JPH02109383A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH02109383A JPH02109383A JP26226788A JP26226788A JPH02109383A JP H02109383 A JPH02109383 A JP H02109383A JP 26226788 A JP26226788 A JP 26226788A JP 26226788 A JP26226788 A JP 26226788A JP H02109383 A JPH02109383 A JP H02109383A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- supporting point
- fulcrum
- holder
- reflecting mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/086—One or more reflectors having variable properties or positions for initial adjustment of the resonator
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は反射鏡の角度調整機構を改良したガスレーザ
発振器に関するものである。
発振器に関するものである。
［従来の技術］
第２図及び第３図は特開昭６０−２５４６８４号公報に
示されたレーザ発振器に準するものの概略構成図および
第１図の部分反射鏡側端部の縦断面図である。第２図、
第３図において、１は真空容器、２は真空容器１内の中
央部に設けられた放電電極、３および４は真空容器１内
の一端部および他端部内にそれぞれ設けられたレーザ光
反射部、５は放電電極２間に形成された放電空間、６お
よび７はレーザ光反射部３の全反射鏡および内部反射鏡
、８および９はレーザ光反射部４の部分反射鏡および内
部反射鏡である。１０は真空容器１の筐体、１１は一端
が筐体１０の端部に連結されたべ〜ローズ、１２はべ■
ローズ１１の他端に連結されたこれとともに真空容器ｌ
のレーザ光反射部４（！ｌ！１部を構成する光学基板、
１３は光学基板１２を筐体１０に軸方向移動可能に支持
する支持棒、１４および１５は光学基板１２に部分反射
鏡８および内部反射鏡９をそれぞれ保持するホルダであ
り、これによって第２図の右端部にレーザ光反射部４が
構成されている。なお、図示省略したが第３図の左端部
のレーザ光反射部３も右端部のレーザ光反射部４とほぼ
同様に構成されている。また、１６はレーザ光である。
示されたレーザ発振器に準するものの概略構成図および
第１図の部分反射鏡側端部の縦断面図である。第２図、
第３図において、１は真空容器、２は真空容器１内の中
央部に設けられた放電電極、３および４は真空容器１内
の一端部および他端部内にそれぞれ設けられたレーザ光
反射部、５は放電電極２間に形成された放電空間、６お
よび７はレーザ光反射部３の全反射鏡および内部反射鏡
、８および９はレーザ光反射部４の部分反射鏡および内
部反射鏡である。１０は真空容器１の筐体、１１は一端
が筐体１０の端部に連結されたべ〜ローズ、１２はべ■
ローズ１１の他端に連結されたこれとともに真空容器ｌ
のレーザ光反射部４（！ｌ！１部を構成する光学基板、
１３は光学基板１２を筐体１０に軸方向移動可能に支持
する支持棒、１４および１５は光学基板１２に部分反射
鏡８および内部反射鏡９をそれぞれ保持するホルダであ
り、これによって第２図の右端部にレーザ光反射部４が
構成されている。なお、図示省略したが第３図の左端部
のレーザ光反射部３も右端部のレーザ光反射部４とほぼ
同様に構成されている。また、１６はレーザ光である。
次に、以上のように構成された従来のガスレーザ発振器
の動作について説明する。
の動作について説明する。
真空容器ｌ内に設けられた放電電極２によりこれらの間
に形成した放電空間５で放電させ、真空容、７１１内に
はＣＯアのようなレーザ媒質ガスが封入されていること
で、放電空間５内に光を発生させる０発生させた光は、
全反射鏡６、内部反射鏡９．７、部分反射鏡８で反射さ
せて増幅し、部分反射鏡８からレーザ光１６として器外
に発振させる。なお、内部反射鏡９，７は放電空間５を
光軸が折り返して通過し、全反射鏡６と部分反射鏡８と
の間を往復することで、レーザ光を有効に増幅させるた
めのものである。
に形成した放電空間５で放電させ、真空容、７１１内に
はＣＯアのようなレーザ媒質ガスが封入されていること
で、放電空間５内に光を発生させる０発生させた光は、
全反射鏡６、内部反射鏡９．７、部分反射鏡８で反射さ
せて増幅し、部分反射鏡８からレーザ光１６として器外
に発振させる。なお、内部反射鏡９，７は放電空間５を
光軸が折り返して通過し、全反射鏡６と部分反射鏡８と
の間を往復することで、レーザ光を有効に増幅させるた
めのものである。
上記のようなガスレーザ発振器では第３図ないし第５図
