JPH0515045B2

JPH0515045B2 -

Info

Publication number: JPH0515045B2
Application number: JP60104076A
Authority: JP
Inventors: Ryohei Koyama; Yoshinobu Haruta
Original assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1985-05-17
Filing date: 1985-05-17
Publication date: 1993-02-26
Also published as: JPS61263203A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、超薄型、小型でかつ廉価なアクチユ
エータ用プリントコイルユニツトに関する。ここ
でアクチユエータとは、コイルと磁気回路等から
なり、電磁力を利用して電気エネルギーを機械エ
ネルギーに変換するものであり、例えばモータや
リニアモータ、ロータリーアクチユエータ、リニ
アアクチユエータ等を指す。

〔従来の技術とその問題点〕

近年、オーデイオ機器、ビデオ機器、OA機器
等の大幅な進歩と小型、薄型化に伴い、それらに
用いられるアクチユエータも小型、薄型化が望ま
れてきている。

このような機器に用いられるアクチユエータと
して、ロータリーアクチユエータを一例にとれ
ば、第２図Ａに示すように円周方向に均等に分
割、着磁された磁石１０と、いわゆるフオトリソ
グラフイ技術により作成された、磁石の磁極に対
応する渦巻状導体パターン３を有するプリントコ
イルシートの積層体であるコイルユニツト１２と
からなる構造のものが望まれている。このプリン
トコイルシートは巻線コイルに比べ極めて薄いた
め、プリントコイルシートを積層して得られるプ
リントコイルユニツトを使つたアクチユエータは
ヨーク板１３と磁石１０の間隔（ギヤツプ）をか
なり薄くすることができ、その結果、コイルが存
在する位置の磁場が強くなつてトルクが大きくな
る。

ところでアクチユエータにおいては、磁気検出
素子８を使つてコイルに流す電流を切り換える
が、プリントコイルユニツトの導入でコイル部の
厚みが著しく薄くなり、磁石とヨーク板の距離を
小さくできるようになつたため、こんどは磁気き
くなつて、その配置が困難となつた。磁気検出素
子としては、ホール素子や磁気抵抗素子、などが
あるがこれらはいずれも上記のプリントコイルユ
ニツトよりもかなり厚く、従来はこれらの磁気検
出素子８を例えば第２図Ｂに示すようにコイルユ
ニツト１２の上に、対峙する磁石１０につかえな
いようにギヤツプを大きくして置いている。しか
し磁気検出素子をこのように配置したのでは磁石
とコイルの距離が離れてしまい、せつかくの薄く
巻けるというプリントコイルシートの特長が生か
されない。また薄型化を狙つて磁気検出素子を磁
石の主磁束の外に置くとこんどは磁気検出感度が
低下し、磁気検出素子のための増幅器の高感度化
が必要となりＳ／Ｎ比をとりにくく、コストが高
くなる。

〔問題を解決するための手段・作用〕

本発明は、薄い磁気検出素子を、プリントコイ
ルシートの渦巻状導体パターン以外の部分に埋め
込むことにより上記問題点を解決したものであ
る。

すなわち本発明は、同一平面上に一個以上の磁
すなわち本発明は、同一平面上に一個以上の磁極
が着磁された磁石に対峙して設置される１枚以上
のプリントコイルシートの単体またはその積層体
からなる小型アクチユエータ用プリントコイルユ
ニツトであつて、前記プリントコイルシートが同
一平面上に１個以上の渦巻用状パターンを有し、
かつ厚みが前記プリントコイルシートの厚みと同
じかまたは薄い１個以上の磁気検出素子がプリン
トコイルシートの単体の層内であつて前記渦巻状
導体パターン以外の部分に埋め込まれていること
を特徴とする小型アクチユエータ用プリントコイ
ルユニツトである。

