JPH0516504Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0516504Y2 JPH0516504Y2 JP9303287U JP9303287U JPH0516504Y2 JP H0516504 Y2 JPH0516504 Y2 JP H0516504Y2 JP 9303287 U JP9303287 U JP 9303287U JP 9303287 U JP9303287 U JP 9303287U JP H0516504 Y2 JPH0516504 Y2 JP H0516504Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- measured
- radiation source
- basis weight
- radiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 230000005250 beta ray Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、放射線検出素子として半導体を用い
た坪量計のＺ特性の改善に関するものである。
た坪量計のＺ特性の改善に関するものである。
坪量計は、被測定物の単位面積当たりの重量
（ｇ／cm2）、即ち坪量を測定する装置であり、この
装置を用いて、紙、フイルム等を被測定物とした
場合、これらの厚さを等価的に測定できる装置で
もある。第４図は従来の坪量計の要部構成例を示
す図である。従来の坪量計は、放射線の検出装置
として不活性ガス（N2，Ar等）を高圧（２〜５
Kg／cm2）で封入した電離箱１０が用いられてい
る。そして、被測定物（第４図では図示せず）を
挟んで電離箱１０と対向して放射線源３が配置さ
れる。一般に、坪量計に用いる放射線源としては
β線源が多く用いられているので、本明細書では
放射線としてβ線を例に上げて説明するが、β線
に限定するわけではない。
（ｇ／cm2）、即ち坪量を測定する装置であり、この
装置を用いて、紙、フイルム等を被測定物とした
場合、これらの厚さを等価的に測定できる装置で
もある。第４図は従来の坪量計の要部構成例を示
す図である。従来の坪量計は、放射線の検出装置
として不活性ガス（N2，Ar等）を高圧（２〜５
Kg／cm2）で封入した電離箱１０が用いられてい
る。そして、被測定物（第４図では図示せず）を
挟んで電離箱１０と対向して放射線源３が配置さ
れる。一般に、坪量計に用いる放射線源としては
β線源が多く用いられているので、本明細書では
放射線としてβ線を例に上げて説明するが、β線
に限定するわけではない。
放射線源３から放出されたβ線は第４図のよう
に広がりながら被測定物を通過し、そこで被測定
物の坪量に応じた減衰を受けて電離箱１０に入射
し、β線の線量に比例した電気信号に変換され
る。
に広がりながら被測定物を通過し、そこで被測定
物の坪量に応じた減衰を受けて電離箱１０に入射
し、β線の線量に比例した電気信号に変換され
る。
このような装置においては、放射線源３と電離
箱１０との距離が長くなるほど、被測定物の坪量
が同じであつても電離箱１０の出力は低下する。
即ち、坪量計にあつては、線量の外に、放射線源
３と電離箱１０との距離も測定値に影響する。
箱１０との距離が長くなるほど、被測定物の坪量
が同じであつても電離箱１０の出力は低下する。
即ち、坪量計にあつては、線量の外に、放射線源
３と電離箱１０との距離も測定値に影響する。
従つて、放射線源３と電離箱１０の距離を一定
に保つことができれば電離箱１０の出力は被測定
物の坪量に応じた値となる。しかし実際の装置に
おいては、この距離を一定に保つことは困難なこ
とである。その理由を述べる。一般に坪量計にお
いては電離箱１０とβ線源３との間に大きな面積
を有する被測定物を配置するため、電離箱１０と
β線源３とは、それぞれ平行する柱状物（図示せ
ず）へ別々に取付けられる。そして電離箱１０と
β線源３とは別々にこの２本の柱状物に沿つて第
４図のＸ方向へ移動し、しかも互いに対向するよ
うなＸ軸位置に配置される。
に保つことができれば電離箱１０の出力は被測定
物の坪量に応じた値となる。しかし実際の装置に
おいては、この距離を一定に保つことは困難なこ
とである。その理由を述べる。一般に坪量計にお
いては電離箱１０とβ線源３との間に大きな面積
を有する被測定物を配置するため、電離箱１０と
β線源３とは、それぞれ平行する柱状物（図示せ
ず）へ別々に取付けられる。そして電離箱１０と
