JPH02139148A - 真空吸着テーブル - Google Patents
真空吸着テーブルInfo
- Publication number
- JPH02139148A JPH02139148A JP63287252A JP28725288A JPH02139148A JP H02139148 A JPH02139148 A JP H02139148A JP 63287252 A JP63287252 A JP 63287252A JP 28725288 A JP28725288 A JP 28725288A JP H02139148 A JPH02139148 A JP H02139148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- hose
- porous body
- work
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
- B28D5/0094—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being of the vacuum type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、液晶デイスプレィ素子、プリント基板等の
マスク製造装置、半導体ウェハーチャック装置等に使用
される真空吸着テーブルに関する。
マスク製造装置、半導体ウェハーチャック装置等に使用
される真空吸着テーブルに関する。
従来、マスク用フィルム、ガラス乾板等のマスクや半導
体ウェハー等のワークを加工するときにクランプする装
置として、第５図または第６図に示す真空吸着テーブル
が使用されている。
体ウェハー等のワークを加工するときにクランプする装
置として、第５図または第６図に示す真空吸着テーブル
が使用されている。
第５図の真空吸着テーブルは、吸気室２を有する吸着テ
ーブルｌの上面に等間隔で多数のノズル（口径１〜２舗
）４が開口して設けられ、吸気室２の排気口３に図示し
ない真空ポンプの配管を接続して吸気し、吸着テーブル
１の上面に置いたウェハー、マスク等のワークをノズル
４を介して吸着するようにしている。
ーブルｌの上面に等間隔で多数のノズル（口径１〜２舗
）４が開口して設けられ、吸気室２の排気口３に図示し
ない真空ポンプの配管を接続して吸気し、吸着テーブル
１の上面に置いたウェハー、マスク等のワークをノズル
４を介して吸着するようにしている。
第６図の真空吸着テーブルは、吸着テーブル１の上面に
同心状に複数個の溝５を設け、この溝５に設けた４個の
ノズル（口径１〜２皿）４から吸着するようにしである
。
同心状に複数個の溝５を設け、この溝５に設けた４個の
ノズル（口径１〜２皿）４から吸着するようにしである
。
従来の真空吸着テーブルのうち、第５図のものは、テー
ブルの全面積よりもサイズの小さいワークを吸着する場
合には、ワークによって塞がれないノズルからの吸気量
が多くなるため、ワークに対する吸着力が弱くなり、ワ
ークの加工中に位置ずれが生じて高精度の加工が困難に
なる。第６図のものは、ワークのサイズが小さい場合で
も強い吸着力が得られるけれども、溝の部分に局部的に
大きな吸着力を受けるので、ワークが変形して加工精度
が悪くなるという問題がある。
ブルの全面積よりもサイズの小さいワークを吸着する場
合には、ワークによって塞がれないノズルからの吸気量
が多くなるため、ワークに対する吸着力が弱くなり、ワ
ークの加工中に位置ずれが生じて高精度の加工が困難に
なる。第６図のものは、ワークのサイズが小さい場合で
も強い吸着力が得られるけれども、溝の部分に局部的に
大きな吸着力を受けるので、ワークが変形して加工精度
が悪くなるという問題がある。
このようなワークの局部的変形を防止するため、第５図
の型式のものの使用方法を改良して、真空ポンプのパワ
ーを大きくし、ワークによって塞がれないノズルがあっ
ても、ワークの位置ずれが生じない強さの吸着力が得ら
れるようにしたものが使用されている。
の型式のものの使用方法を改良して、真空ポンプのパワ
ーを大きくし、ワークによって塞がれないノズルがあっ
ても、ワークの位置ずれが生じない強さの吸着力が得ら
れるようにしたものが使用されている。
しかし、真空ポンプのパワーを大きくすると、それに比
例して真空ポンプの振動が大きくなるため、配管、床等
を介して吸着テーブルに伝達される振動も大きくなり、
