JPH0516088A - 吸着保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】基板１の平坦度を高い精度に維持しながら吸着
保持する。 【構成】基板１を吸着する面が高い精度の平坦度に形成
されるとともに表面に多孔を有する多孔質の微粒子焼結
体３を備え、この微粒子焼結体３を真空排気することに
よって基板１を吸着保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶板，半導体ウェー
ハのような脆弱な基板を吸着保持する吸着保持具に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図２（ａ）及び（ｂ）は従来の一例を示
す吸着保持具の平面図及び側面図である。従来、この種
の吸着保持具は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、
例えば、ステンレス材，アルミ材，鉄材の板材から製作
される板状のベース２０と、このベース２０の一面に基
板１を乗せるとともに複数の吸着穴２２及びこれら吸着
穴２２間を通ずる溝２４が形成され、複数のかつ吸着穴
２２及び溝２４の空間部を真空排気するための接続ニッ
プル２３とを有していた。

【０００３】この吸着保持具を用いて薄い脆弱な基板を
保持して他に搬送したりする場合は、まず、吸着面２１
を基板１の面と接触させ、接続ニップル２３を通して、
吸着穴２２及び溝２４の空間部を真空排気する。このこ
とによって、吸着面２１に基板１が吸着保持される。次
に、この吸着保持具を所定の場所に運搬し、所定の場所
で吸着保持した状態で作業を行う。

【０００４】また、吸着面２１の吸着穴２２の溝２の数
を大きくすることによって、基板１を真空吸引する面積
を増大させ、ある程度均一に基板を吸着するようにして
使用していた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この従来の吸着保持具
では基板１が吸着面２１の吸着穴２２か又は溝２４に接
している部分のみで吸着されるため単に基板を保持する
だけの役割であれば充分であるが、例えば印刷工程や微
小量塗布工程等で基板面の平坦度がより高い精度を必要
する場合には、溝２４及び吸着穴２２に対応する基板１
の面が変形し、印刷むらや塗布むらが起るという問題が
ある。

【０００６】本発明の目的は、かかる問を解消すべく、
基板の平坦度を高い精度を維持して吸着保持出来る吸着
保持具を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の吸着保持は、表
面に多孔を有する板状の多孔質微粒子焼結体と、この多
孔質微粒子焼結体を一面に取付けるとともに他面に第１
の真空排気穴が形成されるベースとを備え、前記多孔質
微粒子焼結体に基板を乗せ、前記真空排気穴より真空排
気して前記多孔質微粒子焼結体に前記基板を吸着保持す
ることを特徴としている。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。

【０００９】図１（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例
を示す吸着保持具の平面図と側面図である。この吸着保
持具は、同図に示すように、基板１を乗せるとともに溝
９及び排気穴１０が形成されるベース２の窪み面８にね
じ４で密着固定される微粒子焼結体３を設けたことであ
る。

【００１０】また、微粒子焼結体３は、ステアタイトの
ような安価な粒子物を焼結することで、ポーラス状とな
り、１０〜５０μ程度の多数の孔をもつ多孔質体として
形成され、一面を精密に研磨されたものである。そし
て、この微粒子焼結体３に吸着穴５を明け、ベース２の
窪み面８に微粒子焼結体３との間に空間部を設けるため
に縦横に連らなる溝９とこれら溝９と連結する排気穴１
０を形成したことである。さらにこの排気穴１０及び吸
着穴５を接続ニップル７及び接続チューブ６を介して外
部真空ポンプと接続する。

【００１１】次に、この吸着保持具の動作について述べ
る。まず、基板１を微粒子焼結体３上に乗せる。次に吸
着穴５に通ずる空間部を真空排気し、基板１を吸着保持
する。次に、基板１を吸着保持具とともに印刷機内台に
載置し、吸着穴５に通ずる空間部に空気を導入し、大気
に戻し、吸着穴５に通ずる真空ポンプ系統のバルブを閉
じる。次に排気穴１０に通ずる溝９の空間部を真空排気
する。このことにより微粒子焼結体３の微小穴を通して
基板１との間の空間部が真空排気され、基板１は一様の
吸着力で保持される。また、微粒子焼結体３の表面の平
坦度は精密に研削されているので、基板１も平坦度を維
持して吸着保持される。

【００１２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、基板を吸
着する面に、平坦度の良い多孔質の微粒子焼結体を用い
ることによって基板全面を均一な吸着力で保持すること
ができ、かつ基板が平坦度の良い微粒子焼結体の表面に
倣うので、基板を高い精度の平坦度の維持して吸着保持
出来る吸着保持具が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示し、（ａ）は吸着保持具
の平面図、（ｂ）は側面図である。

【図２】従来の一例を示し、（ａ）は吸着保持具の平面
図、（ｂ）は側面図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２，２０ ベース ３ 微粒子焼結体 ４ ねじ ５，２２ 吸着穴 ６ 接続チューブ ７，２３ 接続ニップル ８ 窪み面 ９，２４ 溝 １０ 排気穴

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に多孔を有する板状の多孔質微粒子
   焼結体と、この多孔質微粒子焼結体を一面に取付けると
   ともに他面に第１の真空排気穴が形成されるベースとを
   備え、前記多孔質微粒子焼結体に基板を乗せ、前記真空
   排気穴より真空排気して前記多孔質微粒子焼結体に前記
   基板を吸着保持することを特徴とする吸着保持具。
2. 【請求項２】 前記多孔質微粒子焼結体に複数の穴を明
   け、この穴と通ずる第２の真空排気穴を前記ベースに形
   成し、この第２の真空排気穴より真空排気して前記基板
   を前記多孔質微粒子焼結体に吸着することを特徴とする
   請求項１記載の吸着保持具。