JPH05157689A - ガス分析計 - Google Patents
ガス分析計Info
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- JPH05157689A JPH05157689A JP34966791A JP34966791A JPH05157689A JP H05157689 A JPH05157689 A JP H05157689A JP 34966791 A JP34966791 A JP 34966791A JP 34966791 A JP34966791 A JP 34966791A JP H05157689 A JPH05157689 A JP H05157689A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料ガスのＨ2 Ｏを高速応答で測定すること
が可能なガス分析計をうる。 【構成】 赤外線の光源１から射出され、かつレフレク
タ２で反射された赤外線を集光レンズ３で集光して試料
用のセル４に入射するように構成され、かつ、セル４を
透過した赤外線が入射される検出器５内に、ＰｂＳｅ検
出素子15が配置されるとともに、透過する光線の波長帯
域の中心波長が２．６μｍで、半値幅が４％の光学フイ
ルタ16が前記ＰｂＳｅ検出素子15と相対して配置されて
いる。
が可能なガス分析計をうる。 【構成】 赤外線の光源１から射出され、かつレフレク
タ２で反射された赤外線を集光レンズ３で集光して試料
用のセル４に入射するように構成され、かつ、セル４を
透過した赤外線が入射される検出器５内に、ＰｂＳｅ検
出素子15が配置されるとともに、透過する光線の波長帯
域の中心波長が２．６μｍで、半値幅が４％の光学フイ
ルタ16が前記ＰｂＳｅ検出素子15と相対して配置されて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車その他の排気や
大気などのガスの成分を分析するガス分析計に関する。
大気などのガスの成分を分析するガス分析計に関する。
【０００２】
【従来の技術】排気や大気などの成分を分析するガス分
析計において、光源と試料ガスを導入するセル及びパイ
ロセンサを光学的直列に配置するとともに、前記光源と
パイロセンサとの間に、透過する光線の波長帯域の中心
波長が約５．８μｍの光学フイルタを配置して、前記試
料ガスのＨ2 Ｏを測定するガス分析計が知られている。
そして、Ｈ2 Ｏを測定するガス分析計に使用する光学フ
イルタとしては、前記のように、透過する光線の波長帯
域の中心波長が約５．８μｍの光学フイルタを使用する
ことが一般的であり、中心波長が約５．８μｍ以外の光
学フイルタを使用することは行われないのが現状であ
る。換言すれば、Ｈ2 Ｏ用ガス分析計には、透過する光
線の波長帯域の中心波長がほぼ５．８μｍの光学フイル
タを使用することが最適であると考えられている。
析計において、光源と試料ガスを導入するセル及びパイ
ロセンサを光学的直列に配置するとともに、前記光源と
パイロセンサとの間に、透過する光線の波長帯域の中心
波長が約５．８μｍの光学フイルタを配置して、前記試
料ガスのＨ2 Ｏを測定するガス分析計が知られている。
そして、Ｈ2 Ｏを測定するガス分析計に使用する光学フ
イルタとしては、前記のように、透過する光線の波長帯
域の中心波長が約５．８μｍの光学フイルタを使用する
ことが一般的であり、中心波長が約５．８μｍ以外の光
学フイルタを使用することは行われないのが現状であ
る。換言すれば、Ｈ2 Ｏ用ガス分析計には、透過する光
線の波長帯域の中心波長がほぼ５．８μｍの光学フイル
タを使用することが最適であると考えられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のＨ2 Ｏを測
定することが可能なガス分析計は、Ｈ2 Ｏを測定するこ
とについては支障は存在しない。しかし、高速応答をう
ることは困難である課題がある。
定することが可能なガス分析計は、Ｈ2 Ｏを測定するこ
とについては支障は存在しない。しかし、高速応答をう
