JPH0518378A - ２段スクリユー真空ポンプ - Google Patents
２段スクリユー真空ポンプInfo
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- JPH0518378A JPH0518378A JP40167490A JP40167490A JPH0518378A JP H0518378 A JPH0518378 A JP H0518378A JP 40167490 A JP40167490 A JP 40167490A JP 40167490 A JP40167490 A JP 40167490A JP H0518378 A JPH0518378 A JP H0518378A
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- JP
- Japan
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- pressure
- stage
- pump
- stage pump
- suction port
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Links
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 中間通路の中間圧の上昇を抑え、駆動トルク
の低減をはかる２段スクリューポンプの提供。 【構成】 真空容器２１は、前段ポンプ２２の前段吸込
口２７に接続され、吐出口２８は中間通路２３により後
段ポンプ２４の後段吸込口２９に接続される。中間通路
２３を前段ポンプの吸込口に連通する連通通路３１に開
閉弁３３を設ける。駆動機２５の出力軸には、増速ギヤ
２６が設けられ、それは雄ロータ７Ａ，７Ｂに連係され
ている。真空容器２１内の気体は、前役ポンプ、中間通
路２３及び後段ポンプを介して後段吐出口３０から吐出
され、真空容器２１内が高真空度に維持される。前段ポ
ンプの吸込口に圧力スイッチ３２を設け、所定圧力以上
の圧力を検出したときに開閉弁３３を開き、所定圧力以
下の圧力を検出したときに閉じる。
の低減をはかる２段スクリューポンプの提供。 【構成】 真空容器２１は、前段ポンプ２２の前段吸込
口２７に接続され、吐出口２８は中間通路２３により後
段ポンプ２４の後段吸込口２９に接続される。中間通路
２３を前段ポンプの吸込口に連通する連通通路３１に開
閉弁３３を設ける。駆動機２５の出力軸には、増速ギヤ
２６が設けられ、それは雄ロータ７Ａ，７Ｂに連係され
ている。真空容器２１内の気体は、前役ポンプ、中間通
路２３及び後段ポンプを介して後段吐出口３０から吐出
され、真空容器２１内が高真空度に維持される。前段ポ
ンプの吸込口に圧力スイッチ３２を設け、所定圧力以上
の圧力を検出したときに開閉弁３３を開き、所定圧力以
下の圧力を検出したときに閉じる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行な２軸の回りを互
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータ
と、これら両ロータを収め吸込口吐出口を備えたケーシ
ングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段
ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連
通したスクリュー真空ポンプに関する。
いに噛み合って回転する一対の雄ロータ及び雌ロータ
と、これら両ロータを収め吸込口吐出口を備えたケーシ
ングとからなる前段ポンプと後段ポンプとを設け、前段
ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを中間通路で連
通したスクリュー真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図３を参照してスクリュー真空ポ
ンプを説明する。
ンプを説明する。
【０００３】図において、主ケージング１と吐出ケーシ
ング２とで形成された空腔内には、雄スクリューロータ
７（雌スクリューロータは図示していない）が軸受５
ａ、５ｂにより回転自在に支持されており、軸シール６
ａ、６ｂにより軸受５ａ、５ｂの潤滑油からシールされ
ている。
ング２とで形成された空腔内には、雄スクリューロータ
７（雌スクリューロータは図示していない）が軸受５
ａ、５ｂにより回転自在に支持されており、軸シール６
ａ、６ｂにより軸受５ａ、５ｂの潤滑油からシールされ
ている。
【０００４】その雄スクリューロータ７の一端には、両
ロータに微小隙間を設けて同時回転させるタイミングギ
