JPH05181025A - 導波体の精密光学的端面の製造方法 - Google Patents
導波体の精密光学的端面の製造方法Info
- Publication number
- JPH05181025A JPH05181025A JP3081084A JP8108491A JPH05181025A JP H05181025 A JPH05181025 A JP H05181025A JP 3081084 A JP3081084 A JP 3081084A JP 8108491 A JP8108491 A JP 8108491A JP H05181025 A JPH05181025 A JP H05181025A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- waveguide
- face
- substrate
- molded body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 3
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/25—Preparing the ends of light guides for coupling, e.g. cutting
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49016—Antenna or wave energy "plumbing" making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 サブストレート内に形成された導波体の端面
が機械的加工により顕微鏡的に小さい破断部を有する
際、その導波体の精密光学的端面を製造するための簡単
かつ極めて有効な方法を提供する。 【構成】 該方法は、（ａ）精密光学的表面を有する成
形体（２０）をサブストレート（１０）に接触させて導
波体（１２）の前方に置き、（ｂ）導波体（１２）の端
面と、成形体（２０）の精密光学的表面との間の中空に
接着剤（２２）を注入し、かつ（ｃ）接着剤（２２）を
硬化させることよりなる。
が機械的加工により顕微鏡的に小さい破断部を有する
際、その導波体の精密光学的端面を製造するための簡単
かつ極めて有効な方法を提供する。 【構成】 該方法は、（ａ）精密光学的表面を有する成
形体（２０）をサブストレート（１０）に接触させて導
波体（１２）の前方に置き、（ｂ）導波体（１２）の端
面と、成形体（２０）の精密光学的表面との間の中空に
接着剤（２２）を注入し、かつ（ｃ）接着剤（２２）を
硬化させることよりなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サブストレート内に形
成された導波体の端面が機械的加工により顕微鏡的に小
さい破断部を有する導波体に精密光学的端面を製造する
方法に関する。
成された導波体の端面が機械的加工により顕微鏡的に小
さい破断部を有する導波体に精密光学的端面を製造する
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積光学系において光を前記のような導
波体から構成素子、例えば光電検出器に導くか又は光
源、例えば半導体レーザから導波体に入力結合させる問
題が生じる。この場合には、光は導波体の端面から放出
するか又はこの端面に入射しなければならない。
波体から構成素子、例えば光電検出器に導くか又は光
源、例えば半導体レーザから導波体に入力結合させる問
題が生じる。この場合には、光は導波体の端面から放出
するか又はこの端面に入射しなければならない。
【０００３】ガラスサブストレート縁部の機械的加工の
際には、顕微鏡的に小さい破断が発生する。散乱を阻止
するために、導波体端部は通常の手段で研磨される。こ
れは特殊な専門家を必要とする極めて費用のかかる処置
である。
際には、顕微鏡的に小さい破断が発生する。散乱を阻止
するために、導波体端部は通常の手段で研磨される。こ
れは特殊な専門家を必要とする極めて費用のかかる処置
である。
【０００４】多くの場合、集積光学系の内部で導波体を
素子と結合することが所望される。この目的のために、
ダイヤモンドを装備したディスクフライスで小さいスリ
ットをフライス加工することができる。このスリットの
側壁は同様に粗い破断縁部を形成する。しかし、これら
の内部にある破断縁部は研磨することができず、従って
結合位置としては使用不能である。
素子と結合することが所望される。この目的のために、
ダイヤモンドを装備したディスクフライスで小さいスリ
ットをフライス加工することができる。このスリットの
側壁は同様に粗い破断縁部を形成する。しかし、これら
の内部にある破断縁部は研磨することができず、従って
結合位置としては使用不能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、導波
体の精密光学的端面を製造するための簡単かつ極めて有
効な方法を提供することであった。
体の精密光学的端面を製造するための簡単かつ極めて有
効な方法を提供することであった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題は、本発明によ
り、（ａ）精密光学的表面を有する成形体をサブストレ
ートに接触させて導波体の前方に置き、（ｂ）導波体の
端面と、成形体の精密光学的表面との間の中空に接着剤
を注入し、かつ（ｃ）接着剤を硬化させることにより解
決される。
り、（ａ）精密光学的表面を有する成形体をサブストレ
ートに接触させて導波体の前方に置き、（ｂ）導波体の
端面と、成形体の精密光学的表面との間の中空に接着剤
を注入し、かつ（ｃ）接着剤を硬化させることにより解
決される。
【０００７】このようにして導波体の端面の裂け目の多
い破断縁部に、平滑な表面を有する接着剤層を鋳造す
る。この手段を用いると、導波体の端面を通る光の妨害
のない入力及び出力結合が達成されることが判明した。
い破断縁部に、平滑な表面を有する接着剤層を鋳造す
る。この手段を用いると、導波体の端面を通る光の妨害
のない入力及び出力結合が達成されることが判明した。
【０００８】本発明の有利な構成は、請求項２以降に記
載されている。