ることは困難である課題がある。
【０００４】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、試料のＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可能な
ガス分析計をうることを目的とする。
って、試料のＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可能な
ガス分析計をうることを目的とする。
【０００５】本発明者は、前記従来のＨ2 Ｏガス分析計
の応答速度が低い課題を解決する検討を種々進めた結
果、黒体曲線と吸収スペクトルと光学フイルタを掛け合
わせた計算では、Ｈ2 Ｏの感度は２．７μｍ付近が最も
大きくて、高速応答をうることが可能であることを見出
だした。これは、例えば図１に示した、半値幅４％の光
学フイルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏガス分析計の感
度特性Ｂとの関係図、及び図２に示した、半値幅９％の
光学フイルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏガス分析計の
感度特性Ｂとの関係図のそれぞれからも明らかであっ
て、従来Ｈ2 Ｏガス分析計に使用されてきた約５．８μ
ｍ（１７２４cm-1）付近の波長の感度に比して、２．７
μｍ（３７０３cm-1）付近の波長の感度の方が２倍強高
いことが判明する。本発明は、前記各波長におけるＨ2
Ｏの感度の大きな差に基づいて完成したものである。
の応答速度が低い課題を解決する検討を種々進めた結
果、黒体曲線と吸収スペクトルと光学フイルタを掛け合
わせた計算では、Ｈ2 Ｏの感度は２．７μｍ付近が最も
大きくて、高速応答をうることが可能であることを見出
だした。これは、例えば図１に示した、半値幅４％の光
学フイルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏガス分析計の感
度特性Ｂとの関係図、及び図２に示した、半値幅９％の
光学フイルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏガス分析計の
感度特性Ｂとの関係図のそれぞれからも明らかであっ
て、従来Ｈ2 Ｏガス分析計に使用されてきた約５．８μ
ｍ（１７２４cm-1）付近の波長の感度に比して、２．７
μｍ（３７０３cm-1）付近の波長の感度の方が２倍強高
いことが判明する。本発明は、前記各波長におけるＨ2
Ｏの感度の大きな差に基づいて完成したものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のガス分析計は、
光源と、この光源から射出された光線が透過する試料用
のセル及びＰｂＳｅ検出素子が光学的直列に配置された
ガス分析計において、前記光源とＰｂＳｅ検出素子との
間に、透過する光線の波長帯域の中心波長が約２．４〜
３．０μｍの光学フイルタが配置されたことを特徴とす
る。
光源と、この光源から射出された光線が透過する試料用
のセル及びＰｂＳｅ検出素子が光学的直列に配置された
ガス分析計において、前記光源とＰｂＳｅ検出素子との
間に、透過する光線の波長帯域の中心波長が約２．４〜
３．０μｍの光学フイルタが配置されたことを特徴とす
る。
【０００７】前記光学フイルタの半値幅は１〜１２％に
設定することが可能である。また、光学フイルタを透過
する光線の波長帯域の中心波長を２．６μｍ、半値幅を
約４％に設定すれば、試料ガスのＨ2 Ｏ測定において、
ＣＯ2 の干渉を除くことに対して有効である。そして、
複数のＰｂＳｅ検出素子、例えば、Ｈ2 Ｏ、ＣＯ2 、Ｃ
Ｏ、ＨＣ及び基準用の各ＰｂＳｅ検出素子を並べて配置
して、その内の１個のＰｂＳｅ検出素子と相対して、透
過する光線の波長帯域の中心波長が約２．４〜３．０μ
ｍの前記光学フイルタを配置し、他の各ＰｂＳｅ検出素
子と相対して、Ｈ2 Ｏ以外の測定成分に対応した波長帯
域を透過する光学フイルタを配置して、Ｈ2 Ｏを含む複
