JPH05188010A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH05188010A JPH05188010A JP509992A JP509992A JPH05188010A JP H05188010 A JPH05188010 A JP H05188010A JP 509992 A JP509992 A JP 509992A JP 509992 A JP509992 A JP 509992A JP H05188010 A JPH05188010 A JP H05188010A
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- JP
- Japan
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- reflected light
- light
- photoelectric converter
- inspection device
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 鋼板表面検査装置に関するものであり、鋼板
表面での乱反射光による誤検出を防止すること。 【構成】 ライン走行中の帯状検査物の表面を幅方向に
光走査し、その反射光を受光して被検査物の表面の欠陥
を検査する表面検査装置において、反射光のうち正反射
成分を受光する光電変換器と乱反射成分を受光する光電
変換器を複数台設置し、正反射光電変換器より出力され
た信号から乱反射光電変換器より出力された信号を差し
引くことにより欠陥信号を強調する事を特徴とする表面
検査装置。
表面での乱反射光による誤検出を防止すること。 【構成】 ライン走行中の帯状検査物の表面を幅方向に
光走査し、その反射光を受光して被検査物の表面の欠陥
を検査する表面検査装置において、反射光のうち正反射
成分を受光する光電変換器と乱反射成分を受光する光電
変換器を複数台設置し、正反射光電変換器より出力され
た信号から乱反射光電変換器より出力された信号を差し
引くことにより欠陥信号を強調する事を特徴とする表面
検査装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄鋼板の表面検査装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来技術及び従来技術の課題】鉄鋼製造ラインにおい
ては鋼板の表面に光を照射し、その反射光に対応する電
気信号に所定の信号処理を施して、鋼板表面における疵
の有無を検査する表面検査装置が用いられている。反射
光に対応する電気信号には欠陥情報が電圧の変化として
含まれており、この電気信号を所定のしきい値で弁別す
ることにより欠陥情報を抽出して表示するものとなって
いる。一般に反射光を受光する光電変換器は正反射方向
に設けられているが、この理由は正反射光の強度が強
く、結果として検出感度が上げられるためである。
ては鋼板の表面に光を照射し、その反射光に対応する電
気信号に所定の信号処理を施して、鋼板表面における疵
の有無を検査する表面検査装置が用いられている。反射
光に対応する電気信号には欠陥情報が電圧の変化として
含まれており、この電気信号を所定のしきい値で弁別す
ることにより欠陥情報を抽出して表示するものとなって
いる。一般に反射光を受光する光電変換器は正反射方向
に設けられているが、この理由は正反射光の強度が強
く、結果として検出感度が上げられるためである。
【０００３】ところで以上のように正反射光を用いて検
査を行うことは被検査物の品種、表面に生じる欠陥状態
及び特定の疵のみを検出する場合には必ずしも有利とは
言えない。すなわち欠陥部分の特徴が乱反射光に強く現
れ、乱反射光を用いたほうが欠陥検出に有利となる場合
がある。従って受光器を正反射、乱反射用に個別に設け
それぞれ信号処理を行うことにより検出精度向上が可能
であるが、信号処理装置も個別に設ける必要があり、装
置が複雑になり、さらに乱反射光を用いた場合、光の強
度が低い場合が多く調整も困難であるという問題があっ
た。また電圧レベルの低い微小な欠陥信号は地合による
ノイズ信号の影響を受けやすく、検出が困難であった。
査を行うことは被検査物の品種、表面に生じる欠陥状態
及び特定の疵のみを検出する場合には必ずしも有利とは
言えない。すなわち欠陥部分の特徴が乱反射光に強く現
れ、乱反射光を用いたほうが欠陥検出に有利となる場合
がある。従って受光器を正反射、乱反射用に個別に設け
それぞれ信号処理を行うことにより検出精度向上が可能
であるが、信号処理装置も個別に設ける必要があり、装
置が複雑になり、さらに乱反射光を用いた場合、光の強
度が低い場合が多く調整も困難であるという問題があっ
た。また電圧レベルの低い微小な欠陥信号は地合による
ノイズ信号の影響を受けやすく、検出が困難であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術の課題
を有利に解決するものであって、ライン走行中の帯状検
査物の表面を幅方向に光走査し、その反射光を受光して
前記被検査物の表面の欠陥を検査する表面検査装置にお
いて、反射光のうち正反射成分を受光する光電変換器と
乱反射成分を受光する光電変換器を複数台設置し、正反
射光電変換器より出力された信号から乱反射光電変換器
より出力された信号を差し引くことにより、欠陥信号を
強調することを特徴とする表面検査装置である。
を有利に解決するものであって、ライン走行中の帯状検
査物の表面を幅方向に光走査し、その反射光を受光して
前記被検査物の表面の欠陥を検査する表面検査装置にお
いて、反射光のうち正反射成分を受光する光電変換器と
乱反射成分を受光する光電変換器を複数台設置し、正反
射光電変換器より出力された信号から乱反射光電変換器
より出力された信号を差し引くことにより、欠陥信号を