ヤ１０が設けられ、このロータ７は図示しない増速装置
を介して図示しない電動機で高速回転されるようになっ
ている。
ロータに微小隙間を設けて同時回転させるタイミングギ
ヤ１０が設けられ、このロータ７は図示しない増速装置
を介して図示しない電動機で高速回転されるようになっ
ている。
【０００５】そして、吸込口８ａより吸込まれた気体
は、吸込ポート８ｂを通り両ロータで形成される歯溝空
間に吸込まれ、圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介し、
吐出口９ａから吐出されるようになっている。
は、吸込ポート８ｂを通り両ロータで形成される歯溝空
間に吸込まれ、圧縮過程を経て吐出ポート９ｂを介し、
吐出口９ａから吐出されるようになっている。
【０００６】図１は本願の発明を実施する２段スクリュ
ー真空ポンプを示す図面であるが、本願の発明を良く理
解するために、そのうちの公知部分について説明する。
ー真空ポンプを示す図面であるが、本願の発明を良く理
解するために、そのうちの公知部分について説明する。
【０００７】図において、真空容器２１は、前段ポンプ
２２の前段吸込口２７に接続され、その前段ポンプ２２
の前段吐出口２８は、中間通路２３により後段ポンプ２
４の後段吸込口２９に接続されている。
２２の前段吸込口２７に接続され、その前段ポンプ２２
の前段吐出口２８は、中間通路２３により後段ポンプ２
４の後段吸込口２９に接続されている。
【０００８】他方、駆動機２５の出力軸には、増速ギヤ
２６が設けられ、その増速ギヤ２６は、両ポンプＡ１、
Ａ２の雄ロータ７Ａ、７Ｂに連係されている。
２６が設けられ、その増速ギヤ２６は、両ポンプＡ１、
Ａ２の雄ロータ７Ａ、７Ｂに連係されている。
【０００９】そして、真空容器２１内の気体は、前段ポ
ンプ２２、中間通路２３及び後段ポンプ２４を介し後段
吐出口３０から吐出され、真空容器２１内が高真空度に
維持されるようになっている。
ンプ２２、中間通路２３及び後段ポンプ２４を介し後段
吐出口３０から吐出され、真空容器２１内が高真空度に
維持されるようになっている。
【００１０】このような２段スクリュー真空ポンプにお
いては、定常運転状態で前段ポンプ２２の吸込圧力は、
１０-2〜１０-3ｔｏｒｒに達し、中間通路２３内の圧力
（これは前段ポンプ２２の背圧であり、後段ポンプ２４
の吸込圧でもある）は、約１〜２０ｔｏｒｒであり、後
段ポンプ２４の吐出圧は、大気圧である。したがって、
前段ポンプ２２に吸込まれた気体の体積は、中間通路２
３では、１／１００以下に圧縮されることになる。その
ため、吸込圧の低い稀薄な気体を吸込む前段ポンプ２２
は、より多くの気体を取り込めるように、排気速度を大
きくし、他方、後段ポンプ２４は、小量の気体を排気す
ればよいことと、全体の小型化のために、前段ポンプ２
２の１５〜７０％の小さな排気速度にされている。
いては、定常運転状態で前段ポンプ２２の吸込圧力は、
１０-2〜１０-3ｔｏｒｒに達し、中間通路２３内の圧力
（これは前段ポンプ２２の背圧であり、後段ポンプ２４
の吸込圧でもある）は、約１〜２０ｔｏｒｒであり、後
段ポンプ２４の吐出圧は、大気圧である。したがって、
前段ポンプ２２に吸込まれた気体の体積は、中間通路２
３では、１／１００以下に圧縮されることになる。その
ため、吸込圧の低い稀薄な気体を吸込む前段ポンプ２２
は、より多くの気体を取り込めるように、排気速度を大
きくし、他方、後段ポンプ２４は、小量の気体を排気す
ればよいことと、全体の小型化のために、前段ポンプ２
２の１５〜７０％の小さな排気速度にされている。
【００１１】したがって、１台の駆動機２５で、前後段
ポンプ２２、２４を大気圧から起動する場合には、前段
ポンプ２２から中間通路２３に排出される気体量より後
段ポンプ２４が排出する気体量が少ないので、中間通路
２３の圧力が大気圧以上に上昇し、前後段ポンプ２２、
２４とも駆動トルクが著しく増加する。また、そのとき
生じる圧縮熱により異常な温度上昇が起こり、各部材に
損傷が生じることがある。これは、前後段ポンプ２２、
２４をそれぞれ別個の駆動機で駆動する場合でも、同様
である。
ポンプ２２、２４を大気圧から起動する場合には、前段
ポンプ２２から中間通路２３に排出される気体量より後
段ポンプ２４が排出する気体量が少ないので、中間通路
２３の圧力が大気圧以上に上昇し、前後段ポンプ２２、
２４とも駆動トルクが著しく増加する。また、そのとき
生じる圧縮熱により異常な温度上昇が起こり、各部材に
損傷が生じることがある。これは、前後段ポンプ２２、
２４をそれぞれ別個の駆動機で駆動する場合でも、同様
である。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】これに対し、両ポンプ
