JPH05172883A - マイクロ波センサ - Google Patents
マイクロ波センサInfo
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- JPH05172883A JPH05172883A JP3357057A JP35705791A JPH05172883A JP H05172883 A JPH05172883 A JP H05172883A JP 3357057 A JP3357057 A JP 3357057A JP 35705791 A JP35705791 A JP 35705791A JP H05172883 A JPH05172883 A JP H05172883A
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- wave absorber
- radio wave
- thermistor element
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が単純でサイズが小さく、被加熱物に
吸収されるマイクロ波のエネルギ量を直接かつ簡便に検
出する。また電波吸収効率及び放熱性が高く、応答速度
に優れ、端子電極間又はリード間の放電による破壊が生
じない。 【構成】 マイクロ波センサ１０がサーミスタ素子１
１の感温部１１ａに電波吸収体１２を備える。電波吸収
体１２は少なくともサーミスタ素子１１の感温部１１ａ
より広い面積を有する平板状に形成され、この電波吸収
体１２の一方の面１２ａがマイクロ波吸収面であって、
この電波吸収体１２の他方の面１２ｂにサーミスタ素子
１１がマイクロ波を受けないようにその感温部１１ａが
接着される。マイクロ波を受けると電波吸収体１２が発
熱し、サーミスタ素子１１の抵抗値が変化する。
吸収されるマイクロ波のエネルギ量を直接かつ簡便に検
出する。また電波吸収効率及び放熱性が高く、応答速度
に優れ、端子電極間又はリード間の放電による破壊が生
じない。 【構成】 マイクロ波センサ１０がサーミスタ素子１
１の感温部１１ａに電波吸収体１２を備える。電波吸収
体１２は少なくともサーミスタ素子１１の感温部１１ａ
より広い面積を有する平板状に形成され、この電波吸収
体１２の一方の面１２ａがマイクロ波吸収面であって、
この電波吸収体１２の他方の面１２ｂにサーミスタ素子
１１がマイクロ波を受けないようにその感温部１１ａが
接着される。マイクロ波を受けると電波吸収体１２が発
熱し、サーミスタ素子１１の抵抗値が変化する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子レンジのようなマイ
クロ波加熱装置において被加熱体の加熱状況又は仕上り
状況を検出するに適したマイクロ波センサに関するもの
である。
クロ波加熱装置において被加熱体の加熱状況又は仕上り
状況を検出するに適したマイクロ波センサに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】電子レンジにはマイクロ波加熱による冷
凍食品の解凍機能、冷えた食品の温め機能等各種機能が
装備されている。電子レンジではこの種の食品の加熱状
況又は仕上り状況をセンサにより検出してマイクロ波を
発生するマグネトロンの出力を自動的に制御している。
従来、マイクロ波加熱装置にはこのマグネトロンを制御
するセンサとして、被加熱物で吸収されずに透過又は
反射されたマイクロ波をアンテナを用いて検出する装置
を備えたもの（例えば特開昭５９−２０７５９５，同５
９−２０７５９６，同６２−７９３９４）、排気ダク
トにおいて食品より発生する水蒸気を検出する湿度セン
サを備えたもの（例えば特開昭６２−１２３２２６）、
或いは加熱室の温度を検出するサーミスタからなる温
度センサを備えたもの（例えば特開昭６０−１７０１８
８，特開昭６１−２６３０９２）等が提案されている。
凍食品の解凍機能、冷えた食品の温め機能等各種機能が
装備されている。電子レンジではこの種の食品の加熱状
況又は仕上り状況をセンサにより検出してマイクロ波を
発生するマグネトロンの出力を自動的に制御している。
従来、マイクロ波加熱装置にはこのマグネトロンを制御
するセンサとして、被加熱物で吸収されずに透過又は
反射されたマイクロ波をアンテナを用いて検出する装置