に示すように、内部反射鏡９のホルダ１５が光学基板１
２の内側に角度調整機構１７により調整可能に取り付け
られている。調整機構１７は、正方形状のホルダ１５の
３隅部と、これらの隅部と対向する光学基板１２の内面
とに、棒状の支点部材１８と調整ねじを兼ねた支点部材
１９とがそれぞれねし嵌合され、支持部材１．８．１９
が当接する支点受け２０が光学基板１２とホルダ１５と
にそれぞれ固定され、さらにホルダ１５に支点受け２０
に近い位置に配設した２本のねじ２１とばね２２とによ
って光学基板１２にフローティング支持されている。な
お、第５図中、２３は調整ねじを烹ねた支点部材１８と
光学基板１２との間をシールするための０リングである
。
に示すように、内部反射鏡９のホルダ１５が光学基板１
２の内側に角度調整機構１７により調整可能に取り付け
られている。調整機構１７は、正方形状のホルダ１５の
３隅部と、これらの隅部と対向する光学基板１２の内面
とに、棒状の支点部材１８と調整ねじを兼ねた支点部材
１９とがそれぞれねし嵌合され、支持部材１．８．１９
が当接する支点受け２０が光学基板１２とホルダ１５と
にそれぞれ固定され、さらにホルダ１５に支点受け２０
に近い位置に配設した２本のねじ２１とばね２２とによ
って光学基板１２にフローティング支持されている。な
お、第５図中、２３は調整ねじを烹ねた支点部材１８と
光学基板１２との間をシールするための０リングである
。
調整機構１７が上記のように構成されているので、ホル
ダ１５は光学基板１２との間に距離を保って真空容器ｌ
内に保持され、大気側にある調整ねじを蓋ねた支点部材
１８のつまみ１．８ ａを持って支持部材１８を回動さ
せることにより、ホルダ１５を介して内部反射鏡９の角
度が調整される。
ダ１５は光学基板１２との間に距離を保って真空容器ｌ
内に保持され、大気側にある調整ねじを蓋ねた支点部材
１８のつまみ１．８ ａを持って支持部材１８を回動さ
せることにより、ホルダ１５を介して内部反射鏡９の角
度が調整される。
そして、支点受け２０は第６図（ａ）に示すように配置
しており、ホルダ１５の光学基板１２に対する水平方向
の位置決めは、２本のねじ２１とばね２２とによって行
っていたので、ずれを生じることがあった。
しており、ホルダ１５の光学基板１２に対する水平方向
の位置決めは、２本のねじ２１とばね２２とによって行
っていたので、ずれを生じることがあった。
そこで、第６図（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｆ ）に示
すように、水平方向の■溝２０ａ、円錐状の凹み２０ｂ
、平面の受け面がある３種類の支点受け２０を用いるこ
とにより、ホルダ１５の回転および上下。
すように、水平方向の■溝２０ａ、円錐状の凹み２０ｂ
、平面の受け面がある３種類の支点受け２０を用いるこ
とにより、ホルダ１５の回転および上下。
左右方向の位置ずれを防止すると共に、ホルダ１５の熱
膨張による位置ずれも支点受け２０のＶ溝２０ａ方向に
逃がせるようにしたものが提案されている。
膨張による位置ずれも支点受け２０のＶ溝２０ａ方向に
逃がせるようにしたものが提案されている。
［発明が解決しようとするｔＪＡＢ１
従来のレーザ発振器は、以上のように構成され、３種類
の支点受けを有する角度調整機構では、調整ねじを兼ね
た支点部材を回動させて内部反射鏡の角度調整を行う時
に、重力の影響によって支点部材の先端部が支点受けの
■溝の奥に入り込まず、第６図（ｅ）に示すように位置
ずれし、この場合には調整ねじを兼ねた支点部材の回動
によって働く力がホルダに対し垂直方向のみではなく、
水平方向にも作用し、また、振動やホルダの熱膨張によ
って支点部材が支点受けのＶ溝に当接する位置がずれ、
ホルダに保持された反射鏡の角度調整がむずかしく、ま
た反射鏡の角度ずれによってレーザ発振器の出力が不安
定になるという問題点があった。
の支点受けを有する角度調整機構では、調整ねじを兼ね
た支点部材を回動させて内部反射鏡の角度調整を行う時
に、重力の影響によって支点部材の先端部が支点受けの
■溝の奥に入り込まず、第６図（ｅ）に示すように位置
ずれし、この場合には調整ねじを兼ねた支点部材の回動
によって働く力がホルダに対し垂直方向のみではなく、
水平方向にも作用し、また、振動やホルダの熱膨張によ
って支点部材が支点受けのＶ溝に当接する位置がずれ、
ホルダに保持された反射鏡の角度調整がむずかしく、ま
た反射鏡の角度ずれによってレーザ発振器の出力が不安
定になるという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、レーザ光を発振するための光軸合せ、すな
わち反射鏡の角度調整が短時間で簡単にできるとともに
、反射鏡の角度ずれをなくすことができる角度調整機構
を用いることにより、出力の安定度が高いガスレーザ発
振器を得ることを目的としている。
れたもので、レーザ光を発振するための光軸合せ、すな
わち反射鏡の角度調整が短時間で簡単にできるとともに
、反射鏡の角度ずれをなくすことができる角度調整機構
を用いることにより、出力の安定度が高いガスレーザ発
