JPH0961373A - 表面欠陥検出方法および装置 - Google Patents
表面欠陥検出方法および装置Info
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- JPH0961373A JPH0961373A JP7218881A JP21888195A JPH0961373A JP H0961373 A JPH0961373 A JP H0961373A JP 7218881 A JP7218881 A JP 7218881A JP 21888195 A JP21888195 A JP 21888195A JP H0961373 A JPH0961373 A JP H0961373A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査物表面に発生する比較的小さな局所的表
面欠陥だけではなく、被検査物表面全面あるいは広範囲
に発生する全面状の表面欠陥をも検出することのできる
表面欠陥検出方法、およびその方法を実施するための装
置を提供する。 【解決手段】各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値
を求め、それら各平均的な値と所定の第１のしきい値と
を比較することにより被検査物表面の欠陥を検出すると
ともに、各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相
互に同一の値となるように受光信号を補正して、この補
正された受光信号と所定の第２のしきい値とを比較する
ことにより被検査物表面の欠陥を検出する。
面欠陥だけではなく、被検査物表面全面あるいは広範囲
に発生する全面状の表面欠陥をも検出することのできる
表面欠陥検出方法、およびその方法を実施するための装
置を提供する。 【解決手段】各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値
を求め、それら各平均的な値と所定の第１のしきい値と
を比較することにより被検査物表面の欠陥を検出すると
ともに、各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相
互に同一の値となるように受光信号を補正して、この補
正された受光信号と所定の第２のしきい値とを比較する
ことにより被検査物表面の欠陥を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板、アルミ板、
紙など走行する帯状の物体の表面に生ずる欠陥を光学的
に検出する表面欠陥検出方法及びその装置に関する。
紙など走行する帯状の物体の表面に生ずる欠陥を光学的
に検出する表面欠陥検出方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】鋼板、アルミ板、紙などの製造工程にお
いては、その表面品質を管理あるいは保証するために、
これらの表面に発生する種々の欠陥（以下、表面欠陥と
いう）を検出することが重要である。従来より、表面欠
陥検出方法として、図３に示すように、走行する帯状の
被検査物の表面に光を照射し、その走行方向と垂直な方
向（被検査物の幅方向）に光電子増倍管やリニアカメラ
などの光検出器を機械的あるいは電子的に走査して、そ
の受光信号の強度変化から表面欠陥を検出する方法が知
られている。すなわち、光検出器を被検査物の幅方向に
１回走査する毎に得られる、被検査物表面からの１次元
受光信号を、被検査物の走行に伴って順次採取してい
き、これらを連結することにより被検査物からの２次元
的受光信号を得、この受光信号の強度が表面欠陥の存在
により変化することを利用して、表面欠陥を検出するも
のである。
いては、その表面品質を管理あるいは保証するために、
これらの表面に発生する種々の欠陥（以下、表面欠陥と
いう）を検出することが重要である。従来より、表面欠
陥検出方法として、図３に示すように、走行する帯状の
被検査物の表面に光を照射し、その走行方向と垂直な方
向（被検査物の幅方向）に光電子増倍管やリニアカメラ
などの光検出器を機械的あるいは電子的に走査して、そ
の受光信号の強度変化から表面欠陥を検出する方法が知
られている。すなわち、光検出器を被検査物の幅方向に
１回走査する毎に得られる、被検査物表面からの１次元
受光信号を、被検査物の走行に伴って順次採取してい
き、これらを連結することにより被検査物からの２次元
