JPH05183219A - レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ光のポインティング（位置精度）の安
定性が優れたレーザ発振器を得る。 【構成】 第１の発明に係わるレーザ発振器は、調整板
４０の角度調整機構を、光学基板３８と調整板４０の相
対位置を決定する１つの支点部材５０と２つの角度調整
ネジ４６と３つのバネ５５により構成し、この３つのバ
ネ５５を１つの支点部材５０と２つの角度調整ネジ４６
にそれぞれ対応して取り付けてなる構成としたものであ
る。 【効果】 調整板の角度が変化する現象を防止して、調
整板の角度の安定化を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、レーザ発振器のポイ
ンティング（位置精度）の安定化に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、例えば特開昭６０−２５４６８
４号公報に開示された従来のレーザ発振器の構成を示す
斜視図、図６は従来のレーザ発振器における１つのレー
ザ光反射手段の構成を示す断面図、図７は従来のレーザ
発振器における調整板の角度調整機構を示す説明図、図
８は従来のレーザ発振器における調整板の角度調整機構
の要部を示す詳細図、図９は従来のレーザ発振器におけ
る共振器光路を含む発振器の長手方向の垂直断面を示す
模式図、図１０は従来のレーザ発振器における調整板の
角度調整機構で使用するバネを示す斜視図である。図７
に示される調整板の角度調整機構において、図７（ａ）
は平面図、図７（ｂ）は断面図をそれぞれ示している。

【０００３】図５に示されるレーザ発振器において、１
０はレーザ媒質ガスを封入する筺体、４は一対の放電電
極、８は熱交換器、６はブロア（送風機）、３２は部分
反射鏡、２６，２８，３０は全反射鏡、１２ａは部分反
射鏡３２及び全反射鏡２８を含むレーザ光反射手段、１
２ｂは全反射鏡３０及び全反射鏡２６を含むレーザ光反
射手段、２はレーザビームである。図６に示されるレー
ザ光反射手段１２ａにおいて、１４及び１５は各々が部
分反射鏡３２及び全反射鏡２８の直前に配置されたアパ
ーチャ、３６はレーザ光反射手段１２ａを保持する光学
基台、４４は光学基台３６とレーザ光反射手段１２ｂの
光学基台（図示しない）を連結する連結棒、５４は筺体
１０と光学基台３６の間の真空機密を保持するように取
り付けられたベローズ、３８は光学基台３６に取り付け
られた光学基板である。４２及び４０は各々に部分反射
鏡３２及び全反射鏡２８が取り付けられ、部分反射鏡３
２及び全反射鏡２８の角度を調整するための調整板であ
る。

【０００４】図７に示される光学基板３８に取り付けら
れた調整板４０の角度調整機構において、４６は調整板
４０の角度を調整するための角度調整ネジ、４７は光学
基板３８と角度調整ネジ４６が螺合してなるネジ部、４
８は真空シールしながら角度調整ネジ４６を回転可能と
するためのＯリング、４９は調整板４０に設けられ、角
度調整ネジ４６の先端部が当接する受け部材、５５は調
整板４０を光学基板３８に引き付けるように弾性付勢状
態に配置したバネ、５０は調整板４０に設けられた支点
部材、５６は調整板４０を流れる冷却水、５８は冷却水
５６を流すためのチューブ、５１ａ及び５１ｂ光学基板
３８に設けられた冷却水５６を流すための穴、５２はチ
ューブ５８と光学基板３８及び調整板４０を接続するた
めの継ぎ手である。

【０００５】図８に示される調整板４０の角度調整機構
の要部の構成において、６０は光学基板３８にねじ込ま
れたバネロッド、６２はバネロッド６０とバネ５５の接
触部、６３は調整板４０とバネ５５の接触部である。
又、４６は角度調整ネジ、４７はネジ部、４９は受け部
材、５０は支点部材である。

【０００６】図９に示されるレーザ発振器の模式図にお
いて、１８は筺体１０内にある一対の放電電極４の間の
放電によりレーザ媒質ガスが励起状態となった励起領
域、２０，２２，２４は励起領域１８を通るＺ字を描く
３本の共振器光路である第１の光軸，第２の光軸，第３
の光軸である。又、２はレーザ光、１２ａは部分反射鏡
３２及び全反射鏡２８を含むレーザ光反射手段、１２ｂ
は全反射鏡３０及び全反射鏡２６を含むレーザ光反射手
段である。図１０に示されるバネ５５において、６２，
６３はバネ５５が他の部品と接触する接触部である。