この振動によってワークの加工精度が悪化するという問
題が生じている。
例して真空ポンプの振動が大きくなるため、配管、床等
を介して吸着テーブルに伝達される振動も大きくなり、
この振動によってワークの加工精度が悪化するという問
題が生じている。
この発明は、上記の問題を解決して、サイズの小さいワ
ークに対しても低パワーの真空ポンプで強い吸着力が均
一に作用する真空吸着テーブルを提供することを目的と
する。
ークに対しても低パワーの真空ポンプで強い吸着力が均
一に作用する真空吸着テーブルを提供することを目的と
する。
上記目的を達成するため、この発明においては、吸着テ
ーブルの上面に、多孔質体を備えた吸着部が複数個位置
し、これらの吸着部材のうち少なくとも１個の吸着部材
は、真空ポンプに連結された配管に第一の管路を介して
接続し、第一の管路に接続されない吸着部材のうち少な
くとも１個の吸着部材は、切換弁が取り付けられた第二
の管路を介して、真空ポンプに連結された配管に接続し
ている。
ーブルの上面に、多孔質体を備えた吸着部が複数個位置
し、これらの吸着部材のうち少なくとも１個の吸着部材
は、真空ポンプに連結された配管に第一の管路を介して
接続し、第一の管路に接続されない吸着部材のうち少な
くとも１個の吸着部材は、切換弁が取り付けられた第二
の管路を介して、真空ポンプに連結された配管に接続し
ている。
この発明の真空吸着テーブルは、吸着部材の多孔質体が
有する空孔から吸気され、多孔質体の上面でワークを強
力な吸着力で吸着する。切換弁を切り換えることにより
、ワークのサイズに応じた吸着面積に変更することがで
きる。
有する空孔から吸気され、多孔質体の上面でワークを強
力な吸着力で吸着する。切換弁を切り換えることにより
、ワークのサイズに応じた吸着面積に変更することがで
きる。
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第１図および第２図は、この発明の真空吸着テーブルの
一例を示し、正方形状の吸着テーブル１０に９個の吸着
部材１１・・・・・・を縦方向および横方向に等間隔で
３列に配設している。この吸着部材１１・・・・・・は
、第３図に示すように対向する一方または双方の側面と
上面とに開口する吸気穴１３を有する本体１２と、本体
１２の上部に収容された多孔質体１４とにより構成され
、多孔質体１４の上面が吸着テーブルｌＯの上面と同一
の平面またはそれよりもやや下面側に位置するように取
り付けられている。多孔質体１４としては、たとえば金
属粉末を成形して焼結した焼結体、セラミックを成形し
て焼結した焼結体、カーボングラファイトからなる多孔
質体等を使用する。特にセラミックからなる焼結体は硬
いので摩耗が少なく、ゴミ発注防止、ワークの傷発生防
止等に好ましい。
一例を示し、正方形状の吸着テーブル１０に９個の吸着
部材１１・・・・・・を縦方向および横方向に等間隔で
３列に配設している。この吸着部材１１・・・・・・は
、第３図に示すように対向する一方または双方の側面と
上面とに開口する吸気穴１３を有する本体１２と、本体
１２の上部に収容された多孔質体１４とにより構成され
、多孔質体１４の上面が吸着テーブルｌＯの上面と同一
の平面またはそれよりもやや下面側に位置するように取
り付けられている。多孔質体１４としては、たとえば金
属粉末を成形して焼結した焼結体、セラミックを成形し
て焼結した焼結体、カーボングラファイトからなる多孔
質体等を使用する。特にセラミックからなる焼結体は硬
いので摩耗が少なく、ゴミ発注防止、ワークの傷発生防
止等に好ましい。
上記の各−吸着部材のうち、左縦列下段に位置する一個
の吸着部材１１ａの吸気穴には、手動切換弁３０ａと電
磁切換弁３１ａとが取り付けられたホース（第一の管路
）２０ａが結合されており、吸着部材１１ａはホース２
０ａを介して真空ポンプ４０に連結されたホース（配管
）５０に接続されている。
の吸着部材１１ａの吸気穴には、手動切換弁３０ａと電
磁切換弁３１ａとが取り付けられたホース（第一の管路
）２０ａが結合されており、吸着部材１１ａはホース２
０ａを介して真空ポンプ４０に連結されたホース（配管
）５０に接続されている。
また、上記の吸着部材１１ａを除く他の吸着部材のうち
、左縦列中段の吸着部材ｌｌｂと中縦列中下段の吸着部
材１１ｃ、ｌｌｄの吸気穴は、それぞれホース２０ｂ、
２０ｃを介して直列に結合され、中縦列下段の吸着部材
ｌｉｄの吸気穴は、手動切換弁３０ｂと電磁切換弁３１
