JPS62284994A - 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 - Google Patents
多段スクリユ−真空ポンプ起動法Info
- Publication number
- JPS62284994A JPS62284994A JP12793286A JP12793286A JPS62284994A JP S62284994 A JPS62284994 A JP S62284994A JP 12793286 A JP12793286 A JP 12793286A JP 12793286 A JP12793286 A JP 12793286A JP S62284994 A JPS62284994 A JP S62284994A
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- JP
- Japan
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- pump
- stage
- vacuum pump
- pressure
- screw vacuum
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- Pending
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多段スクリュー真空ポンプに係り。
特に前段ポンプの起動トルク低減に好適な、多段スクリ
ュー真空ポンプ起動法に関する。
ュー真空ポンプ起動法に関する。
従来の多段スクリュー真空ポンプは、各段毎に駆動用モ
ータを設けていたり、あるいは１台のモータの出力軸に
設けた歯車により膜数のスクリュ＝真窒ポンプを駆動し
ていた。
ータを設けていたり、あるいは１台のモータの出力軸に
設けた歯車により膜数のスクリュ＝真窒ポンプを駆動し
ていた。
また、実開昭５９−５７８９号に示されるように。
荒引き用排気ポンプとメカニカルブースタによる真空排
気装置においては、荒引き用排気ポンプのｊＬＪに応じ
てメカニカルブースタの回転数を変化させ、メカニカル
ブースタの過負荷を防止するものもある。
気装置においては、荒引き用排気ポンプのｊＬＪに応じ
てメカニカルブースタの回転数を変化させ、メカニカル
ブースタの過負荷を防止するものもある。
スクリュー真空ポンプを、吸入圧、背圧ともに大気状態
で起動した場合、スクリュー流体機械特有の内部圧縮作
用のため、吸入圧が低下した後の運転時のｇ！Ｅ！！ト
ルクに比べ、起動トルクが非常に大きくなる。
で起動した場合、スクリュー流体機械特有の内部圧縮作
用のため、吸入圧が低下した後の運転時のｇ！Ｅ！！ト
ルクに比べ、起動トルクが非常に大きくなる。
上記従来技術は、＠膜ポンプ（高真空側ポンプ）及び後
段ポンプ（低真空側ポンプ）′ｔ−同時に起動するため
（Ｃ，前段ポンプも吸入圧、背圧が大気圧の状態で起動
することになり、後段ポンプと同程度の起動トルクを必
要とするという問題があった。
段ポンプ（低真空側ポンプ）′ｔ−同時に起動するため
（Ｃ，前段ポンプも吸入圧、背圧が大気圧の状態で起動
することになり、後段ポンプと同程度の起動トルクを必
要とするという問題があった。
ところで、スクリュー真空ポンプのように、内部圧縮作
用をもつオイルクリ−容積型真空ポンプを多段に組甘り
せて用いる場合の起動トルクの低減方法については配慮
されていなかった。
用をもつオイルクリ−容積型真空ポンプを多段に組甘り
せて用いる場合の起動トルクの低減方法については配慮
されていなかった。
本発明の目的は、前段ポンプの起動トルクを低減するこ
とにより、多段スクリュー真空ポンプ駆動用モータを小
形にし、もって装置の小形化、省エネルギ化を図るよう
にした多段スクリュー真空ポンプの起動法を提供するこ
とにある。
とにより、多段スクリュー真空ポンプ駆動用モータを小
形にし、もって装置の小形化、省エネルギ化を図るよう
にした多段スクリュー真空ポンプの起動法を提供するこ
とにある。
上記目的は螺線状の陸部と溝部を有する一対の誰ロータ
及び雌ロータがその軸を平行にして互いに噛み合いなが
ら回転可能な状態でケーシング内に納められ、上記両ロ
ータとケーシングにより作動室を形成し、該作動室に閉
じ込められた吸入ガスを該ロータの回転に伴って吐出口
より吐出するスクリュー真空ポンプを少なくとも２段で
構成し。
及び雌ロータがその軸を平行にして互いに噛み合いなが
ら回転可能な状態でケーシング内に納められ、上記両ロ
ータとケーシングにより作動室を形成し、該作動室に閉
じ込められた吸入ガスを該ロータの回転に伴って吐出口
より吐出するスクリュー真空ポンプを少なくとも２段で
構成し。
各段のガス経路を直列に接続した多段スクリュー真空ポ
ンプにおいて、後段ポンプを起動し、前段ポンプの背圧
あるいは吸入圧が設定圧力以下に低下した後に、前段ポ
ンプを起動することにより達成される。
ンプにおいて、後段ポンプを起動し、前段ポンプの背圧
あるいは吸入圧が設定圧力以下に低下した後に、前段ポ
ンプを起動することにより達成される。
