JPH05149380A

JPH05149380A - 防振装置

Info

Publication number: JPH05149380A
Application number: JP33418691A
Authority: JP
Inventors: Seiji Fukuhara; 聖司福原
Original assignee: Tokkyokiki Corp
Current assignee: Tokkyokiki Corp
Priority date: 1991-11-22
Filing date: 1991-11-22
Publication date: 1993-06-15

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明の目的は、建物の躯体
構造に負担をかける事なく、防振装置の施工工事も軽便
にし、しかも、その防振性能を高める事にあり、そのた
めには防振装置に本来不要である過大な質量を付加する
必要をなくすようにすると共に防振性能を劣化させる事
なく水平方向の衝撃回転荷重を効果的に吸収出来るよう
にする事にある。【構成】床面(1)にベース(2)を設置
し、ベース(2)上に負荷(3)を担持するための支持台(4)
を配置し、ベース(2)と支持台(4)との間に配置され、支
持台(4)を弾性支持体(5)にて弾性的に支持し、支持台
(4)に加わる水平方向の衝撃力を緩和するための水平減
衰機構(6)をベース(2)と支持台(4)に設置した事を特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、縦型軸流ファ
ンのように起動時、回転起動トルクによる水平衝撃荷重
を発生させるような加振源機器に最適な防振装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】縦型軸流ファンのような回転装置では、
前述のように起動時に水平衝撃荷重が発生する。従来の
防振装置では、このような水平衝撃荷重は、ストッパに
よって機械的に水平変位を止めていた。しかしながら、
半導体製造工場のように極めて厳格な振動制御が必要と
されている場所では、この時の衝突振動が工場内に伝播
して製造装置に影響を与え、機器の精度を一時的に低下
させて製品の歩留まりを低下させるというような半導体
製造上非常に重要な問題を発生する。

【０００３】そこで従来技術では、防振装置のストッパ
部にゴム材などを使用し、水平変位に対する衝突緩衝部
材を組み込む事で衝突振動を緩衝する方法をとってい
た。しかしながら、この方法では衝突荷重の吸収に限界
があり、しかも部材のクリアランス調整を厳格に行わね
ばわずかな接触で衝突緩衝部材のばね定数が防振装置の
固有振動数を引き上げる結果となり、本来、防振装置に
求められていた防振性能を劣化させてしまう事になって
いた。

【０００４】そのために、防振装置の性能を保証する方
法として、負荷を担持する防振装置の防振台本体部分を
コンクリート製にするなど防振装置自身に過大な質量を
負荷する事によって、回転装置の起動トルクに対して防
振装置の質量比バランスを大きくする事で全体の慣性モ
ーメントを大きくし、回転衝撃荷重に対して回転し難く
して回転装置の起動時の水平回転変位量を小さくすると
いう方法が取られていた。

【０００５】処が、このような方法を取ると前述のよう
に重錘によって防振装置そのものの自重が過大になるた
め、回転装置と防振装置を支えるための基礎架台も必然
的に大きく且つ強固にせざるを得ず、全体形状が極めて
大きくなるばかりか、建物の躯体構造もそれに合わせて
大きくしなければならず、当然施工も大掛かりなものと
なりそのための費用も漠大なものになると言う問題点が
あった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の前記問題に対
する解決課題は、建物の躯体構造に負担をかける事な
く、防振装置の施工工事も軽便にし、しかも、その防振
性能を高める事にあり、そのためには防振装置に本来不
要である過大な質量を付加する必要をなくすようにする
と共に防振性能を劣化させる事なく水平方向の衝撃回転
荷重を効果的に吸収出来るようにする必要がある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記、課題を達成するた
めに、本発明に掛かる防振装置は、床面(1)に設置されたベース(2)と、負荷(3)を担持するための支持台(4)と、ベース(2)上に載置され、支持台(4)を弾性的に支持
する弾性支持体(5)と、支持台(4)に加わる水平方向の衝撃力を緩和するた
めの水平減衰機構(6)とで構成された事を特徴とする。これにより、負荷(3)の垂直荷重を弾性支持体(5)が支持
し、水平方向の回転衝撃荷重を水平減衰機構(6)が受け
持つことになるので、水平減衰機構(6)で始動時の水平
方向の衝撃荷重を効果的に減衰させる事が出来、従来の
ように防振装置(A)に不要な重錘を着けて自重を大きく
するというような事が必要なくなり、装置全体軽量化ば
かりか防振装置(A)の軽量化も達成する事ができた。

