JPH05157510A - レーザセンサの安全装置 - Google Patents

レーザセンサの安全装置

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JPH05157510A
JPH05157510A JP3347712A JP34771291A JPH05157510A JP H05157510 A JPH05157510 A JP H05157510A JP 3347712 A JP3347712 A JP 3347712A JP 34771291 A JP34771291 A JP 34771291A JP H05157510 A JPH05157510 A JP H05157510A
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laser sensor
laser
output
distance
sensor
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JP3347712A
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Akira Nihei
亮 二瓶
Yasuo Naito
保雄 内藤
Hiroshi Wakio
宏志 脇尾
Tokumitsu Kamimura
徳光 上村
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Fanuc Corp
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Fanuc Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザビームの照射による危険を取り除き、
レーザセンサを装着した機械の自動運転や教示操作をよ
り安全に行うことのできるレーザセンサの安全装置を提
供すること。 【構成】 ロボットが自動運転中であるか否かを制御装
置10で判別し(S1)、自動運転中であればレーザ発
振器33を高出力で駆動する一方(S13)、教示操作
等のための手動運転であればレーザビームの出力を低出
力に押さえ(S4)、教示操作中のレーザビームの散乱
や反射による視力障害の発生を防止する。また、測距手
段40からの測距測定出力をコンパレータ41,42で
比較してレーザセンサ30と測定対象との間の距離がレ
ーザセンサ30の測定可能距離内にあるか否かを判定
し、アンドゲート43からの出力でアクチュエー34を
ON/OFF制御することにより、レーザセンサ30か
ら照射されたレーザビームが測定対象物から外れると照
射を自動停止して、オペレータの被爆を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザセンサの安全装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】溶接位置を検出するためのレーザセンサ
を備えたアーク溶接ロボットやシーリング位置を検出す
るためのレーザセンサを備えたシーリングロボット等、
レーザセンサを装着した各種の機械が既に公知である。
通常、自動運転中のレーザセンサのON/OFF制御は
機械側の制御装置からの指令に基いて行われ、レーザセ
ンサが作動する間は警告灯を自動点灯するなどして、オ
ペレータがレーザビームを覗き込まないように注意を促
すようにしている。また、機械の駆動プログラムを作成
するための教示操作を行う段階ではレーザセンサによる
距離測定を頻繁に行う必要があり、レーザセンサが常時
作動の状態となるが、教示操作が長引くとオペレータの
目が長時間に亘ってレーザビームの散乱光や反射光に晒
される危険があり、視力障害等が危惧される。特に、教
示操作の段階では機械の姿勢や方向性をオペレータが試
行錯誤的に変化させるので、レーザビームの直射光が誤
って目に入る可能性があり、自動運転中に機械側の制御
装置に異常が生じて機械が暴走したような場合にも同様
の危険がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来、この種の問題に
関しては、教示操作の適正化やゴーグルの着用等、全て
オペレータ側の判断に委ねられており、警告灯による消
極的なアラート表示を除けば、レーザセンサ側の自動制
御等によってオペレータの安全を確保しようとする試み
はなかった。本発明は、レーザビームの照射による危険
を取り除き、レーザセンサを装着した機械の自動運転や
教示操作をより安全に行うことのできるレーザセンサの
安全装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によるレーザセン
サの安全装置は、機械の作動状態を検出する作動状態検
