JPH0515725A - 溶剤濃縮回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 溶剤含有処理ガスを高濃度に濃縮する濃縮部
と、溶剤を凝縮又は凍結により回収する低温度凝縮回収
装置とを組み合わせることによって、沸点が高く又は分
解し易い溶剤も、また空気中に低濃度で拡散した溶剤
も、高品質且つ高効率で回収することができる溶剤濃縮
回収装置を提供する。 【構成】 処理ガスを活性炭ハニカム成形体からなるロ
ータ１の処理ゾーン１ａに通し、溶剤を吸着させる。そ
して、ロータ１に吸着された溶剤は再生ガスにより脱着
し、この溶剤濃縮ガスを凝縮塔２，３に送る。凝縮塔
２，３の冷却器においては、溶剤濃縮ガスの冷却による
凍結と、解凍ガスによる凍結物の解凍とを交互に繰り返
す。これにより、溶剤濃縮ガスから溶剤が一旦凍結した
後、解凍されて液体として回収される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は低濃度溶剤含有ガスを活
性炭による吸脱着作用により高濃度溶剤含有ガスに濃縮
した後溶剤を回収する溶剤濃縮回収装置に関し、特に、
フルオロカーボン等の高沸点溶剤の回収にも有効な溶剤
濃縮回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造設備及び精密機器製造設備に
おいては、フロン又は塩素系等の有機溶剤が使用されて
いる場合が多く、室内から又は室外排気空気中から前記
有機溶剤を分離除去して公害防止を図ったり、回収した
溶剤を再利用する等のために、溶剤回収装置が使用され
ている。

【０００３】これらの従来の溶剤回収装置においては、
活性炭等の溶剤吸着材を収納した複数の、例えば１対の
吸着塔を設け、溶剤含有空気を一方の吸着塔に導入して
その含有溶剤を吸着材に吸着除去させ、浄化空気として
排出させる。そして、他方の吸着塔からは、従前の吸着
工程で既に吸着している溶剤を脱着させる。この脱着時
のエネルギとして水蒸気を使用しているのが、従来一般
的な蒸気再生式の溶剤回収装置である。また、吸着材自
体をシートヒータにより加熱して溶剤を脱着するのが、
乾式溶剤回収装置である。

【０００４】いずれの場合も、加熱作用を受けて溶剤を
脱着するため、この加熱工程において溶剤の分解が問題
となることが多い。

【０００５】更に、公害防止の徹底と、溶剤のリサイク
ルによる使用を促進するため、溶剤が極めて低濃度で拡
散した空気中からこの溶剤を回収する必要性が高まって
いる。

【０００６】しかし、回収装置に溶剤含有ガスをそのま
ま導入したのでは回収効率が低いため、その前段に溶剤
濃縮機を設ける必要がある。この濃縮機は、通常、ハニ
カム成形体からなる活性炭ロータを連続的に回転させ、
この回転移動の過程の一部で溶剤をロータに吸着処理
し、他部で少量の熱風により溶剤をロータから脱着処理
することにより、高濃度ガスとして後段の回収装置に処
理ガスを送給する。

【０００７】このように、低濃度拡散された空気中から
有機溶剤を回収する場合等、より低濃度の溶剤含有ガス
を回収せんとする要求の高まりにより、溶剤濃縮機と回
収装置とを組み合わせたものが使用されるようになって
きた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た組み合わせの回収システムでは、溶剤は複数回の加熱
エネルギを受け、更に活性な水蒸気による分解作用も受
けることになる。溶剤の中には熱により分解し易いもの
があり、この種の溶剤は１回の回収処理を受けるだけで
もその熱分解が問題になるので、更にその前段でも濃縮
処理のために加熱作用を受けるのは、更に一層回収溶剤
液の品質の劣化をもたらしてしまうという問題点があ
る。