多段スクリュー真空ポンプにおいては、後段ポンプの背
圧は大気圧であり、粗引ポンプとして作動し、その到達
圧力は低中真窒域である。まず。
圧は大気圧であり、粗引ポンプとして作動し、その到達
圧力は低中真窒域である。まず。
後段ポンプを起動すると、その吸入口に接続されている
前段ポンプ作動室内及び前段ポンプ吸入口に接続されて
いる被排気室が排気され、前段ポンプの吸入圧、背圧が
低下する。前段ポンプの吸入圧、背圧が設定圧力以下に
低下したところで、前段ポンプの駆動軸に動力を伝達し
起動する。このとき前段ポンプ吸入圧、背圧は十分低く
小さなトルクで起動することができる。 ′〔実施
例〕 以下１本発明の一実施例を第１１Ａ−第３図により説明
する。
前段ポンプ作動室内及び前段ポンプ吸入口に接続されて
いる被排気室が排気され、前段ポンプの吸入圧、背圧が
低下する。前段ポンプの吸入圧、背圧が設定圧力以下に
低下したところで、前段ポンプの駆動軸に動力を伝達し
起動する。このとき前段ポンプ吸入圧、背圧は十分低く
小さなトルクで起動することができる。 ′〔実施
例〕 以下１本発明の一実施例を第１１Ａ−第３図により説明
する。
第１図および第２図は、スクリュー真空ポンプ単体の構
造を示し九もので、第３図は本発明による２段スクリュ
ー真空ポンプの構成を示したものである。
造を示し九もので、第３図は本発明による２段スクリュ
ー真空ポンプの構成を示したものである。
塩ロータ４と雌ロータ５はメインケーシング１と吐出ケ
ーシング３内のころがシ軸受６，７，８゜９によ）回転
自在に支持されている。雄ロータ４の軸端には動力が伝
達される。ロータ軸端に４Ｌシつけたタイミングギヤ１
４，１５は動力ｔ−ａロータへ伝達するとともに、）ａ
離間ロータが接触しないよう（両ロータ間のすきま’ｒ
ａｍ！整している。作動室と軸受の間には軸封装置１０
．１１，１２゜１３ｔ−設け１作動室への油の浸入を防
ぐとともにガスの漏洩き防いでいる。
ーシング３内のころがシ軸受６，７，８゜９によ）回転
自在に支持されている。雄ロータ４の軸端には動力が伝
達される。ロータ軸端に４Ｌシつけたタイミングギヤ１
４，１５は動力ｔ−ａロータへ伝達するとともに、）ａ
離間ロータが接触しないよう（両ロータ間のすきま’ｒ
ａｍ！整している。作動室と軸受の間には軸封装置１０
．１１，１２゜１３ｔ−設け１作動室への油の浸入を防
ぐとともにガスの漏洩き防いでいる。
吸入口１６ａ、１６ｂより吸入されたガスは。
雄ロータ４．雌ロータ５及びメインケーシング１によっ
て形成される作動室内に入り、両ロータの回転により圧
縮されて吐出口１８ａ、１８ｂよυ吐出される。
て形成される作動室内に入り、両ロータの回転により圧
縮されて吐出口１８ａ、１８ｂよυ吐出される。
このスクリニー真空ポンプ２台を用いてそれぞれ前段ポ
ンプ１９．後段ポンプ２０とし、前段ポンプ１９の吐出
０１８ａと後段ポンプ２０の吸入口１６ｂを接続して２
段スクリュー真空ポンプを構成する。駆動モータ２２は
後段ポンプ２０を直接駆動すると共に、歯車２３，２４
．２５によって前段ポンプに動力を供給する。歯車２５
と前段ポンプ１９のロータ軸の間には′ｆｔ磁クラッチ
２７が設けられ、被排気室２１と前段ポンプの吸入口１
６ａの間に設けた圧力スイッチ２６により電磁クラッチ
２７を作動させて、動力を前段ポンプ１９のロータに伝
達する。
ンプ１９．後段ポンプ２０とし、前段ポンプ１９の吐出
０１８ａと後段ポンプ２０の吸入口１６ｂを接続して２
段スクリュー真空ポンプを構成する。駆動モータ２２は
後段ポンプ２０を直接駆動すると共に、歯車２３，２４
．２５によって前段ポンプに動力を供給する。歯車２５
と前段ポンプ１９のロータ軸の間には′ｆｔ磁クラッチ
２７が設けられ、被排気室２１と前段ポンプの吸入口１
６ａの間に設けた圧力スイッチ２６により電磁クラッチ
２７を作動させて、動力を前段ポンプ１９のロータに伝
達する。
被排気室２１より前段ポンプ１９の吸入口１６ａに入っ
たガスは前段ポンプ１９内で圧縮された後吐出口１８ａ
より吐出されて後段ポンプ２ｏの吸入口１６ｂへ入る。
たガスは前段ポンプ１９内で圧縮された後吐出口１８ａ
より吐出されて後段ポンプ２ｏの吸入口１６ｂへ入る。
吸入口１６ｂに入ったガスは後段ポンプ２０内で圧縮さ
れて、大気に開放した吐出口１８ｂより吐出される。
れて、大気に開放した吐出口１８ｂより吐出される。
この２段スクリュー真空ポンプ起動時には、まず駆動モ
ータ２２によって、後段ポンプ２ｏを起動し、前段ポン
プ１９の内部及び被排気室２１内のガスを排気し圧力を
低下させる。一方、駆動モータの動力は歯車２３．２４
を介して歯車２５に伝えられるが、電磁クラッチ２７は
切断状態であシ、前段ポンプ１９は駆動されない。被排
気室２１内の圧力が設定圧力以下に低下すると、圧力ス
イッチ２６が作動し電磁クラッチ２７を接続し歯車２５
に伝達された動力を前段ポンプ１９のロータ軸へ伝え、
前段ポンプ１９を起動する。この時、前段ポンプ１９の
吸入圧、背圧は低下しているため小さなトルクで起動す
ることができる。
ータ２２によって、後段ポンプ２ｏを起動し、前段ポン
プ１９の内部及び被排気室２１内のガスを排気し圧力を