第１図に本発明のプリントコイルユニツトを組
み込んだアクチユエータの１例を示す。

本発明に使用されるプリントコイルシートは、
どんな製造法によつたものでもよく、例えばエツ
チングやメツキ法やそれらを組み合わせた方法で
製造されたものでも良いが、特開昭57−91590号
公報に記載された製造法により製造されたプリン
トコイルシートが好ましい。またその大きさはさ
は0.1〜２mmが特に有効である。またコイル部の
線密度としては２〜20本／mm、さらに好ましくは
５〜20本／mmが良い。第３図に本発明に用いられ
るプリントコイルシートの１例を示す。磁石がＮ
極Ｓ極各ｎ個づつある場合、2n個の渦巻状パタ
ーン３がプリントコイルシート支持体２の両面に
形成される。第３図は、磁石がＮ極Ｓ極各４個着
磁されている場合で８個の渦巻状導体パターン３
が配置されている例である。なおプリントコイル
シート支持体２をはさんで表裏２個の渦巻状導体
パターンを１個の渦巻状導体パターンと数える。
一般に渦巻状導体パターン３は、同一平面上に配
置され、中心は第１図に示したアクチユエータの
軸１１及び磁石１０の中心に一致する。

必要に応じてスルーホール６により、プリント
コイルシート支持体２をはさんで両側に存在する
導体パターン３が導通するように接続される。プ
リントコイルシート支持体２は電気絶縁性を有す
れば何でもよく、例えばガラスエポキシ基板やポ
リイミドフイルムやエポキシ樹脂等が好ましく使
用される。又、スルーホール６の形成方法も何で
もよい。

第４図は本発明に用いられるリニアアクチユエ
ータ用プリントコイルシートの１例である。１個
以上の渦巻状導体パターンが摺動方向と同一の直
線上に並んでおり、第４図は渦巻状導体パターン
が２個の場合を示している。リニアアクチユエー
タ用プリントコイルシートも偏平型ブラシレスモ
ータと同様、必要に応じてスルーホール６によ
り、プリントコイルシート支持体２を挟んで両面
に存在する導体パターン３が導通するよう接続さ
れる。

磁気検出素子の厚さは、その素子が取り付けら
れるプリントコイルシートの厚さ以下であること
が必要である。

磁気検出素子８は、コイルユニツトを構成する
プリントコイルシートに埋め込む。ここでいう
「埋め込む」という状態は第５図Ａ，Ｂに示すよ
うにプリントコイルシートの厚みのなかに磁気検
出素子の受感部１４とそれをモールドしている部
分を含む全体が入つている状態もいる。従つて、
プリントコイルシートの表面から、磁気検出素子
が全く飛び出せない。ここで受感部とは磁気検出
素子のなかで磁場の強さを電気信号に変換する能
力のある場所をいう。磁気検出素子としては磁場
の変化を電気信号に変換できれば何でもよいが、
例えばホール素子、磁気抵抗素子等が用いられ
る。

素子がプリントコイルシートの厚さより薄けれ
ば、コイルユニツト内のその素子が取り付けられ
ているプリントコイルシート以外のプリントコイ
ルシートの渦巻状導体パターンをその素子の位置
や形状にあわせて変形させる必要がなく渦巻状導
体パターンの設計に自由度が増す。特に本発明に
用いる磁気検出素子としては、フエイスダウンボ
ンデイングまたはリードボンデイングされたホー
ル素子が特に好ましい。このような素子は、0.6
mm以下の厚みのものも作製可能であり、0.4mmよ
り薄いものまで作製し得る。

また素子の形状も何んでも良いが、特に素子を
外周に面した、渦巻状導体パターンの角を丸味を
持たせ変形させた領域に配置する時は、五角形や
三角形が好ましい。

磁気検出素子８は、コイルユニツトを構成する
どのプリントコイルシートに埋め込んでもよい
が、コイルユニツトを構成するプリントコイルシ
ートのうち１枚の中に全部を埋め込むことが好ま
しい。磁気検出素子を１枚のプリントコイルシー
トに埋め込むと、磁石から各磁気検出素子への距
離が正確に一致し、各素子が受ける磁場の強さが
一定になる。また、１枚のプリントコイルシート
上に金型を用いて全ての磁気検出素子を位置決め
して埋め込むための穴を一遍に開けられるので、
磁気検出素子相互の位置精度も高くできる。その
結果、各コイルに流す電流の切り変えタイミング
が正確になり、回転ムラやリニアアクチユエータ
の推力のムラを低く抑えることができる。

さらに、磁気検出素子を埋め込んだプリントコ
イルシートは、コイルユニツトの中で最も磁石に
近い側に配置することが好ましい。このように配
置することにより、磁気検出素子が受ける磁場が
強くなり、磁気検出素子の出力が高くなつて電流
の切り換えタイミングが正確になる。さらに磁石
に最も近いプリントコイルシートに磁気検出素子
を埋め込むことにより、そのコイルのトルクに寄
与する部分を一部除去し、トルクへの寄与を減じ
て、各プリントコイル間の磁石へのトルク寄与の
バランスをとることができる。そのためトルクむ
らを減じる効果を期待できる。