【０００９】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、前段の濃縮部においては溶剤に対する加熱
作用を最小限に制限し、後段の回収部においては溶剤を
全く加熱せず分解作用を生じることなく溶剤を回収でき
る低温度冷却凝縮回収処理により溶剤を回収することと
して、高品質の溶剤を高効率で回収することができる溶
剤濃縮回収装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る溶剤濃縮回
収装置は、活性炭のハニカム成形体からなるロータと、
このロータをその軸を中心として一方向に回転させ少な
くとも処理ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンを移動さ
せる回転手段と、外系から導入された溶剤含有処理ガス
を前記処理ゾーンのロータに通過させ溶剤を前記ロータ
に吸着させて清浄ガスを排出させる処理ガス供給手段
と、冷却ガスを前記冷却ゾーンのロータに導入して冷却
する冷却手段と、前記再生ゾーンのロータに再生ガスを
供給する再生手段と、前記ロータを再生した後の再生後
ガスが導入されこの再生後ガスを０℃以下の温度に冷却
して含有溶剤を凍結又は液化する複数個の冷却器を備え
た凝縮手段と、前記再生後ガス及び前記冷却器内の凝結
物を解凍する解凍ガスを選択的に且つ交互に前記凝縮手
段の冷却器に導入する選択ガス導入手段と、前記解凍ガ
スにより解凍されて前記凝縮手段から排出された液体か
ら溶剤と水とを分離して前記溶剤を回収する液分離手段
とを有することを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明においては、外気から導入され低濃度で
溶剤を含有する処理ガスはその供給手段により前記ロー
タの処理ゾーンに供給され、この処理ゾーンでロータを
通過することにより、活性炭のハニカム成形体にガス中
の溶剤成分が吸着してガス中から除去される。これによ
り、清浄なガスが得られる。

【００１２】一方、ロータが再生ゾーンに回転してくる
と、この再生ゾーンにてロータは再生ガスの通過を受け
る。この再生ガスは例えば加熱手段により加熱されてお
り、この高温の再生ガスはロータに吸着されていた溶剤
を脱着（離脱）させる。従って、ロ−タを通過してきた
再生後ガス中には溶剤が高濃度で含有されており、この
高濃度溶剤含有ガスが凍結回収部の凝縮手段に送給され
る。

【００１３】なお、ロータは再生ゾーンから冷却ゾーン
に移動し、この冷却ゾーンで冷却ガスの通流を受けて冷
却される。これにより、ロータはその溶剤脱着作用が十
分に停止した後、処理ゾーンにて低濃度溶剤含有ガスの
通過を受けることになり、高温のロータから脱着された
溶剤が清浄ガス中に混入してしまうことが防止される。
従って、本発明は低濃度溶剤含有ガスから極めて高効率
で溶剤を除去して高倍率に濃縮することができる。この
冷却ガスとしては、処理ゾーンにて溶剤の吸着により清
浄化された清浄ガス又は前記低濃度溶剤含有ガスの一部
を使用することができる。

【００１４】溶剤濃縮ガスは、凝縮手段の冷却器に供給
される。この凝縮手段の冷却器においては、溶剤濃縮ガ
ス中の溶剤は、例えば、−30℃等の溶剤の凝固温度以下
の温度に冷却される。これにより、ガス中の溶剤は水分
と共に凍結して冷却器内に回収される。

【００１５】一方、従前の工程で既に溶剤及び水分が凍
結している冷却器には、この凍結物を解凍することがで
きる温度の解凍ガスが導入される。これにより、この冷
却器内の凍結物は解凍されて溶剤及び水分が液体として
回収される。この液体は液分離手段により溶剤と水とに
分離される。また、解凍後の冷却器においては、凍結物
が除去されるので、その冷却能が回復し、次順の冷却凍
結工程に供することができるようになる。

【００１６】凝縮手段においては、この冷却凍結工程
と、解凍工程とが交互に繰り返される。また、複数個の
冷却器の一部で冷却凍結工程を実施している場合には、
他の冷却器にて解凍工程を実施する。このようにして、
溶剤濃縮部から排出されたガスは後段の凝縮手段によ
り、連続的に液体として回収される。

【００１７】なお、凝縮手段の冷却器は溶剤の凝固温度
以上の温度でガスを冷却するものであってもよい。この
場合は、溶剤は凍結することなく、液体として回収され
る。しかし、ガス中の水分は凍結して冷却器の冷却能が
低下するため、解凍ガスの通流によりこの凝結物を除去
する。