低下させる。一方、駆動モータの動力は歯車２３．２４
を介して歯車２５に伝えられるが、電磁クラッチ２７は
切断状態であシ、前段ポンプ１９は駆動されない。被排
気室２１内の圧力が設定圧力以下に低下すると、圧力ス
イッチ２６が作動し電磁クラッチ２７を接続し歯車２５
に伝達された動力を前段ポンプ１９のロータ軸へ伝え、
前段ポンプ１９を起動する。この時、前段ポンプ１９の
吸入圧、背圧は低下しているため小さなトルクで起動す
ることができる。
第４図は、従来例（図示点線）と本発明（図示実線）に
ついて、前段ポンプの起動時のＰ−ｖ線図を比較したも
のである。従来例のように、吸入圧、背圧が大気圧のも
とで起動する場曾、内部圧縮により作動室内圧力が高く
なるため、大きな動力を必要とする。これに対し吸入圧
８背圧が低下した状態で起動すれば小さな動力で起動で
きる。
ついて、前段ポンプの起動時のＰ−ｖ線図を比較したも
のである。従来例のように、吸入圧、背圧が大気圧のも
とで起動する場曾、内部圧縮により作動室内圧力が高く
なるため、大きな動力を必要とする。これに対し吸入圧
８背圧が低下した状態で起動すれば小さな動力で起動で
きる。
第５図は、スクリュー真空ポンプの背圧と動力の関係を
示したもので、背圧が十分に低下した状態では、スクリ
ュー真空ポンプの動力はごく小さく１機械損失動力と同
程度である。したがって。
示したもので、背圧が十分に低下した状態では、スクリ
ュー真空ポンプの動力はごく小さく１機械損失動力と同
程度である。したがって。
前段ポンプ運転時の動力は後段ポンプに比べて小さい。
故に、前段ポンプの起動トルクと低減することによって
真空ポンプ駆動用モータを小形にすることができる。
真空ポンプ駆動用モータを小形にすることができる。
本実施例によれば、前段ポンプの起動トルクが小さいた
め、従来に比べ小形のモータ１台で２段スクリュー真空
ポンプを駆動することができ、装置が小形化されるとと
もに省エネルギ化が可能となる。
め、従来に比べ小形のモータ１台で２段スクリュー真空
ポンプを駆動することができ、装置が小形化されるとと
もに省エネルギ化が可能となる。
本発明によれば、多段スクリュー真空ポンプ駆動用モー
タを小形化できるので、装車全体の小形化、省エネルギ
化の効果がある。
タを小形化できるので、装車全体の小形化、省エネルギ
化の効果がある。
第１図は本発明方法におけるスクリュー真空ポンプの横
断ｆｌｌＪ、ｄＸ２図は第１図のＡ−Ａ、！！矢視断直
図、第３図は本発明方法における一実施例の全体構成図
、第４図１ｒｉ本発明および従来のスクリュー鴫空ポン
プにおけるＰ−Ｖ、製図、第５図はスクリュー真空ポン
プの背圧と動力の関係を示す図である。 １・・・メインケーシング、２・・・吸入ケーシング、
４・・・雄ロータ、５・・・雌ロータ、１６ａ、１６ｂ
・町及入０．１８ａ、１８ｂ・・・吐出口、１９・・・
前段ポンプ、２０・・・後段ポンプ、２２・・・駆動モ
ータ、２３゜２４．２５・・・七本、２６・・・圧力ス
イッチ、２７・・・電磁クラッチ。 化１人 弁理士 小川勝男 第 ｌ 区 男 ２Ｉ！１ ％ ３ 図
断ｆｌｌＪ、ｄＸ２図は第１図のＡ−Ａ、！！矢視断直
図、第３図は本発明方法における一実施例の全体構成図
、第４図１ｒｉ本発明および従来のスクリュー鴫空ポン
プにおけるＰ−Ｖ、製図、第５図はスクリュー真空ポン
プの背圧と動力の関係を示す図である。 １・・・メインケーシング、２・・・吸入ケーシング、
４・・・雄ロータ、５・・・雌ロータ、１６ａ、１６ｂ
・町及入０．１８ａ、１８ｂ・・・吐出口、１９・・・
前段ポンプ、２０・・・後段ポンプ、２２・・・駆動モ
ータ、２３゜２４．２５・・・七本、２６・・・圧力ス
イッチ、２７・・・電磁クラッチ。 化１人 弁理士 小川勝男 第 ｌ 区 男 ２Ｉ！１ ％ ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、螺線状の陸部と溝部を有する一対の雄ロータ及び雌
ロータがその軸を平行にして互いに噛み合いながら回転
可能な状態でケーシング内に納められ、上記両ロータと
ケーシングにより作動室を形成し、該作動室に閉じ込め
られた吸入ガスを該ロータの回転に伴つて吐出口より吐
出するスクリュー真空ポンプを少なくとも２段で構成し
、各段のガス経路を直列に接続した多段スクリュー真空
ポンプにおいて、後段ポンプを起動し、前段ポンプの背
圧あるいは吸入圧が設定圧力以下に低下した後に、前段
ポンプを起動するようにしたことを特徴とする多段スク
リュー真空ポンプの起動法。 ２、真空ポンプの段数よりも少ない台数の駆動装置によ
り駆動され、前記前段ポンプの背圧あるいは吸入圧が設
定圧力以下に低下した後に、前段ポンプ駆動軸に動力を
伝達する装置を有することを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の多段スクリュー真空ポンプの起動法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12793286A JPS62284994A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12793286A JPS62284994A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62284994A true JPS62284994A (ja) | 1987-12-10 |