【０００７】次に、上記従来のレーザ発振器の動作につ
いて説明する。図５に示される筺体１０内にあるレーザ
媒質ガスは、一対の放電電極４の間を通過しレーザ発振
が可能な状態に励起された後、熱交換器８に入り冷却さ
れた後にブロア６を通って図５の矢印Ａで示す方向に循
環する。

【０００８】図９に示されるように、筺体１０の長手方
向に配置された部分反射鏡３２及び全反射鏡２６，２
８，３０によって、一対の放電電極４の間の放電により
レーザ媒質ガスが励起状態となった励起領域１８を通る
Ｚ字を描く３本の共振器光路である第１の光軸２０，第
２の光軸２２，第３の光軸２４が決定されている。全反
射鏡２６で反射されたレーザ光２は第１の光軸２０を通
って全反射鏡２８に到達する。全反射鏡２８はわずかに
下向きに傾いているので、レーザ光２は第１の光軸２０
よりわずかに下向きに傾いた第２の光軸２２を通って全
反射鏡３０に到達する。全反射鏡３０はわずかに上向き
に傾いているので、レーザ光２は第１の光軸２０と平行
な第３の光軸２４を通って部分反射鏡３２に到達する。
部分反射鏡３２に到達したレーザ光２の一部はそのまま
外部に出力され、残りのレーザ光２は上記と逆のルート
を通って全反射鏡２６まで戻り、このような上記プロセ
スが繰り返し行われ、レーザ光２は励起領域１８を反復
通過する間に増幅されて部分反射鏡３２から外部に出力
される。

【０００９】次に、図７に示される全反射鏡２８の角度
調整機構について説明する。全反射鏡２８は調整板４０
に取り付けられており、この調整板４０の角度を調整す
ることにより全反射鏡２８の角度調整を行う。図８に示
されるように、バネ５５は調整板４０と光学基板３８に
ねじ込まれたバネロッド６０の間に圧縮された状態で挿
入されている。従って、バネ５５に復元力により調整板
４０はバネ５５により光学基板３８に引き付けられるよ
うに弾性付勢されている。調整板４０と光学基板３８は
支点部材５０と２本の角度調整ネジ４６によって互いに
突っ張っている状態にあるので、支点部材５０の長さと
角度調整ネジ４６の光学基板３８からの突出長さの相対
関係により調整板４０の角度が決められる。角度調整ネ
ジ４６を回転させることによりこの角度調整ネジ４６を
光学基板３８からの突出長さを変化させ、調整板４０を
上下左右に角度調整することが可能である。

【００１０】全反射鏡２８はレーザ光２に対してある吸
収率を有しているために、全反射鏡２８はレーザ光２が
当射すると発熱する。そのために、全反射鏡２８は調整
板４０を冷却水５６にて冷却することにより間接的に冷
却している。冷却水５６は、外部よりチューブ５８を通
って光学基板３８の穴５１ａを通り、しかる後に調整板
４０の内部を通って再び光学基板３８の穴５１ｂを通っ
て外部へ出て行く。

【００１１】一般に、バネ５５は支点部材５０と２本の
角度調整ネジ４６に対して図７（ａ）に示されるように
２箇所に設けられている。この位置は２本のバネ５５に
よる引き付け力の合力の中心が支点部材５０と２本の角
度調整ネジ４６で形成される三角形の内側になり、この
ことは、角度調整ネジ４６を調整した時に角度調整ネジ
４６と受け部材４９が浮き上がったりしないようにする
ためであり、通常はこのように構成されており、部分反
射鏡３２の調整板４２も同じように構成されている。

【００１２】部分反射鏡３２の調整板４２は筺体１０内
が真空状態であるために、バネ５５による引き付け力の
他に大気圧と真空圧の差圧により部分反射鏡３２の中心
を重心とした力で光学基板３８側に強く引き付けられて
いるので、調整板４２は非常に安定して光学基板３８に
引き付けられて装着されている。ところが、全反射鏡２
８の調整板４０は筺体１０内の真空中にあるために、調
整板４２のような真空による引き付け力は期待できない
ので、２本のバネ５５のみの引き付け力により光学基板
３８に引き付けられることになり、大気に接する調整板
４２に比べて真空中にある調整板４０は不安定となる。