を備えたもの（例えば特開昭５９−２０７５９５，同５
９−２０７５９６，同６２−７９３９４）、排気ダク
トにおいて食品より発生する水蒸気を検出する湿度セン
サを備えたもの（例えば特開昭６２−１２３２２６）、
或いは加熱室の温度を検出するサーミスタからなる温
度センサを備えたもの（例えば特開昭６０−１７０１８
８，特開昭６１−２６３０９２）等が提案されている。
【０００３】しかし、上記のマイクロ波検出装置によ
り検出する場合、検出回路が複雑で値段が高くなり、セ
ンサが加熱室に取付けられるため熱的に破壊し易く、し
かもアンテナによる指向性が強く被加熱物の形状により
検出出力が影響を受け易い問題点があった。また上記
の湿度センサにより検出する場合、被加熱物をラップ類
やアルミ箔で包んだときには加熱状況を正確に検出でき
ない不具合があった。更に上記の温度センサにより検
出する場合、温度センサが被加熱物から離れているため
被加熱物の温度を直接計ることができず、温度センサは
調理の目安にしか過ぎない欠点があった。上記種々の問
題点を解決するため、本出願人はサーミスタ素子の感温
部に電波吸収体を備えたマイクロ波センサを特許出願し
た（特願平３−２４４４４９）。図３に示すように、こ
のマイクロ波センサ１０は感温部１１ａの両端に形成さ
れた端子電極１１ｂに一対のリード１１ｃが取付けられ
たサーミスタ素子１１をリード１１ｃを残して電波吸収
体粉末と有機物質又は無機物質とを樹脂とともに混練し
て調製されたコーティング液に浸漬して作られる。これ
によりサーミスタ素子１１の感温部１１ａが電波吸収体
粉末を含有した物質１２ａで被覆される。このマイクロ
波センサ１０はマイクロ波が到来するとこの物質１２ａ
が発熱し、サーミスタ素子１１の抵抗値が変化すること
によりマイクロ波のエネルギ量を直接検出する。
り検出する場合、検出回路が複雑で値段が高くなり、セ
ンサが加熱室に取付けられるため熱的に破壊し易く、し
かもアンテナによる指向性が強く被加熱物の形状により
検出出力が影響を受け易い問題点があった。また上記
の湿度センサにより検出する場合、被加熱物をラップ類
やアルミ箔で包んだときには加熱状況を正確に検出でき
ない不具合があった。更に上記の温度センサにより検
出する場合、温度センサが被加熱物から離れているため
被加熱物の温度を直接計ることができず、温度センサは
調理の目安にしか過ぎない欠点があった。上記種々の問
題点を解決するため、本出願人はサーミスタ素子の感温
部に電波吸収体を備えたマイクロ波センサを特許出願し
た（特願平３−２４４４４９）。図３に示すように、こ
のマイクロ波センサ１０は感温部１１ａの両端に形成さ
れた端子電極１１ｂに一対のリード１１ｃが取付けられ
たサーミスタ素子１１をリード１１ｃを残して電波吸収
体粉末と有機物質又は無機物質とを樹脂とともに混練し
て調製されたコーティング液に浸漬して作られる。これ
によりサーミスタ素子１１の感温部１１ａが電波吸収体
粉末を含有した物質１２ａで被覆される。このマイクロ
波センサ１０はマイクロ波が到来するとこの物質１２ａ
が発熱し、サーミスタ素子１１の抵抗値が変化すること
によりマイクロ波のエネルギ量を直接検出する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記製法で作
られたマイクロ波センサは次の未だ改善すべき点があっ
た。第一に有機物質又は無機物質の存在により電波吸収
効率が高くない。第二に外形が卵形又は球形をなすた
め、マイクロ波を受ける面積が十分に広くなくかつ放熱
性が低く、これに起因して応答速度が遅い。第三にリー
ドがマイクロ波を受け易く、これによりリード間で放電
を起こしてセンサが壊れ易い。本発明の目的は、被加熱
物に吸収されるマイクロ波のエネルギ量を直接かつ簡便
に検出することができ、構造が単純で小型のマイクロ波
センサを提供することにある。本発明の別の目的は、電
波吸収効率及び放熱性が高く、応答速度に優れ、端子電
極間又はリード間の放電による破壊が生じないマイクロ
波センサを提供することにある。
られたマイクロ波センサは次の未だ改善すべき点があっ
た。第一に有機物質又は無機物質の存在により電波吸収
効率が高くない。第二に外形が卵形又は球形をなすた
め、マイクロ波を受ける面積が十分に広くなくかつ放熱
性が低く、これに起因して応答速度が遅い。第三にリー