ｂとが取り付けられたホース（第二の管路）２０ｄを介
して真空ポンプ４０に連結したホース５０に接続されて
いる。
、左縦列中段の吸着部材ｌｌｂと中縦列中下段の吸着部
材１１ｃ、ｌｌｄの吸気穴は、それぞれホース２０ｂ、
２０ｃを介して直列に結合され、中縦列下段の吸着部材
ｌｉｄの吸気穴は、手動切換弁３０ｂと電磁切換弁３１
ｂとが取り付けられたホース（第二の管路）２０ｄを介
して真空ポンプ４０に連結したホース５０に接続されて
いる。
さらに、上記の各吸着部材１１ａ、ｌｌｂ、１１ｃ、ｌ
ｉｄを除く他の吸着部材１１ｅ、１１ｆ。
ｉｄを除く他の吸着部材１１ｅ、１１ｆ。
１１ｇ、ｌｌｈ、ｌｌｉの吸気穴は、それぞれホース２
０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈを介して直列に結合され
、右縦列下段の吸着部材１１ｉの吸気穴は、手動切換弁
３０ｃと電磁切換弁３１ｃとが取り付けられたホース（
第三の管路）２０１を介して真空ポンプ４０に連結した
ホース５０に接続されている。
０ｅ、２０ｆ、２０ｇ、２０ｈを介して直列に結合され
、右縦列下段の吸着部材１１ｉの吸気穴は、手動切換弁
３０ｃと電磁切換弁３１ｃとが取り付けられたホース（
第三の管路）２０１を介して真空ポンプ４０に連結した
ホース５０に接続されている。
上記構成の真空吸着テーブルは、真空ポンプ４０を作動
して各吸着部材１１の多孔質体１４が有する空孔からホ
ースを経て吸気することにより、吸着テーブル１０上の
多孔質体１４の上面に置かれたワーク（図示せず）を吸
着して加工することができる。
して各吸着部材１１の多孔質体１４が有する空孔からホ
ースを経て吸気することにより、吸着テーブル１０上の
多孔質体１４の上面に置かれたワーク（図示せず）を吸
着して加工することができる。
吸着テーブル１０の単位面積当たりの多孔質体１４の空
孔の体積は、従来の１〜２閣口径のノズルを多数設けた
場合の単位面積当たりのノズルの体積に比べるとはるか
に小さいから、多孔質体１４の空孔による空気の絞り効
果は、従来のノズルの数倍ないし数１０倍となり、より
少量の吸気量で強力な吸着力が得られることになる。
孔の体積は、従来の１〜２閣口径のノズルを多数設けた
場合の単位面積当たりのノズルの体積に比べるとはるか
に小さいから、多孔質体１４の空孔による空気の絞り効
果は、従来のノズルの数倍ないし数１０倍となり、より
少量の吸気量で強力な吸着力が得られることになる。
また、上記構成の真空吸着テーブルは、吸着部材１１ａ
のホース２０ａの各切換弁３０ａ、３１ａ、吸着部材ｌ
ｉｄのホース２０ｄの各切換弁３０ｂ、３１ｂおよび吸
着部材１１ｉのホース２０１の各切換弁３Ｑｃ、３１Ｃ
を開放して使用すると、吸着テーブル１０の上面の多孔
質体１４の全面積が吸着面となるが、吸着部材１１ｉの
ホース２０ｉの各切換弁３０ｃ、３１ｃのみを閉止する
と、吸着テーブル１０の上面のうち、４個の吸着部材１
１ａ、ｌｌｂ、ｔｉｃ、ｌｉｄが占める面積だけを吸着
面として使用することができ、さらに吸着部材ｌｉｄの
ホース２０ｄの各切換弁３０ｂ、３１ｂを併せて閉止す
ると、１個の吸着部材１１ａが占める面積だけを吸着面
として使用することができる。したがって、ワークのサ
イズに応じて吸着面積を変更することにより、ワークの
サイズが吸着テーブル１０の全面積よりも小さいときに
、ワークの吸着に使用されない多孔質体による無用の吸
気を受忍する無駄な動力消費がなくなる。
のホース２０ａの各切換弁３０ａ、３１ａ、吸着部材ｌ
ｉｄのホース２０ｄの各切換弁３０ｂ、３１ｂおよび吸
着部材１１ｉのホース２０１の各切換弁３Ｑｃ、３１Ｃ
を開放して使用すると、吸着テーブル１０の上面の多孔
質体１４の全面積が吸着面となるが、吸着部材１１ｉの
ホース２０ｉの各切換弁３０ｃ、３１ｃのみを閉止する
と、吸着テーブル１０の上面のうち、４個の吸着部材１
１ａ、ｌｌｂ、ｔｉｃ、ｌｉｄが占める面積だけを吸着
面として使用することができ、さらに吸着部材ｌｉｄの
ホース２０ｄの各切換弁３０ｂ、３１ｂを併せて閉止す
ると、１個の吸着部材１１ａが占める面積だけを吸着面
として使用することができる。したがって、ワークのサ
イズに応じて吸着面積を変更することにより、ワークの
サイズが吸着テーブル１０の全面積よりも小さいときに
、ワークの吸着に使用されない多孔質体による無用の吸
気を受忍する無駄な動力消費がなくなる。
上記実施例において、ホースに取り付けである手動切換
弁と電磁切換弁とは必要に応じて何れか一方を使用すれ