数の成分を各別にかつ同時に測定する一体型ＰｂＳｅ検
出器を構成することも可能である。
設定することが可能である。また、光学フイルタを透過
する光線の波長帯域の中心波長を２．６μｍ、半値幅を
約４％に設定すれば、試料ガスのＨ2 Ｏ測定において、
ＣＯ2 の干渉を除くことに対して有効である。そして、
複数のＰｂＳｅ検出素子、例えば、Ｈ2 Ｏ、ＣＯ2 、Ｃ
Ｏ、ＨＣ及び基準用の各ＰｂＳｅ検出素子を並べて配置
して、その内の１個のＰｂＳｅ検出素子と相対して、透
過する光線の波長帯域の中心波長が約２．４〜３．０μ
ｍの前記光学フイルタを配置し、他の各ＰｂＳｅ検出素
子と相対して、Ｈ2 Ｏ以外の測定成分に対応した波長帯
域を透過する光学フイルタを配置して、Ｈ2 Ｏを含む複
数の成分を各別にかつ同時に測定する一体型ＰｂＳｅ検
出器を構成することも可能である。
【０００８】
【作用】前記本発明のガス分析計は、前記セルに試料ガ
スを供給し、かつ光源から射出した光線を前記セルに導
入して透過させるとともに、透過する光線の波長帯域の
中心波長がほぼ２．４〜３．０である光学フイルタを透
過した光線をＰｂＳｅ検出素子で検出して、その光量に
基づいて前記試料ガスのＨ2 Ｏを測定するものである。
そして、例えば図３に一部を示した、透過する光線の波
長帯域の中心波長が２．７μｍで半値幅が８％の光学フ
イルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏの吸収スペクトル及
びＰｂＳｅ検出素子の分光特性Ｃの関係図から明らかな
ように、ＰｂＳｅ検出素子は、前記光学フイルタを透過
する光線の波長帯域を含む、約２〜５μｍの波長域にお
いて感度を有し、かつ前記光学フイルタを透過した波長
は、前記のようにエネルギが大きいから、高速応答で試
料ガスのＨ2 Ｏを測定することが可能である。
スを供給し、かつ光源から射出した光線を前記セルに導
入して透過させるとともに、透過する光線の波長帯域の
中心波長がほぼ２．４〜３．０である光学フイルタを透
過した光線をＰｂＳｅ検出素子で検出して、その光量に
基づいて前記試料ガスのＨ2 Ｏを測定するものである。
そして、例えば図３に一部を示した、透過する光線の波
長帯域の中心波長が２．７μｍで半値幅が８％の光学フ
イルタの分光スペクトルＡとＨ2 Ｏの吸収スペクトル及
びＰｂＳｅ検出素子の分光特性Ｃの関係図から明らかな
ように、ＰｂＳｅ検出素子は、前記光学フイルタを透過
する光線の波長帯域を含む、約２〜５μｍの波長域にお
いて感度を有し、かつ前記光学フイルタを透過した波長
は、前記のようにエネルギが大きいから、高速応答で試
料ガスのＨ2 Ｏを測定することが可能である。
【０００９】そして、前記光学フイルタを透過する光線
の波長帯域の中心波長を２．６μｍに、半値幅を４％に
設定すると、その光学フイルタがＣＯ2 の吸収波長帯域
をほぼカットするから、ＣＯ2 の干渉を排除して、精度
よくかつ高速応答によるＨ2 Ｏの測定を可能にすること
ができる。また、複数のＰｂＳｅ検出素子を並べて配置
し、かつそのそれぞれに光学フイルタを配置すること
で、試料ガスのＨ2 Ｏを含む複数成分を同時にかつ各別
に高速応答で測定することが可能である。
の波長帯域の中心波長を２．６μｍに、半値幅を４％に
設定すると、その光学フイルタがＣＯ2 の吸収波長帯域
をほぼカットするから、ＣＯ2 の干渉を排除して、精度
よくかつ高速応答によるＨ2 Ｏの測定を可能にすること
ができる。また、複数のＰｂＳｅ検出素子を並べて配置
し、かつそのそれぞれに光学フイルタを配置すること
で、試料ガスのＨ2 Ｏを含む複数成分を同時にかつ各別
に高速応答で測定することが可能である。
【００１０】
【実施例】本発明のガス分析計の第１実施例を図４〜６
について説明する。
について説明する。
【００１１】図４〜６において、１は赤外線の光源、２
は光源１から射出された赤外線を反射するレフレクタ
で、これで反射された赤外線を集光レンズ３で集光して
試料用のセル４に入射するように構成されている。５は
セル４を透過した光線が入射される検出器、６は検出器