的受光信号を得、この受光信号の強度が表面欠陥の存在
により変化することを利用して、表面欠陥を検出するも
のである。
【０００３】一般に、複数の１次元受光信号を走行方向
に連結する際、その信号強度を各１次元受光信号の間の
平均強度が一定の値になるように補正し、この補正によ
り、被検査物の表面反射率の変動や被検査物の物理的傾
き等による信号強度の走行方向の変動の影響を抑止して
いる。この代表的な例としては、光検出器で採取した信
号強度にしたがって自動的にその増幅器のゲインを変更
するいわゆるＡＧＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇａｉｎ
Ｃｏｎｔｒｏｌ）機能があり、例えば文献「材料とプロ
セス」ｖｏｌ．３， ｐ１３１０（１９９０）、「材料
とプロセス」ｖｏｌ．６，ｐ３３７（１９９３）などに
記載されている。ＡＧＣ機能などを用いて１次元受光信
号の強度変動を補正することにより、図４に示すように
１次元受光信号の平均レベルが被検査物の表面反射率の
変動等によって変化した場合でも、局所的な表面欠陥の
検出見逃しを防止することができる。
に連結する際、その信号強度を各１次元受光信号の間の
平均強度が一定の値になるように補正し、この補正によ
り、被検査物の表面反射率の変動や被検査物の物理的傾
き等による信号強度の走行方向の変動の影響を抑止して
いる。この代表的な例としては、光検出器で採取した信
号強度にしたがって自動的にその増幅器のゲインを変更
するいわゆるＡＧＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｇａｉｎ
Ｃｏｎｔｒｏｌ）機能があり、例えば文献「材料とプロ
セス」ｖｏｌ．３， ｐ１３１０（１９９０）、「材料
とプロセス」ｖｏｌ．６，ｐ３３７（１９９３）などに
記載されている。ＡＧＣ機能などを用いて１次元受光信
号の強度変動を補正することにより、図４に示すように
１次元受光信号の平均レベルが被検査物の表面反射率の
変動等によって変化した場合でも、局所的な表面欠陥の
検出見逃しを防止することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来方法では、被検査物の全面あるいは広範な領域
に一様に広がって発生する表面欠陥（以下、「全面状の
表面欠陥」という）を検出できないという問題点があっ
た。すなわち図５に例示するような被検査物の全幅に亘
る表面欠陥が発生した場合は、この欠陥部の受光信号
が、ＡＧＣ機能等により強度変化が軽減されて検出不可
能になるという問題があった。
うな従来方法では、被検査物の全面あるいは広範な領域
に一様に広がって発生する表面欠陥（以下、「全面状の
表面欠陥」という）を検出できないという問題点があっ
た。すなわち図５に例示するような被検査物の全幅に亘
る表面欠陥が発生した場合は、この欠陥部の受光信号
が、ＡＧＣ機能等により強度変化が軽減されて検出不可
能になるという問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題点を解決し、被
検査物表面に発生する比較的小さな局所的表面欠陥だけ
ではなく、被検査物表面全面あるいは広範囲に発生する
全面状の表面欠陥をも検出することのできる表面欠陥検
出方法、およびその方法を実施するための装置を提供す
ることを目的とする。
検査物表面に発生する比較的小さな局所的表面欠陥だけ
ではなく、被検査物表面全面あるいは広範囲に発生する
全面状の表面欠陥をも検出することのできる表面欠陥検
出方法、およびその方法を実施するための装置を提供す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の表面欠陥検出方法は、走行する被検査物の走行方向
に交わる幅方向の一次元画像を繰り返し採取することに
より受光信号を得、その受光信号に基づいて、被検査物
表面の欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、各一
次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求めそれら各平
均的な値と所定の第１のしきい値とを比較することによ
り被検査物表面の欠陥を検出するとともに、各一次元画
像毎の受光信号の各平均的な値が相互に同一の値となる
ように受光信号を補正して、この補正された受光信号と
所定の第２のしきい値とを比較することにより被検査物
表面の欠陥を検出することを特徴とする。