ドがマイクロ波を受け易く、これによりリード間で放電
を起こしてセンサが壊れ易い。本発明の目的は、被加熱
物に吸収されるマイクロ波のエネルギ量を直接かつ簡便
に検出することができ、構造が単純で小型のマイクロ波
センサを提供することにある。本発明の別の目的は、電
波吸収効率及び放熱性が高く、応答速度に優れ、端子電
極間又はリード間の放電による破壊が生じないマイクロ
波センサを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、図１に示すように本発明のマイクロ波センサ１０は
サーミスタ素子１１の感温部１１ａに電波吸収体１２を
備える。その特徴ある構成は、電波吸収体１２が少なく
ともサーミスタ素子１１の感温部１１ａより広い面積を
有する平板状に形成され、この電波吸収体１２の一方の
面１２ａがマイクロ波吸収面であって、この電波吸収体
１２の他方の面１２ｂにサーミスタ素子１１がマイクロ
波を受けないようにその感温部１１ａが接着されたこと
にある。
に、図１に示すように本発明のマイクロ波センサ１０は
サーミスタ素子１１の感温部１１ａに電波吸収体１２を
備える。その特徴ある構成は、電波吸収体１２が少なく
ともサーミスタ素子１１の感温部１１ａより広い面積を
有する平板状に形成され、この電波吸収体１２の一方の
面１２ａがマイクロ波吸収面であって、この電波吸収体
１２の他方の面１２ｂにサーミスタ素子１１がマイクロ
波を受けないようにその感温部１１ａが接着されたこと
にある。
【０００６】以下、本発明を詳述する。本発明のマイク
ロ波センサは、サーミスタ素子と電波吸収体により構成
される。サーミスタ素子には、ビード型、ディスク型、
ロッド型、厚膜型、薄膜型、チップ型、電極一体型等の
公知の素子を用いることができる。電波吸収体は磁性又
は誘電性のいずれか一方又は双方を有するセラミックス
である。磁性を有する電波吸収体としてはフェライト又
はフェライトを主成分とするセラミックスがあり、誘電
性を有する電波吸収体としてはＳｉＣ，Ａｌ2Ｏ3，Ｂ4
Ｃ，ＳｒＴｉＯ3，ＺｒＯ2，Ｙ2Ｏ3，ＰＺＴ及びＰＬＺ
Ｔからなる群より選ばれた１種又は２種以上のセラミッ
クスが挙げられる。また磁性及び誘電性を兼備する電波
吸収体としては、特開平１−２９１４０６公報に開示さ
れる、粒径が５０μｍ以下のフェライト微粉末を含む磁
性材料粉末と、粒径が１０μｍ以上のＢａＴｉＯ3のよ
うなペロブスカイト型化合物を含む誘電材料粉末とを混
合し、この混合物を１０００〜１５００℃で焼成した材
料であって、フェライト粒子間又はフェライト粒子とペ
ロブスカイト型化合物粒子との間に反応相を形成して、
磁性損失と非常に大きな誘電損失を併せもつセラミック
スが挙げられる。
ロ波センサは、サーミスタ素子と電波吸収体により構成
される。サーミスタ素子には、ビード型、ディスク型、
ロッド型、厚膜型、薄膜型、チップ型、電極一体型等の
公知の素子を用いることができる。電波吸収体は磁性又
は誘電性のいずれか一方又は双方を有するセラミックス
である。磁性を有する電波吸収体としてはフェライト又
はフェライトを主成分とするセラミックスがあり、誘電
性を有する電波吸収体としてはＳｉＣ，Ａｌ2Ｏ3，Ｂ4
Ｃ，ＳｒＴｉＯ3，ＺｒＯ2，Ｙ2Ｏ3，ＰＺＴ及びＰＬＺ
Ｔからなる群より選ばれた１種又は２種以上のセラミッ
クスが挙げられる。また磁性及び誘電性を兼備する電波
吸収体としては、特開平１−２９１４０６公報に開示さ
れる、粒径が５０μｍ以下のフェライト微粉末を含む磁
性材料粉末と、粒径が１０μｍ以上のＢａＴｉＯ3のよ
うなペロブスカイト型化合物を含む誘電材料粉末とを混
合し、この混合物を１０００〜１５００℃で焼成した材
料であって、フェライト粒子間又はフェライト粒子とペ
ロブスカイト型化合物粒子との間に反応相を形成して、
磁性損失と非常に大きな誘電損失を併せもつセラミック
スが挙げられる。
【０００７】図１に示すように、マイクロ波センサ１０
は上述したサーミスタ素子１１の感温部１１ａにこの感
温部１１ａより広い面積のマイクロ波吸収面１２ａを有
する電波吸収体１２が接着されて構成される。この電波
吸収体１２は、上述した磁性材料、誘電性材料のセラミ
ック粉末を結合材とともに平板状に圧縮成形して成形体
を焼成するか、或いは上記セラミック粉末を結合材と溶
剤とともに混練してスラリーを調製し、このスラリーを