載されている。
【０００９】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】１０で、ガラスからなるサブストレートが
示されている。サブストレート１０の表面の下には導波
体１２が形成されている。該導波体１２は光路に沿って
延びる、ほぼ円形の横断面を有する領域であり、該領域
内にはサブストレート１０の屈折率に比して高い屈折率
が存在する。このような導波体内を、光は矢印１４で示
されているように全反射によって導かれる。該サブスト
レート１０内に、溝１６がフライス加工されている。こ
の溝内には、電気光学的素子、例えばホトダイオード又
は半導体レーザが挿入される。この素子は、導波体１２
と光学的に結合されるべきである。
示されている。サブストレート１０の表面の下には導波
体１２が形成されている。該導波体１２は光路に沿って
延びる、ほぼ円形の横断面を有する領域であり、該領域
内にはサブストレート１０の屈折率に比して高い屈折率
が存在する。このような導波体内を、光は矢印１４で示
されているように全反射によって導かれる。該サブスト
レート１０内に、溝１６がフライス加工されている。こ
の溝内には、電気光学的素子、例えばホトダイオード又
は半導体レーザが挿入される。この素子は、導波体１２
と光学的に結合されるべきである。
【００１１】導波体１２の端面は、不均一な破断縁部１
８を形成する。図１及び図２に示されているように、導
波体１２内を導かれた光は、この破断縁部１８で不均一
に屈折及び散乱せしめられる。
８を形成する。図１及び図２に示されているように、導
波体１２内を導かれた光は、この破断縁部１８で不均一
に屈折及び散乱せしめられる。
【００１２】この理由から、導波体１２の不均一な端面
の前方に平滑な表面を有する成形体２０を押しつける。
このような成形体としては、顕微鏡カバーガラスの形の
延伸ガラスが有利であることが判明した。延伸ガラス
は、微細構造において高い品質を有するフレームポリッ
シュ面を有する。顕微鏡カバーガラスは、約０．１５ｍ
ｍの厚さを有する。従って、顕微鏡カバーガラスは簡便
に幅０．５ｍｍのフライス加工した溝に挿入することが
できる。該成形体２０を適当な手段で導波体１２の不均
一な端面に圧着する。
の前方に平滑な表面を有する成形体２０を押しつける。
このような成形体としては、顕微鏡カバーガラスの形の
延伸ガラスが有利であることが判明した。延伸ガラス
は、微細構造において高い品質を有するフレームポリッ
シュ面を有する。顕微鏡カバーガラスは、約０．１５ｍ
ｍの厚さを有する。従って、顕微鏡カバーガラスは簡便
に幅０．５ｍｍのフライス加工した溝に挿入することが
できる。該成形体２０を適当な手段で導波体１２の不均
一な端面に圧着する。
【００１３】該顕微鏡カバーガラスには分離剤を被覆し
ておくのが有利である。
ておくのが有利である。
【００１４】次いで、図５及び図６に示されているよう
に、液状接着剤２２を顕微鏡カバーガラスと、導波体の
端面との間の中空に導入する。この操作はニードル又は
マイクロ配量器で行うことができる。この際、接着剤２
２は毛細管力によって狭い中空内に引き込まれる。該接
着剤は低屈折力の接着剤であり、その屈折率は導波体１
２の屈折率に合わされている。接着剤２２はＵＶ硬化性
である。該接着剤をＵＶ照射により硬化させる。
に、液状接着剤２２を顕微鏡カバーガラスと、導波体の
端面との間の中空に導入する。この操作はニードル又は
マイクロ配量器で行うことができる。この際、接着剤２
２は毛細管力によって狭い中空内に引き込まれる。該接
着剤は低屈折力の接着剤であり、その屈折率は導波体１
２の屈折率に合わされている。接着剤２２はＵＶ硬化性
である。該接着剤をＵＶ照射により硬化させる。
【００１５】硬化後に、顕微鏡カバーガラスを取外す。
該取外しは剥離剤により簡単に行われる。その際、図７
及び図８に示した構造が生じる。接着剤は平滑な表面２
４を形成する。接着剤２２の付着により、形成された縁
部は幾分か上向き突出する。導波体１２は、実際には屈
折率飛躍を伴わずに接着剤２２中で終わる。
該取外しは剥離剤により簡単に行われる。その際、図７
及び図８に示した構造が生じる。接着剤は平滑な表面２
４を形成する。接着剤２２の付着により、形成された縁
部は幾分か上向き突出する。導波体１２は、実際には屈
折率飛躍を伴わずに接着剤２２中で終わる。
【００１６】導波体１２内を導かれた光は、散乱又は拡
散屈折せずに平滑な表面２４から放出される。該表面２
４が導波体１２の軸に対して僅かにずれている場合も問
題でない。
散屈折せずに平滑な表面２４から放出される。該表面２
４が導波体１２の軸に対して僅かにずれている場合も問
題でない。
【００１７】平滑な表面２４で、光の直接的入力又は出
力結合が可能になる。
力結合が可能になる。
【００１８】同じ方法は、サブストレートのソーイン
グ、破断、切断又はフライス加工した外縁部でも適用可
能である。この場合、従来技術水準により必要な費用を
避けることができる。
グ、破断、切断又はフライス加工した外縁部でも適用可
能である。この場合、従来技術水準により必要な費用を
避けることができる。
【図１】ガラスからなるサブストレートの下を延びかつ
その端面に裂け目の多い破断縁部を形成する光導波体の
平面図である。
その端面に裂け目の多い破断縁部を形成する光導波体の
平面図である。
【図２】図１の導波体の側面図を示す。
【図３】導波体の端面に顕微鏡カバーガラスをセットし
た状態の図１に類似した平面図である。
た状態の図１に類似した平面図である。
【図４】図３の状態の側面図である。
【図５】導波体の端面と、顕微鏡カバーガラスとの間の
中空に接着剤を注入した状態を示す、図１及び図３に類
似した平面図である。
中空に接着剤を注入した状態を示す、図１及び図３に類
似した平面図である。
【図６】図５の状態の側面図である。
【図７】顕微鏡カバーガラスを取外した後の、接着剤に
よって平滑にされた端面を有する導波体の端部の平面図
である。
よって平滑にされた端面を有する導波体の端部の平面図
である。
【図８】図７の状態の側面図である。
１０ サブストレート、 １２ 導波体、 １８ 破断
縁部、 ２０ 成形体（顕微鏡カバーガラス）、 ２２
接着剤
縁部、 ２０ 成形体（顕微鏡カバーガラス）、 ２２
接着剤