５と前記セル４との間に配置されたチョッパーホイール
で、これをDCモータ７で回転するように構成されてい
る。
は光源１から射出された赤外線を反射するレフレクタ
で、これで反射された赤外線を集光レンズ３で集光して
試料用のセル４に入射するように構成されている。５は
セル４を透過した光線が入射される検出器、６は検出器
５と前記セル４との間に配置されたチョッパーホイール
で、これをDCモータ７で回転するように構成されてい
る。
【００１２】前記検出器５は、図５に示したように構成
されている。図５において、８は金属などで形成された
ケースで、その端部壁９に設けた開口部10を、赤外線を
透過するサファイヤなどからなる窓11で閉鎖している。
前記ケース８の内面は、サンドブラストまたは表面を荒
れさせる黒化処理などで粗面にして、赤外線の吸収が可
能に構成されている。12はケース８を密封するステム、
13は窓材11と相対してステム12に取付けられた、アルミ
ニウムなどの熱伝導度がよい材料からなる断面凹形状の
ホルダで、その収容凹部14にＰｂＳｅ検出素子15が配置
されている。16は収容凹部14を閉鎖する状態にしてホル
ダ13に取付けられた、透過する光線の波長帯域の中心波
長が２．６μｍで、半値幅が４％の光学フイルタであっ
て、この光学フイルタ16を透過した赤外線が前記ＰｂＳ
ｅ検出素子15に入射される。17a,17b はステム12を貫通
したリードピンで、これらに対するリード線の図示を省
略した。
されている。図５において、８は金属などで形成された
ケースで、その端部壁９に設けた開口部10を、赤外線を
透過するサファイヤなどからなる窓11で閉鎖している。
前記ケース８の内面は、サンドブラストまたは表面を荒
れさせる黒化処理などで粗面にして、赤外線の吸収が可
能に構成されている。12はケース８を密封するステム、
13は窓材11と相対してステム12に取付けられた、アルミ
ニウムなどの熱伝導度がよい材料からなる断面凹形状の
ホルダで、その収容凹部14にＰｂＳｅ検出素子15が配置
されている。16は収容凹部14を閉鎖する状態にしてホル
ダ13に取付けられた、透過する光線の波長帯域の中心波
長が２．６μｍで、半値幅が４％の光学フイルタであっ
て、この光学フイルタ16を透過した赤外線が前記ＰｂＳ
ｅ検出素子15に入射される。17a,17b はステム12を貫通
したリードピンで、これらに対するリード線の図示を省
略した。
【００１３】前記検出器５に使用した光学フイルタ16の
分光スペクトルＡとＨ2 Ｏ、ＣＯ2 の各吸収スペクトル
との関係は、図６のとおりである。
分光スペクトルＡとＨ2 Ｏ、ＣＯ2 の各吸収スペクトル
との関係は、図６のとおりである。
【００１４】前記ガス分析計は、チョッパーホイール６
を回転させ、かつセル４に試料ガスを導入する。そし
て、光源１から射出された赤外線をレフレクタ２で反射
し、かつその反射赤外線を集光レンズ３で集光してセル
４を透過させて検出器５に入射するが、検出器５の光学
フイルタ16を透過してＰｂＳｅ検出素子15に入射される
赤外線は、そのエネルギが前記のように大きいから、前
記試料ガスのＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可能で
ある。しかも、透過する光線の波長帯域の中心波長が
２．６μｍ、半値幅が４％に設定された前記光学フイル
タ16は、図６から明らかなように、ＣＯ2 の吸収波長域
をほぼカットするから、ＣＯ2 の干渉影響を受けること
なく、高精度でＨ2 Ｏを測定することが可能である。
を回転させ、かつセル４に試料ガスを導入する。そし
て、光源１から射出された赤外線をレフレクタ２で反射
し、かつその反射赤外線を集光レンズ３で集光してセル
４を透過させて検出器５に入射するが、検出器５の光学
フイルタ16を透過してＰｂＳｅ検出素子15に入射される
赤外線は、そのエネルギが前記のように大きいから、前
記試料ガスのＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可能で
ある。しかも、透過する光線の波長帯域の中心波長が