２２、２４を別個の駆動機で駆動する場合には、先ず、
後段ポンプ２４を起動し、前段ポンプ２２の吸込圧と背
圧とが所定の圧力以後下になったのちに、前段ポンプ２
２を起動する方法が採られている。
２２、２４を別個の駆動機で駆動する場合には、先ず、
後段ポンプ２４を起動し、前段ポンプ２２の吸込圧と背
圧とが所定の圧力以後下になったのちに、前段ポンプ２
２を起動する方法が採られている。
【００１３】１台の駆動機２５で両ポンプ２２、２４を
駆動する場合には、両ポンプ２２、２４のタイミングを
ずらして起動するために、例えば前段ポンプ２２の動力
伝達手段として電磁クラッチなどを設け、タイミングを
計って電磁クラッチを接続している。したがって、構造
が複雑でコストが高く、大型になる。
駆動する場合には、両ポンプ２２、２４のタイミングを
ずらして起動するために、例えば前段ポンプ２２の動力
伝達手段として電磁クラッチなどを設け、タイミングを
計って電磁クラッチを接続している。したがって、構造
が複雑でコストが高く、大型になる。
【００１４】また、大気圧を吸入して中間通路２３の中
間圧が高くなったときに開く開閉弁を設け、中間通路２
３の大気を大気に開放するか、又は後段ポンプ２４の吐
出管に排出するようにしている技術が知られている（実
公平２−７２６８号公報、実公平２−２９２５９号公
報）。しかし、この公知技術では、排出先が大気圧なの
で、中間通路２３の圧力を大気圧以下にすることができ
ないので、駆動トルクの低減効果が充分ではない。
間圧が高くなったときに開く開閉弁を設け、中間通路２
３の大気を大気に開放するか、又は後段ポンプ２４の吐
出管に排出するようにしている技術が知られている（実
公平２−７２６８号公報、実公平２−２９２５９号公
報）。しかし、この公知技術では、排出先が大気圧なの
で、中間通路２３の圧力を大気圧以下にすることができ
ないので、駆動トルクの低減効果が充分ではない。
【００１５】本発明は、上記した問題に鑑みてなされた
もので、中間圧の上昇を抑え、駆動トルクを低減する２
段スクリュー真空ポンプを提供することを目的としてい
る。
もので、中間圧の上昇を抑え、駆動トルクを低減する２
段スクリュー真空ポンプを提供することを目的としてい
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、平行な
２軸の回りを互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ
及び雌ロータと、これら両ロータを収め吸込口吐出口を
備えたケーシングとからなる前段ポンプと後段ポンプと
を設け、前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを
中間通路で連通したスクリュー真空ポンプにおいて、前
記中間通路と前記前段ポンプの吸込口とを連通する連通
通路を設け、該連通通路に前記前段ポンプの吸込口の圧
力が所定圧力より高いときに開く開閉弁を設けている。
２軸の回りを互いに噛み合って回転する一対の雄ロータ
及び雌ロータと、これら両ロータを収め吸込口吐出口を
備えたケーシングとからなる前段ポンプと後段ポンプと
を設け、前段ポンプの吐出口と後段ポンプの吸込口とを
中間通路で連通したスクリュー真空ポンプにおいて、前
記中間通路と前記前段ポンプの吸込口とを連通する連通
通路を設け、該連通通路に前記前段ポンプの吸込口の圧
力が所定圧力より高いときに開く開閉弁を設けている。
【００１７】上記前段ポンプの吸込口に、圧力スイッチ
を設け、その圧力スイッチが所定圧力以上の圧力を検出
したときに開閉弁を開き所定圧力以下の圧力を検出した
ときに閉じるように構成するのが好ましい。
を設け、その圧力スイッチが所定圧力以上の圧力を検出
したときに開閉弁を開き所定圧力以下の圧力を検出した
ときに閉じるように構成するのが好ましい。
【００１８】この所定圧力は、中間圧が上昇しても駆動
機に過負荷を与えない圧力に設定する。これは、開閉弁
３３が開いているとき中間圧は、前段ポンプ２２の吸込
圧力より、連通通路３１と開閉弁３３の抵抗分だけ高い
圧力になっており、開閉弁３３を閉じると、中間通路２
３から前段ポンプ２２に戻る気体がなくなるので、中間
圧が一時的に上昇するからである。
機に過負荷を与えない圧力に設定する。これは、開閉弁
３３が開いているとき中間圧は、前段ポンプ２２の吸込
圧力より、連通通路３１と開閉弁３３の抵抗分だけ高い
圧力になっており、開閉弁３３を閉じると、中間通路２
３から前段ポンプ２２に戻る気体がなくなるので、中間
圧が一時的に上昇するからである。
【００１９】また、吸込圧力の低下に時間がかかり、一
部の気体が前段ポンプ２２内、中間通路２３、連通通路
３１、前段吸込口２７間を何回も循環して気体の温度が