β線源３とは別々にこの２本の柱状物に沿つて第
４図のＸ方向へ移動し、しかも互いに対向するよ
うなＸ軸位置に配置される。
ここで、柱状物は一般に数ｍの長さを有するも
のであり、電離箱１０とβ線源３との距離は数mm
のものであるから、この数mmの長さが変動しない
ような精度で柱状物の平行度を保つことは困難な
ことである。
のであり、電離箱１０とβ線源３との距離は数mm
のものであるから、この数mmの長さが変動しない
ような精度で柱状物の平行度を保つことは困難な
ことである。
そこで、電離箱１０とβ線源３の距離の変動を
補正するため、第４図の１１に示すように吸収板
とよばれる種々の坪量と形状をした板を電離箱１
０の直前に設ける手段が施されている。この吸収
板１１を設けることにより電離箱１０とβ線源３
の距離が変化しても坪量計の出力の変動はなくな
る。
補正するため、第４図の１１に示すように吸収板
とよばれる種々の坪量と形状をした板を電離箱１
０の直前に設ける手段が施されている。この吸収
板１１を設けることにより電離箱１０とβ線源３
の距離が変化しても坪量計の出力の変動はなくな
る。
しかし、この吸収板１１を設けることにより電
離箱１０の出力が著しく低下（約１／20）するの
で、高感度の坪量計を実現することができない。
また、Ｓ／Ｎ比の劣化も引起こす問題も生じる。
離箱１０の出力が著しく低下（約１／20）するの
で、高感度の坪量計を実現することができない。
また、Ｓ／Ｎ比の劣化も引起こす問題も生じる。
本考案の目的は、高感度化を妨げる吸収板１１
を用いることなく第４図に示すＺ方向の特性を改
善した坪量計を提供することである。
を用いることなく第４図に示すＺ方向の特性を改
善した坪量計を提供することである。
本考案は、上記問題点を解決するために
放射線源３と、放射線検出素子として半導体素
子を用いた検出器１を前記放射線源と対向して配
置し、放射線源と検出器の間に存在する被測定物
の坪量を測定する装置において、 前記検出器１から圧縮気体を被測定物１へ噴出
することにより検出器を被測定物の上に浮上させ
るとともに、被測定物を放射線源３側に押付ける
ことにより、放射線源３と検出器１との距離を一
定に保つようにしたものである。
子を用いた検出器１を前記放射線源と対向して配
置し、放射線源と検出器の間に存在する被測定物
の坪量を測定する装置において、 前記検出器１から圧縮気体を被測定物１へ噴出
することにより検出器を被測定物の上に浮上させ
るとともに、被測定物を放射線源３側に押付ける
ことにより、放射線源３と検出器１との距離を一
定に保つようにしたものである。
以下、図面を用いて本考案を詳しく説明する。
第１図は、本考案に係る坪量計の要部構成例を
示した図、第２図は第４図装置の検出器１の外観
を描いた図、第３図は第１図装置の検出器１と線
源部２の要部断面図である。
示した図、第２図は第４図装置の検出器１の外観
を描いた図、第３図は第１図装置の検出器１と線
源部２の要部断面図である。
第１図において１は検出器であり、照射される
放射線の線量に応じた電気信号を出力するもので
ある。本考案に係る検出器１は、検出素子として
半導体を用いている。この半導体としては例えば
CdTe（カドミウム・テルライド）等を用いるこ
とができる。この半導体については特願昭61−
293011号「半導体放射線検出器」に詳しく記載さ
れている。検出器１は、例えば第２図に示すよう
な外観であつて、第３図に示す内部構造を有して
いる。即ち、放射線を検出する半導体素子１ａを
その中心に配置し、底面に多数の吹出穴１ｂを有
した中空のケース１ｃで構成される。そしてこの
ケース１ｃには穴１ｅを介して圧縮気体Ｅが加え
られる。ケース１ｃの中空部に入つた圧縮気体Ｅ
は、底面に設けられた多数の吹出穴１ｂを通して
外部へ噴出する。なお、半導体素子１ａに接する
ように設けられた１ｄは温度調整器である。半導
体素子１ａは一般に温度の影響を受けるので、何
等対策を施さないと、正確な測定を行うことがで
きない。そこでこの温度調整器１ｄにより半導体
素子１ａの温度を一定に保つている。
放射線の線量に応じた電気信号を出力するもので
ある。本考案に係る検出器１は、検出素子として
半導体を用いている。この半導体としては例えば
CdTe（カドミウム・テルライド）等を用いるこ
とができる。この半導体については特願昭61−
293011号「半導体放射線検出器」に詳しく記載さ
れている。検出器１は、例えば第２図に示すよう
な外観であつて、第３図に示す内部構造を有して