２．６μｍ、半値幅が４％に設定された前記光学フイル
タ16は、図６から明らかなように、ＣＯ2 の吸収波長域
をほぼカットするから、ＣＯ2 の干渉影響を受けること
なく、高精度でＨ2 Ｏを測定することが可能である。
【００１５】なお、前記光学フイルタ16は、セル４また
はチョッパーホイール６に取付けるなど、その配置位置
は任意にすることが可能である。
はチョッパーホイール６に取付けるなど、その配置位置
は任意にすることが可能である。
【００１６】図７〜８は第２実施例を示すものであっ
て、前記第１実施例における検出器５に関する。
て、前記第１実施例における検出器５に関する。
【００１７】図７〜８において、５は検出器、８は検出
器５を構成する金属などからなるケースで、その端部を
閉鎖したステム12にアルミニウムなどからなるホルダ13
が取付けられ、かつこのホルダ13に設けられた収容凹部
14a,14b,14c,14d,14e のそれぞれの内部に、Ｈ2 Ｏ、Ｃ
Ｏ2 、ＣＯ、ＨＣ及び基準用のＰｂＳｅ検出素子15a,15
b,15c,15d,15e が配置されている。そして、収容凹部14
a,14b,14c,14d,14e のそれぞれにＨ2 Ｏ、ＣＯ2 、Ｃ
Ｏ、ＨＣ及び基準用の光学フイルタ16a,16b,16c,16d,16
e が配置されている。この光学フイルタ16a,16b,16c,16
d,16e のそれぞれを透過する各光線の波長帯域の各中心
波長と半値幅は、次のとおりである。 Ｈ2 Ｏ測定用光学フイルタ16a 中心波長 ２．７μｍ 半値幅 ８％ ＣＯ2 測定用光学フイルタ16b 中心波長 ４．３μｍ 半値幅 ４．２％ ＣＯ測定用光学フイルタ16c 中心波長 ４．７μｍ 半値幅 ８．６％ ＨＣ測定用光学フイルタ16d 中心波長 ３，４μｍ 半値幅 ８，６％ 基準用光学フイルタ16e 中心波長 ３，８μｍ 半値幅 ３，０％ 他の構成は、前記第１実施例と同じであるから、同符号
を付して示した。
器５を構成する金属などからなるケースで、その端部を
閉鎖したステム12にアルミニウムなどからなるホルダ13
が取付けられ、かつこのホルダ13に設けられた収容凹部
14a,14b,14c,14d,14e のそれぞれの内部に、Ｈ2 Ｏ、Ｃ
Ｏ2 、ＣＯ、ＨＣ及び基準用のＰｂＳｅ検出素子15a,15
b,15c,15d,15e が配置されている。そして、収容凹部14
a,14b,14c,14d,14e のそれぞれにＨ2 Ｏ、ＣＯ2 、Ｃ
Ｏ、ＨＣ及び基準用の光学フイルタ16a,16b,16c,16d,16
e が配置されている。この光学フイルタ16a,16b,16c,16
d,16e のそれぞれを透過する各光線の波長帯域の各中心
波長と半値幅は、次のとおりである。 Ｈ2 Ｏ測定用光学フイルタ16a 中心波長 ２．７μｍ 半値幅 ８％ ＣＯ2 測定用光学フイルタ16b 中心波長 ４．３μｍ 半値幅 ４．２％ ＣＯ測定用光学フイルタ16c 中心波長 ４．７μｍ 半値幅 ８．６％ ＨＣ測定用光学フイルタ16d 中心波長 ３，４μｍ 半値幅 ８，６％ 基準用光学フイルタ16e 中心波長 ３，８μｍ 半値幅 ３，０％ 他の構成は、前記第１実施例と同じであるから、同符号
を付して示した。
【００１８】前記のように構成された検出器５は、セル
（図示省略）を透過した光線が窓11を透過するととも
に、光学フイルタ16a,16b,16c,16d,16e のそれぞれに設
定された中心波長と半値幅に対応した波長帯域が選択的
に透過して、ＰｂＳｅ検出素子15a,15b,15c,15d,15e の
それぞれに入射されるから、ＰｂＳｅ検出素子15a,15b,
15c,15d,15e の各出力信号に基づいて、試料ガスのＨ2
Ｏ、ＣＯ2 、ＣＯ、ＨＣのそれぞれを、各別にかつ同時
に高速応答で測定することが可能である。この第２実施
例の検出器５は、前記４種類の成分を測定するものであ
るが、Ｈ2 Ｏ以外の測定成分の種類と数は任意に設定す
ることが可能である。
（図示省略）を透過した光線が窓11を透過するととも
に、光学フイルタ16a,16b,16c,16d,16e のそれぞれに設
