4 筒形プリロードスプリング 5 折り返し部 6 孔 7 接合部 8 スプリング部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の圧電素子(1、1・・)を積層して形
    成された積層圧電体(2)の上下端部間にプリロードスプ
    リングを架設し、該積層圧電体(2)間に予備圧縮力を負
    荷する圧電アクチュエータであって、 前記積層圧電体(2)の上下端部に配置される予圧ブロッ
    ク(3)と、 前記積層圧電体(2)を覆う角筒形状に形成され、所定の
    ばね定数を有する筒形プリロードスプリング(4)とを有
    し、 前記筒形プリロードスプリング(4)は、上下端内周壁を
    予圧ブロック(3)に接合される圧電アクチュエータ。
  2. 【請求項2】前記筒形プリロードスプリング(4)の上下
    端には、外方への折り返し部(5)を形成し、該折り返し
    部(5)において予圧ブロック(3)に接合される請求項1
    記載の圧電アクチュエータ。
  3. 【請求項3】前記筒形プリロードスプリング(4)の中央
    部壁面には、孔(6)が開設されており、該孔(6)から絶
    縁材を注入した請求項1または2記載の圧電アクチュエ
    ータ。
  4. 【請求項4】前記筒形プリロードスプリング(4)は、上
    下端に配置される筒形の接合部(7)と、該接合部(7)間
    に張り渡される短冊状のスプリング部(8)とから形成さ
    れる請求項1、または2記載の圧電アクチュエータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000357824A (ja) * 1999-06-15 2000-12-26 Tokkyokiki Corp 圧電制振ユニットおよびこれを用いた制振構造

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JPS6151766U (ja) * 1984-09-10 1986-04-07
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JPH03240280A (ja) * 1990-02-19 1991-10-25 Fujitsu Ltd 積層型圧電素子

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