バルク型サーミスタ素子と同様にシート状に成形した
後、角板状又は円板状に打抜き、焼成して所定のサイズ
に作られる。
は上述したサーミスタ素子１１の感温部１１ａにこの感
温部１１ａより広い面積のマイクロ波吸収面１２ａを有
する電波吸収体１２が接着されて構成される。この電波
吸収体１２は、上述した磁性材料、誘電性材料のセラミ
ック粉末を結合材とともに平板状に圧縮成形して成形体
を焼成するか、或いは上記セラミック粉末を結合材と溶
剤とともに混練してスラリーを調製し、このスラリーを
バルク型サーミスタ素子と同様にシート状に成形した
後、角板状又は円板状に打抜き、焼成して所定のサイズ
に作られる。
【０００８】マイクロ波センサ１０の製造方法は、サー
ミスタ素子１１の感温部１１ａをエポキシ樹脂のような
熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性接着剤により平板状の
電波吸収体１２の片面１２ｂに接着する。サーミスタ素
子１１にリードがない場合にはその端子電極１１ｂが、
また端子電極１１ｂにリード１１ｃが接続されている場
合にはこのリード１１ｃがそれぞれマイクロ波を受けな
い位置にサーミスタ素子１１の感温部１１ａを接着す
る。本発明のマイクロ波センサは電子レンジのような家
庭用マイクロ波加熱装置に限らず、工業用マイクロ波加
熱装置のマイクロ波検出にも適用することができる。
ミスタ素子１１の感温部１１ａをエポキシ樹脂のような
熱伝導性、耐熱性に優れた絶縁性接着剤により平板状の
電波吸収体１２の片面１２ｂに接着する。サーミスタ素
子１１にリードがない場合にはその端子電極１１ｂが、
また端子電極１１ｂにリード１１ｃが接続されている場
合にはこのリード１１ｃがそれぞれマイクロ波を受けな
い位置にサーミスタ素子１１の感温部１１ａを接着す
る。本発明のマイクロ波センサは電子レンジのような家
庭用マイクロ波加熱装置に限らず、工業用マイクロ波加
熱装置のマイクロ波検出にも適用することができる。
【０００９】
【作用】マイクロ波センサ１０に高周波の電波が到来す
ると、電波吸収体１２の平らな電波吸収面１２ａがこれ
を吸収して発熱する。マイクロ波エネルギ量に相応して
この発熱量は変化し、マイクロ波センサ１０を構成する
サーミスタ素子１１の電気抵抗値が変化する。電波吸収
体１２はセラミックスからなるため熱伝導性、即ち熱応
答性が高く、耐熱性に優れる。特にＳｉＣ，Ａｌ2Ｏ3等
の高耐熱材料を用いれば高温においても熱的衝撃を受け
ることがなく、信頼性が高い。また端子電極１１ｂ又は
リード１１ｃが電波吸収体１２の陰に隠れてマイクロ波
を受けないため、電極間又はリード間に放電による破壊
が発生せず、マイクロ波センサ１０はマイクロ波エネル
ギ量を安定して検出する。
ると、電波吸収体１２の平らな電波吸収面１２ａがこれ
を吸収して発熱する。マイクロ波エネルギ量に相応して
この発熱量は変化し、マイクロ波センサ１０を構成する
サーミスタ素子１１の電気抵抗値が変化する。電波吸収
体１２はセラミックスからなるため熱伝導性、即ち熱応
答性が高く、耐熱性に優れる。特にＳｉＣ，Ａｌ2Ｏ3等
の高耐熱材料を用いれば高温においても熱的衝撃を受け
ることがなく、信頼性が高い。また端子電極１１ｂ又は
リード１１ｃが電波吸収体１２の陰に隠れてマイクロ波
を受けないため、電極間又はリード間に放電による破壊
が発生せず、マイクロ波センサ１０はマイクロ波エネル
ギ量を安定して検出する。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳し
く説明する。図２に示すように、この例ではマイクロ波
加熱装置は電子レンジである。電子レンジ本体１３の前
面には扉１４が開閉可能に設けられる。電子レンジの加
熱室１７の天井部には２つのマイクロ波センサ１０，１
０が並設される。これらのマイクロ波センサ１０はサー
ミスタ素子１１の感温部１１ａに平板状の電波吸収体１
２が接着される。一方のマイクロ波センサ１０は天井部
のフレーム１５に形成されたスリット１６内に加熱室１
７に臨んで固定され、他方のマイクロ波センサ１０はフ
レーム１５の背面に固定される。センサ１０のリード１
１ｃは後述するマグネトロン１８からのマイクロ波を受
けない位置に設けられる。
く説明する。図２に示すように、この例ではマイクロ波
加熱装置は電子レンジである。電子レンジ本体１３の前