強調することを特徴とする表面検査装置である。
【０００５】
【実施例】以下図面に基づいて本発明を説明する。図１
は本発明の実施例を示す図である。同図において１は所
定のライン上を図示矢印イの方向にそって搬送される被
検査物であって、この被検査物１の上側には光走査手段
２が配置されている。この光走査手段２は例えばレーザ
ー光を出力するレーザースキャナーであって、被検査物
１の幅方向に光走査するものである。３、４、５は光電
変換器であり被検査物表面から反射される反射光を受光
して電気信号に変換するものであり、３は反射光の正反
射方向に設置され、４、５は反射光の乱反射方向に設置
されている。この光電変換器３から出力される反射光に
対応する電気信号と４、５から出力される電気信号に定
数Ｋ1 、Ｋ2 を掛けた信号は、その出力を信号処理する
制御盤６に与えられ、欠陥部分が通過した場合に警報表
示するものである。
は本発明の実施例を示す図である。同図において１は所
定のライン上を図示矢印イの方向にそって搬送される被
検査物であって、この被検査物１の上側には光走査手段
２が配置されている。この光走査手段２は例えばレーザ
ー光を出力するレーザースキャナーであって、被検査物
１の幅方向に光走査するものである。３、４、５は光電
変換器であり被検査物表面から反射される反射光を受光
して電気信号に変換するものであり、３は反射光の正反
射方向に設置され、４、５は反射光の乱反射方向に設置
されている。この光電変換器３から出力される反射光に
対応する電気信号と４、５から出力される電気信号に定
数Ｋ1 、Ｋ2 を掛けた信号は、その出力を信号処理する
制御盤６に与えられ、欠陥部分が通過した場合に警報表
示するものである。
【０００６】図２は本発明による鋼板正常部での検査結
果である。鋼板の正常部においては表面が滑面であり反
射光の分布は図（ａ）に示すように正反射方向に最も強
くあらわれ、乱反射方向には弱くあらわれる。図（ｂ）
は反射光に対応する電気信号の出力を信号処理したもの
であり、鋼板の微小な凹凸に起因するノイズ成分をある
範囲の電圧レベルで含んでいる。
果である。鋼板の正常部においては表面が滑面であり反
射光の分布は図（ａ）に示すように正反射方向に最も強
くあらわれ、乱反射方向には弱くあらわれる。図（ｂ）
は反射光に対応する電気信号の出力を信号処理したもの
であり、鋼板の微小な凹凸に起因するノイズ成分をある
範囲の電圧レベルで含んでいる。
【０００７】図３は本発明による鋼板欠陥部での検査結
果である。鋼板の欠陥は表面性状の変化により反射光が
散乱され反射光の分布は図（ａ）に示すものとなり正反
射方向の反射光の光量が減少し、乱反射方向の反射光の
光量が増す結果となる。図（ｂ）は反射光に対応する電
気信号の出力を信号処理したものであり、欠陥部分の出
力の変化から鋼板表面疵の有無を判断するものである。
果である。鋼板の欠陥は表面性状の変化により反射光が
散乱され反射光の分布は図（ａ）に示すものとなり正反
射方向の反射光の光量が減少し、乱反射方向の反射光の
光量が増す結果となる。図（ｂ）は反射光に対応する電
気信号の出力を信号処理したものであり、欠陥部分の出
力の変化から鋼板表面疵の有無を判断するものである。
【０００８】図２、図３においてＳ1 は正反射方向の反
射光の光量、Ｓ2 及びＳ3 は乱反射方向の反射光の光量
を表している。従来の疵判定方法としてはＳ1 或いはＳ
2 、Ｓ3 のみを受光しその光量の変化を検出していた
が、正常部においても鋼板の微小な凹凸に起因するノイ
ズ成分をある範囲の電圧レベルで含んでいるため、微小
な欠陥に光量の変化を十分に量の変化を十分な精度で捕
らえることが困難であった。正反射、乱反射の双方を受
光するシステムにおいても、それぞれの反射光に対応す
る電気信号を個別に処理しており、これらの問題を解決
するには至らなかった。
射光の光量、Ｓ2 及びＳ3 は乱反射方向の反射光の光量
を表している。従来の疵判定方法としてはＳ1 或いはＳ
2 、Ｓ3 のみを受光しその光量の変化を検出していた
が、正常部においても鋼板の微小な凹凸に起因するノイ
ズ成分をある範囲の電圧レベルで含んでいるため、微小
な欠陥に光量の変化を十分に量の変化を十分な精度で捕
らえることが困難であった。正反射、乱反射の双方を受
光するシステムにおいても、それぞれの反射光に対応す
る電気信号を個別に処理しており、これらの問題を解決
するには至らなかった。
【０００９】これに対し、本発明においてはＳ1 の正反
射方向の反射光の光量に対応する電気信号から、Ｓ2 、
Ｓ3 の乱反射方向の反射光の光量に対応する電気信号を
差し引くことにより欠陥部分の光量の変化を強調するも
のである。すなわち、鋼板が正常部分から欠陥部分に変
化するとそれに応じて反射光は散乱され正反射成分Ｓ1
は減少するが、さらに反射光の散乱により増加した乱反
射成分Ｓ2 、Ｓ3 を差し引くことにより、正反射成分Ｓ
1 の減少量が強調される結果となる。
射方向の反射光の光量に対応する電気信号から、Ｓ2 、
Ｓ3 の乱反射方向の反射光の光量に対応する電気信号を
差し引くことにより欠陥部分の光量の変化を強調するも
のである。すなわち、鋼板が正常部分から欠陥部分に変
化するとそれに応じて反射光は散乱され正反射成分Ｓ1
は減少するが、さらに反射光の散乱により増加した乱反
射成分Ｓ2 、Ｓ3 を差し引くことにより、正反射成分Ｓ
1 の減少量が強調される結果となる。
【００１０】
【発明の効果】本発明によって、従来技術のように信号
処理装置も個別に設ける必要がなく簡便な構造となり、
さらに乱反射光を用いて光の強度が低い場合においても
調整を簡単にする事が可能である。また電圧レベルの低
い微小な欠陥信号は、地合によるノイズ信号の影響を受
けづらく検出が容易である。
処理装置も個別に設ける必要がなく簡便な構造となり、
さらに乱反射光を用いて光の強度が低い場合においても
調整を簡単にする事が可能である。また電圧レベルの低
い微小な欠陥信号は、地合によるノイズ信号の影響を受