明の表面欠陥検出方法は、走行する被検査物の走行方向
に交わる幅方向の一次元画像を繰り返し採取することに
より受光信号を得、その受光信号に基づいて、被検査物
表面の欠陥を検出する表面欠陥検出方法において、各一
次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求めそれら各平
均的な値と所定の第１のしきい値とを比較することによ
り被検査物表面の欠陥を検出するとともに、各一次元画
像毎の受光信号の各平均的な値が相互に同一の値となる
ように受光信号を補正して、この補正された受光信号と
所定の第２のしきい値とを比較することにより被検査物
表面の欠陥を検出することを特徴とする。
【０００７】また、上記本発明の表面欠陥検出方法の実
施に用いられる本発明の表面欠陥検出装置は、 （１）走行する被検査物の走行方向に交わる幅方向の一
次元画像を繰り返し採取することにより受光信号を得る
一次元光検出器 （２）各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求め
る平均演算手段 （３）平均演算手段で求められた各平均的な値と所定の
第１のしきい値とを比較することにより被検査物表面の
欠陥を検出する第１の表面欠陥検出手段 （４）各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相互
に同一の値となるように受光信号を補正する信号補正手
段 （５）信号補正手段で補正された受光信号と所定の第２
のしきい値とを比較することにより被検査物表面の欠陥
を検出する第２の表面欠陥検出手段 を備えたことを特徴とする。
施に用いられる本発明の表面欠陥検出装置は、 （１）走行する被検査物の走行方向に交わる幅方向の一
次元画像を繰り返し採取することにより受光信号を得る
一次元光検出器 （２）各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求め
る平均演算手段 （３）平均演算手段で求められた各平均的な値と所定の
第１のしきい値とを比較することにより被検査物表面の
欠陥を検出する第１の表面欠陥検出手段 （４）各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相互
に同一の値となるように受光信号を補正する信号補正手
段 （５）信号補正手段で補正された受光信号と所定の第２
のしきい値とを比較することにより被検査物表面の欠陥
を検出する第２の表面欠陥検出手段 を備えたことを特徴とする。
【０００８】本発明者らが、被検査物の表面反射率や傾
きの変動による１次元受光信号平均値の変化ΔＡと、全
面状の表面欠陥に起因する１次元受光信号平均値の変化
ΔＢについて定量的評価を重ねたところ、その被検査物
の材質、その被検査物の走行系統、その被検査物の表面
欠陥等にもよるが、おおむねは、前者ΔＡは、後者ΔＢ
の約１／３以下であることが判明した。本発明はこの知
見に基づくものであり、本発明の方法によれば、従来の
ＡＧＣ回路の機能を踏襲することにより被検査物表面に
発生する局所的な表面欠陥を検出すると同時に、ＡＧＣ
処理前の１次元受光信号の平均的な強度を常時監視し、
その変化が所定のしきい値を越えるか否かを判定するこ
とにより全面状の表面欠陥も検出することを可能にし
た。このしきい値は、上記ΔＡとΔＢの中間の適当な値
に設定しておく。このようにして、本発明によれば、局
所的表面欠陥だけでなく、従来の方法では検出できなか
った全面状の表面欠陥も、全面状の表面欠陥検出用に専
用の光検出器を別途設けることなく、従来の光検出器だ
けを用いて検出することが可能になる。
きの変動による１次元受光信号平均値の変化ΔＡと、全
面状の表面欠陥に起因する１次元受光信号平均値の変化
ΔＢについて定量的評価を重ねたところ、その被検査物
の材質、その被検査物の走行系統、その被検査物の表面
欠陥等にもよるが、おおむねは、前者ΔＡは、後者ΔＢ
の約１／３以下であることが判明した。本発明はこの知
見に基づくものであり、本発明の方法によれば、従来の
ＡＧＣ回路の機能を踏襲することにより被検査物表面に
発生する局所的な表面欠陥を検出すると同時に、ＡＧＣ
処理前の１次元受光信号の平均的な強度を常時監視し、
その変化が所定のしきい値を越えるか否かを判定するこ
とにより全面状の表面欠陥も検出することを可能にし
た。このしきい値は、上記ΔＡとΔＢの中間の適当な値
に設定しておく。このようにして、本発明によれば、局
