JPH05187511A - ボールねじ駆動制御装置 - Google Patents

ボールねじ駆動制御装置

Info

Publication number
JPH05187511A
JPH05187511A JP396692A JP396692A JPH05187511A JP H05187511 A JPH05187511 A JP H05187511A JP 396692 A JP396692 A JP 396692A JP 396692 A JP396692 A JP 396692A JP H05187511 A JPH05187511 A JP H05187511A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ball screw
nut
ball
screw nut
rotation speed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP396692A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Katahira
雅幸 片平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NSK Ltd filed Critical NSK Ltd
Priority to JP396692A priority Critical patent/JPH05187511A/ja
Priority to US07/995,709 priority patent/US5327795A/en
Priority to DE4300254A priority patent/DE4300254A1/de
Publication of JPH05187511A publication Critical patent/JPH05187511A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】2つのナットの回転数の完全同期が簡易な操作
で可能になり、ボールねじ軸の移動及び回転運動の制御
を容易にすることを目的にしている。 【構成】ボールスプラインナットに固定されたプーリ
が、タイミングベルトを介してスプラインナット用駆動
モータに連結している。スプラインナット用駆動モータ
は、スプラインナット用ドライバに接続している。ボー
ルねじナットにボールねじナット用駆動モータが連結し
ている。ボールねじナット用駆動モータは、ボールねじ
ナット用ドライバに接続する。両モータには、エンコー
ダが夫々設けられ、そのエンコーダは、夫々のパルスカ
ウンターに接続される。両パルスカウンターは偏差カウ
ンターに接続し、その偏差カウンターは、ボールねじナ
ット用ドライバーと接続している。両ドライバーはコン
トローラに接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械や搬送ロボッ
ト等,産業機械装置のアクチュエータとして好適に使用
されるボールスプラインを備えたボールねじの駆動制御
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ボールスプラインを備えたボール
ねじとしては、例えば特開平1−229160号公報等
に記載されているものが知られている。これらは、図4
に示すように、単一の軸体の外周面にボールねじ溝とボ
ールスプライン溝とを重複させて形成したボールねじ軸
1に、多数のボールを介してボールねじナット2及びボ
ールスプラインナット3を嵌合し、さらに上記両ナット
2,3を同一のハウジング4に夫々サポートベアリング
を介して回転自在に組付けてなり、前記ボールねじナッ
ト2及びボールスプラインナット3には夫々プーリ5,
17が取り付けられている。
【0003】その各プーリ5,17はタイミングベルト
6,18を介してモータ等からなる駆動装置7,11に
それぞれ連結し、その2つの駆動装置7,11によっ
て、両ナット2,3がそれぞれ回転駆動されるようにな
っている。その2つの駆動装置7,11はドライバ8,
10を介してコントローラ16に接続され、該コントロ
ーラ16からの別々の指令によって独立制御されて、両
ナット2,3が個々に所定の回転数で回転駆動されるよ
うになっている。
【0004】ここで、上記プーリ5,17,タイミング
ベルト6,18,駆動装置7,11,及びドライバ8,
10によって各ナット2,3の駆動手段を構成してい
る。上記のようなボールねじでは、例えばハウジング4
が工作機械やスカラー型ロボット等の取り付け部に固定
して装着され、コントローラ16からの指令に基づいて
各駆動装置7,11がタイミングベルト6,18を介し
て各プーリ5,17を回転させることでボールねじ軸1
を駆動せしめる。例えば、ボールねじナット2だけを回
