JPH05155659A - 透明セラミック及びその製造方法 - Google Patents

透明セラミック及びその製造方法

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JPH05155659A
JPH05155659A JP4145198A JP14519892A JPH05155659A JP H05155659 A JPH05155659 A JP H05155659A JP 4145198 A JP4145198 A JP 4145198A JP 14519892 A JP14519892 A JP 14519892A JP H05155659 A JPH05155659 A JP H05155659A
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JP
Japan
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ceramic
heat treatment
temperature
oxide
titanium
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JP4145198A
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English (en)
Inventor
Jean-Francois Baumard
− フランソワ ボマル ジャン
Marcel Boncoeur
ボンクウル マルセル
Gilles Gasgnier
ガスグニエル ジル
Louis Minjolle
マンジョル ルイ
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Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/50—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
    • C04B35/505—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds based on yttrium oxide

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 酸化イットリウム及び酸化チタンを基にした
高密度高光透過性セラミック及びその製造方法。 【構成】 酸化イットリウム及び酸化チタンを基にした
セラミックにおいて、0.5 〜８μm の波長範囲で少なく
とも20％の光透過率を有することを特徴とするセラミッ
ク。酸化イットリウムと少なくとも一種類のチタン酸化
物とをよく混合し、得られた混合物を乾燥し、それを焼
結するために熱処理することからなるセラミックの製造
方法において、前記熱処理が、少なくとも、その物品の
線収縮率が全線収縮の75％に相当する時間から、酸素を
含有する雰囲気中で行われることを特徴とするセラミッ
ク製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光に透明なセラミック
及びその製造方法に関する。特に本発明は、酸化イット
リウム及び酸化チタンを基にしたセラミックに関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックのための粉末として酸化イッ
トリウム単独を用いると、満足なセラミックを得ること
ができなくなる。なぜなら、緻密化中粒子成長が余りに
も急速に行われるからである。その場合、一般に1700℃
を超える非常に高い温度でその材料を焼結する必要があ
る。例えば、荷重下での焼結又はホットアイソスタティ
ックプレスにより与えられる外部圧力の助けをかりない
と、密度は粒子間気孔率により理論密度の約99％止まり
になる。この残留気孔率及び粒子の大きさは、機械的及
び光学的性質に対し有害である。
【０００３】問題は、粒子成長過程と比較して緻密化過
程の速度を大きくすることである。それによって最終密
度が理論密度に近く、改良された微細構造を有する高密
度セラミックを低い温度で得ることができるようになる
であろう。
【０００４】この問題の解決方法が、フランス特許出願
90 05888に提案され、記述されており、それは、酸化イ
ットリウムを基にした組成物を用い、少なくとも一種類
のチタン酸化物又はその酸化物の前駆物質を配合物し、