【０００８】

【実施例】以下、本発明を図示実施例に従って詳述す
る。図１は本発明にかかる防振装置(A)の平面図、図２
は正面図、図３は側面図、図４は断面図である。ベース
(2)は、床面(1)に設置されるベースプレート(2a)と、弾
性支持体(5)を支持する昇降プレート(2b)とで構成され
ており、昇降プレート(2b)の４隅にはレベリングボルト
(2c)が螺着されており、ベースプレート(2a)の中央に配
置されている。ベースプレート(2a)の４隅には、箱型の
耐震ストッパ取付台(2d)が設けられており、耐震ストッ
パボルト(2e)が立設されている。

【０００９】負荷(3)を担持するための支持台(4)は、逆
Ｕ型の矩形台(4a)と矩形台(4a)の下面中央に装着された
オイルダンパ取付アーム(4b)と矩形台(4a)とオイルダン
パ取付アーム(4b)との入隅に取り付けられたストッパプ
レート(4c)とで構成されている。矩形台(4a)は、昇降プ
レート(2b)の直上に配置されており、その間に弾性支持
体(5)が配置されている。弾性支持体(5)は、本実施例で
は６本の圧縮コイネバネであり、その上下端部にゴム座
(5a)が介装され、出荷時には、ストッパボルト(2e)にて
所定の初期圧縮がかけられている。

【００１０】耐震ストッパボルト(2e)は、前述のように
ベースプレート(2a)の４隅に設けた箱型の耐震ストッパ
取付台(2d)に立設されており、その頭部がストッパプレ
ート(4c)の通孔(4d)に挿入されている。前記通孔(4d)
は、耐震ストッパボルト(2e)の直径よりかなり大きく穿
孔されており、通常は通孔(4d)の孔縁に耐震ストッパボ
ルト(2e)が接触しないようになっている。(2f)は耐震ス
トッパボルトに装着された固定ナットであり、その上部
は円錘状に加工されている。防振装置(A)の搬送時や取
り付け時など、防振装置(A)を使用していない場合には
ストッパプレート(4c)を両側から締め付け固定するよう
になっている。(2g)は耐震ストッパボルト(2e)を耐震ス
トッパ取付台(2d)に固定するためのロックナットであ
る。

【００１１】水平減衰装置(6)はオイルダンパのような
もので、支持台(4)に加わる水平方向の衝撃力を緩和す
るためのもので、その断面構造を図４に示す。この水平
減衰装置(6)は、抵抗パイプ(6a)とケーシングパイプ(6
b)とで構成されており、ケーシングパイプ(6b)内には抵
抗用の粘性オイル(6c)が収納されており、抵抗パイプ(6
a)のパイプ部(6d)が粘性オイル(6c)内に挿入されてい
る。ケーシングパイプ(6b)はベースプレート(2a)に装着
されており、抵抗パイプ(6a)は取付アーム(4b)に装着さ
れている。粘性オイル(6c)の粘度は、これに限られない
が本実施例では300,000cSt(センチストークス)であり、
本実施例ではシリンコオイルが使用されている。(6e)は
抵抗パイプの上端鍔部であり、その下側にはパッキン(6
g)が装着されており、出荷時にはケーシングパイプ(6b)
に強く当接することによって粘性オイルをシール状態と
している。(6f)は取付アームボルトである。

【００１２】防振装置(A)が適用される回転装置(3)は、
例えば縦型軸流ファンのようなもので、起動時に水平回
転方向に衝撃荷重が発生するようなものである。ここで
は、軸流ファンを例にとって説明する事にする。