【００１８】特に、溶剤の沸点が高い場合には、冷却す
ることにより、液体又は凝結物になりやすいため、沸点
が高い溶剤の場合は、本発明が有効となる。

【００１９】

【実施例】次に、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。

【００２０】図１は本発明をフロン含有ガスからフロン
を濃縮した後凍結回収するフロン含有ガス濃縮回収装置
に適用した実施例を示すブロック図、図３はそのロータ
１の正面図である。ロータ１は、円柱状又は円板状をな
し、この中心軸の周りに回転可能に設置されている。そ
して、ロータ１は適宜の駆動源により図３に矢印にて示
す方向に定速回転駆動される。

【００２１】而して、ロータ１はフロンに対する吸着効
率が優れた活性炭でハニカム状に成形されており、ロー
タ１はこのハニカム成形体からその細孔の延長方向（即
ち、ガス通過方向）がロータ中心軸と平行になるように
切り出されている。

【００２２】ロータ１には、その一端面（左端面）に、
冷却ガス排出室Ｄ用のシール部材２２と、再生ガス排出
室Ｆ用のシール部材２３とが相互に隣接して配設されて
おり、一方、ロータ１の他端面（右端面）には、再生ガ
ス（高温ガス）導入室Ｅ用のシール部材２５がシール部
材２３と整合する位置に配設されている。各シール部材
２２，２３，２５は、ロータ１に対し、適宜の力で押付
けられており、回転するロータ１に摺動してロータ１と
の間で各室を気密的に仕切るようになっている。これに
より、シール部材２２，２３に囲まれた内側室間が夫々
冷却ガス排出室Ｄ及び再生後ガス（高濃度フロン含有ガ
ス）排出室Ｆになり、シール部材２２，２３の外側空間
が低濃度フロン含有処理ガス導入室Ａとなる。一方、シ
ール部材２５に囲まれた内側空間は再生ガス導入室Ｅと
なり、シール部材２５の外側空間はフロン吸着後の清浄
ガスの排出室Ｂとなる。この清浄ガス排出室Ｂのうち、
冷却ガス排出室Ｄ（シール部材２２）と整合する領域は
冷却ガスの導入領域Ｃとなる。

【００２３】図１に示すように、工場等から排出された
低濃度フロン含有処理ガスは配管７を介し、配管７に介
装されたブロア８に吸引されてその導入室Ａに供給さ
れ、ロータ１内に導入される。清浄ガスは大気中に放散
される部分を除き、その一部が冷却ガス導入領域Ｃから
ロータ１内に供給される。

【００２４】冷却ガス排出室Ｄ内のガスは配管９を介し
て配管７におけるブロア８の上流側に返戻される。ま
た、濃縮ガス中からフロンを凍結回収する凝縮塔２，３
から排出された廃ガスは配管１８を介して同様に配管７
におけるブロア８の上流側に返戻される。

【００２５】外気がヒータ１０により加熱されて再生ガ
スとなった後、再生ガス導入室Ｅに供給される。この再
生ガスは再生ガス導入室Ｅからロータ１の再生ガス通過
ゾーン１ｃを通過する。そして、溶剤を高濃度で含有す
る再生後ガスは再生ガス排出室Ｆに排出された後、配管
１５を介して、ブロア１６により凝縮回収手段の凝縮塔
２，３に送り込まれる。

【００２６】凝縮塔２，３から排出されたガスは夫々配
管１８ａ，１８ｂ及びその合流配管１８を介して前述の
如くロータ１の上流側に返戻される。配管１５ａ，１５
ｂ，１８ａ，１８ｂには夫々開閉弁１７ａ，１７ｂ，１
９ａ，１９ｂが介装されていてそのガスの凝縮塔２，３
への供給を制御するようになっている。

【００２７】第１及び第２の凝縮塔２，３の冷却器にて
凝縮した液体及びこの凝縮塔２，３にて凍結した後、解
凍された液体は、夫々配管２０を介して分離器４に集め
られる。この分離器４において、水と溶剤とが比重分離
され、水はドレンから排出されると共に、溶剤は溶剤蓄
積タンク５内に回収される。タンク５内の溶剤液は溶剤
回収用の送液ポンプにより適宜の回収タンク（いずれも
図示せず）に送給される。