Claims (8)
- 【請求項１】 サブストレート内に形成された導波体の
端面が機械的加工により顕微鏡的に小さい破断部を有す
る際、その導波体の精密光学的端面を製造する方法にお
いて、（ａ）精密光学的表面を有する成形体（２０）を
サブストレート（１０）に接触させて導波体（１２）の
前方に置き、（ｂ）導波体（１２）の端面と、成形体
（２０）の精密光学的表面との間の中空に接着剤（２
２）を注入し、かつ（ｃ）接着剤（２２）を硬化させる
ことを特徴とする、導波体の精密光学的端面の製造方
法。 - 【請求項２】 成形体（２０）を接着剤（２２）の硬化
後に取除く請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 接着剤として低屈折力の接着剤を使用す
る請求項１又は２記載の方法。 - 【請求項４】 成形体（２０）が、顕微鏡カバーガラス
のような延伸したガラスである請求項１から３までのい
ずれか１項記載の方法。 - 【請求項５】 機械的加工がフライス工程からなる請求
項１から４までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項６】 接着剤を毛細管力により破断縁部と、成
形体（２０）の表面との間の間隙に侵入させる請求項１
から５までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項７】 接着剤としてＵＶ硬化性接着剤を利用す
る請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。 - 【請求項８】 成形体（２０）の表面に、接着剤の硬化
後に成形体の表面を硬化した接着剤の表面から剥離する
剥離剤を施す請求項１から７までのいずれか１項記載の
方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4012747.8 | 1990-04-21 | ||
| DE4012747A DE4012747A1 (de) | 1990-04-21 | 1990-04-21 | Verfahren zur herstellung von feinoptischen stirnflaechen an wellenleitern |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05181025A true JPH05181025A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=6404810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3081084A Pending JPH05181025A (ja) | 1990-04-21 | 1991-04-15 | 導波体の精密光学的端面の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5177859A (ja) |
| EP (1) | EP0453705A3 (ja) |
| JP (1) | JPH05181025A (ja) |
| DE (1) | DE4012747A1 (ja) |
| IL (1) | IL97550A0 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4200743C2 (de) * | 1991-09-18 | 1994-04-07 | Wasagchemie Sythen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Verringerung der Korngröße von kristallinem Explosivstoff |
| DE19843164C2 (de) * | 1998-09-21 | 2000-11-23 | Harting Elektrooptische Bauteile Gmbh & Co Kg | Steckerteil für eine optische Steckverbindung |
| JP5018254B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2012-09-05 | 日立電線株式会社 | ミラー付き光導波路及びその製造方法 |
| JP5109982B2 (ja) * | 2008-10-09 | 2012-12-26 | 日立電線株式会社 | ミラー付き光伝送体の製造方法 |
| US20130058609A1 (en) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | Elli Makrides-Saravanos | Attenuated splitter module for low count output channels and related assemblies and methods |
| CN113777710B (zh) * | 2021-09-30 | 2025-08-05 | 深圳市维度科技股份有限公司 | 一种光纤切割装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2248587C2 (de) * | 1972-10-04 | 1983-10-27 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zum Befestigen optischer Bauelemente in Steckern |
| US4182545A (en) * | 1977-05-27 | 1980-01-08 | Harris Corporation | Optical coupler system |
| US4436366A (en) * | 1981-02-17 | 1984-03-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | End capping an optical fiber |
| AU551638B2 (en) * | 1981-04-27 | 1986-05-08 | Raychem Corporation | Optical fibre alignment |