Family
ID=14972202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12793286A Pending JPS62284994A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 多段スクリユ−真空ポンプ起動法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62284994A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518380A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
| JPH0518382A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
| US5261802A (en) * | 1991-09-27 | 1993-11-16 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump |
| US5378128A (en) * | 1992-08-05 | 1995-01-03 | Ebara Corporation | Multi-stage screw vacuum pump |
| EP1101942A3 (en) * | 1999-11-17 | 2002-05-15 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Evacuating apparatus |
| JP2007263121A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP12793286A patent/JPS62284994A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518380A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
| JPH0518382A (ja) * | 1991-07-10 | 1993-01-26 | Ebara Corp | スクリユー形真空ポンプ |
| US5314320A (en) * | 1991-07-10 | 1994-05-24 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump with a reduced starting load |
| US5374170A (en) * | 1991-07-10 | 1994-12-20 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump |
| US5261802A (en) * | 1991-09-27 | 1993-11-16 | Ebara Corporation | Screw vacuum pump |
| US5378128A (en) * | 1992-08-05 | 1995-01-03 | Ebara Corporation | Multi-stage screw vacuum pump |
| EP1101942A3 (en) * | 1999-11-17 | 2002-05-15 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Evacuating apparatus |
| JP2007263121A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2007263122A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-10-11 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| EP1813818A3 (en) * | 1999-11-17 | 2007-10-24 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Evacuating apparatus |
| JP2007298043A (ja) * | 1999-11-17 | 2007-11-15 | Nabtesco Corp | 真空排気装置 |
| JP2008111432A (ja) * | 2006-10-28 | 2008-05-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプおよびその運転方法 |
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