上昇する場合には、連通通路３１に冷却装置を設けるの
が好ましい。
部の気体が前段ポンプ２２内、中間通路２３、連通通路
３１、前段吸込口２７間を何回も循環して気体の温度が
上昇する場合には、連通通路３１に冷却装置を設けるの
が好ましい。
【００２０】
【作用】上記のように構成された２段スクリュー真空ポ
ンプにおいては、起動時などに真空容器内の大気圧を吸
引する場合に、前段ポンプの吸込口の圧力が所定圧力よ
り高い時は、開閉弁を開いて中間通路の気体の一部を前
段ポンプの吸込側に戻し、中間圧の上昇を抑える。
ンプにおいては、起動時などに真空容器内の大気圧を吸
引する場合に、前段ポンプの吸込口の圧力が所定圧力よ
り高い時は、開閉弁を開いて中間通路の気体の一部を前
段ポンプの吸込側に戻し、中間圧の上昇を抑える。
【００２１】真空容器内の圧力が下がるにつれて中間圧
も低下し、開閉弁を閉じても過負荷が生じないような圧
力で開閉弁を閉じ、駆動機に過負荷がかからないように
する。
も低下し、開閉弁を閉じても過負荷が生じないような圧
力で開閉弁を閉じ、駆動機に過負荷がかからないように
する。
【００２２】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００２３】図１において、中間通路２３と前段ポンプ
２２の前段吸込口２７とを連通する連通通路３１が設け
られ、その連通通路３１には、常開の電磁開閉弁で構成
された開閉弁３３が設けられている。
２２の前段吸込口２７とを連通する連通通路３１が設け
られ、その連通通路３１には、常開の電磁開閉弁で構成
された開閉弁３３が設けられている。
【００２４】他方、前段吸込口２７には、圧力スイッチ
３２が設けられ、その圧力スイッチ３２は、電気回路３
４により開閉弁３３のソレノイド３３ａに接続されてい
る。この圧力スイッチ３２は、前段吸込口２７の圧力
が、所定圧力より低いときに、ＯＮとなって開閉弁３３
を閉じるようになっている。
３２が設けられ、その圧力スイッチ３２は、電気回路３
４により開閉弁３３のソレノイド３３ａに接続されてい
る。この圧力スイッチ３２は、前段吸込口２７の圧力
が、所定圧力より低いときに、ＯＮとなって開閉弁３３
を閉じるようになっている。
【００２５】次に、図２を参照して作用を説明する。
【００２６】図は、起動時又は定常運転時に、大気圧Ｐ
ａの真空容器２１を時間ｔｏにおいて吸引を開始した場
合の時間と圧力との関係を示している。図において、実
線ａ、ｂは、それぞれ連通通路３１がない場合の中間通
路２３の中間圧、前段ポンプ２２の吸込圧を示し、Ｐ０
は所定圧力すなわち設定圧を表している。
ａの真空容器２１を時間ｔｏにおいて吸引を開始した場
合の時間と圧力との関係を示している。図において、実
線ａ、ｂは、それぞれ連通通路３１がない場合の中間通
路２３の中間圧、前段ポンプ２２の吸込圧を示し、Ｐ０
は所定圧力すなわち設定圧を表している。
【００２７】時間ｔｏ〜ｔ１の間は、中間圧ａが大気圧
Ｐａ以上になっているため、前後段ポンプ２２、２４は
共に駆動トルクが大きくなると共に、圧縮熱による温度
上昇が大きい。特に中間圧ａが吸込圧となる後段ポンプ
２４には、内部圧縮により過大なトルクが生じ、駆動機
２５に過大な負荷がかかる。
Ｐａ以上になっているため、前後段ポンプ２２、２４は
共に駆動トルクが大きくなると共に、圧縮熱による温度
上昇が大きい。特に中間圧ａが吸込圧となる後段ポンプ
２４には、内部圧縮により過大なトルクが生じ、駆動機
２５に過大な負荷がかかる。
【００２８】これに対し、開閉弁３３を備えた連通通路
３１を設けた場合の中間圧ｄを２点鎖線で、前段ポンプ
２２の吸込圧ｃを鎖線で示すと、時間ｔｏ〜ｔ２の間
は、吸込圧ｃが設定圧Ｐ０より高いので、圧力スイッチ
３３がＯＦＦで常開の開閉弁３３は、開いている。した
がって、中間圧ｄは、吸込圧ｃより連通通路３１と開閉
弁３３との流路抵抗分だけ高い圧力で変化し、大気圧Ｐ
ａ以下になっている。
３１を設けた場合の中間圧ｄを２点鎖線で、前段ポンプ
２２の吸込圧ｃを鎖線で示すと、時間ｔｏ〜ｔ２の間
は、吸込圧ｃが設定圧Ｐ０より高いので、圧力スイッチ
３３がＯＦＦで常開の開閉弁３３は、開いている。した
がって、中間圧ｄは、吸込圧ｃより連通通路３１と開閉
弁３３との流路抵抗分だけ高い圧力で変化し、大気圧Ｐ
ａ以下になっている。
【００２９】そして、吸込圧ｃが設定Ｐ０になると、圧
力スイッチ３２がＯＮとなって開閉弁３３を閉じる。す
ると、中間圧ｄは、一時的にアップする。したがって、
設定圧Ｐ０は、このときの中間圧ｄが大気圧Ｐａになら
ないように設定されている。逆に、設定圧Ｐ０を低くし
過ぎると、中間通路２３、連通通路３１及び前段吸込口
２７の間を気体が循環する時間が長くなり、温度上昇を