面には扉１４が開閉可能に設けられる。電子レンジの加
熱室１７の天井部には２つのマイクロ波センサ１０，１
０が並設される。これらのマイクロ波センサ１０はサー
ミスタ素子１１の感温部１１ａに平板状の電波吸収体１
２が接着される。一方のマイクロ波センサ１０は天井部
のフレーム１５に形成されたスリット１６内に加熱室１
７に臨んで固定され、他方のマイクロ波センサ１０はフ
レーム１５の背面に固定される。センサ１０のリード１
１ｃは後述するマグネトロン１８からのマイクロ波を受
けない位置に設けられる。
【００１１】サーミスタ素子１１は１．４ｍｍφ×１．
５ｍｍのサイズのガラス封入型素子であって、Ｍｎ，Ｃ
ｏ，Ｎｉを主成分とする金属酸化物の焼結体からなる感
温部１１ａを有し、その両端にリード１１ｃがはんだ付
けされる。このサーミスタ素子１１の２５℃における抵
抗値は１００ｋΩであって、Ｂ定数は３９６０Ｋであ
る。電波吸収体１２はＳｉＣの焼結体であって、長さ１
０ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのサイズに作られ
る。この電波吸収体１２の一方の面の中央に上記リード
付きサーミスタ素子１１の感温部１１ａがエポキシ樹脂
により接着される。
５ｍｍのサイズのガラス封入型素子であって、Ｍｎ，Ｃ
ｏ，Ｎｉを主成分とする金属酸化物の焼結体からなる感
温部１１ａを有し、その両端にリード１１ｃがはんだ付
けされる。このサーミスタ素子１１の２５℃における抵
抗値は１００ｋΩであって、Ｂ定数は３９６０Ｋであ
る。電波吸収体１２はＳｉＣの焼結体であって、長さ１
０ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのサイズに作られ
る。この電波吸収体１２の一方の面の中央に上記リード
付きサーミスタ素子１１の感温部１１ａがエポキシ樹脂
により接着される。
【００１２】加熱室１７の奥部には２４５０ＭＨｚのマ
イクロ波を発生するマグネトロン１８が、またその背後
にはブロアファン１９及びファンモータ２０がそれぞれ
設けられる。加熱室１７の底部には水の入ったビーカ２
１を載せてモータ２３により回転するターンテーブル２
２が設けられる。ファンモータ２０の近傍には吸気口２
４が、また加熱室１７の天井部には排気口２６がそれぞ
れ設けられる。
イクロ波を発生するマグネトロン１８が、またその背後
にはブロアファン１９及びファンモータ２０がそれぞれ
設けられる。加熱室１７の底部には水の入ったビーカ２
１を載せてモータ２３により回転するターンテーブル２
２が設けられる。ファンモータ２０の近傍には吸気口２
４が、また加熱室１７の天井部には排気口２６がそれぞ
れ設けられる。
【００１３】次に、このように構成された電子レンジを
用いて、ビーカ２１内の水量を０，１００，２００，３
００，４００，５００ｍＬと５段階に変化させていった
ときの２つのマイクロ波センサ１０，１０を構成するサ
ーミスタ素子１１，１１の各抵抗値を温度に換算した。
マイクロ波を６０秒間照射した後のスリット１６内に加
熱室１７に臨んで固定されたマイクロ波センサ１０の検
出値から求められた温度をＴ1、フレーム１５の背面に
固定されたマイクロ波センサ１０の検出値から求められ
た温度をＴ2とした。温度Ｔ2は被加熱物である水入りビ
ーカ２１の発熱による輻射熱を表わし、温度Ｔ1はマイ
クロ波の吸収に伴う発熱と水入りビーカ２１の輻射熱を
合せた熱を表わす。従って温度Ｔ1−Ｔ2はマイクロ波を
受波したことによる温度上昇分を表わす。その結果を表
１に示す。
用いて、ビーカ２１内の水量を０，１００，２００，３
００，４００，５００ｍＬと５段階に変化させていった
ときの２つのマイクロ波センサ１０，１０を構成するサ
ーミスタ素子１１，１１の各抵抗値を温度に換算した。
マイクロ波を６０秒間照射した後のスリット１６内に加
熱室１７に臨んで固定されたマイクロ波センサ１０の検
出値から求められた温度をＴ1、フレーム１５の背面に
固定されたマイクロ波センサ１０の検出値から求められ
た温度をＴ2とした。温度Ｔ2は被加熱物である水入りビ
ーカ２１の発熱による輻射熱を表わし、温度Ｔ1はマイ
クロ波の吸収に伴う発熱と水入りビーカ２１の輻射熱を
合せた熱を表わす。従って温度Ｔ1−Ｔ2はマイクロ波を
受波したことによる温度上昇分を表わす。その結果を表