いる。即ち、放射線を検出する半導体素子１ａを
その中心に配置し、底面に多数の吹出穴１ｂを有
した中空のケース１ｃで構成される。そしてこの
ケース１ｃには穴１ｅを介して圧縮気体Ｅが加え
られる。ケース１ｃの中空部に入つた圧縮気体Ｅ
は、底面に設けられた多数の吹出穴１ｂを通して
外部へ噴出する。なお、半導体素子１ａに接する
ように設けられた１ｄは温度調整器である。半導
体素子１ａは一般に温度の影響を受けるので、何
等対策を施さないと、正確な測定を行うことがで
きない。そこでこの温度調整器１ｄにより半導体
素子１ａの温度を一定に保つている。
第１図においては、圧縮気体Ｅの供給手段や、
半導体素子１ａから電気信号を取出す手段や、温
度調整器１ｄの電気的接続線については、常識的
な手段を用いることができるのでこれらの図示を
省略してある。
半導体素子１ａから電気信号を取出す手段や、温
度調整器１ｄの電気的接続線については、常識的
な手段を用いることができるのでこれらの図示を
省略してある。
２は線源部であり、放射線源３を第１図のよう
に格納するものである。
に格納するものである。
なお、検出器１はスプリング７により下方へ向
かう力が加えられており、第１図に示すＡ方向に
移動できるようになつている。また、線源部２は
図示していない駆動手段により、第１図に示すＢ
方向（上下方向）に移動できるようになつてい
る。
かう力が加えられており、第１図に示すＡ方向に
移動できるようになつている。また、線源部２は
図示していない駆動手段により、第１図に示すＢ
方向（上下方向）に移動できるようになつてい
る。
４は容器であり、検出器１とスプリング７を保
持するものであり、第１図では図示していない
が、上述した第４図で説明した水平方向に配置さ
れた柱状物に取付けられ、Ｘ方向に移動するもの
である。
持するものであり、第１図では図示していない
が、上述した第４図で説明した水平方向に配置さ
れた柱状物に取付けられ、Ｘ方向に移動するもの
である。
５も容器であり、線源部２を格納するものであ
り、容器４が取付けられる柱状物とは別の柱状物
に取付けられ、Ｘ方向に移動するものである。
り、容器４が取付けられる柱状物とは別の柱状物
に取付けられ、Ｘ方向に移動するものである。
８は被測定物であり、検出器１と線源部２の間
に配置される。この被測定物８は例えば第１図に
示すＣ方向に移動し、この被測定物８の坪量に応
じた信号が検出器１から得られる。この被測定物
８は、例えば紙、フイルム等である。
に配置される。この被測定物８は例えば第１図に
示すＣ方向に移動し、この被測定物８の坪量に応
じた信号が検出器１から得られる。この被測定物
８は、例えば紙、フイルム等である。
以上の第１図装置においては、検出器１はスプ
リング７により押し下げる力と検出器１自身の重
量による重力を合せた力と、検出器１の底面にお
ける吹出穴１ｂから噴出した圧縮気体が被測定物
８に当たることによつて発生する浮上力とで釣合
うようになつている。
リング７により押し下げる力と検出器１自身の重
量による重力を合せた力と、検出器１の底面にお
ける吹出穴１ｂから噴出した圧縮気体が被測定物
８に当たることによつて発生する浮上力とで釣合
うようになつている。
即ち、スプリング７の力と、検出器１の重量
と、吹出穴１ｂから噴出する圧縮気体による浮上
力とを制御することにより、常に被測定物８の上
方距離ｄの位置に検出器１を浮上させることがで
きる。
と、吹出穴１ｂから噴出する圧縮気体による浮上
力とを制御することにより、常に被測定物８の上
方距離ｄの位置に検出器１を浮上させることがで
きる。
詳しく説明する。まず図示していない駆動体に
より放射線源３を格納した線源部２は上昇して行
き、被測定物８に接触する位置で停止する。次に
容器４内の検出器１がスプリング７の力と自分自
身の重量により下降して行き、被測定物８に接触
する直前で圧縮気体の噴出による反発力と釣合い
静止する。なお、被測定物８に圧縮気体がぶつか
ることにより生ずる検出器１の浮上力は、被測定
物８の下面側で線源部２に接触していないと不安
定になる。即ち、線源部２に接触していないと被
測定物８が撓んでしまい、第３図に示す距離ｄが
安定しないのである。
より放射線源３を格納した線源部２は上昇して行
き、被測定物８に接触する位置で停止する。次に
容器４内の検出器１がスプリング７の力と自分自
身の重量により下降して行き、被測定物８に接触
する直前で圧縮気体の噴出による反発力と釣合い
静止する。なお、被測定物８に圧縮気体がぶつか
ることにより生ずる検出器１の浮上力は、被測定