転させるとボールねじ軸1は軸方向に移動し、また、ボ
ールスプラインナット3だけを回転させるとボールねじ
軸1は回転運動を伴って軸方向に移動する。
【0005】また、ボールねじ軸1を軸方向に移動させ
ずに回転運動だけを行うように制御する場合には、ボー
ルねじナット2とボールスプラインナット3とを共に同
じ回転数で同方向に回転させる必要があるが、従来この
制御は、ボールスプラインナット3の回転数に一致する
ように、ボールねじナット2の回転数をコントローラ1
6からのオープンループ制御の指令によって同期させて
いた。
【0006】なお、2つの駆動手段は、通常、前記のよ
うにプーリ5,17やタイミングベルト6,18等によ
る減速機構を有していて、ボールスプラインナット3側
は、低速且つ高トルクが要求されるために減圧比を大き
くとり、ボールねじナット2側は、高速性が重視される
ために減速比は小さく設定されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなボールねじ駆動制御装置においては、2つの駆動
手段の減速比は前記のように異なると共に、ナット2,
3を駆動する各モータの仕様も同一とは必ずしも限らな
いので、両ナット2,3の各回転分解能に相違があると
共に、ボールねじナット2に対してオープンループ制御
で同期をとらせようとしているため、両ナット2,3の
回転数を完全同期させることが難しかった。さらに、両
ナット2,3の回転数を独立して制御しているため、操
作性が煩雑になっていた。
【0008】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、2つのナットの回転数の完全同期が簡
易な操作で可能となり、ボールネジ軸の移動及び回転運
動の制御を容易にすることを目的にしている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のボールねじ駆動制御装置は、ボールねじ溝
とボールスプライン溝とを有するボールねじ軸と、その
ボールねじ軸にボールを介して嵌合するボールねじナッ
ト及びボールスプラインナットとを備えたボールねじ装
置に対して、ボールねじナットを回転駆動するボールね
じナット駆動手段と、ボールスプラインナットを回転駆
動するボールスプラインナット駆動手段と、両駆動手段
を介して前記ボールねじナット及びボールスプラインナ
ットにそれぞれ独立して所定の回転数を指令するコント
ローラとを備えたボールねじ駆動制御装置において、ボ
ールねじナットの回転数を検出するボールねじナット用
回転数検出手段と、ボールスプラインナットの回転数を
検出するボールスプラインナット用回転数検出手段と、
その両回転数検出手段から入力した回転数の偏差を算出
し、その偏差がゼロになるように前記ボールねじナット
駆動手段にボールねじナットの回転数の減少若しくは増
加の指令を出す回転数変更手段とを備えたことを特徴と
している。
【0010】
【作用】ボールねじ軸を軸方向に移動(直進)させると
きには、ボールスプラインナットを停止したまま、ボー
ルねじナットのみを回転駆動させることで実施する。即
ち、コントローラから所定回転数にて回転するようにボ
ールねじナット駆動手段にだけ駆動指令を出し、該ボー
ルねじナット駆動手段によってボールねじナットを回転
駆動させて、ボールねじ軸を軸方向へ移動させる。この
とき、ボールスプラインナットはホールド状態にしてお
く。
【0011】また、ボールねじ軸を軸方向へ移動させず
に回転運動だけをさせる場合には、コントローラがボー
ルスプラインナット駆動手段にだけ駆動指令を出し、そ
の駆動装置がボールスプラインナットを回転駆動する。
すると、ボールスプラインナットの回転数とボールねじ
ナットの回転数とが各回転数検知手段によって検出さ
れ、その回転数に応じた信号は回転数変更手段に送られ
る。
【0012】回転数変更手段では、その検出された両回
転数のうち,ボールスプラインナットの回転数を目標値
として両回転数の差である偏差を算出し、その偏差分に
応じてボールねじナット用駆動装置に設定されたボール
ねじナットの回転数を増減する指令を出す。即ち、ボー
ルスプラインナットの回転数に対してボールねじナット
の回転数が遅ければボールねじナット用駆動装置に設定
されているボールねじナットの回転数を増加する指令を
出し、ボールスプラインナットの回転数に対してボール
ねじナットの回転数が早ければボールねじナット用駆動
装置に設定されているボールねじナットの回転数を減少
する指令を出す。
【0013】これによって、ボールねじナットはボール
スプラインナットの回転駆動に追従し同期をとって回転
する。このような、フィードバック制御を両ナットの回
転数が一致するまで実施することで、ボールねじ軸は、
軸方向へ移動をせずに回転運動だけを実施するように高
精度状態で制御される。