振器を得ることを目的としている。
［課題を解決するための手段］
この発明に係るガスレーザ発振器は、反射鏡の角度調整
機構に３対の支点部材と支点受けとを設け、これらの支
点受けを平面、■溝１円錐状の凹みの受け面がある３種
類とし、■溝がある支点受けの■溝を鉛直方向に配置し
たものである。
機構に３対の支点部材と支点受けとを設け、これらの支
点受けを平面、■溝１円錐状の凹みの受け面がある３種
類とし、■溝がある支点受けの■溝を鉛直方向に配置し
たものである。
［作 用］
この発明におけるガスレーザ発振器は、調整機横による
反射鏡の角度調整時に支点受けの■澗が鉛直方向であり
、重力の方向と同一であることにより、支点部材を上記
■溝の最深位置まで入り込ませて接触させることが簡単
にできる。
反射鏡の角度調整時に支点受けの■澗が鉛直方向であり
、重力の方向と同一であることにより、支点部材を上記
■溝の最深位置まで入り込ませて接触させることが簡単
にできる。
［実施例１
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例による内部反射鏡の
ホルダとその角度調整機構の支点受けとを示す。
ホルダとその角度調整機構の支点受けとを示す。
第１図（ａ）において、１５は内部反射鏡のホルダ、２
０は支点受けであり、支点受け２０は支点部材の受け而
が平面のもの、円錐状の凹み２０ａであるもの、■満２
０ｂであるものの３種類が、ホルダ１５の右、左下部、
左上部に対して配置され、さらに■溝２０ｂが鉛直方向
に配置されている。なおこの実施例の上述した以外の構
成および基本動作は、第１図ないし第５図、第６図（ｂ
）。
０は支点受けであり、支点受け２０は支点部材の受け而
が平面のもの、円錐状の凹み２０ａであるもの、■満２
０ｂであるものの３種類が、ホルダ１５の右、左下部、
左上部に対して配置され、さらに■溝２０ｂが鉛直方向
に配置されている。なおこの実施例の上述した以外の構
成および基本動作は、第１図ないし第５図、第６図（ｂ
）。
（ｃ）、（ｄ）、（ｆ）に示すガスレーザ発振器と同様
である。
である。
次に、この実施例の作用について説明する。第１図（ａ
）に示すように、３ｆｌｌの支点受けを配置した角度調
整機構は、支点受け２０のＶ溝２０ｂが鉛直方向に配置
され、重力の方向と同一であるため、調整ねじを兼ねた
支点部材を回動させた場合に、その先端部のＶ溝２０ｂ
左２右側面に対する当りが第６図（ｄ）に示すように左
、右均等となり、このため支点部材の回動による力は押
付力のみとなる。また、これは■溝２０ｂの最深位置に
支点部材の先端部が入り込んで当接することになるので
、振動による位置ずれが生ずる恐れがない。
）に示すように、３ｆｌｌの支点受けを配置した角度調
整機構は、支点受け２０のＶ溝２０ｂが鉛直方向に配置
され、重力の方向と同一であるため、調整ねじを兼ねた
支点部材を回動させた場合に、その先端部のＶ溝２０ｂ
左２右側面に対する当りが第６図（ｄ）に示すように左
、右均等となり、このため支点部材の回動による力は押
付力のみとなる。また、これは■溝２０ｂの最深位置に
支点部材の先端部が入り込んで当接することになるので
、振動による位置ずれが生ずる恐れがない。
さらに、熱による光学基板の膨張に対しても歪みを逃が
すことができる。
すことができる。
第１図（ｂ）はこの発明の他の実施例を示し、この実施
例では、第１図（ａ）に示すものと３種類の支点受けの
配置が相違しているが、第１図（ａ）に示す実施例のも
のと同様な作用および効果が得られる。
例では、第１図（ａ）に示すものと３種類の支点受けの
配置が相違しているが、第１図（ａ）に示す実施例のも
のと同様な作用および効果が得られる。
なお、上記実施例では、部分反射鏡側の内部反射鏡の角
度調整機構のみについて説明したが、この発明は全反射
鏡側の内部反射鏡にも適用でき、この場合にも実施例の
ものと同様な効果が得られる。また、この発明において
、真空容器外から角度調整ができるようにすれば、支点
部材と支点受けとは光学基板と反射鏡のホルダとのどち
らに取り付けてもよい。
度調整機構のみについて説明したが、この発明は全反射
鏡側の内部反射鏡にも適用でき、この場合にも実施例の
ものと同様な効果が得られる。また、この発明において
、真空容器外から角度調整ができるようにすれば、支点
部材と支点受けとは光学基板と反射鏡のホルダとのどち
らに取り付けてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、真空容器内に
設けられた反射鏡の角度調整機構に設けた３つの支点部
材が当接する支点受けを、平面。
設けられた反射鏡の角度調整機構に設けた３つの支点部
材が当接する支点受けを、平面。
ＶｉＬ 円錐状の凹みの受け面がある３種類とし、支点
受けのＶ ｉ１４を鉛直方向に配置したことにより、レ
ーザ光を発振するための光軸合せ、すなわち反射鏡の角
度調整が短時間で簡単にでき、また反射鏡の角度ずれを
なくすことができて、出力の安定度が高いガスレーザ発
振器が得られるという効果がある。
受けのＶ ｉ１４を鉛直方向に配置したことにより、レ