１に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】表１から明らかなように、ビーカ２１内の
水量が増えるに従って温度Ｔ1−Ｔ2が小さくなった。こ
のことからスリット１６内のマイクロ波センサ１０に到
来するマイクロ波エネルギ量、即ち被加熱物に吸収され
ずに漏れたマイクロ波エネルギ量は水量に対応し、セン
サ１０がマグネトロン１８から発生するマイクロ波を的
確に検出していることが判る。またセンサ１０のリード
１１ｃをマイクロ波を受けない位置に設けたので、リー
ド１１ｃ間で放電は全く起こらず、安定した出力が得ら
れた。
水量が増えるに従って温度Ｔ1−Ｔ2が小さくなった。こ
のことからスリット１６内のマイクロ波センサ１０に到
来するマイクロ波エネルギ量、即ち被加熱物に吸収され
ずに漏れたマイクロ波エネルギ量は水量に対応し、セン
サ１０がマグネトロン１８から発生するマイクロ波を的
確に検出していることが判る。またセンサ１０のリード
１１ｃをマイクロ波を受けない位置に設けたので、リー
ド１１ｃ間で放電は全く起こらず、安定した出力が得ら
れた。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のマイクロ波
センサによれば、マイクロ波エネルギ量を電波吸収体で
熱エネルギに変えてから、これをサーミスタ素子で検出
するため、被加熱物に吸収されるマイクロ波のエネルギ
量を直接かつ簡便に検出することができる。このマイク
ロ波センサは従来のようなアンテナや導波管を必要とし
ないため、構造が単純で小型化することができる。また
電波吸収体がセラミックスからなるため熱伝導性、即ち
熱応答性が高く、耐熱性に優れる。特にＳｉＣ，Ａｌ2
Ｏ3等の高耐熱材料を用いれば高温においても熱的衝撃
を受けることがなく、信頼性が高い。またサーミスタ素
子は電波吸収体の陰に隠れてマイクロ波を受けないた
め、マイクロ波センサはマイクロ波エネルギ量を安定し
て検出する。
センサによれば、マイクロ波エネルギ量を電波吸収体で
熱エネルギに変えてから、これをサーミスタ素子で検出
するため、被加熱物に吸収されるマイクロ波のエネルギ
量を直接かつ簡便に検出することができる。このマイク
ロ波センサは従来のようなアンテナや導波管を必要とし
ないため、構造が単純で小型化することができる。また
電波吸収体がセラミックスからなるため熱伝導性、即ち
熱応答性が高く、耐熱性に優れる。特にＳｉＣ，Ａｌ2
Ｏ3等の高耐熱材料を用いれば高温においても熱的衝撃
を受けることがなく、信頼性が高い。またサーミスタ素
子は電波吸収体の陰に隠れてマイクロ波を受けないた
め、マイクロ波センサはマイクロ波エネルギ量を安定し
て検出する。
【図１】本発明のマイクロ波センサの断面図。
【図２】本発明実施例のマイクロ波加熱装置の構成図。
【図３】従来例のマイクロ波センサの断面図。
１０ マイクロ波センサ １１ サーミスタ素子 １１ａ 感温部 １１ｂ 端子電極 １１ｃ リード １２ 電波吸収体 １２ａ 電波吸収体の一方の面 １２ｂ 電波吸収体の他方の面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 栄 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三 菱マテリアル株式会社セラミックス研究所 内
Claims (5)
- 【請求項１】 サーミスタ素子(11)の感温部(11a)に電
波吸収体(12)を備えたマイクロ波センサであって、 前記電波吸収体(12)が少なくとも前記サーミスタ素子(1
1)の感温部(11a)より広い面積を有する平板状に形成さ
れ、 前記電波吸収体(12)の一方の面(12a)がマイクロ波吸収
面であって、 前記電波吸収体(12)の他方の面(12b)に前記サーミスタ
素子(11)がマイクロ波を受けないように前記感温部(11
a)が接着されたことを特徴とするマイクロ波センサ。 - 【請求項２】 電波吸収体(12)が磁性又は誘電性のいず
れか一方又は双方を有するセラミックスからなる請求項
１記載のマイクロ波センサ。 - 【請求項３】 磁性を有するセラミックスがフェライト
である請求項２記載のマイクロ波センサ。 - 【請求項４】 誘電性を有するセラミックスがＳｉＣ，
Ａｌ2Ｏ3，Ｂ4Ｃ，ＳｒＴｉＯ3，ＺｒＯ2，Ｙ2Ｏ3，Ｐ