【0014】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
ボールねじ装置及び駆動制御装置は図1に示すような構
成になっており、図中1はボールねじ軸であり、このボ
ールねじ軸1の外周面には図示しない螺旋状のボールね
じ溝と共に軸方向に沿った数本のボールスプライン溝が
設けられ、両溝を介して該ボールねじ軸1に、ボールね
じナット2及びボールスプラインナット3が嵌合してい
る。
【0015】ボールねじナット2は、前記ボールねじ軸
1に設けられたボールねじ溝に対応するボールねじ溝を
内周面に形成されて、対向する両ボールねじ溝の間に多
数のボールが転動自在に介装されると共に、前記ボール
の循環路を有している。そして、前記ボールが、ボール
ねじ軸1とボールねじナット2との相対回転と共にねじ
溝内を転動しつつ螺旋状に移動し、ねじ溝を1回半乃至
3回半回ってからナット内の戻し通路を経て元の位置に
戻り、循環を繰り返す公知の構造になって、該ボールね
じナット2の回転によって該ボールねじ軸1が軸方向移
動するようになっている。また、そのボールねじナット
2の外周面には、ベアリング内輪溝が形成されている。
【0016】一方、ボールスプラインナット3は、ボー
ルねじ軸1に沿って直線的に延びるボールスプライン溝
に対応するボールスプライン溝を内周面に形成されて、
そのナットのボールスプライン溝と対向するボールねじ
軸1のボールスプライン溝との間に多数のボールが転動
自在に介装されると共に、そのボールの循環路が形成さ
れている。そのボールは、ボールねじ軸1とボールスプ
ラインナット3との相対的な直線移動と共にねじ溝内を
転動しつつ直線方向に移動し、ナット3端部に至ってナ
ット3内の戻す通路に入りUターンして元の位置に戻り
循環を繰り返す公知の構造になって、該ボールスプライ
ンナット3の回転によって該ボールねじ軸1が回転運動
と共に軸方向移動をするようになっている。また、その
ボールスプラインナット3の外周面には、ベアリング内
輪溝が形成されている。
【0017】前記のようにボールねじ軸1に螺着された
ボールねじナット2とボールスプラインナット3の外周
には共通のハウジング4が被せてある。このハウジング
4は、内周面に前記ボールねじナット2及びボールスプ
ラインナット3のベアリング内輪溝に対応するベアリン
グ外輪溝が夫々形成されて、それぞれ対向するベアリン
グ内輪溝とベアリング外輪溝とでなる溝空間に、それぞ
れ多数のベアリングボールが装着されて、両ナット2,
3を回転可能に保持している。
【0018】また、前記ボールスプラインナット3に
は、同軸にプーリ5が取り付けられている。このプーリ
5は、精密伝動用のタイミングベルト6を介してスプラ
インナット用駆動モータ7に連結し、該スプライン用駆
動モータ7によって回転駆動される。そのスプラインナ
ット用駆動モータ7も前記ハウジング4に固定されてい
る。スプラインナット用駆動モータ7は、スプラインナ
ット用ドライバ8に接続され、そのドライバ8から供給
される駆動電流によって回転数が制御される。
【0019】なお、プーリ5及びタイミングベルト6で
形成される減速機構による減速比は1/nに設定されて
いる。また、ボールねじ軸1と同軸にボールねじナット
用駆動モータ9がハウジング4に固定され、該ボールね
じナット用駆動モータ9の回転軸が前記ボールねじナッ
ト2に連結されて、該ボールねじナット用駆動モータ9
によってボールねじナット2は回転駆動される。そのボ
ールねじナット用駆動モータ9は、ボールねじナット用
ドライバ10に接続され、該ドライバ10から供給され
る駆動電流によって回転数が制御される。
【0020】また、前記両モータ7,9には、角変位を
ディジタル信号に変換するエンコーダ11,12が夫々
設けられ、その各エンコーダ11,12は、夫々のパル
スカウンター13,14,及び対応する各ドライバ8,
10に接続されて、検出したディジタル信号であるパル
スを各パルスカウンター13,14,及び各ドライバ
8,10に伝達している。そして、前記エンコーダ1
1,12及びパルスカウンター13,14で各ナットの
回転数検出手段が構成されて、両ナット2,3の回転数
の応じたパルス数を検出している。
【0021】ここで、スプラインナット用エンコーダ1
1はボールスプラインナット3の回転数に応じたパスル
数を直接検出していないので、ボールねじナット用パル
スカウンター14においては、スプランナット用駆動モ
ータ7の回転数に対するボールスプラインナット3の回
転数の比である1/nに対応させて、出力される所定時
間当たりのパルス数にnを乗算する演算を実施してい
る。
【0022】なお、各エンコーダ11,12から各ドラ
イバ8,10に伝達されたパルスは、対応する駆動モー
タ7,9の回転数に対するクローズループ制御のサーボ
機構に使用されている。また、前記の両パルスカウンタ
