JPH0517598Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0517598Y2 JPH0517598Y2 JP15131287U JP15131287U JPH0517598Y2 JP H0517598 Y2 JPH0517598 Y2 JP H0517598Y2 JP 15131287 U JP15131287 U JP 15131287U JP 15131287 U JP15131287 U JP 15131287U JP H0517598 Y2 JPH0517598 Y2 JP H0517598Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- thermocouple
- image furnace
- shaft
- spheroidal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はイメージ炉に関し、特にイメージ炉の
内部で加熱する試料の温度を熱電対で測定するイ
メージ炉に関する。
内部で加熱する試料の温度を熱電対で測定するイ
メージ炉に関する。
結晶成長等に使用されるイメージ炉は、回転楕
円面から成る反射鏡の第１の焦点部分に熱源を置
き、第２の焦点部分に試料を置いてその赤外線を
集中して試料を加熱するものである。この装置に
は、反射鏡が１個の回転楕円面のみで構成される
単楕円型、反射鏡が２個の回転楕円内面の組合せ
で構成され第２の焦点を共有する構造の双楕円
型、更に反射鏡が３個以上の回転楕円面の組合わ
せで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円
型がある。
円面から成る反射鏡の第１の焦点部分に熱源を置
き、第２の焦点部分に試料を置いてその赤外線を
集中して試料を加熱するものである。この装置に
は、反射鏡が１個の回転楕円面のみで構成される
単楕円型、反射鏡が２個の回転楕円内面の組合せ
で構成され第２の焦点を共有する構造の双楕円
型、更に反射鏡が３個以上の回転楕円面の組合わ
せで構成され第２の焦点を共有する構造の多楕円
型がある。
次に、従来のイメージ炉の構造を単楕円型イメ
ージ炉を例にして図面を参照して詳細に説明す
る。第２図は従来のイメージ炉の一例を示す単楕
円型のイメージ炉の縦断面図である。
ージ炉を例にして図面を参照して詳細に説明す
る。第２図は従来のイメージ炉の一例を示す単楕
円型のイメージ炉の縦断面図である。
第２図において、固定反射鏡２０１と開閉反射
鏡２０２で回転楕円反射鏡２００を形成してお
り、回転楕円面の第１の焦点F21部分に設置した
ハロゲンランプ等の熱源２０３から発する赤外線
は、回転楕円面の第２の焦点F22部分に設置され、
試料ホルダ２０４に取り付けられた試料２０５に
集中し加熱する。石英等の材質で作られた透明チ
ユーブ２０６は試料２０５から発生するガスが回
転楕円反射鏡２００に到達して反射効率が低下す
るのを防ぐ役目のために設置される。さらに試料
２０５の温度を測定するために熱電対２０７を試
料内部に埋め込み、透明チユーブ２０６を封止し
ている。透明チユーブ２０６は試料ホルダ２０４
に取り付けられており、試料ホルダ２０４は中空
のシヤフト２０８に取り付けられている。
鏡２０２で回転楕円反射鏡２００を形成してお
り、回転楕円面の第１の焦点F21部分に設置した
ハロゲンランプ等の熱源２０３から発する赤外線
は、回転楕円面の第２の焦点F22部分に設置され、
試料ホルダ２０４に取り付けられた試料２０５に
集中し加熱する。石英等の材質で作られた透明チ
ユーブ２０６は試料２０５から発生するガスが回
転楕円反射鏡２００に到達して反射効率が低下す
るのを防ぐ役目のために設置される。さらに試料
２０５の温度を測定するために熱電対２０７を試
料内部に埋め込み、透明チユーブ２０６を封止し
ている。透明チユーブ２０６は試料ホルダ２０４
に取り付けられており、試料ホルダ２０４は中空
のシヤフト２０８に取り付けられている。
回転楕円反射鏡２００はメインフレーム２０９
に固定されたミラー送り機構２１０の送りねじ２
１１により上下に移動できる。またメインフレー
ム２０９に固定されたシヤフト回転機構２１２に
よつてシヤフト２０８を回転し、試料２０５を回
転できるようになつている。試料２０５の温度を
測定するため試料２０５に埋め込んだ熱電対２０
７は試料ホルダ２０４に開けた穴及び中空のシヤ
フト２０８を通して、シヤフト２０８に取り付け
られたフリツプリング２１３及び２１４に接続さ
れている。更に、スリツプリング２１３，２１４
にそれぞれ接するターミナル２１５，２１６を通
し、ケーブル２１７により電圧温度変換ユニツト
２１８に接続することによつて加熱中の試料の温
度を測定することができる。
に固定されたミラー送り機構２１０の送りねじ２
１１により上下に移動できる。またメインフレー
ム２０９に固定されたシヤフト回転機構２１２に
よつてシヤフト２０８を回転し、試料２０５を回
転できるようになつている。試料２０５の温度を
測定するため試料２０５に埋め込んだ熱電対２０
