JPH05160168A - フレーム搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フレーム搬送の際のフレームの位置ずれを防
止する。 【構成】 上下機能及び前進後退機能を有した送り部２
により、フレーム３をレール１に沿って搬送する装置で
あって、フレーム搬送用のレール１に開閉機構５を設け
て、フレーム送り部２がフレーム３を位置決めできない
間、フレーム３を上記開閉レール５を閉じることにより
固定する。 【効果】 搬送されるフレーム３が、常時送り部２によ
り位置決めされた状態若しくは開閉レール５により固定
された状態となるため、フレーム３の位置ずれが防止で
きる。また、フレーム３の反りの影響をなくすこともで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、特に半導体製造工程
におけるフレーム搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来のフレーム搬送装置を示す図
であり、図５ａは平面図、図５ｂは正面図、図５ｃは側
面図である。図において、１は搬送用のレール、２は上
昇・下降動作を実現する上下機構及び前進・後退動作を
実現する前後機構を有する送り部、３はレール１に沿っ
て搬送されるフレーム、４ａ,ｂは送り部２が挿入され
る搬送用のフレーム穴である。

【０００３】次に、従来装置の動作を図６のフローチャ
ートに基づいて説明する。まず、送り部２が上昇して前
方のフレーム穴４ａより抜け出す(ステップ10)。その
後、送り部２の上昇が完了すると(ステップ11)、送り部
２は後方のフレーム穴４ｂの真上まで後退する(ステッ
プ12)。そして、送り部２の後退動作が完了すると(ステ
ップ13)、送り部２は下降してフレーム穴４ｂに入る(ス
テップ14)。送り部２が下降動作を完了すると(ステップ
15)、送り部２は前方のフレーム穴４ａの位置まで前進
する(ステップ16)。送り部２の前進が完了すると(ステ
ップ17)、フレーム３は送り部２の前後ストローク分Ｌ
だけ前方に送られることとなる。これらの動作を繰返す
ことによりフレーム３を搬送するのである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のフレーム搬送装
置は以上のように構成されているので、送り部２の上
昇、後退、及び下降の連続した動作(ステップ10〜ステ
ップ14)の間、フレーム３が位置決めされていない状
態、即ちレール１上に載っているだけの状態になるた
め、フレーム３が位置ずれする可能性が大となる。

【０００５】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、フレームを常時位置決め若し
くは固定された状態とすることにより、フレームの位置
ずれを解消し、安定したフレーム搬送装置を提供する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係るフレーム
搬送装置は、フレームを保持しつつ所定ストローク前進
させるフレーム送り手段と、フレームをレール側に固定
するフレーム固定手段を備え、フレームがフレーム送り
手段により保持されていない間、フレーム固定手段によ
りその位置が固定されるようにして、フレームを常時位
置決めするものである。

【０００７】

【作用】この発明におけるフレーム搬送装置は、フレー
ム送り手段がフレームを位置決めしていない間、フレー
ム固定手段(上下機構を有した開閉レール等)によりフレ
ームを挟み固定して、フレームの位置ずれを防止する。
また、フレーム固定手段によりフレームをレールへ押し
つけるようにしたので、フレームの反りの影響をなくす
ことができる。

【０００８】

【実施例】実施例１．図１はこの発明の一実施例に係る
フレーム搬送装置を示す図であり、図１ａは平面図、図
１ｂは正面図、図１ｃは側面図、図１ｄはＡ部拡大断面
図である。図において、１は搬送用のレール、２は上昇
・下降動作を実現する上下機構及び前進・後退動作を実
現する前後機構を有する送り部、３はレール１に沿って
搬送されるフレーム、４ａ,ｂは送り部２が挿入される
搬送用のフレーム穴、５は上下機構を有する開閉レール
である。

【０００９】次に、上記実施例の動作を図２のフローチ
ャートに基づいて説明する。まず、開閉レール５が下降
して閉動作を開始しフレーム３を固定しようとする(ス
テップ20)。次に、開閉レール５によりフレーム３が固
定されたら(ステップ21)送り部２が上昇して前方のフレ
ーム穴４ａより抜け出す(ステップ22,23)。そして、送
り部２は後方のフレーム穴４ｂの真上まで後退し(ステ
ップ24)、後退完了後(ステップ25)、送り部２は下降し
てフレーム穴４ｂへ入る(ステップ26,27)。次いで、開
閉レール５が開状態となり(ステップ28,29)、フレーム
３の固定が解除される。その後、送り部２が前進して
(ステップ30,31)、フレーム３を前方へ搬送する。送り
部２の前進が完了するとフレーム３は送り部２の前後ス
トローク分Ｌだけ前方に送られる。これらの動作を繰返
すことによりフレーム３は前方へ搬送されることとな
る。

【００１０】実施例２．上記実施例では、送り部２が上
下機構及び前後機構を有する場合について説明したが、
送り部２の上下動作のかわりに、図３に示すようにレー
ル１自体が上下動作する搬送方式であってもよく、上記
実施例と同様の効果を奏する。以下、その動作を図３及
び図４について説明する。まず、開閉レール５が閉とな
りフレーム３を固定する。次いで、レール１が下降する
と、送り部２が前方のフレーム穴４ａより抜け、後方の
フレーム穴４ｂの真上まで後退する。送り部２の後退が
完了すると、レール１が上昇し上昇完了時点で送り部２
が後方のフレーム穴４ｂへ入る。次いで、開閉レール５
が開となり、フレームの固定が解除される。その後、送
り部２の前進動作が行われ、フレーム３は送り部２の前
後ストロークＬ分だけ前方に送られる。そして、これら
の動作を繰返すことによりフレーム３を搬送する。

【００１１】上記実施例１,２によれば、送り部２がフ
レーム穴４より抜けて送り部２によるフレーム３の位置
決めがない間は、開閉レール５がフレーム３を挟み固定
するので、常時フレーム３が位置ずれせず安定した搬送
が行われる。また、送り部２がフレーム穴４に入る際
に、フレーム３が開閉レール５によりレール１に押し付
けられた状態となるので、フレーム反りの影響を受けな
い。

【００１２】他の実施例．上記実施例では、フレーム送
り手段として、突起状の送り部２がフレーム３に設けら
れたフレーム穴４に係合してフレームを前進させる場合
について説明したが、電磁石等で吸着搬送する場合にも
適用できる。また、フレーム固定手段として、開閉レー
ル５の上下動により固定する方式を採用したが、例えば
電磁石等の手段により固定してもよい。

【００１３】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、フレー
ム送り手段によりフレームが位置決めされていない間
は、開閉レール等のフレーム固定手段により固定される
こととなるので、フレームが位置ずれすることなく安定
した搬送ができる。また、フレーム送り手段がフレーム
を保持しようとする際、フレームがレールに固定されて
いるので、フレーム反りの影響を受けない効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係るフレーム搬送装置を
示す図である。

【図２】上記実施例によるフレーム搬送動作のフローチ
ャート図である。

【図３】この発明の他の実施例に係るフレーム搬送装置
を示す図である。

【図４】上記実施例によるフレーム搬送動作のフローチ
ャート図である。

【図５】従来のフレーム搬送装置を示す図である。

【図６】従来のフレーム搬送動作のフローチャート図で
ある。

【符号の説明】

１ レール ２ 送り部 ３ フレーム ４a,b フレーム穴 ５ 開閉レール

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレームをレールに沿って搬送するフレ
   ーム搬送装置において、フレームを保持しつつ所定スト
   ローク前進させるフレーム送り手段と、フレームをレー
   ル側に固定するフレーム固定手段を備え、フレームがフ
   レーム送り手段により保持されていない間、フレーム固
   定手段によりその位置が固定されているフレーム搬送装
   置。