ー13,14は回転数変更手段を構成する偏差カウンタ
ー15に接続されている。その偏差カウンター15は、
両パルスカウンター13,14から入力した値の差,即
ちスプラインナット用パルスカウンター13から入力し
たパルス数からボールねじナット用パスルカウンター1
4から入力したパスル数を減算することで、目標値であ
るボールスプラインナット3の回転数に応じたパルス数
に対するボールねじナット2の回転数に応じたパルス数
の偏差を求め、その値に応じた信号をボールねじナット
用ドライバー10に供給している。
【0023】そして、ボールねじナット用ドライバ10
では入力された値をもとに、その入力された値が正値で
あれば,即ちボールねじナット9の回転数がボールスプ
ラインナット3の回転数よりも遅ければボールねじナッ
ト用駆動モータ12へ設定供給する駆動電流を大きくし
て回転数を早くし、負値であれば,即ちボールねじナッ
ト9の回転数がボールスプラインナット3の回転数より
も早ければ該駆動電流を小さくして回転数を遅くしてい
る。
【0024】このように、前記エンコーダ11,12,
パルスカウンター13,14,偏差カウンター,及びボ
ールねじナット用ドライバ10によって両ナット2,3
の回転数を同期させるクローズドループ制御のサーボ機
構が形成されている。また、両ドライバー8,10はコ
ントローラ16に接続されていて、該コントローラ16
からの個々の指令によっても制御されるようになってい
る。
【0025】上記のようなボールねじ駆動制御装置で
は、ボールねじ軸1を軸方向移動させる場合,即ち直進
させる場合には、コントラーラ16からボールねじナッ
ト用ドライバ10にだけ駆動指令が送られる。すると、
ボールねじナット用ドライバ10からの指令で所定の駆
動電流がボールねじナット用駆動モータ12に流れてボ
ールねじナット9が所定の速度で回転駆動し、これによ
って、ボールねじナット9の回転が、ボールねじ溝を介
してボールねじ軸1に伝達され、ボールねじ軸1が軸方
向へ該ボールねじナットの回転速度に応じた速度で移動
する。
【0026】このとき、スプラインナット3はコントロ
ーラ16からの指令でホールド状態になっている。ま
た、ボールねじ軸1を回転運動させる時には、コントラ
ーラ16からスプラインナット用ドライバ8にだけ駆動
指令が送られる。すると、該スプラインナット用ドライ
バ8からの指令でスプラインナット用駆動モータ7に所
定の駆動電流が供給され、タイミングベルト6及びプー
リ5からなる減速機構で1/nの回転数減速されつつボ
ールスプラインナット3が所定回転数で回転駆動する。
【0027】このとき、両モータ7,9の回転数に対応
したパルス数が両モータ7,9に設けられたエンコーダ
11,12を介して各パルスカウンター13,14に送
られ、その値が偏差カウンター15に供給されて両パス
ルカウンター数の差が演算される。その演算された値
は、偏差カウンター15からボールねじナット用ドライ
バ10に供給される。ボールねじナット用ドライバ10
は、供給された値が正値であれば、ボールねじナット用
駆動モータ9への設定した駆動電流を大きくして該ボー
ルねじナット2の回転数を増加させ、また、上記供給さ
れた値が負値であれば、ボールねじナット用駆動モータ
9への設定された駆動電流を小さくして該ボールねじナ
ット2の回転数を減少するフィードバック制御が実施さ
れて、該ボールねじナット2の回転数がボールスプライ
ンナット3の回転数と一致するように動的に制御され
る。即ち、ボールスプラインナット3の駆動に追従して
ボールねじナット2が同一回転数で回転するようにな
る。
【0028】このように、本実施例においては、ボール
ねじ軸1を回転運動させるときに、該回転運動に対応し
た指令をボールスプラインナット2側にだけ付与して制
御するだけで両ナット2,3の回転数が同期がとられ
て、従来のように両ナット2,3に異なった指令を与え
て同期をとる等の必要がなくなり制御が簡素化される。
また、該ボールねじ軸1の回転運動の回転数を変更する
場合にも、該ボールスプラインナット2側の回転数を変
更する指令を出すだけで前記フィードバック制御によっ
て、ボールねじナット2の回転数がボールスプラインナ
ット3の回転数と同期がとられる。
【0029】よって、本実施例のボールねじ駆動制御装
置は、軸を回転させる時にはボールスプラインナット3
のみを駆動すれば良く、また、軸を直進させたい時には
ボールねじナット2のみを駆動すれば良いため、操作性
が向上してシーケンス制御等の外部機器との連動が容易
になる。なお、前記実施例においては、ボールねじナッ
ト用パルスカウンター14で減速比1/nに対応するn
をカウンター数に乗算し、偏差カウンター15での演算
結果の正負によってボールねじナット用ドライバ10に
よる設定駆動電流を増減しているが、スプラインナット
用パルスカウンター13側でカウンター数に(1/n)