【００２８】次に、図２を参照して、第１及び第２の凝
縮塔２，３の冷却器に対する冷媒配管のフローについて
説明する。この図２の矢印は第１の凝縮塔２の冷却器が
冷却サイクルを実施し、第２の凝縮塔３の冷却器が除霜
（解凍）サイクルを実施している場合のものである。

【００２９】凝縮塔２，３の冷却器内に配置された冷媒
通流管の一方の端部と、冷凍機３０との間は、配管３１
ａ，３１ｂと合流配管３１とにより連結されている。配
管３１ａ，３１ｂには蒸発ガス用電磁開閉弁３２ａ，３
２ｂが介装されている。また、配管３１には蒸発圧力調
整弁３３が介装されている。冷凍機３０は導入されたガ
スを圧縮して高温のガスにする。この冷凍機３０のガス
出口と、凝縮塔２，３の冷却器の前記一方の端部とは、
配管３４及び分岐配管３４ａ，３４ｂにより連結されて
いる。また、配管３４ａ，３４ｂには、ホットガス切り
替え電磁開閉弁３５ａ，３５ｂが介装されている。

【００３０】また、冷凍機３０の高温ガス出口に連結さ
れた配管３４には、凝縮器４９に連結された配管３６が
連結されており、冷凍機３０から排出されたガスの一部
が凝縮器４９に供給されるようになっている。凝縮器４
９の内部には冷却水が供給されて通流するようになって
おり、凝縮器４９に供給された高温のガスを高温の液体
に凝縮する。凝縮器４９にて液化された冷媒は、配管３
７及び分岐配管３７ａ，３７ｂを介して、夫々凝縮塔
２，３の冷却器内に配置された冷媒通流管の他方の端部
に供給される。配管３６には吐出ガスバイパス電磁開閉
弁３８が介装されている。また、配管３７には、流量調
整弁３９及び冷媒乾燥器４０が介装されており、配管３
７ａ，３７ｂには、夫々冷却回路切替電磁開閉弁４１
ａ，４１ｂと自動膨張弁４２ａ，４２ｂが介装されてい
る。この膨張弁４２ａ，４２ｂは液体の冷媒を凝縮塔
２，３の冷却器内に噴射して蒸発させ、その蒸発熱によ
り凝縮塔２，３の冷却器内部の溶剤含有ガスを冷却する
ようになっている。

【００３１】更に、凝縮塔２，３の冷却器の前記他方の
端部は、配管４３ａ，４３ｂ及び合流配管４３を介して
配管３６に連結されており、凝縮塔２，３の冷却器内の
凝結物の解凍後のガスが、配管４３ａ，４３ｂ、配管４
３及び配管３６を介して凝縮器４９に供給される。配管
４３ａ，４３ｂには、夫々逆止弁４４ａ，４４ｂが介装
されており、配管４３には凝縮圧力調整弁４５が介装さ
れている。

【００３２】配管３４と配管４３との間には、差圧調整
弁４６が配設されており、凝縮器４９の冷却水の排水管
には圧力式制水弁４７が介装されていて、この圧力式制
水弁４７は配管３４内の圧力によりその開度が調整され
るようになっている。

【００３３】次に、上述の如く構成されたフロン含有ガ
ス濃縮回収装置の動作について説明する。ブロア８によ
りガス導入室Ａに供給された低濃度フロン含有処理ガス
は、吸着ゾーン１ａに回転してきているロータ１の部分
を通過し、この間にロータ１のハニカム成形体にフロン
が吸着し、フロンがガス中から除去される。得られた清
浄ガスはその排出室Ｂに排出される。排出室Ｂ内の清浄
ガスはその一部が冷却ガスとして冷却領域Ｃからロータ
１の冷却ゾーン１ｂを通過し、この間にロータ１を冷却
した後、冷却ガス排出室Ｄに排出される。この冷却後の
ガスは配管９を介して配管７におけるブロア８の上流側
に供給される。一方、凝縮塔２，３から排出された廃ガ
スも配管７に返戻される。そして、外気がヒータ１０に
より加熱され、高温の再生ガスとなって再生ガス導入室
Ｅに供給される。この再生ガスは再生ガス通過ゾーン１
ｃにおいて、ロータ１を通過し、ロータ１に吸着してい
るフロンを加熱してロータ１から離脱させる。