物８の下面側で線源部２に接触していないと不安
定になる。即ち、線源部２に接触していないと被
測定物８が撓んでしまい、第３図に示す距離ｄが
安定しないのである。
ここで、図示していない柱状物に沿つて容器
４，５をＸ方向へ移動することにより、容器４，
５間の距離が大きくなつたとする。従つて、検出
器１は被測定物８から離れようとするが、離れる
と圧縮気体による反発力が弱くなり検出器１は下
降し、結局、線源部２に対して始めと同じ距離の
所で浮上して静止する。
４，５をＸ方向へ移動することにより、容器４，
５間の距離が大きくなつたとする。従つて、検出
器１は被測定物８から離れようとするが、離れる
と圧縮気体による反発力が弱くなり検出器１は下
降し、結局、線源部２に対して始めと同じ距離の
所で浮上して静止する。
なお、上述では線源部２は被測定物８に接触す
る位置まで上昇すると述べたが、正確に接触しな
くても被測定物８の近くまで上昇すれば本考案は
成立する。その理由は、検出器１から噴出される
圧縮気体により被測定物８は撓んで押し下げら
れ、その結果、線源部２と被測定物８は接触し、
それ以上被測定物８は押し下げられないからであ
る。
る位置まで上昇すると述べたが、正確に接触しな
くても被測定物８の近くまで上昇すれば本考案は
成立する。その理由は、検出器１から噴出される
圧縮気体により被測定物８は撓んで押し下げら
れ、その結果、線源部２と被測定物８は接触し、
それ以上被測定物８は押し下げられないからであ
る。
また、検出器１を押し下げる手段は第１図に示
したスプリング７に限定するものでなく、別の手
段によつても良い。
したスプリング７に限定するものでなく、別の手
段によつても良い。
本考案によれば、線源部（即ちβ線源３）と検
出器１の間の距離は、被測定物８の厚さにしか依
存しない。一方、この厚さの変動は、通常、僅か
であるので、この被測定物８の厚みの変化による
半導体素子１ａの出力の変化は無視できる程度も
のである。
出器１の間の距離は、被測定物８の厚さにしか依
存しない。一方、この厚さの変動は、通常、僅か
であるので、この被測定物８の厚みの変化による
半導体素子１ａの出力の変化は無視できる程度も
のである。
従つて本考案では吸収板１１を用いる必要がな
いので高感度で坪量を測定できる。
いので高感度で坪量を測定できる。
第１図は本考案に係る坪量計の要部構成例を示
した図、第２図は第１図装置の検出器１の外観を
描いた図、第３図は第１図装置の検出器１と線源
部２の要部断面図、第４図は従来例を示す図であ
る。 １……検出器、１ａ……半導体素子、１ｂ……
吹出穴、１ｃ……ケース、２……線源部、３……
β線源、４，５……容器、７……スプリング。
した図、第２図は第１図装置の検出器１の外観を
描いた図、第３図は第１図装置の検出器１と線源
部２の要部断面図、第４図は従来例を示す図であ
る。 １……検出器、１ａ……半導体素子、１ｂ……
吹出穴、１ｃ……ケース、２……線源部、３……
β線源、４，５……容器、７……スプリング。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 放射線源３と、放射線検出素子として半導体素
子を用いた検出器１を前記放射線源と対向して配
置し、放射線源と検出器の間に存在する被測定物
の坪量を測定する装置において、 前記検出器１から圧縮気体を被測定物１へ噴出
することにより検出器を被測定物の上に浮上させ
るとともに、被測定物を放射線源３側に押付ける
ことにより、放射線源３と検出器１との距離を一
定に保つようにしたことを特徴とする坪量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9303287U JPH0516504Y2 (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9303287U JPH0516504Y2 (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200731U JPS63200731U (ja) | 1988-12-23 |