偏平型ブラシレスモータの場合、磁気検出素子
を埋め込むプリントコイルシート上の位置は、以
下の２つの条件を同時に満たすことが好ましい。
その第１の条件は、第６図Ｂに示すアクチユエー
タの中心からの距離と磁場の強さの関係のグラフ
からわかる様に、マグネツトの内径をr₁、外径を
r₂とした時、磁石の中心から、磁気検出素子の受
感部の中心への距離をＲとした時、Ｒがr₁×1.2
≦Ｒ≦r₂×1.1、更にr₁×1.4≦Ｒ≦r₂×1.0を満足
することである。Ｒは小さくても大きくても磁場
が弱くなり磁石位置検出精度が低下する。磁気検
出素子を埋め込む位置の第２の条件は、渦巻状導
体パターン３とその中央部５を除いた場所で渦巻
状導体パターンどうしの間や内周及び外周に面し
た部分がよいことである。磁気検出素子はその駆
動方法に応じて２個以上配置するが、多くの場合
その円周方向配列ピツチは、渦巻状導体パターン
の配列ピツチとは一致しない。つまり１個の磁気
検出素子を渦巻状導体パターンどうしの間の空い
ているスペースに配置しても他の磁気検出素子の
位置は渦巻状導体パターンと重なる。そこで渦巻
状導体パターンのアクチユエータトルクに寄与す
る部分を一部犠牲にしてパターンを少し変形さ
せ、そこに磁気検出素子を埋め込む。例えば第７
図Ａ，Ｂ，Ｃ或いはＤのようにすればよい。

またリニアアクチユエータの場合、磁気検出素
子を埋め込むプリントコイルシートの位置は、２
つの条件を同時に満たす必要があり、その第１の
条件は、第８図(B)に示した磁石の中心からの距離
と磁場の強さの関係のグラフからわかるように、
磁石の軸方向の中心から磁気検出素子８の受感部
の中心までの距離をＲとした時、Ｒ≦／２＋ｄ（ｄは磁石とコイル間の距離）を満足することであり、さらにＲ≦ｌ／２＋ｄ／２であることが好ましい。Ｒがｌ／２＋ｄより大きいと磁場が弱くなり磁石位置検出精度が低下する。磁気検出素
子を埋め込む位置の第２の条件は、渦巻状導体パ
ターン３上及び導体パターン中央部５を除いた部
位であることであり、第９図Ａ，Ｂに示すよう
に、外周に面した部分が好ましい。

磁気検出素子をプリントコイルシートへ埋め込
む方法は、例えばプリントコイルシートにプレス
機で穴を明け、素子を入れて接着剤で固定すれば
よい。穴は素子の外形、例えば三角形や長方形と
同一形状に開けると位置精度が向上するので好ま
しい。最も簡便でしかも高精度な例としては、第
１０図に示す様に三角形の磁気検出素子を用いプ
リントコイルシートの外周部の一部に素子の外形
に合うＶ形の切りこみ１５を、プリントコイルシ
ートの内外両径の金型加工時に同時に設け、その
Ｖ形切り欠き部１５に三角形の磁気検出素子を埋
め込んで接着剤で固定する手法が挙げられる。磁
気検出素子のプリントコイルシートへの固定には
液状またはシート状のエポキシ系やフエノール系
の接着剤などが使用される。また、磁気検出素子
を挿入する穴または切りこみを金型で打ち抜く時
の位置合わせは、プリントコイルシートのフオト
マスクに予め印を入れておいて、それを使つて行
うと、磁気検出素子のコイルに対する位置精度も
著しく向上する。

以上の様にして磁気検出素子を埋め込んだプリ
ントコイルシートどうし、あるいはそれと磁気検
出素子を含まないプリントコイルシーノとを複数
枚積層してコイルユニツトを形成する。場合によ
つては磁気検出素子を埋め込んだプリントコイル
シート単体で用いてもよい。この積層にはコイル
の固定ができてコイル間の絶縁がとれれば何を使
つてもよいが、例えばエポキシ系やフエノール系
の接着剤でも、また、絶縁フイルムの両面に接着
剤を半硬化の状態にして塗布してある接着剤シー
トを用いても良い。