【００３４】このようにして、フロンを高濃度に含有す
る再生ガス（高濃度フロン含有ガス）が再生ガス排出室
Ｆに排出される。この溶剤濃縮ガスは配管１１を介して
ブロア１６により凝縮塔２，３に送給する。これによ
り、極めて高濃度のフロン含有ガスを凝縮塔２，３に送
給してフロンの回収に供することができる。

【００３５】凝縮塔２，３を含む溶剤回収部において
は、第１及び第２の凝縮塔２，３の冷却器が図２に示す
ようにして冷却されている。

【００３６】先ず、図２の矢印にて冷媒の流れを示すよ
うに、凝縮塔２の冷却器が冷却サイクル、凝縮塔３の冷
却器が除霜（解凍）サイクルを実施している場合は、電
磁開閉弁４１ａ，３２ａ，３５ｂが開、電磁開閉弁４１
ｂ，３２ｂ，３５ａが閉になっている。そして、凝縮器
４９から供給される液体冷媒は乾燥器４０により乾燥さ
れた後、自動膨張弁４２ａから凝縮塔２の冷却器内の冷
却配管内に噴射される。この冷媒はこの冷却器（凝縮塔
２）内にて膨張し、蒸発して冷却器内の溶剤含有ガスを
冷却する。

【００３７】この冷媒は、凝縮塔２から排出された後、
蒸発圧力調整弁３３を介して冷凍機３０に返戻される。
この蒸発圧力調整弁３３は凝縮塔２，３の冷却器内の冷
媒の蒸発圧力を調整してその蒸発温度（例えば、−45
℃）を設定するものであり、これにより凝縮塔２，３の
冷却器の冷却温度を一定に保持する。冷凍機３０におい
ては、蒸発してガス状となった冷媒が圧縮され、この冷
媒を比較的高温のガスにして凝縮器４９に戻す。

【００３８】一方、冷凍機３０から排出される比較的高
温の冷媒ガスは、凝縮塔３の冷却器内にも供給される。
そして、この冷媒ガスは凝縮塔３の冷却器内の凝結物を
解凍した後、凝縮圧力調整弁４５を介して凝縮器４９に
返戻される。この凝縮圧力調整弁４５は凝縮塔２，３の
冷却器内の凝縮圧力を、冷媒の凝縮温度が例えば20℃に
なるように調整する。

【００３９】このようにして、冷却サイクルを実施して
いる凝縮塔２の冷却器には、凝縮器４９にて凝縮された
液体冷媒が供給され、常に一定の温度（例えば−45℃）
で蒸発することにより、冷却器内の溶剤含有ガスを冷却
する。これにより、この溶剤は凝縮塔２の冷却器内で凍
結する。一方、解凍サイクルを実施している冷却器３に
おいては、冷凍機３０からの比較的高温（例えば20℃）
のガス状の冷媒が供給されて凝縮塔３の冷却器内の凝結
物が解凍される。そして、冷却サイクルと解凍サイクル
とは、電磁開閉弁を切り替えることにより、所定の周期
で切り替えられ、凝縮塔２，３ではこの冷却サイクルと
解凍サイクルとが交互に繰り返される。先ず、開閉弁１
７ａ，１９ａを開、開閉弁１７ｂ，１９ｂを閉にする
と、溶剤濃縮ガスは凝縮塔２の冷却器に供給されて例え
ば−45℃に冷却される。これにより、ガス中の溶剤は水
分と共に凝結し、凝縮塔２の冷却器内で凍結する。この
ようにして、溶剤が凍結してガス中から除去され、未凝
縮ガスは濃縮部の入り口である配管７に返戻される。