所的表面欠陥だけでなく、従来の方法では検出できなか
った全面状の表面欠陥も、全面状の表面欠陥検出用に専
用の光検出器を別途設けることなく、従来の光検出器だ
けを用いて検出することが可能になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の表面欠陥検出方法の一実施
形態における信号処理の流れを示す模式図である。まず
１番目の１次元受光信号に対してその平均強度を計測
し、その値と予め定めておいた所定のしきい値Ｔｈ１と
の大小を比較する。平均強度がしきい値Ｔｈ１より大き
い場合は、全面状の表面欠陥を検出した旨を出力装置へ
送る。逆に平均強度がしきい値Ｔｈ１より小さい場合
は、この平均強度の値に基づいてその１次元受光信号を
強度変換して連結処理手段に送り、続いて、２番目の１
次元受光信号に対して上記と同様の処理を行う。ここで
いう強度変換とは、各１次元受光信号の平均強度が一定
の値になるような変換をいう。このような手順を各１次
元受光信号に対して順次行っていく。この過程で、全面
状の表面欠陥は、各１次元受光信号の、強度変換を行う
前の平均強度の大きさを評価することによって検出され
る。一方、連結処理手段は、強度変換された１次元受光
信号を順次バッファに格納して２次元的受光信号を形成
し、予め定めておいたしきい値Ｔｈ２によりしきい値処
理を行う。このとき２次元的受光信号がしきい値Ｔｈ２
を越えた場合は、局所的な表面欠陥を検出した旨を出力
装置へ送る。２次元的受光信号がしきい値Ｔｈ２を越え
ない場合は、表面欠陥が存在しないことを意味し、その
旨を出力装置へ送る。
説明する。図１は、本発明の表面欠陥検出方法の一実施
形態における信号処理の流れを示す模式図である。まず
１番目の１次元受光信号に対してその平均強度を計測
し、その値と予め定めておいた所定のしきい値Ｔｈ１と
の大小を比較する。平均強度がしきい値Ｔｈ１より大き
い場合は、全面状の表面欠陥を検出した旨を出力装置へ
送る。逆に平均強度がしきい値Ｔｈ１より小さい場合
は、この平均強度の値に基づいてその１次元受光信号を
強度変換して連結処理手段に送り、続いて、２番目の１
次元受光信号に対して上記と同様の処理を行う。ここで
いう強度変換とは、各１次元受光信号の平均強度が一定
の値になるような変換をいう。このような手順を各１次
元受光信号に対して順次行っていく。この過程で、全面
状の表面欠陥は、各１次元受光信号の、強度変換を行う
前の平均強度の大きさを評価することによって検出され
る。一方、連結処理手段は、強度変換された１次元受光
信号を順次バッファに格納して２次元的受光信号を形成
し、予め定めておいたしきい値Ｔｈ２によりしきい値処
理を行う。このとき２次元的受光信号がしきい値Ｔｈ２
を越えた場合は、局所的な表面欠陥を検出した旨を出力
装置へ送る。２次元的受光信号がしきい値Ｔｈ２を越え
ない場合は、表面欠陥が存在しないことを意味し、その
旨を出力装置へ送る。
【００１０】上記の例では、説明の便宜上、２つのしき
い値Ｔｈ１、Ｔｈ２を用いて表面欠陥を全面状の欠陥と
局所的な欠陥の２通りに分けた場合を示したが、さらに
多くのしきい値を用いて欠陥分類を細分化したり、また
受光信号の寸法や空間的分布等に基づいてさらに詳細な
欠陥分類処理を行うことも可能である。図２は、本発明
の表面欠陥検出装置の一実施形態を示す模式図である。
以下、本装置の説明とともに、本装置を用いて、速度３
００ｍ／分で走行する板幅１５００ｍｍの酸洗鋼板を検
査した結果についても合わせて説明する。
い値Ｔｈ１、Ｔｈ２を用いて表面欠陥を全面状の欠陥と
局所的な欠陥の２通りに分けた場合を示したが、さらに
多くのしきい値を用いて欠陥分類を細分化したり、また
受光信号の寸法や空間的分布等に基づいてさらに詳細な
欠陥分類処理を行うことも可能である。図２は、本発明
の表面欠陥検出装置の一実施形態を示す模式図である。
以下、本装置の説明とともに、本装置を用いて、速度３
００ｍ／分で走行する板幅１５００ｍｍの酸洗鋼板を検
査した結果についても合わせて説明する。
【００１１】投光装置１０には、線状の白色光源を用い
て、被検査物（この例では鋼板）１の幅方向に帯状の光
を照射した。また、光検出器１１には、２０４８素子の
リニアＣＣＤカメラを用いた。この光検出器１１は、本
発明にいう一次元光検出器に相当する。光検出器１１で
得られた受光信号は平均強度計測手段１２と連結処理手
段１３に入力される。尚、ここに示す実施形態では、平
均強度計測手段１２及び連結処理手段１３は、専用の信