７は試料ホルダ２０４に開けた穴及び中空のシヤ
フト２０８を通して、シヤフト２０８に取り付け
られたフリツプリング２１３及び２１４に接続さ
れている。更に、スリツプリング２１３，２１４
にそれぞれ接するターミナル２１５，２１６を通
し、ケーブル２１７により電圧温度変換ユニツト
２１８に接続することによつて加熱中の試料の温
度を測定することができる。
上述した従来のイメージ炉は、試料に埋め込ん
だ熱電対をスリツプリングに接続するため、試料
の脱着の際にはシヤフトをメインフレームから取
り外して熱電対とスリツプリングの接続や取外し
を行なうか、シヤフトがメインフレームに取り付
けられた状態で熱電対とスリツプリングの接続や
取外しを行なわなければならない。前者の場合は
シヤフトのアライメントを調整し直す必要があ
り、また後者の場合は作業を実施しにくい装置上
で行わなければならない欠点があつた。
だ熱電対をスリツプリングに接続するため、試料
の脱着の際にはシヤフトをメインフレームから取
り外して熱電対とスリツプリングの接続や取外し
を行なうか、シヤフトがメインフレームに取り付
けられた状態で熱電対とスリツプリングの接続や
取外しを行なわなければならない。前者の場合は
シヤフトのアライメントを調整し直す必要があ
り、また後者の場合は作業を実施しにくい装置上
で行わなければならない欠点があつた。
本考案の目的は、このような従来の欠点を除去
し、熱電対を埋め込んだ試料の脱着を容易に行な
うことができるイメージ炉を提供することにあ
る。
し、熱電対を埋め込んだ試料の脱着を容易に行な
うことができるイメージ炉を提供することにあ
る。
本考案のイメージ炉は、試料の温度を測定する
ための熱電対と、回転楕円反射鏡内側に脱着可能
に取り付けられ熱電対からの出力をシヤフトの外
部に伝えるためのスリツプリングとを備えてい
る。
ための熱電対と、回転楕円反射鏡内側に脱着可能
に取り付けられ熱電対からの出力をシヤフトの外
部に伝えるためのスリツプリングとを備えてい
る。
次に、本考案について第１図を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本考案のイメージ炉の一実施例の縦断
面図である。
面図である。
第１図において、固定反射鏡１０１と開閉反射
鏡１０２で回転楕円反射鏡１００を形成してお
り、回転楕円面の第１の焦点F11部分に設置した
ハロゲンランプ等の熱源１０３から発する赤外線
は、回転楕円面の第２の焦点F12部分に設置され、
試料ホルダ１０４に取り付けられた試料１０５に
集中し加熱する。石英等の材質で作られた透明チ
ユーブ１０６は試料１０５から発生するガスが回
転楕円反射鏡１００に到達して反射効率が低下す
るのを防ぐ役目のために設置される。また試料１
０５の温度を測定するための熱電対１０７を試料
内部に埋め込み、透明チユーブ１０６を封止して
いる。透明チユーブ１０６は試料ホルダ１０４に
取り付けられており、試料１０５の温度を測定す
るため試料１０５に埋め込んだ熱電対１０２は試
料ホルダ１０４に開けた穴を通し、試料ホルダ１
０４に取り付けられたスリツプリング１１３及び
１１４に接続されている。更に、スリツプリング
１１３，１１４にそれぞれ接するターミナル１１
５，１１６を通しケーブル１１７により電圧温度
変換ユニツト１１８に接続することによつて、加
熱中の試料１０５の温度を測定することができ
る。試料ホルダ１０４はシヤフト１０８に取り付
けられており、ねじ１１９部分で脱着可能であ
る。
鏡１０２で回転楕円反射鏡１００を形成してお
り、回転楕円面の第１の焦点F11部分に設置した
ハロゲンランプ等の熱源１０３から発する赤外線
は、回転楕円面の第２の焦点F12部分に設置され、
試料ホルダ１０４に取り付けられた試料１０５に
集中し加熱する。石英等の材質で作られた透明チ
ユーブ１０６は試料１０５から発生するガスが回
転楕円反射鏡１００に到達して反射効率が低下す
るのを防ぐ役目のために設置される。また試料１
０５の温度を測定するための熱電対１０７を試料
内部に埋め込み、透明チユーブ１０６を封止して
いる。透明チユーブ１０６は試料ホルダ１０４に
取り付けられており、試料１０５の温度を測定す
るため試料１０５に埋め込んだ熱電対１０２は試
料ホルダ１０４に開けた穴を通し、試料ホルダ１
０４に取り付けられたスリツプリング１１３及び
１１４に接続されている。更に、スリツプリング
１１３，１１４にそれぞれ接するターミナル１１
５，１１６を通しケーブル１１７により電圧温度
変換ユニツト１１８に接続することによつて、加
熱中の試料１０５の温度を測定することができ
る。試料ホルダ１０４はシヤフト１０８に取り付
けられており、ねじ１１９部分で脱着可能であ
る。
回転楕円反射鏡１００はメインフレーム１０９
に固定されたミラー送り機構１１０の送りねじ１
１１により上下に移動できる。またメインフレー
ム１０９に固定されたシヤフト回転機構１１２に
よつてシヤフト１０８を回転し、試料１０５を回
転できるようになつている。
に固定されたミラー送り機構１１０の送りねじ１
１１により上下に移動できる。またメインフレー