定された中心波長と半値幅に対応した波長帯域が選択的
に透過して、ＰｂＳｅ検出素子15a,15b,15c,15d,15e の
それぞれに入射されるから、ＰｂＳｅ検出素子15a,15b,
15c,15d,15e の各出力信号に基づいて、試料ガスのＨ2
Ｏ、ＣＯ2 、ＣＯ、ＨＣのそれぞれを、各別にかつ同時
に高速応答で測定することが可能である。この第２実施
例の検出器５は、前記４種類の成分を測定するものであ
るが、Ｈ2 Ｏ以外の測定成分の種類と数は任意に設定す
ることが可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明の請求項１のガス分析計は、上記
のように、光源と、この光源から射出された光線が透過
する試料用のセル及びＰｂＳｅ検出素子が光学的直列に
配置されたガス分析計において、前記光源とＰｂＳｅ検
出素子との間に、透過する光線の波長帯域の中心波長が
約２．４〜３．０μｍの光学フイルタを配置したもので
ある。そして、黒体曲線と吸収スペクトルと光学フイル
タを掛け合わせた計算から明らかなように、前記約２．
４〜３．０μｍ付近におけるＨ2 Ｏの感度が最も大きい
から、試料ガスのＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可
能である。
のように、光源と、この光源から射出された光線が透過
する試料用のセル及びＰｂＳｅ検出素子が光学的直列に
配置されたガス分析計において、前記光源とＰｂＳｅ検
出素子との間に、透過する光線の波長帯域の中心波長が
約２．４〜３．０μｍの光学フイルタを配置したもので
ある。そして、黒体曲線と吸収スペクトルと光学フイル
タを掛け合わせた計算から明らかなように、前記約２．
４〜３．０μｍ付近におけるＨ2 Ｏの感度が最も大きい
から、試料ガスのＨ2 Ｏを高速応答で測定することが可
能である。
【００２０】そして、請求項３のガス分析計は、前記光
学フイルタを透過する光線の波長帯域の中心波長が約
２．６μｍで、半値幅が約４％に設定されており、ＣＯ
2 の吸収波長帯域をほぼカットすることが可能であるか
ら、ＣＯ2 の干渉を排除して高精度でかつ高速応答でＨ
2 Ｏを測定することが可能である。また、請求項４のガ
ス分析計は、複数のＰｂＳｅ検出素子を並べて配置し
て、その内１個のＰｂＳｅ検出素子に前記請求項１の光
学フイルタを配置し、他のＰｂＳｅ検出素子のそれぞれ
に対して、各測定成分に対応した光学フイルタを配置し
ているから、Ｈ2 Ｏと他の任意数の成分とを、同時にか
つ各別に高速応答で測定することが可能である。
学フイルタを透過する光線の波長帯域の中心波長が約
２．６μｍで、半値幅が約４％に設定されており、ＣＯ
2 の吸収波長帯域をほぼカットすることが可能であるか
ら、ＣＯ2 の干渉を排除して高精度でかつ高速応答でＨ
2 Ｏを測定することが可能である。また、請求項４のガ
ス分析計は、複数のＰｂＳｅ検出素子を並べて配置し
て、その内１個のＰｂＳｅ検出素子に前記請求項１の光
学フイルタを配置し、他のＰｂＳｅ検出素子のそれぞれ
に対して、各測定成分に対応した光学フイルタを配置し
ているから、Ｈ2 Ｏと他の任意数の成分とを、同時にか
つ各別に高速応答で測定することが可能である。
【図１】光学フイルタの分光スペクトルとＨ2 Ｏガス分
析計の感度特性との関係図である。
析計の感度特性との関係図である。
【図２】光学フイルタの分光スペクトルとＨ2 Ｏガス分
析計の感度特性との関係図である。
析計の感度特性との関係図である。
【図３】光学フイルタとＨ2 Ｏの分光スペクトル及びＰ
ｂＳｅ検出素子の分光特性の関係図である。
ｂＳｅ検出素子の分光特性の関係図である。
【図４】第１実施例の構成図である。
【図５】第１実施例の検出器の拡大断面図である。
【図６】第１実施例の光学フイルタとＨ2 Ｏ、ＣＯ2 の
分光スペクトル図である。
分光スペクトル図である。
【図７】第２実施例の断正面図である。
【図８】第２実施例の断平面図である。
１…光源、４…セル、５…検出器、15…ＰｂＳｅ検出素
子、16…光学フイルタ
子、16…光学フイルタ