以下に本発明のプリントコイルユニツトの実施
態様を掲げるが、本発明はかれらの実施態様にな
んら限定されるものではない。

実施例１フオトリソグラフイ技術および電解銅メツキに
より、外径20mmφ、内径７mmφの偏平ドーナツ型
で中心角45゜に分割した各領域に渦巻状導体パタ
ーンを絶縁層を挟んで表裏両面に８極ずつ配置し
たプリントコイルシートを２枚作成した。各プリ
ントコイルシートともに両面の渦巻状導体パター
ンの１極を小さくし、コイルシートの外周側にホ
ール素子を埋め込むための場所を開けた。各渦巻
状導体パターンは中心部に設けられたスルーホー
ルにより絶縁層を挟んで対向するパターンどうし
を電気的に接続してあり、また同一面上の互いに
隣り合うパターンどうしはコイルの巻き方向を逆
にした。プリントコイルシートの両面には絶縁用
オーバーコート樹脂を塗布した。プリントコイル
シートの厚みは２枚ともオーバーコート層を含め
て0.3mmであつた。

次に、同一基板上に形成された上記のプリント
コイルシートをブツシユバツク型の金型で１個１
個の偏平ドーナツ状プリントコイルシートに切断
分離した。この時、同時に外周側の所定個所に一
辺が2.3mm、厚みが0.3mmの正三角形のホール素子
をその受感部が軸中心から９mmの位置にくるよう
に埋め込むための切り欠きを金型によつて切断形
成した。

厚さ１mmケイ素剛板を切断して得たヨーク板上
に厚さ42μmの日東電工社製接着シート（ニトフ
イツクス TK−2532）を敷き、その上に上記プ
リントコイルシートをのせ、その切り欠き部にホ
ール素子をプリントコイルシート面から出さない
ように、かつ凹まないように嵌め込み、さらにそ
の上に前述の接着シートを敷き、２枚目のプリン
トコイルシートを１枚目のプリントコイルシート
に対し中心角を22.5゜ずらしてのせ、先と同様に
してホール素子を嵌め込んだ積層体を加熱プレス
機に挟み、120℃、10Kg／cm²の条件下で１時間加
熱圧着した。

このようにして、得られたコイルユニツトとヨ
ーク板の積層体を、外径19mmφ、内８mmφ、厚さ
１mmの希土類焼結磁石（サマリウム−コバルト２
−17系、最大エネルギー積20MGOe（メガガウス
エルステツド））を円周方向に45゜ずつ分割し、面
に垂直な方向にＮ極、Ｓ極を４極ずつ交互に着磁
した磁石と0.5mmの〓間を開けて対峙させ、磁石
の上端からプリントコイルユニツトを経てヨーク
板の下端までの総厚みが3.1mm、磁石とヨーク板
の間の距離（ギヤツプ）が1.1mmの偏平ブラシレ
スモータを10台得た。

これらのモータを、モータ特性の評価法の１つ
である他のセータによつて被測定モータを一定の
回転数で回転させ、その際モータコイルから生じ
る起電圧を測定する逆起電圧測定法により、磁石
に近い側のコイルと違い側のコイルの逆起電圧を
測定したところ、2400r.p.mにおいてモータの全
体のトルクを示す指標である両プリントコイルの
逆起電圧の和は10台のモータの平均で2.08Vまた
２つのプリントコイルのモータトルクへの寄与の
差を示す両逆起電圧の差は10台のモータの平均で
0.174Vであつた。

また、上記各電圧の測定中ホール素子に５ｍＡ
の電流を流して出力電圧のピーク間電圧を測定し
たところ、10台のモータの平均値は磁石に近い側
のコイル用のホール素子の出力が280ｍＶ、磁石
に遠い側のコイル用のホール素子の出力が248ｍ
Ｖであつた。

比較例１一辺が2.3mm、厚みが世路0.9mmの正三角形のホ
ール素子２個をその受感部が軸中心から９mmで素
子相互の中心角が22.5゜になるように磁石に近い
側のプリントコイルシートの１極の渦巻状導体パ
ターン上にロツクタイト社製瞬間接着剤タツクバ
ツク^Rで接着した点以外は実施例１と全く同様な
偏平型ブラシレスモータを３台作成した。得られ
たモータの磁石上端からヨーク板下端までの総厚
みはいずれも4.0mm、磁石とヨーク板の間の距離
（ギヤツプ）はいずれも2.0mmであつた。