【００１３】すなわち、例えば図７（ａ）に示されるよ
うに支点部材５０からバネ５５までの距離Ｃが長く、角
度調整ネジ４６からバネ５５までの距離Ｂが短いため
に、角度調整ネジ４６は大きなトルクで調整板４０に押
さえつけられるが、支点部材５０は逆に小さいトルクで
しか光学基板３８に押さえつけられていないことにな
る。従って、真空中にある調整板４０は支点部材５０に
よる支点を浮き上がらせようとする力に対して不安定で
ある。

【００１４】ところで、図７（ｂ）に示されるように調
整板４０には冷却水５６を流すためのチューブ５８がつ
ながれている。チューブ５８自体には弾性力があり、又
チューブ５８に流れる冷却水５６の温度変化や圧力変化
によりチューブ５８の弾性力が変化する。更に、チュー
ブ５８の長さ、曲げ半径等の配管方法によってもチュー
ブ５８の弾性力はばらつきを持っている。従ってものに
よっては、あるいは状況によってはチューブ５８の弾性
力により支点部材５０による支点を浮き上がらせようと
する力が働き、調整板４０の角度を変化させてしまう可
能性がある。このようにして調整板４０の角度が変化す
ると、全反射鏡２８の角度が変化して共振器内のレーザ
光２の光軸が狂い、レーザ光２のポインティング（位置
精度）の安定性がそこなわれることになる。

【００１５】図１０に示されるようにバネ５５はコイル
状の形状をしており、通常は右巻きのコイルバネであ
る。又、６２はバネロッド６０とバネ５５の接触部、６
３は調整板４０とバネ５５の接触部である。ここにおい
て、バネ５５の温度が変化するとコイルの全長が変化す
る。例えば、バネ５５の温度が上昇したとすると、バネ
５５の接触部６２，６３は各々図１０の矢印Ｄ，Ｅに示
す方向に延びようとする。接触部６２，６３において、
バネロッド６０とバネ５５の間、調整板４０とバネ５５
の間には摩擦力が働きバネロッド６０と調整板４０の間
にねじりのトルクが作用する。これにより、バネ５５が
右巻きの場合には調整板４０と光学基板３８の間に右回
りのトルクが生じ、このトルクが引き付け力による支点
部材５０と光学基板３８の間、及び受け部材４９と角度
調整ネジ４６の間の摩擦力よりも大きくなると、調整板
４０が光学基板３８に対して回転してしまい、このこと
により調整板４０の角度を変化させてしまう。しかし
て、調整板４０の角度が変化すると、全反射鏡２８の角
度が変化して共振器内のレーザ光２の光軸が狂い、レー
ザ光２のポインティング（位置精度）の安定性がそこな
われることになる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のレーザ
発振器は以上のように構成されているので、チューブ５
８に流れる冷却水５６等の温度変化や圧力変化、あるい
はチューブ５８の配管の組立て時におけるばらつき等に
より、レーザ光２のポインティング（位置精度）の安定
性が悪くなったりするなどの問題点があった。

【００１７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、レーザ光のポインティング（位
置精度）の安定性が優れたレーザ発振器を得ることを目
的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係わるレー
ザ発振器は、共振器を構成する複数の共振器ミラーを有
し、この共振器ミラーのうちで少なくとも１つは真空中
に配置し、この真空中に配置された共振器ミラーの角度
を調整するための調整板と、この調整板を取り付けて真
空の遮断をしてなる光学基板を有するものにおいて、調
整板の角度調整機構を、光学基板と調整板の相対位置を
決定する１つの支点部材と２つの角度調整ネジと３つの
バネにより構成し、この３つのバネを１つの支点部材と
２つの角度調ネジにそれぞれ対応して取り付けてなる構
成としたものである。

【００１９】又、第２の発明に係わるレーザ発振器は、
共振器を構成する複数の共振器ミラーを有し、この共振
器ミラーの角度を調整するための調整板と、この調整板
を取り付けてなる光学基板を有するものにおいて、調整
板の角度調整機構を、光学基板と調整板の相対位置を決
定する１つの支点部材と２つの角度調整ネジと３つのバ
ネにより構成し、このバネと調整板又はこの調整板に固
定された部品の接触部か、あるいはバネと光学基板又は
この光学基板に固定された部品の接触部かの少なくとも
一方の接触部に、当該接触部の摩擦を低減する部材を挿
入してなる構成としたものである。