出手段を備えると共に、レーザセンサのレーザ発振器を
高出力および低出力を切替え出力できるレーザ発振器と
し、前記作動状態検出手段が機械の自動運転を検出する
間だけ前記レーザ発振器に高出力を出力するようにした
構成により前記目的を達成した。また、低出力期間中で
も1走査高出力指令が入力されると1走査だけ高出力の
レーザビームを出力する構成とし、手動運転による教示
操作でのレーザ測定を可能とする。
【0005】また、レーザセンサの測定光軸上に位置す
る物体とレーザセンサとの間の距離を測定する測距手段
と、レーザ発振器の光路を開閉する遮光シャッタと、前
記測距手段が予め設定されたレーザセンサの測定可能距
離を測定する間だけ前記遮光シャッタに開放指令を出力
する開閉制御手段とを備えた構成により同様の目的を達
成した。
【0006】更に、作動状態検出手段が機械の自動運転
を検出する間だけレーザ発振器に高出力を出力する構成
と、測距手段が予め設定されたレーザセンサの測定可能
距離を測定する間だけ遮光シャッタを開放する構成とを
併用し、また、測距手段および開閉制御手段をレーザセ
ンサの機能部品と独立した電子部品によって構成するこ
とにより、安全装置の信頼性を一層向上させた。
【0007】
【作用】作動状態検出手段が機械の自動運転を検出する
間だけレーザ発振器に高出力が出力される一方、教示操
作のための手動運転の際にはレーザ発振器の出力が低出
力となるので、教示操作が長引いたような場合であって
もレーザビームの散乱光や反射光による視力障害の発生
が防止される。また、低出力期間中であっても1走査高
出力指令が入力されると1走査だけ高出力のレーザビー
ムが出力されるので、手動運転による教示操作でも必要
に応じてレーザ測定を行うことができる。
【0008】また、自動運転中であると教示操作中であ
るとを問わず、測距手段によって測定される距離が予め
設定されたレーザセンサの測定可能距離を測定する間だ
け遮光シャッタが開放される一方、測距手段によって測
定された距離がレーザセンサの測定可能距離を越えると
開閉制御手段が自動的に遮光シャッタを閉じてレーザ発
振器の光路を遮るので、レーザセンサから照射されたレ
ーザビームが測定対象物から外れた場合には、レーザビ
ームの照射が即時停止され、オペレータが教示操作を誤
ったり機械が暴走したような場合であってもレーザビー
ムが直接オペレータの目に入ることはなく、失明等の重
大な事故が未然に防止される。
【0009】更に、作動状態検出手段が機械の自動運転
を検出する間だけレーザ発振器に高出力を出力する構成
と、測距手段が予め設定されたレーザセンサの測定可能
距離を測定する間だけ遮光シャッタを開放する構成とを
併用することにより安全性が一層向上する。また、測距
手段および開閉制御手段をレーザセンサの機能部品と独
立した電子部品で構成したので、レーザセンサや機械側
の制御装置に異常が生じた場合でも遮光シャッタが確実
に作動する。
【0010】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図1は一実施例の安全装置を装着した機械、即
ち、産業用ロボットの概略を示すブロック図であり、こ
の産業用ロボットは、複数の関節を備えたロボット本体
20および制御装置(数値制御装置)10からなる。制
御装置10はCPU11を有し、該CPU11には、制
御プログラムを格納したROM16,教示された運転プ
ログラムの記憶や演算データの一時記憶等に用いられる
RAM12,教示操作盤13,CRT表示装置付手動デ
ータ入力装置(CRT/MDI)14,ロボット本体2
0における各軸のサーボ回路19を制御する軸制御器1
7、および、レーザセンサ30と連絡するインターフェ
イス18がバス15を介して接続されている。制御装置
10は、RAM12に格納された運転プログラムに従
い、CPU11の処理で軸制御器17に駆動指令を出力
し、各軸のサーボ回路19で各軸のサーボモータを補間
駆動してロボット本体20を自動運転し、また、教示操
作盤13を用いたオペレータの操作に応じて各軸のサー
ボモータを補間駆動してロボット本体20の各部を駆動
する。ロボット本体20および制御装置10の構成等に
関しては周知であるから詳細な説明は省略する。
【0011】図2はロボット本体20のハンドの先端に
装着されたレーザセンサ30の要部を示すブロック図
で、図中33は高出力および低出力を切替え出力できる
レーザ発振器,37はレーザビームをスキャンさせる揺
動ミラー(ガルバノメータ),32は測定対象からの反
射光を捕えて受光素子31に結像させる光学系,38は
保護窓である。レーザセンサ30はインターフェイス1
8を介して制御装置10からの測定指令を受け、レーザ
発振器33を駆動してレーザビームを発生させると共
に、揺動ミラー37を揺動してレーザ発振器33からの
レーザビームで測定対象を走査し、光学系32を介して