これらのモータについてモータ特性の評価を行
つたところ、2400r.p.m.におけるモータ内の２つ
のプリントコイルシートの逆起電圧の和は３台の
モータの平均で1.49Vであつた。

また上記各電圧の測定中にホール素子に５ｍＡ
の電流を流して両方のプリントコイルシート上の
ホール素子の出力電圧のピーク間電圧を測定した
ところ、３台のモータの平均で240ｍＶと243ｍＶ
であつた。なお、出力波形の位相差から計算され
るホール素子間の中心角は角モータ毎に21.8゜、
22.6゜、23.1゜であつた。

実施例２フオトリソグラフイ技術および電解銅メツキに
より、外径20mmφ、内径mmφの偏平ドーナツ型で
中心角45゜に分解した各領域に渦巻状導体パター
ンを絶縁層を挟んで表裏両面に８局ずつ配置した
プリントコイルシートを２枚作成した。１枚のプ
リントコイルシートは８極の渦巻状導体パターン
を均等に並べ、他の１枚は両面の渦巻状導体パタ
ーンの１極を小さくし、コイルシートの外周側に
ホール素子を埋め込むための場所を開けた。各渦
巻状導体パターンは中心部に設けられたスルーホ
ールにより絶縁層を挟んで対向するパターンどう
しを電気的に接続してあり、また同一面上の互い
に隣り合うパターンどうしはコイルの巻き方向を
逆にした。プリントコイルシートの両面には絶縁
用オーバーコート樹脂を塗布した。プリントコイ
ルシートの厚みは２枚ともオーバーコート層を含
めて0.3mmであつた。

次に、同一基板上に形成された上記のプリント
コイルシートをブツシユバツク型の金型で１個１
個の偏平ドーナツ状プリントコイルシートに切断
分離した。この時、ホール素子を埋め込む方のプ
リントコイルシートは同時に外周側の所定箇所に
一辺が2.3mm、厚みが0.3mmの正三角形のホール素
子２個をそれぞれの受感部が軸中心から９mmの位
置で、素子相互の中心角が22.5゜になるように埋
め込むための切り欠きを金型によつて切断形成し
た。

厚さ１mmケイ素剛板を切断して得たヨーク板上
に厚さ42μmの日東電工社製接着シート（ニトフ
イツクス TK−2532）を敷き、その上に上記の
切り欠きを設けない方のプリントコイルシートを
のせ、その上に前述の接着シートを敷き、２枚目
の切り欠き部を設けプリントコイルシートを１枚
目のプリントコイルシートに対し中心角を22.5゜
ずらしてのせ、その切り欠き部にホール素子をプ
リントコイルシート面から飛び出さないように、
かつ凹まないように嵌め込んだ積層体を加熱プレ
ス機に挟み、120℃、10Kg／cm²の条件下で１時間
加熱圧着した。

このようにして得られたコイルユニツトとヨー
ク板の積層体を、外径19mmφ、内径８mmφ、厚さ
１mmの希土類焼結磁石（サマリウム−コバルト２
−17系、最大エネルギー積20MGOe（メガガウス
エルステツド））を円周方向に45゜ずつ分割し、面
に垂直な方向にＮ極、Ｓ極を４極ずつ交互に着磁
した磁石と0.5mmの〓間をあけて対峙させ、磁石
の上端からプリントコイルユニツトを経てヨーク
板の下端までの総厚みが3.1mm、磁石とヨーク板
の間の距離（ギヤツプ）が1.1mmの偏平ブラシレ
スモータを10台得た。

これらのモータについてモータ特性の評価を行
つたところ、2400r.p.m.におけるモータ内の２つ
のプリントコイルの逆起電圧の和は10台のモータ
の平均で2.09Vであり、また両コイルの逆起電圧
の差は10台のモータの平均で0.038Vであつた。

また上記各電圧の測定中にホール素子に５ｍＡ
の電流を流して出力電圧のピーク間電圧を測定し
たところ、10台のモータの平均で288ｍＶと279ｍ
Ｖであつた。

なお、出力波形の位相差から計算されるホール
素子間の中心角は10台とも22.5±0.3゜に入つてい
た。

〔発明の効果〕

本発明のプリントコイルユニツトは、そのユニ
ツトを構成する各プリントコイルシートが薄い上
に、その中にプリントコイルシートの厚み以下の
磁気検出素子が埋め込まれているので、アクチユ
エータに組み立てた場合に磁石とヨーク板の間の
ギヤツプを十分に小さくすることができ、超薄型
のアクチユエータが得られる。