【００２０】又、第３の発明に係わるレーザ発振器は、
共振器を構成する複数の共振器ミラーを有し、この共振
器ミラーの角度を調整するための調整板と、この調整板
を取り付けてなる光学基板を有するものにおいて、調整
板の角度調整機構を、光学基板と調整板の相対位置を決
定する１つの支点部材と２つの角度調整ネジと３つのバ
ネにより構成し、この３つのバネを、少なくとも１つは
右巻きのバネで、少なくとも１つは左巻きのバネで、少
なくとも１つは右巻き又は左巻きのバネで構成したもの
である。

【００２１】

【作用】第１の発明におけるレーザ発振器は、光学基板
と調整板の相対位置を決定する１つの支点部材と２つの
角度調整ネジと３つのバネにより構成した調整板の角度
調整機構で、１つの支点部材と２つの角度調整ネジにそ
れぞれ対応して取り付けられて構成された３つのバネ
は、１つの支点部材による支点が光学基板から浮き上が
るのを防止する。

【００２２】第２の発明におけるレーザ発振器は、光学
基板と調整板の相対位置を決定する１つの支点部材と２
つの角度調整ネジと３つのバネにより構成した調整板の
角度調整機構で、バネと調整板又は調整板に固定された
部品に接触部か、あるいはバネと光学基板又はこの光学
基板に固定された部品の接触部かの少なくとも一方の接
触部に挿入された当該接触部の摩擦を低減する部材は、
バネが温度変化によりトルクを発生しても、当該接触部
においてバネをすべらせ、トルクを他の部品に伝えるこ
とがない。

【００２３】又、第３の発明におけるレーザ発振器は、
光学基板と調整板の相対位置を決定する１つの支点部材
と２つの角度調整ネジと３つのバネにより構成した調整
板の角度調整機構で、右巻きのバネと左巻きのバネを使
用して構成した３つのバネは、温度変化により生じるト
ルクの向きが右巻きのバネと左巻きのバネで逆になるよ
うにしてあるために、上記のようなトルクを打ち消すこ
とになる。

【００２４】

【実施例】実施例１．以下、この発明の実施例を図につ
いて説明する。図５の従来のレーザ発振器の構成を示す
斜視図、図６の従来のレーザ発振器における１つのレー
ザ光反射手段の構成を示す断面図、図９の従来のレーザ
発振器における共振器光路を含む発振器の長手方向の垂
直断面を示す模式図は、この発明の実施例のものと同様
であり、ここではその説明を省略する。

【００２５】図１は第１の発明の実施例であるレーザ発
振器における調整板の角度調整機構を示す説明図で、
又、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は断面図であり、
図７と同一符号は同一又は相当部分を示しており、その
詳細な説明は省略する。図１に示される第１の発明の実
施例のレーザ発振器が図７に示される従来のレーザ発振
器と異なる構成は、バネ５５の個数が２個から３個とな
り、そのうちの１個のバネ５５が支点部材５０の近傍に
配置されてなる構成としたことである。

【００２６】第１の発明の実施例によるレーザ発振器で
は、支点部材５０と２つの角度調整ネジ４６の各々に対
応して何れかの近傍にもバネ５５が取り付けられている
ために、支点部材５０と光学基板３８、及び角度調整ネ
ジ４６と受け部材４９はほぼ均一な力で押え付けられる
ようになる。従って、特に支点部材５０による支点の浮
き上がりを防止することができるために、上記従来のレ
ーザ発振器で問題であった冷却水５６等の温度変化や圧
力変化、あるいはチューブ５８の配管の組立て時のばら
つき等により調整板４０の角度が変化する現象を防ぐこ
とができる。

【００２７】実施例２．図２は第２の発明の実施例であ
るレーザ発振器における調整板の角度調整機構の要部を
示す詳細図であり、図８と同一符号は同一又は相当部分
を示しており、その詳細な説明は省略する。図２に示さ
れる第２の発明の実施例のレーザ発振器が図８に示され
る従来のレーザ発振器と異なる構成は、調整板４０とバ
ネ５５の接触部６３との間にスラスト軸受け６４が挿入
されており、バネ５５は調整板４０とバネ５５の接触部
６３において円周方向の回転がフリーに動き得るように
構成されていることである。従って、バネ５５の温度が
上昇したとしてもバネ５５の接触部６３は摩擦力が非常
に小さいので、バネロッド６０と調整板４０の間に発生
するねじりのトルクも非常に小さく、このねじりのトル
クは、バネ５５による引き付け力による支点部材５０と
光学基板３８の間、及び受け部材４９と角度調整ネジ４
６の間の摩擦力よりも大きくなることはなくなり、その
ために、調整板４０が光学基板３８に対して回転するこ
となく、調整板４０の角度を安定化した構成とすること
ができる。