| JPH0516504Y2 true JPH0516504Y2 (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=30955264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9303287U Expired - Lifetime JPH0516504Y2 (ja) | 1987-06-17 | 1987-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0516504Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4919115B2 (ja) | 2009-09-24 | 2012-04-18 | 横河電機株式会社 | 放射線検査装置 |
| US8660682B2 (en) * | 2010-11-22 | 2014-02-25 | Honeywell Asca Inc. | Air wipe and sheet guide temperature control on paper and continuous web scanners |
| JP5996447B2 (ja) * | 2013-01-30 | 2016-09-21 | アンリツインフィビス株式会社 | Ｘ線検査装置 |
-
1987
- 1987-06-17 JP JP9303287U patent/JPH0516504Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63200731U (ja) | 1988-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4354562A (en) | Electronic weighing device | |
| US7893697B2 (en) | Capacitive distance sensing in semiconductor processing tools | |
| CA2040977A1 (en) | Methods for measurement, analysis and assessment of ground structure | |
| US4738325A (en) | Hall effect weight transducer | |
| US10663384B2 (en) | Drop testing apparatus | |
| US11300478B2 (en) | Balance for air resistance testing | |
| JP3089399B2 (ja) | ３成分地震計 | |
| JP2019219388A (ja) | 移動可能な取付けユニットを含む秤量デバイス | |
| US5501097A (en) | Portable device for measuring a coefficient of static friction | |
| JPS6421333A (en) | Center of gravity measuring apparatus | |
| JPH1062165A (ja) | 高低差測定装置 | |
| EP0312332B1 (en) | Barometric meter | |
| Wick et al. | An accurate measurement of g using falling balls | |
| CN2241323Y (zh) | 垂直度仪 | |
| US3490292A (en) | Acceleration measurement and recording device | |
| EP0046647A3 (en) | Digital measuring device | |
| JPS612005A (ja) | ハイトゲ−ジ | |
| RU2524687C2 (ru) | Космический измеритель приращения скорости | |
| US3716920A (en) | Precision square | |
| US5440928A (en) | Nulling and measuring system | |
| JPS5930406Y2 (ja) | 熱間圧延板材の平担度測定装置 | |
| JP2006189399A (ja) | 接触式測定機 | |
| JPS643503A (en) | Method for measuring thickness of crystal layer | |
| ITBO950214A1 (it) | Apparecchio di misura con unita' di visualizzazione analogico-digitale | |
| JPS63200731U (ja) |