ーザ光を発振するための光軸合せ、すなわち反射鏡の角
度調整が短時間で簡単にでき、また反射鏡の角度ずれを
なくすことができて、出力の安定度が高いガスレーザ発
振器が得られるという効果がある。
第１図（ａ）および（ｂ）はこの発明によるガスレーザ
発振器の内部反射鏡のホルダとその角度調整機構の支点
受けとを示す一実施例および他の実施例の構成図、第２
図は従来のガスレーザ発振器の概略構成図、第３図は同
部分反射鏡側端部の縦断面図、第４図は同内部反射鏡の
角度調整機構を示すホルダの正面図、第５図は第４図の
■−■線断面図、第６図（ａ）゛および（ｂ）は従来の
内部反射鏡のホルダとその角度調整機構の支点受けとを
示す一例及び他側の構成図、第６図（ｃ ）＋ （ｄ
）＋ （ｅ ）。 （ｆ）は角度調整機構の支点部材と支点受けとを示す互
いに異なった説明図である。 １・・・真空容器、２・・・放電電極、６・・・全反射
鏡、７．９・・・内部反射鏡、８・・・部分反射鏡、１
２・・・光学基板、１５・・・内部反射鏡のホルダ、１
６・・・レーザ光、１７・・・角度調整機構、１８・・
・支点部材、１９・・・調整ねじを兼ねた支点部材、２
０・・・支点受け、２０ａ・・・円錐状の凹み、２０ｂ
・・・■溝、２１・・・ねじ、２２・・・ばね。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
発振器の内部反射鏡のホルダとその角度調整機構の支点
受けとを示す一実施例および他の実施例の構成図、第２
図は従来のガスレーザ発振器の概略構成図、第３図は同
部分反射鏡側端部の縦断面図、第４図は同内部反射鏡の
角度調整機構を示すホルダの正面図、第５図は第４図の
■−■線断面図、第６図（ａ）゛および（ｂ）は従来の
内部反射鏡のホルダとその角度調整機構の支点受けとを
示す一例及び他側の構成図、第６図（ｃ ）＋ （ｄ
）＋ （ｅ ）。 （ｆ）は角度調整機構の支点部材と支点受けとを示す互
いに異なった説明図である。 １・・・真空容器、２・・・放電電極、６・・・全反射
鏡、７．９・・・内部反射鏡、８・・・部分反射鏡、１
２・・・光学基板、１５・・・内部反射鏡のホルダ、１
６・・・レーザ光、１７・・・角度調整機構、１８・・
・支点部材、１９・・・調整ねじを兼ねた支点部材、２
０・・・支点受け、２０ａ・・・円錐状の凹み、２０ｂ
・・・■溝、２１・・・ねじ、２２・・・ばね。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- ・励起媒質から生じた光エネルギを複数枚の反射鏡によ
って反射させながらレーザ光を発振させる共振器と、レ
ーザ媒質ガスを封入した真空容器とを有し、上記反射鏡
の少なくとも１枚を上記真空容器内に設けたガスレーザ
発振器において、真空容器内に設けた少なくとも１枚の
反射鏡の角度調整機構に３対の支点部材と支点受けとを
設け、これらの支点受けを平面，Ｖ溝，円錐状の凹みの
受け面がある３種類とし、Ｖ溝がある支点受けのＶ溝を
鉛直方向に配置したことを特徴とするガスレーザ発振器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26226788A JPH02109383A (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26226788A JPH02109383A (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02109383A true JPH02109383A (ja) | 1990-04-23 |
Family
ID=17373415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26226788A Pending JPH02109383A (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02109383A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0582867A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JPH05183219A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP26226788A patent/JPH02109383A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0582867A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| JPH05183219A (ja) * | 1991-12-27 | 1993-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
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