特に、コイルユニツトを構成するプリントコイ
ルシートのうち、１枚のプリントコイルシート中
に全ての磁気検出素子を埋め込むことにより、磁
気検出素子の受ける磁場を等しくさせ、各素子の
出力電圧をそろえ、さらに磁気検出素子を埋め込
んだプリントコイルシートを磁石に最も近い側に
配置すれば、磁気検出素子を埋め込むためにコイ
ルパターンを変形させることにより磁石に最も近
い側のプリントコイルシートのアクチユエータト
ルクへの寄与を減じてあるので、各プリントコイ
ルシートのトルクへの寄与も同時に揃えることが
可能となり、その結果高回転安定性を持つ小型薄
型アクチユエータが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ，Ｂはそれぞれ本発明のプリントコイ
ルユニツトを組み込んだ小型アクチユエータの１
例を示す組立分解図と断面図であり、第２図Ａ，
Ｂはそれぞれ従来の小型アクチユエータの組立分
解図と断面図である。第３図Ａ，Ｂ，Ｃは本発明
に使用されるプリントコイルシートの１例で、順
に表平面図、裏平面図、及びＡ−A´矢視図であ
る。第４図、Ａ，Ｂは本発明に用いられるリニア
アクチユエータ用プリントコイルシートの１例
で、それぞれ表平面図、Ａ−A′矢視図である。
第５図はＡ，Ｂ，Ｃは本発明でいうプリントコイ
ルシートに磁気検出素子を「埋め込む」状態を説
明する断面図、第６図並びに第８図のＡ，Ｂはそ
れぞれ本発明のプリントコイルユニツトを組み込
んだアクチユエータの断面図、及びアクチユエー
タ中心からの距離と磁場の強さの関係を示すグラ
フである。第７図並びに第９図は好ましい磁気検
出素子の埋め込み位置の例を示すプリントコイル
シートの表面図である。第１０図は磁気検出素子
を埋め込むための切り欠き部を設けたプリントコ
イルシートの表面図である。第１１図並びに第１
３図、Ａ，Ｂ，Ｃは順に実施例１並びに２で得ら
れた小型ブラシレスモータの断面図、磁石に近い
側のプリントコイルシートの平面図、磁石に遠い
側のプリントコイルシートの平面図であり、第１
２図Ａ，Ｂ，Ｃは順に比較例１で得られた小型ブ
ラシレスモータの断面図、磁石に近い側のプリン
トコイルシートの平面図、磁石に遠い側のプリン
トコイルシートの平面図である。１，１ａ，１ｂ……プリントコイルシート、２
……プリントコイルシート支持体、３……渦巻状
導体パターン、４……スルーホールランド、５…
…渦巻状導体パターンの中央部、６……スルーホ
ール、７……外部接続用端子、８……磁気検出素
子、９……絶縁用オーバーコート樹脂、１０……
磁石、１１……軸、１２……コイルユニツト、１
３……ヨーク板、１４……磁気検出素子内の受感
部、１５……磁気検出素子埋め込み用切り欠き
部。

Claims

【特許請求の範囲】１同一平面上に１個以上の磁極が着磁された磁
石に対峙して設置される１枚以上のプリントコイ
ルシートの単体またはその積層体からなる小型ア
クチユエータ用プリントコイルユニツトであつ
て、前記プリントコイルシートが同一平面上に１
個以上の渦巻用状パターンを有し、かつ厚みが前
記プリントコイルシートの厚みと同じかまたは薄
い１個以上の磁気検出素子がプリントコイルシー
トの単体の層内であつて前記渦巻状導体パターン
以外の部分に埋め込まれていることを特徴とする
小型アクチユエータ用プリントコイルユニツト。２磁気検出素子を２個以上埋め込む場合に全て
の磁気検出素子が同一のプリントコイルシート
に、磁石面からの距離が実質的に同一となるよう
に埋め込まれている特許請求の範囲第１項記載の
小型アクチユエータ用プリントコイルユニツト。３全ての磁気検出素子が、磁石に最も近いプリ
ントコイルシートに埋め込まれている特許請求の
範囲第２項記載の小型アクチユエータ用プリント
コイルユニツト。