号処理ボードを用いたハードウェアで実現した。平均強
度計測手段１２は本発明にいう平均演算手段に相当し、
この平均強度計測手段１２では、光検出器１１で順次繰
り返し得られる各一次元受光信号毎の平均値が計測され
る。この各一次元受光信号毎の平均値は第１の表面欠陥
検出手段１４に入力され、この第１の表面欠陥検出手段
１４では、各平均値が第１のしきい値Ｔｈ１と比較さ
れ、全面状の表面欠陥の検出が行われる。
て、被検査物（この例では鋼板）１の幅方向に帯状の光
を照射した。また、光検出器１１には、２０４８素子の
リニアＣＣＤカメラを用いた。この光検出器１１は、本
発明にいう一次元光検出器に相当する。光検出器１１で
得られた受光信号は平均強度計測手段１２と連結処理手
段１３に入力される。尚、ここに示す実施形態では、平
均強度計測手段１２及び連結処理手段１３は、専用の信
号処理ボードを用いたハードウェアで実現した。平均強
度計測手段１２は本発明にいう平均演算手段に相当し、
この平均強度計測手段１２では、光検出器１１で順次繰
り返し得られる各一次元受光信号毎の平均値が計測され
る。この各一次元受光信号毎の平均値は第１の表面欠陥
検出手段１４に入力され、この第１の表面欠陥検出手段
１４では、各平均値が第１のしきい値Ｔｈ１と比較さ
れ、全面状の表面欠陥の検出が行われる。
【００１２】酸洗鋼板には、図５に示したような全面状
の欠陥、即ち、いわゆる「変色」と称される酸洗不良欠
陥が発生する。表面欠陥のない健全部における１次元受
光信号平均値の強度変動は、最大０．０４Ｖであるのに
対し、変色欠陥と健全部の強度変化は約０．１４〜０．
３５Ｖであった。したがって、ここでは第１の表面欠陥
検出手段１４のしきい値Ｔｈ１として０．１０Ｖを採用
した。
の欠陥、即ち、いわゆる「変色」と称される酸洗不良欠
陥が発生する。表面欠陥のない健全部における１次元受
光信号平均値の強度変動は、最大０．０４Ｖであるのに
対し、変色欠陥と健全部の強度変化は約０．１４〜０．
３５Ｖであった。したがって、ここでは第１の表面欠陥
検出手段１４のしきい値Ｔｈ１として０．１０Ｖを採用
した。
【００１３】また、連結処理手段１３には、本発明にい
う信号補正手段に相当するＡＧＣ機能を有し、連結処理
手段１３では、そのＡＧＣ機能により、各１次元受光信
号毎に平均強度が一定の値となるような強度変換が行わ
れると共に、その強度変換された１次元受光信号を順次
バッファに格納して２次元的受光信号を形成する。この
受光信号は第２の表面欠陥検出手段１５に入力され、従
来と同様に第２のしきい値Ｔｈ２と比較されて表面欠陥
の検出が行われる。
う信号補正手段に相当するＡＧＣ機能を有し、連結処理
手段１３では、そのＡＧＣ機能により、各１次元受光信
号毎に平均強度が一定の値となるような強度変換が行わ
れると共に、その強度変換された１次元受光信号を順次
バッファに格納して２次元的受光信号を形成する。この
受光信号は第２の表面欠陥検出手段１５に入力され、従
来と同様に第２のしきい値Ｔｈ２と比較されて表面欠陥
の検出が行われる。
【００１４】オンライン検査実験の結果、変色欠陥は、
従来のＡＧＣ機能だけの信号処理、すなわち、第２の表
面欠陥検出手段１５では検出できなかったが、各１次元
受光信号毎の各平均値をしきい値と比較する本発明によ
る方法では、計１２回発生した変色欠陥すべてを検出す
ることができた。
従来のＡＧＣ機能だけの信号処理、すなわち、第２の表
面欠陥検出手段１５では検出できなかったが、各１次元
受光信号毎の各平均値をしきい値と比較する本発明によ
る方法では、計１２回発生した変色欠陥すべてを検出す
ることができた。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来の技術で検出可能であった局所的な表面欠陥だけで
なく、従来の技術では検出不可能であった全面状の表面
欠陥も、特別な光検出器を新たに追加することなく検出
可能となる。
従来の技術で検出可能であった局所的な表面欠陥だけで
なく、従来の技術では検出不可能であった全面状の表面
欠陥も、特別な光検出器を新たに追加することなく検出
可能となる。
【図１】本発明の示す表面欠陥の検出方法の一実施形態
における信号処理の流れを示す模式図である。
における信号処理の流れを示す模式図である。
【図２】本発明の表面欠陥検出装置の一実施形態を示す
模式図である。
模式図である。
【図３】表面欠陥検出装置の光学系を示す説明図であ
る。
る。
【図４】１次元受光信号強度変動の影響を示す説明図で