ム１０９に固定されたシヤフト回転機構１１２に
よつてシヤフト１０８を回転し、試料１０５を回
転できるようになつている。
このように本実施例によれば、試料と試料の温
度を測定するための熱電対と熱電対からの出力を
シヤフトの外部に伝えるためのスリツプリングが
回転楕円反射鏡内側に対し脱着可能な構造である
ため、脱着作業が容易である。
度を測定するための熱電対と熱電対からの出力を
シヤフトの外部に伝えるためのスリツプリングが
回転楕円反射鏡内側に対し脱着可能な構造である
ため、脱着作業が容易である。
なお、本実施例では単楕円型のイメージ炉につ
いて説明してきたが、双楕円型あるいは多楕円型
のイメージ炉についても本考案を適用することが
できる。また、本実施例では回転楕円反射鏡が移
動するイメージ炉について説明してきたが、シヤ
フトが移動するイメージ炉についても本考案を同
様に適用することができる。
いて説明してきたが、双楕円型あるいは多楕円型
のイメージ炉についても本考案を適用することが
できる。また、本実施例では回転楕円反射鏡が移
動するイメージ炉について説明してきたが、シヤ
フトが移動するイメージ炉についても本考案を同
様に適用することができる。
以上説明したように本考案は、試料と試料の温
度を測定するための熱電対と熱電対からの出力を
シヤフトの外部に伝えるためのスリツプリングが
回転楕円反射鏡内側に対して脱着可能な構造であ
るため、脱着作業が容易である効果がある。ま
た、回転楕円反射鏡内を密閉したい場合、中空の
シヤフトを用いないため密閉度が向上する効果も
ある。
度を測定するための熱電対と熱電対からの出力を
シヤフトの外部に伝えるためのスリツプリングが
回転楕円反射鏡内側に対して脱着可能な構造であ
るため、脱着作業が容易である効果がある。ま
た、回転楕円反射鏡内を密閉したい場合、中空の
シヤフトを用いないため密閉度が向上する効果も
ある。
第１図は本考案のイメージ炉の一実施例の縦断
面図、第２図は従来のイメージ炉の一例を示す単
楕円型のイメージ炉の縦断面図である。 １００，２００……回転楕円反射鏡、１０１，
２０１……固定反射鏡、１０２，２０２……開閉
反射鏡、１０３，２０３……熱源、１０４，２０
４……試料ホルダ、１０５，２０５……試料、１
０７，２０７……熱電対、１０８，２０８……シ
ヤフト、１０９，２０９……メインフレーム、１
１２，２１２……シヤフト回転機構、１１３，１
１４，２１３，２１４……スリツプリング、１１
９……ねじ。
面図、第２図は従来のイメージ炉の一例を示す単
楕円型のイメージ炉の縦断面図である。 １００，２００……回転楕円反射鏡、１０１，
２０１……固定反射鏡、１０２，２０２……開閉
反射鏡、１０３，２０３……熱源、１０４，２０
４……試料ホルダ、１０５，２０５……試料、１
０７，２０７……熱電対、１０８，２０８……シ
ヤフト、１０９，２０９……メインフレーム、１
１２，２１２……シヤフト回転機構、１１３，１
１４，２１３，２１４……スリツプリング、１１
９……ねじ。
Claims (1)
- 回転楕円反射鏡の第１の焦点部分に熱源を設
け、前記回転楕円反射鏡の第２の焦点部分に回転
可能なシヤフトの先端に取り付けられた試料を設
け、前記熱源から発する赤外線を集中して前記試
料を加熱するイメージ炉において、前記試料の温
度を測定するための熱電対と、前記回転楕円反射
鏡内側に脱着可能に取り付けられ前記熱電対から
の出力を前記シヤフトの外部に伝えるためのスリ
ツプリングとを備えることを特徴とするイメージ
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15131287U JPH0517598Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15131287U JPH0517598Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0158096U JPH0158096U (ja) | 1989-04-11 |
| JPH0517598Y2 true JPH0517598Y2 (ja) | 1993-05-11 |
Family
ID=31425242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15131287U Expired - Lifetime JPH0517598Y2 (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517598Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-01 JP JP15131287U patent/JPH0517598Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0158096U (ja) | 1989-04-11 |
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