それによりその組成物を1700℃より低い温度で焼結でき
るようにすることからなる。得られたセラミックは理論
密度の少なくとも90％になる密度を有し、好ましくは理
論密度の95〜100 ％の密度を有する。しかし、そのセラ
ミックは光子又は光線に対し僅かな透明性しかもたな
い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的の一つ
は、広い波長範囲の光線に対し透明な、即ち大な光線透
過能力を有する酸化イットリウム系セラミックを与える
ことにより、前記欠点を除くことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的のため、本発明
は、光透過％として表して、0.5 〜８μm の波長に対し
少なくとも20％の透過能力を有することを特徴とする、
酸化イットリウム及び酸化チタンを基にしたセラミック
を提案する。
【０００７】光透過能力は、0.2 〜10μm の波長に対し
ての分光光度計により測定され、その装置は与えられた
波長範囲に適合するものである。
【０００８】本発明により、セラミックは、セラミック
重量に基づき0.01〜２重量％、好ましくは0.1 〜0.5 重
量％の酸化チタンを含有する。
【０００９】本発明の別の特徴により、本発明は、大き
な高度に緻密化されている。例えば、セラミックの密度
は理論密度の少なくとも99.6％である。
【００１０】本発明によるセラミックは、有利には2.5
〜７μm の波長に対し少なくとも70％の光透過能力を有
する。従って、本発明によるセラミックは、タングステ
ンハロゲンランプのための管球或はレーザーのための赤
外線光学的窓を製造するのに用いることができる。
【００１１】本発明は、上で述べた種類の透明セラミッ
クを製造する方法にも関する。本発明の方法は、セラミ
ックの前駆物質組成物を調製し、それを焼結して本発明
によるセラミックを与えることからなる。そのような組
成物は、特に酸化イットリウムと、フランス特許出願90
05888に記載されているような、少なくとも一種類のチ
タン酸化物との緊密な混合物を生成させることにより得
られる。この混合物は前記酸化物の前駆物質から得るこ
ともできる。
【００１２】酸化イットリウム及びチタン酸化物の前駆
物質と言う言葉は、焼結セラミック物質製造条件で酸化
物相になることができるイットリウム又はチタン化合物
（鉱物又は有機塩、水酸化物等）を意味するものと理解
されたい。用語チタン酸化物とは、二酸化チタンＴｉＯ
2 及び（又は）混合Ｔｉ−Ｙ酸化物、例えば、Ｙ2 Ｔｉ
Ｏ5 及び（又は）Ｙ2 Ｔi2Ｏ7 を意味する。
【００１３】ＴｉＯ2 として表したチタンイオンと、Ｙ
2 Ｏ3 として表したイットリウムイオンとの割合は、広
い範囲内で変えることができる。しかし、0.01〜２重量
％のＴｉＯ2 と、98〜99.99 重量％のＹ2 Ｏ3 を有する
のが適切である。好ましい組成は、0.1 〜0.5 重量％の
ＴｉＯ2 及び99.5〜99.9重量％のＹ2 Ｏ 3 である。
【００１４】組成物は焼結セラミック物質を形成するよ
うに考えられている。それは、後に記載する製造方法と
本質的に結び付いた幾つかの形態を持つことができる。
この組成物は、全て酸化物にすることができ、即ち、酸
化イットリウム及び単一酸化物の形の酸化チタン、任意
に混合酸化物Ｙ2 ＴｉＯ5、Ｙ2 Ｔi2Ｏ7 を含むことが
できる。それは、酸化イットリウムと酸化チタン前駆物
質との混合物の形にしてもよい。共沈が用いられる場合
には、イットリウムとチタンが両方共前駆物質の形にな
っていてもよい。どの場合でも、酸化物前駆物質は、ど
のような希望の従来のか焼段階中でも、或は焼結セラミ
ック物質を得るための組成物の焼結中でも、対応する酸
化物へ転化する。
【００１５】セラミックのための組成物は、種々の方法
で調製することができる。第一の方法は、「シャモット
化」法からなる。酸化イットリウムを少なくとも一種類
のチタン酸化物と、任意にそれを乾燥した後、よく混合
する。本発明で用いた酸化イットリウムは、文献に記載
された既知の生成物である。それは水酸化イットリウ
ム、又は硝酸塩、硫酸塩、炭酸塩、蓚酸塩、及び酢酸塩
の如き或る酸素含有塩を400 〜1000℃で空気中で加熱す
ることにより特に製造することができる(Paul PASCAL -
Nouveau Traite de Chimie Minerale, vol.VII 参
照）。
【００１６】用いられる酸化イットリウムは、好ましく
は高純度を有し、好ましくは99.9％を超える純度を有す
る。チタン酸化物は、一酸化チタン、セスキ酸化チタ
ン、アナターゼ又はルチル型の二酸化チタンでもよい。
チタンイオンを、混合イットリウム・チタン酸化物の
形、特にＹ2 ＴｉＯ5及びＹ2 Ｔi2Ｏ7 の形で供給する
こともできる。後者は、例えば、適当な割合のチタン及
びイットリウムの酸化物の混合物を約1300℃でシャモッ
ト化することにより得られる。前述の酸化物の混合物を
用いることもできる。用いられる種々の酸化物の割合
は、前述の重量％が得られるような割合である。
【００１７】種々の酸化物粉末は、もし必要ならば、固
い凝集物を含まないように粉砕する。それらの平均粒径
が約１μm かそれより幾らか小さいような粒径を有する
のが望ましい。粒径分析は、懸濁粒子の分布を測定する
セディグラフ(SEDIGRAPH）5000Ｄ装置を利用して行われ
る。平均粒径とは、粒子の50重量％がその平均粒径より
大きいか、又は小さい粒径を有するような粒径のことで
ある。
【００１８】粉末を希望の粒径を有するようにするた
め、殆どの場合、粉砕又はミル掛けを行い、これは湿式
又は乾式法で行うことができる。空気ジェット粉砕を用
いることもできるが、通常粉砕は、慣用的乾式法又は懸
濁法で、そのような方法のための慣用的添加物、例え
ば、粉砕剤及び分散剤を入れて又は入れずに行われる。
好ましいやり方として、酸化物粉末を水中又は、例え
ば、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプ
ロパノールのようなアルコール、又は例えばベンズアル
デヒドのようなアルデヒド又はケトンの如き有機液体中
に懸濁し、任意に例えば、六メタ燐酸ナトリウム、珪酸
ナトリウム、トリエタノールアミン、アンモニウムポリ
アクリレート、プロピレングリコール、ジエチレングリ
コール、トリエチレングリコールのようなグリコールの
如き分散剤を入れて粉砕する。
【００１９】前記粉砕操作が終わった時、40〜80％の水
又は有機液体を含む混合物が得られる。次にそれを乾燥
により除去するのが望ましい。乾燥は、除去すべき液体
に依存する温度で行われ、それは通常20〜400 ℃である
が、好ましくは20〜150 ℃である。この操作は、空気中
又は減圧下、例えば、１〜100 mmＨg(133.3322〜13332.
2 Ｐａ）で行うことができる。それは特に噴霧法により
行うことができ、即ち、温度が前述の範囲内にある熱空
気流中で噴霧することにより行うことができる。乾燥時
間は、除去すべき液体量及び用いられる方法に依存す
る。従って、それは広い範囲内で、例えば、15分〜48時
間の範囲で変化することができる。
【００２０】組成物を得る第二の方法は、 a) イットリウム化合物及びチタンを、それら元素の可
溶性塩の溶液から共沈させ、 b) 得られた共沈物を分離する、ことからなる共沈法に
従って調製することからなる。その方法の第一段階で
は、イットリウムとチタンが共沈する。出発可溶性塩の
溶液は、鉱物又は有機金属化合物の水溶液又は有機溶液
にすることができる。有機溶媒は水混和性であり、好ま
しくは１〜４個の炭素原子を有する脂肪族アルコール又
は例えばエチレングリコール又はジエチレングリコール
の如きグリコールである。
【００２１】最初に用いられる可溶性イットリウム塩の
溶液は、イットリウムの硫酸塩、塩化物及び（又は）硝
酸塩の溶液であるのが好ましい。イットリウム塩は、か
焼された生成物中に見られることがある不純物を含まな
いような仕方で選択される。99.9％を超える純度を有す
るイットリウム塩を用いるのが有利であろう。溶液中の
イットリウム塩の濃度は、本発明による臨界的因子では
なく、広い範囲内で変えることができる。0.2 〜４モル
／リットルの濃度が好ましい。
【００２２】チタン塩に関し、用いることができる化合
物のリストは、塩化チタン、オキシ塩化チタン、例え
ば、テトラメチレート、テトラエチレート、n-テトラプ
ロピレート、テトライソプロピレート、n-テトラブチレ
ート、テトライソブチレートの如き１〜４個の炭素原子
を有する脂肪族アルコールから誘導されたチタンアルコ
キシドからなるが、それらに限定されるものではない。
チタン塩は、イットリウム塩と同じやり方で高純度をも
つように選択されるのが好ましい。溶液中のチタン塩濃
度は限定的なものではないが、好ましくは0.002 〜0.04
モル／リットルの間で変化する。
【００２３】前述の化合物の混合は、任意の順序で行わ
れ、それらの割合は、前述の重量％が得られるような割
合である。
【００２４】沈澱させることができるイットリウム及び
チタンの化合物は、水酸化物、蓚酸塩、及び炭酸塩であ
る。水酸化物の共沈は、可溶性塩の溶液と塩基性溶液を
混合することにより行うことができる。用いられる塩基
性溶液は、特にアンモニア、水酸化ナトリウム、又はカ
リの水溶液にすることができる。アンモニア溶液を用い
るのが好ましい。用いられる塩基性溶液の規定度は本発
明では限定的因子ではなく、広い範囲内で変えることが
できる。しかし、有利には１〜５Ｎ、好ましくは２〜３
Ｎである。
【００２５】塩基性溶液と、イットリウム及びチタンの
可溶性塩の溶液との割合は、塩基性当量数がイットリウ
ム及びチタンの当量数に等しいか又はそれより大きいよ
うな割合でなければならない。反応媒体のｐＨは限定的
なものではないが、７〜約14の範囲にすることができ、
有利には９〜12である。
【００２６】反応媒体の温度は、一般に10〜95℃である
のが好ましい。イットリウム及びチタン水酸化物の混合
共沈物が得られる。
【００２７】別の沈澱方法は、蓚酸共沈である。イット
リウム及びチタンの塩の溶液は、前記特性に従う。沈澱
剤は蓚酸又は好ましくはその無水又は水和形のアンモニ
ウム塩にすることができる。それは結晶形又は水溶液の
形にしてもよい。この場合、蓚酸として表した濃度は、
0.8 〜３モル／リットル、好ましくは0.3 〜１モル／リ
ットルの範囲にすることができる。蓚酸溶液と可溶性イ
ットリウム及びチタンの塩の溶液との割合は、蓚酸当量
数が、イットリウム及びチタンの当量数に等しいか又は
それより大きくなるような割合である。化学量論的量の
50％まで過剰のものを用いることもできる。共沈は10〜
95℃の温度及び5.5 〜６のｐＨで行う。チタン及びイッ
トリウムの蓚酸塩の共沈物が得られる。
【００２８】本方法の第二段階は、得られた懸濁物から
共沈物を分離することからなる。この分離は、傾瀉、吸
引濾過、濾過及び（又は）遠心分離の如き慣用的液体／
固体分離法に従って行うことができる。
【００２９】本方法の一態様に従い、分離した共沈物を
次に水で洗浄してもよい。
【００３０】分離及び任意に洗浄した後に得られる生成
物を、次に前に述べた条件で乾燥することができる。乾
燥温度は20〜150 ℃であるのが好ましい。乾燥時間は好
ましくは15分〜48時間の範囲にある。
【００３１】次に乾燥生成物をか焼して沈澱塩を酸化物
に分解する。か焼は一般に400 〜600 ℃で行われる。か
焼は、例示したやり方では30分間〜24時間継続している
が、１〜13時間であるのが好ましい。か焼時間は、温度
に関係し、か焼温度が高くなる程、それは短くなる。
【００３２】別の態様は、加熱によって酸化物に分解す
る少なくとも一種類のチタン塩、簡単には酸化物前駆物
質として言及されているものの溶液で、酸化イットリウ
ムを含浸させることからなる。酸化物前駆物質として、
前に述べたやり方で水溶液又は有機溶液にした前述の可
溶性塩を用いることができる。酸化物前駆物質の溶液の
濃度は、その可溶性に依存する。
【００３３】実際的見地から、含浸は、アルコール媒体
中で酸化イットリウムを粉砕している間に可溶性チタン
塩を導入することにより、例えば、テトラブチレート、
或はテトライソブチレートの如きチタンの有機金属化合
物を導入し、その有機金属化合物を水を添加することに
より加水分解することにより行うことができる。次に懸
濁した酸化物粉末を、シャモット化法の場合のように乾
燥する。乾燥及びか焼は、前に述べた条件下で行うこと
ができる。
【００３４】上述の組成物は、一軸プレス、アイソスタ
ティックプレス、成形、圧搾、押出し、射出成形の如き
慣用的方法により成形した後、焼結するのが有利であ
る。これらの組成物の焼結は次の工程からなる。形成し
た部品の温度を1300〜1800℃、有利には1500〜1700℃へ
上昇させることにより行われる熱処理にかける。次にそ
の部品を、一般に焼結温度と呼ばれるこの温度に、組
成、希望される密度及び微細構造により変わる与えられ
た時間維持する。温度が上昇する間に、その材料の緻密
化の結果として部品は収縮し、その線収縮率は約15〜20
％である。
【００３５】本発明により、焼結される部品は、少なく
とも熱処理の一部分に亙って、即ち、少なくとも部品に
観察される全収縮の75％の収縮率になる時間から酸素含
有雰囲気中に維持され、これは少なくとも収縮現象が終
わるまで適用される。酸素の存在下で焼結を行うことに
より、非常に大きな密度、特に理論密度の99.6％を超え
る密度を有するセラミックを得ることができるようにな
る。得られるセラミックは、光に対し透明な性質を有す
る。酸素含有雰囲気と言う言葉は、少なくとも99体積％
の酸素を含む雰囲気を意味するものと理解され、純粋酸
素を使用するのが好ましい。簡明にするため、酸素含有
雰囲気を定義するのに酸素を用いる。
【００３６】本発明の別の態様に従い、焼結は全く酸素
中で行うことができる。
【００３７】本発明の態様に従い、焼結期間中、部品を
アイソスタティック圧力下に維持する。別の態様とし
て、部品を焼結段階に続き、高アイソスタティック圧力
の下で熱処理にかける。この処理は、高温、即ち、材料
が可塑状態になる範囲の高温まで上昇させた部品に高ア
イソスタティック圧力を適用することからなる。この方
法はホットアイソスタティックプレス（ＨＩＰ）と呼ば
れている。
【００３８】例えば、本発明により部品を処理するのに
用いられる圧力は、1000×105 Ｐａ〜3000×105 Ｐａで
あり、温度は約1000〜1700℃である。
【００３９】本発明により、ホットアイソスタティック
プレスを受けたセラミックを、酸化性雰囲気中で1000℃
より高く焼結温度よりは低い温度、好ましくは1000〜15
00℃、有利には1100〜1300℃の温度で行われる後熱処理
又は焼鈍にかけるのが有利である。この熱処理により、
材料中に酸素化学量論性を再び確立することができる。
【００４０】本発明による方法は、純粋酸化イットリウ
ムの場合と同じ桁数の透明性を有する酸化イットリウム
系セラミックを得ることができるが、簡単で一層経済的
な方法で、特に酸化性雰囲気中で行われる焼結温度に関
して数百度の有利な差を持って得ることができる。
【００４１】本発明の他の目的、詳細な点及び利点は、
図面を参照した次の実施例から一層明らかになるであろ
うが、本発明は、それら実施例に限定されるものではな
い。
【００４２】
【実施例】実施例中濃度は特に指示しない限り酸化物の
重量％として与えられている。 実施例１〜４ 含浸法を用いて酸化物イットリウム及び酸化チタンを含
む組成物を調製した。既に粉砕し、乾燥した酸化イット
リウム50g とエタノール50cm3 とを混合した。次に0.2
％のＴｉＯ2 に相当する0.425g のチタンn-テトラブチ
レートを添加した。次にそれを200rpmで回転するジルコ
ンボールミル(ATTRITOR)を用いて15分間粉砕操作にかけ
た。次にそれに10cm3 の蒸留水を添加し、粉砕操作を10
5 分間続けた。エタノール及び水を、水流ポンプにより
与えられた減圧下で蒸発器中で蒸発させることにより除
去した。粉末の形の組成物が得られ、それを100 μm の
篩にかけた。組成物を150 ＭＰａの圧力でペレット化し
次に焼結した。
【００４３】焼結は次の工程に従い加熱された管状炉中
で行われた： − 温度上昇： 10℃／分で1000℃まで − 温度上昇： 1.5 ℃／分で焼結温度まで − 1600℃（焼結温度）で３時間維持 − 自然冷却
【００４４】酸素は加熱工程の開始から管中に導入し、
冷却中除去はしなかった。このセラミックの透明性は、
図１の曲線１によって例示されている。
【００４５】得られた材料の一部分を、次に囲い中にそ
の材料を入れ、その囲い中に850 ×105 Ｐａの圧力のア
ルゴンを導入し、それを1200℃／時の温度上昇速度で加
熱することからなるＨＩＰ処理にかけた。温度を1700℃
で１時間維持し、その時圧力は1700×105 Ｐａであっ
た。次に1200℃／時の速度で冷却を行い、冷却が終わっ
た時、アルゴンの圧力を低下した。前記セラミックの性
質を図１の曲線２により例示する。
【００４６】最後に、ＨＩＰ処理後に得られたセラミッ
クを、1200℃で２時間空気中に維持することからなる後
熱処理にかけた。得られた生成物の透明性を図２の曲線
３によって例示する。
【００４７】比較として、図１にはＹ2 Ｏ3 単結晶の透
明性を例示する曲線４も示されている。
【００４８】これらの結果は本発明によるセラミック
が、酸化イットリウム単結晶のものと同じ桁数の透明
度、実際上それと等しい透明度を有することを明確に示
している。
【００４９】実施例５〜７ 実施例１〜４を繰り返した。但し酸化チタンの濃度を表
１に示すように変えた。 実施例 ＴｉＯ2 ％ 曲線 5 0.05％ 5 6 0.2 ％ 6 7 0.5 ％ 7
【００５０】図２は酸素中で600 ℃で焼結した後に得ら
れた結果を例示している。図３は、ホットアイソスタテ
ィックプレスし、酸化性雰囲気中で焼鈍した後のそれら