【００４０】一方、従前の工程で溶剤及び水分が凝結し
ている凝縮塔３の冷却器においては、冷凍機３０から供
給された比較的高温（例えば20℃）のガス状冷媒が通流
しており、これによりこの凝結物は解凍されて液体とし
て配管２０を介して分離器４に集められる。凝縮塔３の
冷却器から分離器４に集められた液体冷媒は、この分離
器４にて比重分離され、水はドレン水として排出される
と共に、溶剤はタンク５に集められた後、再使用に供さ
れる。

【００４１】その後、所定時間経過後、凝縮塔２の冷却
器が解凍サイクル、凝縮塔３の冷却器が冷却サイクルに
移行し、凝縮塔２の冷却器内の凝結物が解凍され、溶剤
及び水が液体として分離器４に集められる。一方、溶剤
濃縮ガスは凝縮塔３の冷却器にてそのガス中の溶剤及び
水分が凍結され、溶剤がガス中から除去される。このよ
うにして、凝縮塔２，３の冷却器にて、冷却サイクル
と、解凍サイクルとを交互に実施することにより、溶剤
含有ガスはその含有溶剤が連続的に回収処理される。

【００４２】なお、解凍サイクルから冷却サイクルに移
行する際の直前に、それまで解凍サイクルを実施してい
た凝縮塔２又は３の冷却器に、凝縮器４９からの冷媒を
供給してこの凝縮塔２，３の冷却器を冷却するようにし
てもよい。即ち、この冷却サイクルに切り替わる直前の
短時間に、開閉弁４１ａ，４１ｂを同時に開にする。こ
れにより、冷却サイクルに切り替わろうとする凝縮塔
２，３の冷却器内の温度を低下させることができ、冷却
サイクルを高効率で実施することができる。

【００４３】また、本発明においては、凝縮塔２，３に
おいて、溶剤は必ずしも凍結させる必要はない。水より
も沸点が高い溶剤の場合には、冷却により先ず水が凍結
する。しかし、溶剤は凍結しなくても十分高効率で回収
することができる。

【００４４】更に、凝結物の解凍は、冷媒ガスによら
ず、ヒータにより加熱することによって行ってもよい。

【００４５】更にまた、凝縮塔２，３による溶剤の凍結
回収工程の前段に、冷却温度を０℃以上にした同様の凝
縮塔を１塔設け、溶剤を冷却してその一部を液体として
回収するように構成してもよい。溶剤の沸点が高い場合
には、凝縮塔２，３による凍結回収の前に、溶剤を冷却
するだけでその一部を除去することができる。

【００４６】一方、溶剤濃縮部においては、前述の如
く、ロータ１が図３中矢印で示す方向に定速回転する間
に、ロータ１は吸着ゾーン１ａにおいて、低濃度フロン
含有ガスの通過を受けてフロンを吸着し、その後再生ガ
ス通過ゾーン１ｃにおいて高温の再生ガスの通過を受け
てフロンを脱着し、次いで、冷却ゾーン１ｂにおいて冷
却ガスの通過を受けて冷却される。このような工程を繰
返すことにより、フロンが極めて高い濃縮率で濃縮され
て高濃度フロン含有ガスが得られる。

【００４７】なお、フロン濃縮率を高めるために、再生
ガス通過ゾーン１ｃにおいて、ロータ１に吸着されてい
たフロンを全量脱着させることとせず、若干残存させた
状態で吸着ゾーン１ａに移るようにすることが好まし
い。

【００４８】これは活性炭のフロン離脱速度が、高温ガ
スにより加熱された後、一定時間経過すると著しく低下
するためであり、このため再生ガス通過ゾーン１ｃを長
くしてロータの加熱時間を長くしてもフロン離脱効果上
無意味であるからである。

【００４９】また、上記実施例においては、再生ガスの
通過を受けた後、ロータ１は冷却ゾーン１ｂを通過して
冷却される。これは、再生ガスの通過を受けて加熱され
たままの状態で活性炭ロータが吸着ゾーン１ａに入る
と、ロータに吸着されているフロンと清浄ガス排出室Ｂ
におけるフロンとの間にフロンの蒸気分圧差が存在する
ため、未だ高温の状態のロータからフロンが離脱し、清
浄ガス排出室Ｂにフロンが排出されてしまうからであ
る。このため、冷却ゾーン１ｂを通過させた後吸着ゾー
ン１ａに入らせるようにして、再生ガス通過ゾーン１ｃ
にて加熱されて高温になっているロータ１の部分を冷却
してフロンが離脱されにくい状態におく。これにより、
清浄ガス中には離脱フロンガスが混入しないので、フロ
ン濃度が極めて低い清浄ガスを得ることができ、換言す
れば極めて高濃度の濃縮フロンガスが得られる。