【００２８】なお、上記第２の発明の実施例では調整板
４０とバネ５５の接触部６３との間にスラスト軸受け６
４を挿入した構成のものについて説明したが、バネロッ
ド６０とバネ５５の接触部６２との間にスラスト軸受け
６４を挿入した構成としても良く、もちろんバネ５５の
両方の接触部６２，６３にスラスト軸受け６４を挿入し
た構成としても良く、上記第２の発明の実施例と同様の
効果を奏する。

【００２９】又、上記第２の発明の実施例では調整板４
０とバネ５５の接触部６３との間にスラスト軸受け６４
を挿入した構成のものについて説明したが、バネ５５の
接触部６３に挿入する部品はこの接触部６３の摩擦を低
減するような部材であれば良く、例えば硬度のある金属
やテフロン等の合成樹脂製のワッシャでも良く、上記第
２の発明の実施例と同様の効果を奏する。

【００３０】実施例３．図３は第３の発明の実施例であ
るレーザ発振器における調整板の角度調整機構を示す説
明図で、又、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は断面図
であり、図７と同一符号は同一又は相当部分を示してお
り、その詳細な説明は省略する。図３に示される第３の
発明の実施例のレーザ発振器が図７に示される従来のレ
ーザ発振器と異なる構成は、２つのバネ５５のうちで１
つは右巻きのバネ５５ａとなし、１つは左巻きのバネ５
５ｂとなし、各々の巻き方向が異なるような構成とした
ことである。従って、バネ５５の温度が上昇した場合に
も、右巻きのバネ５５ａと左巻きのバネ５５ｂでそれぞ
れ発生するトルクが逆向きとなり、お互いに打ち消し合
って調整板４０が光学基板３８に対して回転することな
く、そのために、調整板４０の角度を安定化した構成と
することができる。

【００３１】なお、上記第３の発明の実施例では２つの
バネ５５である右巻きのバネ５５ａと左巻きのバネ５５
ｂをそれぞれ別個に配置した構成のものについて説明し
たが、図４の第３の発明の他の実施例であるレーザ発振
器における調整板の角度調整機構の要部を示す詳細図に
あるように、各々の巻き方向が異なる右巻きのバネ５５
ａと左巻きのバネ５５ｂは、それぞれのお互いの端部を
重ねてなる構成としても良く、上記第３の発明の実施例
と同様の効果を奏する。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、第１の発明のレーザ発振
器によれば、調整板の角度調整機構を、光学基板と調整
板の相対位置を決定する１つの支点部材と２つの角度調
整ネジと３つのバネにより構成し、この３つのバネを１
つの支点部材と２つの角度調整ネジにそれぞれ対応して
取り付けてなる構成としたので、レーザ光のポインティ
ング（位置精度）の安定性が優れたレーザ発振器を提供
することができるという効果を奏する。

【００３３】又、第２の発明のレーザ発振器によれば、
調整板の角度調整機構を光学基板と調整板の相対位置を
決定する１つの支点部材と２つの角度調整ネジと３つの
バネにより構成し、このバネと調整板又はこの調整板に
固定された部品の接触部か、あるいはバネと光学基板又
はこの光学基板に固定された部品の接触部かの少なくと
も一方の接触部に、当該接触部の摩擦を低減する部材を
挿入してなる構成としたので、レーザ光のポインティン
グ（位置精度）の安定性が優れたレーザ発振器を提供す
ることができるという効果を奏する。

【００３４】又、第３の発明のレーザ発振器によれば、
調整板の角度調整機構を、光学基板と調整板の相対位置
を決定する１つの支点部材と２つの角度調整ネジと３つ
のバネにより構成し、この３つのバネを、少なくとも１
つは右巻きのバネで、少なくとも１つは左巻きのバネ
で、少なくとも１つは右巻き又は左巻きのバネで構成し
たので、レーザ光のポインティング（位置精度）の安定
性が優れたレーザ発振器を提供することができるという
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の発明の実施例であるレーザ発振器におけ
る調整板の角度調整機構を示す説明図である。