けづらく検出が容易である。
【図１】本発明装置の一実施例を示す概略説明図。
【図２】本発明による鋼板正常部での検査結果を示すも
ので、（ａ）が反射光の分布図、（ｂ）が反射光に対応
する電気信号の出力を信号処理したものである。
ので、（ａ）が反射光の分布図、（ｂ）が反射光に対応
する電気信号の出力を信号処理したものである。
【図３】本発明による鋼板欠陥部での検査結果を示すも
ので、（ａ）が反射光の分布図、（ｂ）が反射光に対応
する電気信号の出力を信号処理したものである。
ので、（ａ）が反射光の分布図、（ｂ）が反射光に対応
する電気信号の出力を信号処理したものである。
１ 被検査物 ２ 光走査手段 ３ 光電変換器 ４ 光電変換器 ５ 光電変換器 ６ 制御盤
Claims (1)
- 【請求項１】 ライン走行中の帯状検査物の表面を幅方
向に光走査し、その反射光を受光して前記被検査物の表
面の欠陥を検査する表面検査装置において、反射光のう
ち正反射成分を受光する光電変換器と乱反射成分を受光
する光電変換器を複数台設置し、正反射光電変換器より
出力された信号から乱反射光電変換器より出力された信
号を差し引くことにより欠陥信号を強調することを特徴
とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP509992A JPH05188010A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP509992A JPH05188010A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05188010A true JPH05188010A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11601933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP509992A Withdrawn JPH05188010A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05188010A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07229911A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Canon Inc | 速度計 |
| JP2011075426A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Hitachi High-Technologies Corp | レジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法並びにｄｔｍ製造ライン |
| JP2012047673A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kobe Steel Ltd | 検査装置及び検査方法 |
| WO2022030083A1 (ja) | 2020-08-06 | 2022-02-10 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 金属帯の表面検査装置、表面検査方法、及び製造方法 |
| CN119125167A (zh) * | 2024-11-04 | 2024-12-13 | 常州市常英机械有限公司 | 一种光伏铝边框表面缺陷检测系统 |
-
1992
- 1992-01-14 JP JP509992A patent/JPH05188010A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07229911A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Canon Inc | 速度計 |
| JP2011075426A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Hitachi High-Technologies Corp | レジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法並びにｄｔｍ製造ライン |
| JP2012047673A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kobe Steel Ltd | 検査装置及び検査方法 |
| WO2022030083A1 (ja) | 2020-08-06 | 2022-02-10 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 金属帯の表面検査装置、表面検査方法、及び製造方法 |
| KR20230017312A (ko) | 2020-08-06 | 2023-02-03 | 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 | 금속띠의 표면 검사 장치, 표면 검사 방법, 및 제조 방법 |
| US12467876B2 (en) | 2020-08-06 | 2025-11-11 | Jfe Steel Corporation | Surface inspection device, surface inspection method, and manufacturing method of metal strip |
| CN119125167A (zh) * | 2024-11-04 | 2024-12-13 | 常州市常英机械有限公司 | 一种光伏铝边框表面缺陷检测系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |