JPH05160207A - Ｔａｂ用テープキャリア製造用露光装置 - Google Patents
Ｔａｂ用テープキャリア製造用露光装置Info
- Publication number
- JPH05160207A JPH05160207A JP3320496A JP32049691A JPH05160207A JP H05160207 A JPH05160207 A JP H05160207A JP 3320496 A JP3320496 A JP 3320496A JP 32049691 A JP32049691 A JP 32049691A JP H05160207 A JPH05160207 A JP H05160207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape carrier
- wiring pattern
- tab
- ultraviolet rays
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】金属箔上にコーティングされた感光性レジスト
面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用露光装置の提
供。 【構成】紫外線ランプの光を、金属箔９上にコーティン
グされた感光性レジスト１０の面上にホトマスクを通し
て当て、配線パターンを焼き付けるＴＡＢ用露光装置に
おいて、前記紫外線の光路の途中に、照射光の一部の光
路を変更する反射板１１を設置したことを特徴とする。
面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用露光装置の提
供。 【構成】紫外線ランプの光を、金属箔９上にコーティン
グされた感光性レジスト１０の面上にホトマスクを通し
て当て、配線パターンを焼き付けるＴＡＢ用露光装置に
おいて、前記紫外線の光路の途中に、照射光の一部の光
路を変更する反射板１１を設置したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴＡＢ用テープキャリ
アの製造時に使用されるＴＡＢ用テープキャリア製造用
露光装置の改良に関する。
アの製造時に使用されるＴＡＢ用テープキャリア製造用
露光装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢ用テープキャリアは、一般に、有
機ポリイミドフィルム，ガラスエポキシフィルムなどの
絶縁フィルムに銅箔などの金属箔を貼り合わせた後、ホ
トエッチングによって所定の配線パターンをほどこして
作成する。
機ポリイミドフィルム，ガラスエポキシフィルムなどの
絶縁フィルムに銅箔などの金属箔を貼り合わせた後、ホ
トエッチングによって所定の配線パターンをほどこして
作成する。
【０００３】ホトエッチング工程は、まず、金属箔面上
にポジ型感光性レジストをロールコーティングし、ベー
クした後、露光装置で所定の配線パターンを焼き付け、
現像した後、エッチングをおこなう。
にポジ型感光性レジストをロールコーティングし、ベー
クした後、露光装置で所定の配線パターンを焼き付け、
現像した後、エッチングをおこなう。
【０００４】そして、従来型露光装置は、図２に示すよ
うに、紫外線ランプ１の光を集光鏡２で集め、ホトマス
ク３を通した後、投影レンズ４により、感光性レジスト
面上にホトマスクの像を結像させて配線パターンを焼き
付ける。
うに、紫外線ランプ１の光を集光鏡２で集め、ホトマス
ク３を通した後、投影レンズ４により、感光性レジスト
面上にホトマスクの像を結像させて配線パターンを焼き
付ける。
【０００５】なお、紫外線の照射光は、感光性レジスト
の露光面５で均一になるように、前記投影レンズ４以外
にも、図２に示す他の光学系６，７が組み込まれてい
る。
の露光面５で均一になるように、前記投影レンズ４以外
にも、図２に示す他の光学系６，７が組み込まれてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、感光性レジ
スト面を露光するときの紫外線の照射量は、レジスト層
の厚さの影響が大きい。
スト面を露光するときの紫外線の照射量は、レジスト層
の厚さの影響が大きい。
【０００７】たとえば、レジスト層が厚い場合、紫外線
の照射量を多くする必要がある。
の照射量を多くする必要がある。
【０００８】また、露光面のレジスト厚さが均一の場
合、この露光面に対する紫外線の照射量は均一でよい
が、ロールコーティングされた感光性レジストは、一般
に、金属箔の両縁で厚くなっている。
合、この露光面に対する紫外線の照射量は均一でよい
が、ロールコーティングされた感光性レジストは、一般
に、金属箔の両縁で厚くなっている。
【０００９】そして、このようなレジスト厚分布の露光
面に対し、紫外線を均一に照射すると、レジスト厚の厚
い両縁が露光不足となり、図３に示すように、現像後、
レジストが残ってエッチングされないという問題を生じ
る。
面に対し、紫外線を均一に照射すると、レジスト厚の厚
い両縁が露光不足となり、図３に示すように、現像後、
レジストが残ってエッチングされないという問題を生じ
る。
【００１０】本発明の目的は、前記した従来技術の欠点
を解消し、金属箔上にコーティングされた感光性レジス
ト面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用テープキャリ
ア製造用露光装置を提供することにある。
を解消し、金属箔上にコーティングされた感光性レジス
ト面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用テープキャリ
ア製造用露光装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的は、金属箔上に
コーティングされた感光性レジスト面に対し、紫外線ラ
ンプの光をホトマスクを通して当て、配線パターンを焼
き付けるＴＡＢ用テープキャリア製造用露光装置におい
て、前記紫外線の光路の途中に、照射光の一部の光路を
変更する反射板を設置することによって達成される。
コーティングされた感光性レジスト面に対し、紫外線ラ
ンプの光をホトマスクを通して当て、配線パターンを焼
き付けるＴＡＢ用テープキャリア製造用露光装置におい
て、前記紫外線の光路の途中に、照射光の一部の光路を
変更する反射板を設置することによって達成される。
【００１２】
【作用】しかして、前記構成よりなる本発明によれば、
紫外線の光路の途中に位置して、照射光の一部の光路を
変更する反射板を設けたことにより、たとえ金屬箔上に
ロールコーティングされた感光性レジストがその金属箔
の両縁で厚くなっていても、前記レジスト厚の厚い両縁
に対する紫外線の照射量を多くして配線パターンを焼き
付けるようにすれば、露光面に対する紫外線の局部的照
射量不足をなくし、常に適正な露光をおこなうことがで
きる。
紫外線の光路の途中に位置して、照射光の一部の光路を
変更する反射板を設けたことにより、たとえ金屬箔上に