ある。
ある。
【図５】全面状の表面欠陥を示す説明図である。
１ 被検査物 １０ 投光装置 １１ 光検出器 １２ 平均強度計測手段 １３ 連結処理手段 １４ 第１の表面欠陥検出手段 １５ 第２の表面欠陥検出手段 １６ 表面欠陥出力装置
Claims (2)
- 【請求項１】 走行する被検査物の走行方向に交わる幅
方向の一次元画像を繰り返し採取することにより受光信
号を得、該受光信号に基づいて、被検査物表面の欠陥を
検出する表面欠陥検出方法において、 各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求め該各平
均的な値と所定の第１のしきい値とを比較することによ
り被検査物表面の欠陥を検出するとともに、 各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相互に同一
の値となるように受光信号を補正して、この補正された
受光信号と所定の第２のしきい値とを比較することによ
り被検査物表面の欠陥を検出することを特徴とする表面
欠陥検出方法。 - 【請求項２】 走行する被検査物の走行方向に交わる幅
方向の一次元画像を繰り返し採取することにより受光信
号を得る一次元光検出器と、 各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値を求める平均
演算手段と、 該平均演算手段で求められた各平均的な値と所定の第１
のしきい値とを比較することにより被検査物表面の欠陥
を検出する第１の表面欠陥検出手段と、 各一次元画像毎の受光信号の各平均的な値が相互に同一
の値となるように受光信号を補正する信号補正手段と、 該信号補正手段で補正された受光信号と所定の第２のし
きい値とを比較することにより被検査物表面の欠陥を検
出する第２の表面欠陥検出手段とを備えたことを特徴と
する表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218881A JPH0961373A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 表面欠陥検出方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7218881A JPH0961373A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 表面欠陥検出方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0961373A true JPH0961373A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16726773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7218881A Withdrawn JPH0961373A (ja) | 1995-08-28 | 1995-08-28 | 表面欠陥検出方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0961373A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162579A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Jfe Electrical & Control Systems Inc | 紙の裁断面の品質評価装置及びそれを用いた品質評価方法 |
| JP2012129275A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Pulstec Industrial Co Ltd | 太陽電池セル検査装置 |
| JP2015184053A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | バンドー化学株式会社 | 表面モニタリング装置、クリーニング装置、及び搬送装置 |
-
1995
- 1995-08-28 JP JP7218881A patent/JPH0961373A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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