ばよい。また、吸着部材１１ａについては真空ポンプ４
０の駆動・停止によって吸気と吸気停止とができるので
、ホース２０ａに取り付けである手動切換弁３０ａと電
磁切換弁３１ａとは双方とも省略してもよい。
弁と電磁切換弁とは必要に応じて何れか一方を使用すれ
ばよい。また、吸着部材１１ａについては真空ポンプ４
０の駆動・停止によって吸気と吸気停止とができるので
、ホース２０ａに取り付けである手動切換弁３０ａと電
磁切換弁３１ａとは双方とも省略してもよい。
第４図は、この発明の真空吸着テーブルの他の例を示し
、正方形状の吸着テーブル１０に１６個の吸着部材１１
・・・・・・が縦方向および横方向に等間隔で４列に配
設されている。中央部分の４個の吸着部材１］、ａ、ｌ
ｌｂ、ｌｌｃ、ｌｉｄの吸気穴は順次ホース２０ａ、２
０ｂ、２０ｃを介して結合され、最終の吸着部材ｌｉｄ
の他方の吸気穴は、手動切換弁３０ａと電磁切換弁３１
ａとが取り付けられたホース２０ｄを介して真空ポンプ
４０に連結したホース５０に接続されている。
、正方形状の吸着テーブル１０に１６個の吸着部材１１
・・・・・・が縦方向および横方向に等間隔で４列に配
設されている。中央部分の４個の吸着部材１］、ａ、ｌ
ｌｂ、ｌｌｃ、ｌｉｄの吸気穴は順次ホース２０ａ、２
０ｂ、２０ｃを介して結合され、最終の吸着部材ｌｉｄ
の他方の吸気穴は、手動切換弁３０ａと電磁切換弁３１
ａとが取り付けられたホース２０ｄを介して真空ポンプ
４０に連結したホース５０に接続されている。
また、上記の中央部分の吸着部材を取り囲む外縁部分の
１２個の吸着部材１１ｅ、ｌｌｆ、・・・・・・の吸気
穴は順次ホース２０ｅ、２Ｏｆ、・・・・・・を介して
結合され、最終の吸着部材ｌｉｐの他方の吸気穴は、手
動切換弁３０ｂと電磁切換弁３１ｂとが取り付けられた
ホース２０ｐを介して真空ポンプ４０に連結したホース
５０に接続されている。
１２個の吸着部材１１ｅ、ｌｌｆ、・・・・・・の吸気
穴は順次ホース２０ｅ、２Ｏｆ、・・・・・・を介して
結合され、最終の吸着部材ｌｉｐの他方の吸気穴は、手
動切換弁３０ｂと電磁切換弁３１ｂとが取り付けられた
ホース２０ｐを介して真空ポンプ４０に連結したホース
５０に接続されている。
この実施例においては、中央部分の吸着部材１１ｄのホ
ース２０ｄの各切換弁３０ａ、３１ａと外縁部分の吸着
部分ｌｉｐのホース２０ｐの各切換弁３０ｂ、３１ｂと
を開放することにより、吸着テーブル１０の上面の多孔
質体１４の全面積を吸着面として使用することができ、
外縁部分の吸着部材１１Ｐのホース２０ｐの各切換弁３
０ｂ。
ース２０ｄの各切換弁３０ａ、３１ａと外縁部分の吸着
部分ｌｉｐのホース２０ｐの各切換弁３０ｂ、３１ｂと
を開放することにより、吸着テーブル１０の上面の多孔
質体１４の全面積を吸着面として使用することができ、
外縁部分の吸着部材１１Ｐのホース２０ｐの各切換弁３
０ｂ。
３１ｂを閉止することにより吸着テーブル１０の上面の
うち、中央部分の面積だけを吸着面として使用すること
ができる。
うち、中央部分の面積だけを吸着面として使用すること
ができる。
この実施例においても、吸着部材ｌｉｄのホース２０ｄ
に取付である手動切換弁３０ａと電磁切換弁３１ａとを
省略してもよい。
に取付である手動切換弁３０ａと電磁切換弁３１ａとを
省略してもよい。
上記各実施例で説明した吸着部材の配置は、吸着テーブ
ルをＸ−Ｙテーブルとして使用する場合に好適な例であ
るが、吸着面積の区分に応じてホースで結合する吸着部
材の個数については、上記実施例に限らず、任意に選択
することができる。
ルをＸ−Ｙテーブルとして使用する場合に好適な例であ
るが、吸着面積の区分に応じてホースで結合する吸着部
材の個数については、上記実施例に限らず、任意に選択
することができる。
また吸着テーブルが回転型テーブルである場合は、吸着
部材を同心円形状に配置するのが好ましい。
部材を同心円形状に配置するのが好ましい。
以上説明したように、この発明によれば多孔質体の空孔
が吸気孔になっているから、従来のノズルに比べて少量
の吸気量で強い吸着力が得られ、しかも吸着面に均一な
吸着力が作用することと相まってワークの位置ずれや変
形等がなくなり、さらに低パワーの真空ポンプを使用す
ることができるため、吸着テーブルに大きな振動が生ず
ることもなく、ワークのサイズの大小にかかわらず加工
精度の高い真空吸着テーブルが得られる。
が吸気孔になっているから、従来のノズルに比べて少量