ロールコーティングされた感光性レジストがその金属箔
の両縁で厚くなっていても、前記レジスト厚の厚い両縁
に対する紫外線の照射量を多くして配線パターンを焼き
付けるようにすれば、露光面に対する紫外線の局部的照
射量不足をなくし、常に適正な露光をおこなうことがで
きる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を、図１および図４の一実施例
にもとづいて説明すると、図１はＴＡＢ用テープキャリ
ア製造プロセスのうち、ＴＡＢ用テープキャリア製造用
露光装置による露光プロセスを示している。
にもとづいて説明すると、図１はＴＡＢ用テープキャリ
ア製造プロセスのうち、ＴＡＢ用テープキャリア製造用
露光装置による露光プロセスを示している。
【００１４】実験では、厚さ７５μｍ，幅３５ｍｍを有
する有機ポリイミドフィルムの絶縁フィルム８に対し、
接着剤を介して厚さ３５ｍｍ，幅２６．４ｍｍの圧延銅
箔９を貼り合わせた後、この銅箔９面上に対し、ロール
コーティング方式により、感光性ポジ型レジスト１０を
塗布した。
する有機ポリイミドフィルムの絶縁フィルム８に対し、
接着剤を介して厚さ３５ｍｍ，幅２６．４ｍｍの圧延銅
箔９を貼り合わせた後、この銅箔９面上に対し、ロール
コーティング方式により、感光性ポジ型レジスト１０を
塗布した。
【００１５】なお、複数のレジスト１０を熱乾燥した後
の平均的なレジスト膜厚は、銅箔９の両縁で１０〜１５
μｍ、それ以外の面で５±０．５μｍであった。
の平均的なレジスト膜厚は、銅箔９の両縁で１０〜１５
μｍ、それ以外の面で５±０．５μｍであった。
【００１６】そして、前記フィルムを、反射板１１を設
けた露光装置で露光した。
けた露光装置で露光した。
【００１７】露光装置の紫外線ランプから照射された光
は、ホトマスクを通過した後、感光性レジスト１０の露
光面に照射されるが、このときフィルムの外側に照射さ
れる光は、反射板１１によってその光路が変更され、銅
箔９の両縁、すなわちレジスト膜厚の厚い部分に集めら
れるものであって、実験によれば、前記両縁における紫
外線の照度は、それ以外の面の照度に比べて２〜３倍の
照度が得られ、このようにして得られたフィルムを現
像，エッチングしたところ、図４に示すような良好な配
線パターンを得ることができた。
は、ホトマスクを通過した後、感光性レジスト１０の露
光面に照射されるが、このときフィルムの外側に照射さ
れる光は、反射板１１によってその光路が変更され、銅
箔９の両縁、すなわちレジスト膜厚の厚い部分に集めら
れるものであって、実験によれば、前記両縁における紫
外線の照度は、それ以外の面の照度に比べて２〜３倍の
照度が得られ、このようにして得られたフィルムを現
像，エッチングしたところ、図４に示すような良好な配
線パターンを得ることができた。
【００１８】なお、反射板１１としては、紫外線を効率
よく反射する材質、たとえば鏡面仕上げのステンレス板
やミラーなどが望ましい。
よく反射する材質、たとえば鏡面仕上げのステンレス板
やミラーなどが望ましい。
【００１９】
【発明の効果】本発明は以上のごときであり、本発明に
よれば、金属箔上にコーティングされた感光性レジスト
面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用テープキャリ
ア製造用露光装置を提供することができる。
よれば、金属箔上にコーティングされた感光性レジスト
面に紫外線を照射して配線パターンを焼き付ける場合
に、露光面に対する紫外線の局部的照射量不足をなく
し、常に適正な露光をおこなって、良好な配線パターン
を得ることのできる、改良されたＴＡＢ用テープキャリ
ア製造用露光装置を提供することができる。
【図１】本発明ＴＡＢ用テープキャリア製造用露光装置
の一実施例を示す概略図である。
の一実施例を示す概略図である。
【図２】従来型ＴＡＢ用テープキャリア製造用露光装置
の概略図である。
の概略図である。
【図３】前記従来型露光装置を用いて製造したＴＡＢ用
テープキャリアの平面図である。
テープキャリアの平面図である。
【図４】前記本発明露光装置を用いて製造したＴＡＢ用
テープキャリアの平面図である。
テープキャリアの平面図である。
８ 絶縁フィルム ９ 圧延銅箔 １０ 感光性ポジ型レジスト １１ 反射板
Claims (1)
- 【請求項１】紫外線ランプの光を、金属箔上にコーティ
ングされた感光性レジスト面にホトマスクを通して当
て、配線パターンを焼き付けるＴＡＢ用テープキャリア
製造用露光装置において、前記紫外線の光路の途中に、
照射光の一部の光路を変更する反射板を設置したことを
特徴とするＴＡＢ用テープキャリア製造用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320496A JPH05160207A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | Ｔａｂ用テープキャリア製造用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3320496A JPH05160207A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | Ｔａｂ用テープキャリア製造用露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05160207A true JPH05160207A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18122102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3320496A Pending JPH05160207A (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | Ｔａｂ用テープキャリア製造用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05160207A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479078B1 (ko) * | 2002-08-14 | 2005-03-25 | 엘지전자 주식회사 | 노광장치의 이송식 기판 스테이지 |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP3320496A patent/JPH05160207A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479078B1 (ko) * | 2002-08-14 | 2005-03-25 | 엘지전자 주식회사 | 노광장치의 이송식 기판 스테이지 |
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