生じるおそれがある。この場合には、連通通路３１に冷
却装置を設けるのが好ましい。また、連通通路３１の通
路面積は、可及的に大きくし、流路抵抗を小さくするの
が好ましい。
力スイッチ３２がＯＮとなって開閉弁３３を閉じる。す
ると、中間圧ｄは、一時的にアップする。したがって、
設定圧Ｐ０は、このときの中間圧ｄが大気圧Ｐａになら
ないように設定されている。逆に、設定圧Ｐ０を低くし
過ぎると、中間通路２３、連通通路３１及び前段吸込口
２７の間を気体が循環する時間が長くなり、温度上昇を
生じるおそれがある。この場合には、連通通路３１に冷
却装置を設けるのが好ましい。また、連通通路３１の通
路面積は、可及的に大きくし、流路抵抗を小さくするの
が好ましい。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、中間圧を大気圧以下に抑え、過大なトルク
の発生を防止して駆動トルクを低減すると共に、異常な
発熱を防止することができる。
ているので、中間圧を大気圧以下に抑え、過大なトルク
の発生を防止して駆動トルクを低減すると共に、異常な
発熱を防止することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す全体構成図。
【図２】作用を説明する圧力タイミングチャート図。
【図３】スクリュー真空ポンプを示す側断面図。
２１・・・真空容器 ２２・・・前段ポンプ ２３・・・中間通路 ２４・・・後段ポンプ ２５・・・駆動機 ２７・・・前段吸込口 ２８・・・前段吐出口 ２９・・・後段吸込口 ３０・・・後段吐出口 ３１・・・連通通路 ３２・・・圧力スイッチ ３３・・・開閉弁
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 平行な２軸の回りを互いに噛み合って回
転する一対の雄ロータ及び雌ロータと、これら両ロータ
を収め吸込口吐出口を備えたケーシングとからなる前段
ポンプと後段ポンプとを設け、前段ポンプの吐出口と後
段ポンプの吸込口とを中間通路で連通したスクリュー真
空ポンプにおいて、前記中間通路と前記前段ポンプの吸
込口とを連通する連通通路を設け、該連通通路に前記前
段ポンプの吸込口の圧力が所定圧力より高いときに開く
開閉弁を設けたことを特徴とする２段スクリュー真空ポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40167490A JPH0518378A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリユー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40167490A JPH0518378A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリユー真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518378A true JPH0518378A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=18511511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40167490A Pending JPH0518378A (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ２段スクリユー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518378A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005256845A (ja) * | 1999-11-17 | 2005-09-22 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| CN109404287A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-01 | 台州学院 | 一种螺杆真空泵的检测结构 |
-
1990
- 1990-12-12 JP JP40167490A patent/JPH0518378A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN109404287A (zh) * | 2019-01-07 | 2019-03-01 | 台州学院 | 一种螺杆真空泵的检测结构 |
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