を乗算し、偏差カウンター15での演算結果の値だけ設
定回転数(エンコーダ12からのパルス数)を増加(負
の値の場合には減少)させるように設定駆動電流を制御
するようにしてもよい。
【0030】次に、第2実施例について説明する。第2
実施例の構成は、図2に示すように、ボールねじナット
2の一端側にプーリ17が取り付けられ、該プーリ17
はタイミングベルト18を介してボールねじナット用駆
動モータ12に連結している。該プーリ17及びタイミ
ングベルト18は減速機構を構成し減速比が1/mに設
定されている。
【0031】また、ボールねじナット用パルスカウンタ
ー14において、エンコーダ12から入力したパルス数
に(n/m)を乗算する演算を実施するようになってい
る。他の構成は第1実施例と同様である。このように構
成したボールねじ駆動制御装置においても、ボールねじ
ナット2と駆動モータ9とを減速機構を介して接続し、
減速比に応じた演算をボールネジナット用パルスカウン
ター14にて実施するようにした他は、第1実施例と同
様な作用及び効果を有する。
【0032】次に、第3実施例について説明する。第3
実施例の構成は、図3に示すように、スプラインナット
用エンコーダ11をスプラインナット用駆動モータ7に
接続する代わりにボールスプラインナット3に連結して
ボールスプラインナット3の回転数を直接検出可能に
し、それに伴ってボールねじナット用パルスカウンター
14での減速比に応じた演算を不要にしている。
【0033】他の構成は第1実施例と同様である。この
ように構成したボールねじ駆動制御装置においても、第
1実施例と同様な作用及び効果を有する。但し、この第
3実施例においては、ボールスプラインナット3の回転
数を直接検出するためボールねじナット用パルスカウン
ター14にてカウンター数に特別な演算をする必要はな
くなる。
【0034】
【発明の効果】以上説明してきように、本発明のボール
ねじ駆動制御装置では、ボールねじ軸を回転させる時
に、ボールスプラインナットのみを回転駆動させるだけ
で良い。このとき、ボールねじナットは該ボールスプラ
インナットに追従して回転し、しかも、ボールねじナッ
トの回転数とボールスプラインナットの回転数とをクロ
ーズループ制御にて制御することで該回転数の同期がよ
り完全に合致可能となり、ボールねじ軸の回転運動の精
度が向上する。
【0035】これによって、本発明では、ボールねじ軸
の軸方向移動(直進)及び回転運動の駆動指令を一方の
ナットにのみ与えればよいから、制御のための操作性が
向上し、シーケンス制御等,外部機器とのインターフェ
イスが容易になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る実施例のボールねじ駆動制御装置
を示す概略構成図である。
【図2】本発明に係る第2実施例のボールねじ駆動制御
装置を示す概略構成図である。
【図3】本発明に係る第3実施例のボールねじ駆動制御
装置を示す概略構成図である。
【図4】本発明に係る従来例のボールねじ駆動制御装置
を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1 ボールねじ軸 2 ボールねじナット 3 ボールスプラインナット 4 ハウジング 7 スプラインナット用駆動モータ 8 スプラインナット用ドライバ 9 ボールねじナット用駆動モータ 10 ボールねじナット用ドライバ 11.12 エンコーダ 13,14 パルスカウンター 15 偏差カウンタ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボールねじ溝とボールスプライン溝とを
    有するボールねじ軸と、そのボールねじ軸にボールを介
    して嵌合するボールねじナット及びボールスプラインナ
    ットとを備えたボールねじ装置に対して、ボールねじナ
    ットを回転駆動するボールねじナット駆動手段と、ボー
    ルスプラインナットを回転駆動するボールスプラインナ
    ット駆動手段と、両駆動手段を介して前記ボールねじナ
    ット及びボールスプラインナットにそれぞれ独立して所
    定の回転数を指令するコントローラとを備えたボールね
    じ駆動制御装置において、ボールねじナットの回転数を
    検出するボールねじナット用回転数検出手段と、ボール
    スプラインナットの回転数を検出するボールスプライン
    ナット用回転数検出手段と、その両回転数検出手段から
    入力した回転数の偏差を算出し、その偏差がゼロになる
    ように前記ボールねじナット駆動手段にボールねじナッ
    トの回転数の減少若しくは増加の指令を出す回転数変更
    手段とを備えたことを特徴とするボールねじ駆動制御装
    置。