受光素子31上に結像された反射光の位置を検出する。
受光素子31はCCD(Charge CoupledDevice)等で構
成され、各セル毎の単位で個別に光電変換を行い、図示
しないセンサ用プロセッサの積分処理によって測定対象
の位置を求めるものであり、位置検出の機能を実現する
ための構成自体は従来型のレーザセンサと同様である。
但し、前述のように、高出力および低出力を切替え出力
できるレーザ発振器33を用いている点、および、レー
ザ発振器33から揺動ミラー37に至るレーザ発振器3
3の光路上に遮光シャッタ35が設けられている点で従
来のものと異なる。遮光シャッタ35はプッシュ型アク
チュエータ34の作動杆の先端に固設された板状の遮光
部材によって構成され、アクチュエータ34を作動させ
た場合にのみレーザ発振器33の光路を開放する。ま
た、アクチュエータ34が非作動の状態ではリターンス
プリング36の復元力によってアクチュエータ34の側
に押圧されており、図2に示されるような復帰位置でレ
ーザ発振器33の光路を遮断している。
【0012】更に、レーザセンサ30のケーシングに
は、レーザセンサ30の測定光軸上に位置する物体とレ
ーザセンサ30との間の距離を測定するための測距手
段、例えば、通常の光学式距離測定装置や低出力のレー
ザ発振器等を用いた測距手段40が設けられている。測
距手段40からの出力は距離の測定結果に対応するアナ
ログ信号(電圧)であり、この信号が図3に示されるよ
うな遮光シャッタ35の開閉制御手段に入力される。開
閉制御手段は、概略において、測距手段40からの出力
電圧を受ける2つのコンパレータ41,42と、該コン
パレータ41,42からの比較結果を受けるアンドゲー
ト43によって構成される。コンパレータ41の比較入
力端子にはレーザセンサ30の近接測定可能限度に対応
する上限設定電圧が入力され、測距手段40からの出力
電圧が上限設定電圧を下回った場合にのみ比較結果の出
力がONとなり、また、コンパレータ42の比較入力端
子にはレーザセンサ30の遠隔測定可能限度に対応する
下限設定電圧が入力され、測距手段40からの出力電圧
が下限設定電圧を上回った場合にのみ比較結果の出力が
ONとなる。従って、アンドゲート43からの出力は、
測距手段40がレーザセンサ30の測定可能距離を測定
する間だけONとなる。アクチュエータ34の作動はア
ンドゲート43からの出力に連動し、測距手段40がレ
ーザセンサ30の測定可能距離を測定する間だけアクチ
ュエータ34を作動させて、レーザ発振器33の光路を
開放する。
【0013】図4は制御装置10のROM16に格納さ
れた出力制御処理プログラムの概要を示すフローチャー
トであり、ロボットが自動運転中であるか教示操作中で
あるかの別に関わりなく、CPU11の背景処理等で継
続して実行される。
【0014】CPU11は、まず、RAM12に格納さ
れた運転プログラムに従ってロボットが駆動制御されて
いるか否か、即ち、自動運転中であるか否かを判別し
(ステップS1)、自動運転中でなければ、更に、オペ
レータの手動操作によって教示操作盤13からのレーザ
センサ作動指令が入力されているか否かを判別するが
(ステップS2)、レーザセンサ作動指令が入力されて
いなければ、以下、ステップS1およびステップS2の
判別処理を繰り返し実行して自動運転の開始やレーザセ
ンサ作動指令の入力を監視する。
【0015】ステップS2の判別処理で教示操作盤13
からのレーザセンサ作動指令の入力が検出された場合に
は、レーザ発振器33のプレヒートや教示操作等が開始
されたことを意味するので、CPU11は、まず、ステ
ップS4からステップS9までの処理に必要とされる微
小時間ΔTを刻み幅としてレーザ発振器33の低出力駆
動開始後の経過時間を計測する周期数積算カウンタCの
値を0に初期化し(ステップS3)、インターフェイス
18を介してレーザセンサ30に低出力指令を出力し、
レーザ発振器33の低出力駆動を開始する(ステップS
4)。
【0016】次いで、CPU11は、オペレータの手動
操作による教示操作盤13からの補助出力要求指令が入
力されているか否か(ステップS5)、教示操作盤13
からのレーザセンサ作動停止指令が入力されているか否
か(ステップS6)、および、教示操作盤13やCRT
/MDI14からの他の入力操作が検出されているか否
かを判別するが(ステップS7)、いずれの入力操作も
検出されていなければ、周期数積算カウンタCの値を1
インクリメントし(ステップS8)、該カウンタCの値
が予め設定された比較値Csに達しているか否か、即
ち、レーザ発振器33の低出力駆動を開始してから何等
の入力操作も検出されない状態がCsΔT時間以上継続
しているか否かを判別する(ステップS9)。レーザ発
振器33の低出力駆動を開始してから何等の入力操作も