ＺＴ及びＰＬＺＴからなる群より選ばれた１種又は２種
以上のセラミックスである請求項２記載のマイクロ波セ
ンサ。 - 【請求項５】 磁性及び誘電性を兼備するセラミックス
がフェライトとＢａＴｉＯ3の複合体である請求項２記
載のマイクロ波センサ。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357057A JPH05172883A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | マイクロ波センサ |
| US07/989,173 US5378875A (en) | 1991-12-25 | 1992-12-11 | Microwave oven with power detecting device |
| TW081110030A TW207569B (ja) | 1991-12-25 | 1992-12-15 | |
| CA002085527A CA2085527C (en) | 1991-12-25 | 1992-12-16 | Microwave power detecting device |
| NL9202189A NL193485C (nl) | 1991-12-25 | 1992-12-17 | Microgolfoven. |
| DE4243597A DE4243597C2 (de) | 1991-12-25 | 1992-12-22 | Mikrowellenleistungs-Erfassungsvorrichtung |
| GB9226657A GB2263173B (en) | 1991-12-25 | 1992-12-22 | Microwave power detecting device |
| FR9215873A FR2685772A1 (fr) | 1991-12-25 | 1992-12-23 | Dispositif detecteur d'energie micro-onde. |
| KR1019920025659A KR970002015B1 (ko) | 1991-12-25 | 1992-12-24 | 마이크로파전력 검출장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357057A JPH05172883A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | マイクロ波センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172883A true JPH05172883A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18452166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3357057A Withdrawn JPH05172883A (ja) | 1991-12-25 | 1991-12-25 | マイクロ波センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05172883A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112386113A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-23 | 深圳市火王燃器具有限公司 | 一种烹饪温度控制方法和装置 |
-
1991
- 1991-12-25 JP JP3357057A patent/JPH05172883A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112386113A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-23 | 深圳市火王燃器具有限公司 | 一种烹饪温度控制方法和装置 |
| CN112386113B (zh) * | 2020-11-13 | 2022-01-25 | 深圳市火王燃器具有限公司 | 一种烹饪温度控制方法和装置 |
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