Claims (4)
- 【請求項１】 光源と、この光源から射出された光線が
透過する試料用のセル及びＰｂＳｅ検出素子が光学的直
列に配置されたガス分析計において、前記光源とＰｂＳ
ｅ検出素子との間に、透過する光線の波長帯域の中心波
長が約２．４〜３．０μｍの光学フイルタが配置された
ことを特徴とするガス分析計。 - 【請求項２】光学フイルタの半値幅が１〜１２％に設定
されたことを特徴とする請求項１のガス分析計。 - 【請求項３】透過する光線の波長帯域の中心波長が約
２．６μｍで、半値幅が約４％の光学フイルタが使用さ
れたことを特徴とする請求項１のガス分析計。 - 【請求項４】複数のＰｂＳｅ検出素子が並べて配置さ
れ、その内の１個のＰｂＳｅ検出素子と相対して、透過
する光線の波長帯域の中心波長が約２．４〜３．０μｍ
の光学フイルタが配置され、他の各ＰｂＳｅ検出素子と
相対して、Ｈ2Ｏ以外の測定成分に対応した波長帯域を
透過する各光学フイルタが配置されたことを特徴とする
請求項１または２のガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34966791A JPH05157689A (ja) | 1991-12-07 | 1991-12-07 | ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34966791A JPH05157689A (ja) | 1991-12-07 | 1991-12-07 | ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157689A true JPH05157689A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18405290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34966791A Pending JPH05157689A (ja) | 1991-12-07 | 1991-12-07 | ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05157689A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7091043B2 (en) | 1999-12-10 | 2006-08-15 | Showa Denko K.K. | Method for measuring water concentration in ammonia |
| JP2009128111A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Yazaki Corp | 受光ユニット及び濃度測定装置 |
| JP2011530691A (ja) * | 2008-04-21 | 2011-12-22 | エフエスシー カンパニー，リミテッド | 雨滴感知センサー |
-
1991
- 1991-12-07 JP JP34966791A patent/JPH05157689A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7091043B2 (en) | 1999-12-10 | 2006-08-15 | Showa Denko K.K. | Method for measuring water concentration in ammonia |
| JP2009128111A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Yazaki Corp | 受光ユニット及び濃度測定装置 |
| JP2011530691A (ja) * | 2008-04-21 | 2011-12-22 | エフエスシー カンパニー，リミテッド | 雨滴感知センサー |
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