JP396692A 1992-01-07 1992-01-13 ボールねじ駆動制御装置 Pending JPH05187511A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP396692A JPH05187511A (ja) 1992-01-13 1992-01-13 ボールねじ駆動制御装置
US07/995,709 US5327795A (en) 1992-01-07 1992-12-23 Ball screw apparatus
DE4300254A DE4300254A1 (en) 1992-01-07 1993-01-07 Ball-screw device for robotic machine tool - performs synchronous rotation of ball-screw and ball-wedge nuts driving shaft when clutch is engaged

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP396692A JPH05187511A (ja) 1992-01-13 1992-01-13 ボールねじ駆動制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05187511A true JPH05187511A (ja) 1993-07-27

Family

ID=11571827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP396692A Pending JPH05187511A (ja) 1992-01-07 1992-01-13 ボールねじ駆動制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05187511A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112737208A (zh) * 2019-10-28 2021-04-30 上海狄兹精密机械股份有限公司 一种基于闭环控制的步进式伺服执行器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112737208A (zh) * 2019-10-28 2021-04-30 上海狄兹精密机械股份有限公司 一种基于闭环控制的步进式伺服执行器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5100271A (en) Tool driving unit
US5327795A (en) Ball screw apparatus
JPH0435842A (ja) 加工ユニット制御装置
US5056971A (en) Operating head chuck unit for automatic machine tools
JP2722345B2 (ja) 産業用ロボットの手首用2自由度駆動機構
US5134346A (en) Apparatus for driving a spindle of an electroerosive machine
US5257883A (en) Operating head for automatic machine tools
JPS60154955A (ja) 電動式動力舵取り装置
JP3729519B2 (ja) 加工機におけるターニングテーブルの駆動装置
GB2315033A (en) Machine tool
JPH06190407A (ja) コールドピルガー圧延機のための前送り伝動装置
JPH05180299A (ja) アクチュエータ
US4074579A (en) Device for detecting differences in angular positions of two shafts rotating in opposite directions
JPH02298451A (ja) 複合運動アクチュエータ
JPH0710446B2 (ja) 内径切削加工装置
JP2001259953A (ja) Nc工作機械用の駆動装置
JP2652421B2 (ja) 同期回転機構を有する刃先出入調整装置
SU1407708A1 (ru) Кинематическа цепь обката-делени зубообрабатывающего станка
JPS63286705A (ja) ロボットの位置検出方法
JPS621176Y2 (ja)
JPH08197480A (ja) 産業用ロボットの手首機構
JPH0198002A (ja) 多点位置決め装置
JP2767860B2 (ja) 加工ユニット
JPH03228587A (ja) 回転・直動駆動装置
RU2146191C1 (ru) Привод для перемещения подвижного органа станка