行われない状態がCsΔT時間以上継続していなけれ
ば、即ち、ステップS9の判別結果が偽であれば、CP
U11は再びステップS4の処理に復帰し、以下、ステ
ップS4からステップS9までの処理を繰り返し実行し
て、教示操作盤13からの補助出力要求指令の入力やレ
ーザセンサ作動停止指令の入力、もしくは、教示操作に
必要とされる他の入力操作を待機することとなる。
【0017】レーザ発振器33の低出力駆動を開始して
からCsΔTの時間が経過するまでの間にオペレータの
手動操作による教示操作盤13からの補助出力要求指令
が検出されると(ステップS5)、CPU11はインタ
ーフェイス18を介してレーザセンサ30に高出力指令
を出力してレーザ発振器33の高出力駆動を開始し、レ
ーザセンサ30のセンサ用プロセッサの処理で揺動ミラ
ー37を1走査分揺動させて位置検出作業を行わせた後
(ステップS11)、何等かの教示操作が行われたもの
と見做して周期数積算カウンタCの値を再び0に初期化
し(ステップS3)、レーザ発振器33を再び低出力駆
動状態として(ステップS4)、以降の処理を繰り返し
実行することとなる。また、レーザ発振器33の低出力
駆動を開始してからCsΔTの時間が経過するまでの間
に教示操作盤13やCRT/MDI14から他の入力操
作が検出された場合も(ステップS7)、前記と同様、
オペレータによる何等かの教示操作が行われたものと見
做して、周期数積算カウンタCの値を再び0に初期化し
(ステップS3)、レーザ発振器33を再び低出力駆動
状態として(ステップS4)、以降の処理を繰り返し実
行する。
【0018】一方、レーザ発振器33の低出力駆動を開
始してからCsΔTの時間が経過するまでの間に何等の
操作も検出されない場合、即ち、レーザ発振器33の低
出力駆動を開始したにも関わらず実際の教示操作が放棄
されたような場合には、低出力駆動の開始からCsΔT
の時間が経過した段階、即ち、ステップS9の判別結果
が真となった段階で、CPU11は、インターフェイス
18を介してレーザセンサ30にレーザ発振器33の駆
動停止指令を出力し、レーザ発振器33の駆動を停止さ
せた後(ステップS10)、自動運転の開始やレーザセ
ンサ作動指令の入力を監視する初期の待機状態に復帰す
る。また、レーザ発振器33の低出力駆動を開始してか
らCsΔTの時間が経過するまでの間であっても、オペ
レータの判断で教示操作盤13からレーザセンサ作動停
止指令を入力することにより(ステップS6)、前記と
同様、レーザ発振器33の駆動を停止させて初期の待機
状態に復帰することができる。
【0019】この実施例におけるステップS1の判別処
理は作動状態検出手段に対応する処理であって、ロボッ
トが自動運転中でないとき、即ち、ステップS1の判別
結果が偽となるような状態では、ステップS4の処理に
よりレーザ発振器33の駆動が低出力駆動状態に制限さ
れるが、教示操作等でレーザセンサ30による位置検出
作業が必要な場合に限り、オペレータの判断に基く教示
操作盤13の操作により、この制限を解除し、レーザ発
振器33を高出力で駆動して、レーザセンサ30による
位置検出作業を行わせることができる。
【0020】また、ステップS1の判別処理によりロボ
ットが自動運転中であることが確認された場合、CPU
11はステップS12に移行し、現在読込んでいる運転
プログラムの実行ブロックにレーザセンサ作動指令が書
き込まれているか否かを判別する。レーザセンサ作動指
令が書き込まれていなければ、CPU11は、以下、ス
テップS1およびステップS12の判別処理を繰り返し
実行して、レーザセンサ作動指令が読込まれるのを待機
する。そして、現在の実行ブロックからレーザセンサ作
動指令が読込まれると、CPU11はインターフェイス
18を介してレーザセンサ30に高出力指令を出力し、
レーザ発振器33の高出力駆動を開始してレーザセンサ
30のセンサ用プロセッサの処理による位置検出作業を
可能な状態とし(ステップS13)、以降の実行ブロッ
クからレーザセンサ作動停止指令が読込まれるまでの間
この状態を維持する。そして、自動運転が進む間にレー
ザセンサ作動停止指令が読込まれると(ステップS1
4)、CPU11はインターフェイス18を介してレー
ザセンサ30にレーザ発振器33の駆動停止指令を出力
し、レーザ発振器33の駆動を停止させた後(ステップ
S10)、レーザセンサ作動指令が再び読込まれたり
(ステップS1,ステップS12)、新たな運転プログ
ラムや教示操作が開始されたりするのを待機することと
なる(ステップS1,ステップS2)。
【0021】この間、CPU11による前述の処理動作
とは完全に独立して測距手段40および図3に示される
ような開閉制御手段が常時作動しているから、レーザ発
振器33が低出力状態にあるときでも高出力状態にある
ときでも、レーザセンサ30の光軸が測定対象を外れて