【００５０】更に、凝縮塔２，３の廃ガスである未凝縮
溶剤含有ガスはロータ１の上流側に返戻され、再度ロー
タ１を通過する。このように、凝縮塔２，３の廃ガスは
大気中に放散されることなく、繰返し濃縮されて回収に
供される。従って、仮に、凝縮塔２，３の回収効率は例
えば５０％と低い場合であっても、回収装置全体として
の回収効率は向上する。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ハニカム活性炭からなるロータの回転により高倍率に濃
縮した処理ガスを、凝縮回収部の凝縮手段に供給し、凝
縮手段の冷却器により冷却及び解凍のプロセスを交互に
繰り返すことにより、溶剤濃縮ガスから溶剤を液体とし
て回収するから、高沸点で熱分解し易いフルオロカーボ
ン等の溶剤を含有するガスから、高品質の溶剤液を高効
率で回収することができる。従って、本発明は高沸点で
熱分解し易い溶剤の回収に極めて有益である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る溶剤濃縮回収装置を示す
ブロック図である。

【図２】その冷媒配管を示す模式図である。

【図３】ロータ１の正面図である。

【符号の説明】

１；ロータ １ａ；吸着ゾーン １ｂ；冷却ゾーン １ｃ；再生ガス通過ゾーン ２，３；凝縮塔 ４；分離器 ３０；冷凍機 ４９；凝縮器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高原 宏之 神奈川県藤沢市宮前字裏河内100−１ 株 式会社神戸製鋼所藤沢事業所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 活性炭のハニカム成形体からなるロータ
   と、このロータをその軸を中心として一方向に回転させ
   少なくとも処理ゾーン、再生ゾーン及び冷却ゾーンを移
   動させる回転手段と、外系から導入された溶剤含有処理
   ガスを前記処理ゾーンのロータに通過させ溶剤を前記ロ
   ータに吸着させて清浄ガスを排出させる処理ガス供給手
   段と、冷却ガスを前記冷却ゾーンのロータに導入して冷
   却する冷却手段と、前記再生ゾーンのロータに再生ガス
   を供給する再生手段と、前記ロータを再生した後の再生
   後ガスが導入されこの再生後ガスを０℃以下の温度に冷
   却して含有溶剤を凍結又は液化する複数個の冷却器を備
   えた凝縮手段と、前記再生後ガス及び前記冷却器内の凝
   結物を解凍する解凍ガスを選択的に且つ交互に前記凝縮
   手段の冷却器に導入する選択ガス導入手段と、前記解凍
   ガスにより解凍されて前記凝縮手段から排出された液体
   から溶剤と水とを分離して前記溶剤を回収する液分離手
   段とを有することを特徴とする溶剤濃縮回収装置。
2. 【請求項２】 前記凝縮手段の冷却器内に液体冷媒を噴
   射して蒸発させその蒸発熱により前記冷却器の内部を冷
   却する自動膨張弁と、前記冷却器から排出された蒸発冷
   媒を圧縮する冷凍圧縮機と、前記冷却器と前記冷凍圧縮
   機との間に設けられた蒸発圧力調整弁と、前記冷却器内
   に前記冷凍圧縮機から得られた冷媒を解凍ガスとして供
   給する解凍ガス供給手段と、前記冷却器に対する前記冷
   媒の通流と前記解凍ガスの通流とを交互に切り替える切
   替手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載の
   溶剤濃縮回収装置。
3. 【請求項３】 前記ロータには、再生ゾーンと冷却ゾー
   ンとの間に更にパージゾーンが設けられており、このパ
   ージゾーンには加熱された外気が導入されることを特徴
   とする請求項１に記載の溶剤濃縮回収装置。