【００１３】しかして、工場の床面(1)に穿設された軸
流ファン挿入用の配置孔(7)の孔縁に所定間隔で防振装
置(A)を設置する。

【００１４】続いて、軸流ファン(3)の下部を軸流ファ
ン配置孔(7)に挿入し、軸流ファン(3)の側面から突出し
た取付フィン(3a)を防振装置(A)の矩形台(4a)上に設置
し、矩形台(4a)の取付孔(4e)に取付フィン(3a)をボルト
固定する。これにより、軸流ファン(3)は防振装置(A)に
て全周から支持された状態となる。防振装置(A)はこの
時点ではストッパボルト(2e)と上部を円錘状に加工され
た固定ナット(2f)にてストッパプレート(4c)を両側から
締め付け、全方向固定状態となっており作業性を高めて
いる。

【００１５】然る後、オイルダンパ上端鍔部(6e)を上昇
させる。上昇量は上端部(6e)がケーシングパイプ(6b)の
上端からある程度(本実施例では10mm程度)浮き上がった
状態にセットされる。次に、固定ナット(2f)を緩め、耐
震ストッパボルト(2e)もストッパプレート(4c)から遊離
している状態にする。これで縦型軸流ファン(3)は弾性
体(5)のみで支持されている状態となる。最後に、必要
があれば、レベリングボルト(2c)を操作して弾性支持体
(5)にて軸流ファン(3)が水平に支持されるように支持台
(4)を調節する。

【００１６】ここで、軸流ファン(3)を起動させると、
内部ファン(図示せず)の始動により縦型軸流ファン(3)
全体に回転方向の衝撃荷重が発生し、軸流ファン(3)を
内部ファンの回転方向とは逆方向に回転させようとす
る。

【００１７】この水平方向の回転衝撃荷重の発生と共に
水平減衰装置(6)の抵抗パイプ(6a)がケーシングパイプ
(6b)内を移動しようとするが、ケーシングパイプ(6b)内
の粘性オイル(6c)が抵抗となって抵抗パイプ(6a)の移動
を妨げ、この衝撃荷重を吸収する。時間の経過と共に衝
撃荷重は急速に小さくなり、抵抗パイプ(6a)はケーシン
グパイプ(6b)の中央に戻る。この間、弾性支持体(5)は
軸流ファン(3)の垂直荷重を支持している。縦型軸流フ
ァン(3)の起動トルクは、出力によって相違するので、
取付アームボルト(6f)の長さを調節して抵抗パイプ(6a)
を上下させる事で浸漬量の調整を行い、最も有効な減衰
量の位置に調整する。

【００１８】尚、水平減衰装置(6)は前述のように円柱
状の抵抗パイプ(6a)が粘性オイル(6c)内に垂直に浸漬さ
れ、且つ、底面が解放しているので、抵抗パイプ(6a)の
内部迄粘性オイル(6c)が浸入しており、そのために垂直
方向の減衰抵抗はほとんどないが、水平方向には、粘性
オイルへの圧縮抵抗が作用し、水平方向の変位量が大き
ければ大きい程過大な減衰が働くことになる。

【００１９】

【効果】本発明の防振装置は、床面に設置されたベース
と、負荷を担持するための支持台と、ベース上に載置さ
れ、支持台を弾性的に支持する弾性支持体と、支持台に
加わる水平方向の衝撃力を緩和するための水平減衰装置
とで構成されているので、負荷の垂直方向の荷重を弾性
支持体で支持し、水平方向の衝撃荷重を水平減衰装置で
吸収する事ができ、従来のように負荷の慣性モーメント
を大きくする必要がなく、従って、負荷全体の荷重並び
に大きさをコンパクトにまとめる事ができて負荷を支え
る建物にも過大の負担を強いる必要がないという利点が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の防振装置の一実施例の平面図

【図２】図１の正面図

【図３】図１の側面図

【図４】本発明に使用した水平減衰装置の一部断面図

【図５】本発明の防振装置を軸流ファンに装着した時の
正面図

【符号の説明】

(A)…防振装置 (1)…床面 (2)…ベース (3)…負荷 (4)…支持台 (5)…弾性支持体 (6)…水平ダンパ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】床面に設置されたベースと、負荷
を担持するための支持台と、ベース上に載置され、支持
台を弾性的に支持する弾性支持体と、支持台に加わる水
平方向の衝撃力を緩和するための水平減衰機構とで構成
された事を特徴とする防振装置。