略無限大の遠方に向けられたような場合にはアンドゲー
ト43からの出力がOFFとなってアクチュエータ34
が非作動となり、遮光シャッタ35がレーザ発振器33
の光路を遮断する。従って、教示操作のミス等でレーザ
センサ30の光軸がオペレータの方を向いた状態で補助
出力要求を入力してしまったような場合やロボットが待
機状態に戻ったようなときには、レーザセンサ30とオ
ペレータとの距離が離れているため、レーザ発振器33
の光路は自動的に遮断された状態となり、レーザセンサ
30の外部にレーザビームがもれることはなく、オペレ
ータの目に視力障害等の事故が生じることはない。ま
た、遮光シャッタ35はリターンスプリング36の復元
力により、レーザ発振器33の光路を遮断する位置に向
けて常時付勢されているから、アクチュエータ34の作
動で遮光シャッタ35を移動させてレーザ発振器33の
光路を遮断するような構成と比べ、アクチュエータの作
動不良や回路の故障等に対する安全性も高い。
【0022】通常、自動運転の状態では、予め教示され
た運転プログラムに従ってロボット本体20やレーザセ
ンサ30の姿勢が適確に制御されるので、レーザビーム
が不用意な方向を向くことはないが、教示ミスやCPU
11の故障等によってロボットの動作が暴走したような
場合でも、測距手段40や開閉制御手段は常時独立して
作動しているから、例え、レーザセンサ30の光軸が測
定対象を外れてオペレータの方を向くようなことがあっ
ても、レーザセンサ30とオペレータとの距離が離れて
いるため、レーザ発振器33の光路は自動的に遮断さ
れ、オペレータの目に視力障害等の事故が生じることは
ない。
【0023】
【発明の効果】本発明によるレーザセンサの安全装置
は、作動状態検出手段が機械の自動運転を検出する間だ
けレーザ発振器に高出力を出力する一方、教示操作等の
ための手動運転の際にはレーザビームの出力を低出力に
押さえるようにしたので、教示操作等が長引いたような
場合であってもレーザビームの散乱光や反射光による視
力障害の発生が防止される。また、自動運転中であると
教示操作中であるとを問わず、測距手段によって測定さ
れる距離が予め設定されたレーザセンサの測定可能距離
を測定する間だけ遮光シャッタを開放し、測距手段によ
って測定された距離がレーザセンサの測定可能距離を越
えたときには遮光シャッタを閉じてレーザ発振器の光路
を遮るようにしたので、レーザセンサから照射されたレ
ーザビームが測定対象物から外れたときにはレーザビー
ムの照射が自動的に即時停止され、オペレータが教示操
作を誤ったり機械が暴走したような場合であってもレー
ザビームが直接オペレータの目に入ることはなく、失明
等の重大な事故が未然に防止される。しかも、測距手段
および遮光シャッタの開閉制御手段はレーザセンサの機
能部品と独立した電子部品で構成したので、レーザセン
サや機械側の制御装置に異常が生じた場合でも遮光シャ
ッタが確実に作動し、被爆や失明等の事故を確実に防止
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施例の安全装置を装着した産
業用ロボットの概略を示すブロック図である。
【図2】同実施例のレーザセンサの概略を示すブロック
図である。
【図3】同実施例の安全装置における開閉制御手段の概
略を示すブロック図である。
【図4】産業用ロボットの制御装置によって実施される
出力制御処理プログラムの概要を示すフローチャートで
ある。
【符号の説明】
10 制御装置 11 CPU 13 教示操作盤 16 ROM 18 インターフェイス 20 ロボット本体 30 レーザセンサ 33 レーザ発振器 34 アクチュエータ 35 遮光シャッタ 36 リターンスプリング 40 測距手段 41,42 コンパレータ 43 アンドゲート
フロントページの続き (72)発明者 脇尾 宏志 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社商品開発研究所内 (72)発明者 上村 徳光 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社商品開発研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザセンサが装着された機械におい
    て、該機械の作動状態を検出する作動状態検出手段を備
    え、前記レーザセンサのレーザ発振器は高出力および低
    出力を切替え出力できるレーザ発振器とし、前記作動状
    態検出手段が機械の自動運転を検出する間だけ前記レー
    ザ発振器に高出力を出力するようにしたレーザセンサの
    安全装置。
  2. 【請求項2】 揺動ミラーによる1走査だけの高出力指
    令を備え、低出力期間中でも、前記1走査高出力指令が
    入力されると、1走査だけ高出力のレーザビームを出力