【図２】第２の発明の実施例であるレーザ発振器におけ
る調整板の角度調整機構の要部を示す詳細図である。

【図３】第３の発明の実施例であるレーザ発振器におけ
る調整板の角度調整機構を示す説明図である。

【図４】第３の発明の他の実施例であるレーザ発振器に
おける調整板の角度調整機構の要部を示す詳細図であ
る。

【図５】従来のレーザ発振器の構成を示す斜視図であ
る。

【図６】従来のレーザ発振器における１つのレーザ光反
射手段の構成を示す断面図である。

【図７】従来のレーザ発振器における調整板の角度調整
機構を示す説明図である。

【図８】従来のレーザ発振器における調整板の角度調整
機構の要部を示す詳細図である。

【図９】従来のレーザ発振器における共振器光路を含む
発振器の長手方向の垂直断面を示す模式図である。

【図１０】従来のレーザ発振器における調整板の角度調
整機構で使用するバネを示す斜視図である。

【符号の説明】

２ レーザ光 ４ 放電電極 ６ ブロア（送風機） ８ 熱交換器 １０ 筺体 １２ａ レーザ光反射手段 １２ｂ レーザ光反射手段 １４ アパーチャ １５ アパーチャ １８ 励起領域 ２０ 第１の光軸 ２２ 第２の光軸 ２４ 第３の光軸 ２６ 全反射鏡 ２８ 全反射鏡 ３０ 全反射鏡 ３２ 部分反射鏡 ３６ 光学基台 ３８ 光学基板 ４０ 調整板 ４２ 調整板 ４４ 連結棒 ４６ 角度調整ネジ ４７ ネジ部 ４８ Ｏリング ４９ 受け部材 ５０ 支点部材 ５１ａ 穴 ５１ｂ 穴 ５２ 継ぎ手 ５４ ベローズ ５５ バネ ５５ａ バネ ５５ｂ バネ ５６ 冷却水 ５８ チューブ ６０ バネロッド ６２ 接触部 ６３ 接触部 ６４ スラスト軸受け

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年６月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筺体と、この筺体に取り付けられて筺体
   間内部を真空に保持する光学基体と、この光学基体に取
   り付けられて上記筺体間内部に配置される調整板と、こ
   の調整板に固定された共振器ミラーと、上記調整板を光
   学基体に取り付けるための部材であって、上記光学基体
   に対する上記調整板の角度を調整する第１、第２角度調
   整ネジ及び第１支点部材を備えた角度調整手段と、これ
   ら第１、第２角度調整ネジ及び第１支点部材に各々対応
   して設けられた、第１乃至第３のバネとを備えたことを
   特徴とするレーザ発振器。
2. 【請求項２】 筺体と、この筺体に取り付けられて筺体
   間内部を真空に保持する光学基体と、この光学基体に取
   り付けられて上記筺体間内部に配置される調整板と、こ
   の調整板に固定された共振器ミラーと、上記調整板を光
   学基体に取り付けるための部材であって、上記光学基体
   に対する上記調整板の角度を調整する第１、第２角度調
   整ネジ及び第１支点部材を備えた角度調整手段と、これ
   ら第１、第２角度調整ネジ及び第１支点部材に各々対応
   して設けられた、第１乃至第３のバネと、このバネの一
   端に設けられ、このバネと接触する部材間の摩擦を低減
   する部材とを備えたことを特徴とするレーザ発振器。
3. 【請求項３】 筺体と、この筺体に取り付けられて筺体
   間内部を真空に保持する光学基体と、この光学基体に取
   り付けられて上記筺体間内部に配置される調整板と、こ
   の調整板に固定された共振器ミラーと、上記調整板を光
   学基体に取り付けるための部材であって、上記光学基体
   に対する上記調整板の角度を調整する第１、第２角度調
   整ネジ及び第１支点部材を備えた角度調整手段と、これ
   ら第１、第２角度調整ネジ及び第１支点部材に各々対応
   して設けられた、右巻きの第１のバネ、左巻きの第２の
   バネ、及び右巻き又は左巻きの第３のバネとを備えたこ
   とを特徴とするレーザ発振器。