の吸気量で強い吸着力が得られ、しかも吸着面に均一な
吸着力が作用することと相まってワークの位置ずれや変
形等がなくなり、さらに低パワーの真空ポンプを使用す
ることができるため、吸着テーブルに大きな振動が生ず
ることもなく、ワークのサイズの大小にかかわらず加工
精度の高い真空吸着テーブルが得られる。
また、この発明によれば、吸着部材の管路に取り付けで
ある切換弁の操作によって、吸着テーブルの吸着面積を
変更することができるから、小さいサイズのワークを吸
着して加工する場合には、ワークの吸着に使用されない
吸着部材の吸気を停止することにより、無用の吸気をす
る無駄がなくなる。
ある切換弁の操作によって、吸着テーブルの吸着面積を
変更することができるから、小さいサイズのワークを吸
着して加工する場合には、ワークの吸着に使用されない
吸着部材の吸気を停止することにより、無用の吸気をす
る無駄がなくなる。
第１図はこの発明の実施例を示す平面図、第２図はその
側面図、第３図は吸着部材の断面図、第４図はこの発明
の他の実施例を示す平面図、第５図および第６図はそれ
ぞれ従来の真空吸着テーブルを示し、両図（ａ）は平面
図、両図（ｂ）は側面図である。 図中、ｌＯは吸着テーブル、１１は吸着部材、１４は多
孔質体、２０ａは吸着部材１１ａのホース（第一の管路
）、２０ｄは吸着部材１１ｄのホース（第二の管路）、
３０ｂ、３１ｂはそれぞれホース２０ｄの手動切換弁、
電磁切換弁、４０は真空ポンプ、５０は真空ポンプに連
結された配管である。
側面図、第３図は吸着部材の断面図、第４図はこの発明
の他の実施例を示す平面図、第５図および第６図はそれ
ぞれ従来の真空吸着テーブルを示し、両図（ａ）は平面
図、両図（ｂ）は側面図である。 図中、ｌＯは吸着テーブル、１１は吸着部材、１４は多
孔質体、２０ａは吸着部材１１ａのホース（第一の管路
）、２０ｄは吸着部材１１ｄのホース（第二の管路）、
３０ｂ、３１ｂはそれぞれホース２０ｄの手動切換弁、
電磁切換弁、４０は真空ポンプ、５０は真空ポンプに連
結された配管である。
Claims (1)
- （１）吸着テーブルの上面に多孔質体を備えた吸着部が
複数個位置し、前記吸着部材のうち少なくとも１個の吸
着部材は第一の管路を介して真空ポンプに連結された配
管に接続し、第一の管路に接続されない吸着部材のうち
少なくとも１個の吸着部材は、切換弁が取り付けられた
第二の管路を介して、前記真空ポンプに連結された配管
に接続していることを特徴とする真空吸着テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63287252A JPH02139148A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 真空吸着テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63287252A JPH02139148A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 真空吸着テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02139148A true JPH02139148A (ja) | 1990-05-29 |
Family
ID=17714993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63287252A Pending JPH02139148A (ja) | 1988-11-14 | 1988-11-14 | 真空吸着テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02139148A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH06126676A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸着保持具及び吸着吊上げ装置 |
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-
1988
- 1988-11-14 JP JP63287252A patent/JPH02139148A/ja active Pending
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