    することを特徴とした請求項1記載のレーザセンサの安
    全装置。
  3. 【請求項3】 レーザセンサの測定光軸上に位置する物
    体とレーザセンサとの間の距離を測定する測距手段と、
    レーザ発振器の光路を開閉する遮光シャッタと、前記測
    距手段が予め設定されたレーザセンサの測定可能距離を
    測定する間だけ前記遮光シャッタに開放指令を出力する
    開閉制御手段とを備えたレーザセンサの安全装置。
  4. 【請求項4】 レーザセンサの測定光軸上に位置する物
    体とレーザセンサとの間の距離を測定する測距手段と、
    レーザ発振器の光路を開閉する遮光シャッタと、前記測
    距手段が予め設定されたレーザセンサの測定可能距離を
    測定する間だけ前記遮光シャッタに開放指令を出力する
    開閉制御手段とを備えたことを特徴とする請求項1また
    は請求項2記載のレーザセンサの安全装置。
  5. 【請求項5】 前記測距手段および開閉制御手段がレー
    ザセンサの機能部品と独立した電子部品によって構成さ
    れていることを特徴とした請求項3または請求項4記載
    のレーザセンサの安全装置。
JP3347712A 1991-12-04 1991-12-04 レーザセンサの安全装置 Pending JPH05157510A (ja)

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JP3347712A JPH05157510A (ja) 1991-12-04 1991-12-04 レーザセンサの安全装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012198209A (ja) * 2011-03-22 2012-10-18 Exelis Inc 安全性の高められたレーザー送信を制御する方法および装置
JP2016101425A (ja) * 2014-11-28 2016-06-02 キヤノン株式会社 光音響波測定装置
JP2016124075A (ja) * 2015-01-06 2016-07-11 株式会社ダイヘン レーザ照射制御装置
JP2017213676A (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 サーボ−ロボット インク.Servo−Robot Inc. 非アイセーフ操作モードとアイセーフ操作モードを備える加工追跡レーザーカメラ
JP2020003262A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 セイコーエプソン株式会社 三次元計測装置、制御装置およびロボットシステム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58179828A (ja) * 1982-04-15 1983-10-21 Canon Inc 能動型オートフォーカス装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58179828A (ja) * 1982-04-15 1983-10-21 Canon Inc 能動型オートフォーカス装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012198209A (ja) * 2011-03-22 2012-10-18 Exelis Inc 安全性の高められたレーザー送信を制御する方法および装置
US8576382B2 (en) 2011-03-22 2013-11-05 Exelis, Inc. Method and apparatus for controlling laser transmissions for enhanced safety
JP2016101425A (ja) * 2014-11-28 2016-06-02 キヤノン株式会社 光音響波測定装置
JP2016124075A (ja) * 2015-01-06 2016-07-11 株式会社ダイヘン レーザ照射制御装置
JP2017213676A (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 サーボ−ロボット インク.Servo−Robot Inc. 非アイセーフ操作モードとアイセーフ操作モードを備える加工追跡レーザーカメラ
JP2020003262A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 セイコーエプソン株式会社 三次元計測装置、制御装置およびロボットシステム

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