セラミックの透過率を示している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による種々のセラミックについての波長
λ（μm ）の関数として示した光透過率（Ｉ％）の変動
を示すグラフである。
【図２】ＴｉＯ2 含有量を変動させた本発明によるセラ
ミックの光透過率の変動曲線を示す図１と同様なグラフ
である。
【図３】図２に例示したセラミックであるが、ホットア
イソスタティックプレス及び空気中での焼鈍を行なった
セラミックの光透過率の変動を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルイ マンジョル フランス国タルブ，リュ ジュ．ダルブ レ，10

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 酸化イットリウム及び酸化チタンを基に
    したセラミックにおいて、0.5 〜８μm の波長範囲で少
    なくとも20％の光透過率を有することを特徴とするセラ
    ミック。
  2. 【請求項２】 ＴｉＯ2 の重量濃度が、セラミック重量
    の0.01〜２％であることを特徴とする請求項１に記載の
    セラミック。
  3. 【請求項３】 理論密度の少なくとも99.6％の密度を持
    つことを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミッ
    ク。
  4. 【請求項４】 2.5 〜７μm の波長範囲で少なくとも70
    ％の光透過率を有することを特徴とする請求項１に記載
    のセラミック。
  5. 【請求項５】 酸化チタン重量濃度が0.1 〜0.5 ％であ
    ることを特徴とする請求項１に記載のセラミック。
  6. 【請求項６】 酸化イットリウムと少なくとも一種類の
    チタン酸化物とをよく混合し、得られた混合物を乾燥
    し、それを焼結するために熱処理することからなる請求
    項１に記載のセラミックの製造方法において、前記熱処
    理が、少なくとも、その物品の線収縮率が全線収縮の75
    ％に相当する時間から、酸素を含有する雰囲気中で行わ
    れることを特徴とするセラミック製造方法。
  7. 【請求項７】 熱処理が酸素含有雰囲気中で行われるこ
    とを特徴とする請求項６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 雰囲気が少なくとも99体積％の酸素を含
    むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
  9. 【請求項９】 熱処理が、混合物の温度を上昇させ、13
    00〜1800℃、好ましくは1500〜1700℃の温度を維持する
    ことを含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
  10. 【請求項１０】 温度が酸素含有雰囲気中で1300〜1800
    ℃に維持されることを特徴とする請求項９に記載の方
    法。
  11. 【請求項１１】 酸化イットリウムとチタン酸化物とを
    よく混合したものを、熱処理にかける前に成形すること
    を特徴とする請求項６に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 熱処理がアイソスタティック圧力の下
    で行われることを特徴とする請求項６に記載の方法。
  13. 【請求項１３】 焼結したセラミックが、1000℃を超え
    る温度、好ましくは1000〜1700℃でホットアイソスタテ
    ィックプレスを受けることを特徴とする請求項６に記載
    の方法。
  14. 【請求項１４】 プレスが不活性又は酸化性雰囲気中で
    行われることを特徴とする請求項13に記載の方法。
  15. 【請求項１５】 セラミックが、酸化性雰囲気中で焼結
    温度よりも低く、1000℃より高い温度で加熱することに
    より後熱処理を受けることを特徴とする請求項12に記載
    の方法。
  16. 【請求項１６】 後熱処理が、1000〜1500℃、好ましく
    は1100〜1300℃の温度で行われることを特徴とする請求
    項15に記載の方法。
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