| SE455892B (sv) * | 1984-02-17 | 1988-08-15 | Ericsson Telefon Ab L M | Optisk integrerad vagledarkomponent |
| GB8417911D0 (en) * | 1984-07-13 | 1984-08-15 | British Telecomm | Connecting waveguides |
| FR2608785B1 (fr) * | 1986-12-19 | 1989-08-04 | Thomson Csf | Dispositif de connexion de fibres optiques a un circuit optique integre et procede de realisation |
| GB8814034D0 (en) * | 1988-06-14 | 1988-07-20 | Amp Holland | Optical connector & method of forming optical splice |
| DE3831905A1 (de) * | 1988-09-20 | 1990-03-22 | Standard Elektrik Lorenz Ag | Optisches wellenleitermodul mit faserankopplung |
-
1990
- 1990-04-21 DE DE4012747A patent/DE4012747A1/de not_active Withdrawn
-
1991
- 1991-01-11 EP EP19910100301 patent/EP0453705A3/de not_active Withdrawn
- 1991-03-14 IL IL97550A patent/IL97550A0/xx unknown
- 1991-04-15 JP JP3081084A patent/JPH05181025A/ja active Pending
- 1991-04-19 US US07/688,724 patent/US5177859A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IL97550A0 (en) | 1992-06-21 |
| EP0453705A3 (en) | 1992-03-25 |
| US5177859A (en) | 1993-01-12 |
| EP0453705A2 (de) | 1991-10-30 |
| DE4012747A1 (de) | 1991-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7377700B2 (en) | Ferrule assembly | |
| US5175781A (en) | Attaching optical fibers to integrated optic chips | |
| KR101654841B1 (ko) | 판 유리의 테두리들 상에 사면들을 생성하기 위한 방법 및 장치 | |
| AU2011296557B2 (en) | Ferrule assembly process | |
| US5402511A (en) | Method of forming an improved tapered waveguide by selectively irradiating a viscous adhesive resin prepolymer with ultra-violet light | |
| JP6788436B2 (ja) | 光モジュール | |
| KR19990008735A (ko) | 광섬유 수동정렬장치 및 방법 | |
| US4630884A (en) | Method and apparatus for monitoring optical fiber lapping and polishing | |
| JP3526224B2 (ja) | 加工方法および光学部品 | |
| Grenier et al. | Ultrafast laser processing of glass waveguide substrates for multi-fiber connectivity in co-packaged optics | |
| JPH05181025A (ja) | 導波体の精密光学的端面の製造方法 | |
| JP3622800B2 (ja) | 光記録装置 | |
| WO2018128100A1 (ja) | モードフィールド変換素子、モードフィールド変換部品、及びモードフィールド変換素子の製造方法 | |
| EP0845689B1 (en) | A prism coupler and a method for its production | |
| JPS58178310A (ja) | 斜め端面加工の光フアイバアレイ | |
| CN111381327B (zh) | 光学模块及其制造方法 | |
| US4761048A (en) | Integrated optics spectrum analyzer | |
| US20040035280A1 (en) | Device for cutting polymer optical-fibre waveguides | |
| US7114860B2 (en) | Method and device for coupling a light emitting source to an optical waveguide | |
| JPH10319264A (ja) | 光導波路素子の製造方法 | |
| JP2586587B2 (ja) | 屈折率分布カプラ | |
| JP2005128407A (ja) | 光導波路モジュール | |
| US12085755B2 (en) | Laser cleaving and polishing of doped optical fibers | |
| JPH06208039A (ja) | 光導波路の接続方法および接続治具 | |
| JPH1114859A (ja) | 光導波路と光ファイバの接続方法 |