JPH05188B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

＜産業上の利用分野＞ 本発明は平坦な表面を有する金属板、例えば、
磁気デイスク基盤の素材たるアルミニウム合金製
デイスク原盤（以下アルミデイスクと略称する）
等の軟質金属の表面の研削・琢磨、すなわち研磨
に供する合成砥石に関する。 ＜従来の技術＞ 従来、平坦な表面を有する金属板で比較的軟質
なもの、例えばアルミデイスク等の表面研磨は、
精密旋盤等を用いた機械加工、炭化珪素等の微粉
末スラリーを用いた所謂ラツピング加工、あるい
はレジノイド系砥石や、ウレタン系砥石等の合成
砥石を用いた加工等が一般的であつた。 しかしながら、精密旋盤等を用いた機械加工
は、作業者の熟練度により仕上り精度、作業効率
が異る上、全般的に作業性が悪く、小型の被研磨
体を大量に処理するような場合、その効率の低さ
が顕著であつた。 また、炭化珪素等の砥粒微粉末スラリーを用い
たラツピリング加工法の場合は、スラリーのロ
ス、使用量が多く経済的に不利な上、周囲の作業
環境や作業者を汚染し、更には高濃度廃液の処理
に大変な手間と費用とを要するという問題点があ
つた。 かゝる砥粒微粉末スラリーを用いるラツピング
加工法に代えて、レジノイド系砥石、あるいはウ
レタン系砥石等、既存の固型砥石を用いた場合
は、研磨性能が不十分で十分な仕上り精度が得ら
れなかつたり、研削力が不足したり、あるいは目
詰まり現象等好ましからざる現象を惹起し、高能
率をもつて一定の性能が得られない等の問題点が
あつた。すなわち、平面部分の研磨、特にアルミ
デイスク等、平坦度と面精度とが同時に要求され
る研磨においては、被研磨体の表面と、研磨材の
表面との面相互間を接触させ、一時に研磨を進め
てゆく事が必要であり、例えばレジノイド系ある
いはウレタン系等の独立気孔構造の合成砥石を使
用した場合は、研磨作用による研磨屑、脱落研粒
等がこの気孔に入り込み、目詰まり現象を惹き起
し易く、研磨効果の持続性に欠け、頻繁なドレツ
シング（表面更新）作業が必要となるのである。 これに対して、連続気孔を有するポリビニルア
セタール系樹脂を結合材として用いたものは、研
磨屑、脱落砥粒等が気孔外に排出され易く、目詰
まり現象を起こし難いため、優れた合成砥石とし
て一般的に知られてたものであるが、比較的耐水
性に劣り、かかる精密研磨用途には不向きであ
る。 また耐水性付与を目的として熱硬化性樹脂硬化
体を配合したものも、特公昭39−1898号および同
53−6752号公報などに提案され、耐水性合成砥石
として公知のものである。特に後者の発明におい
ては、熱硬化性樹脂の配合比率を変えることによ
り、弾性のあるものから剛性に至るまでの性質を
有する研磨材が得られ、殊に粒度の細かい砥石
は、軟質、硬質、難削材の研磨に有用である旨の
一般的かつ定性的な開示がなされているが、平坦
な表面を有する軟質金属板、特にアルミデイスク
等の平面研磨に好適な精度研磨用砥石として適合
するための砥粒の配位・分布状態や、砥粒粒度に
対する砥石表面硬度の所要値等、物性上の諸条件
に関しては、依然として何等究明されておらず、
未だかゝる用途に有用且つ好適な人造砥石の出現
を見ていない。 ＜発明が解決しようとする問題点＞ 本発明者等は、上述の技術的現状と問題点とに
鑑み鋭意研究を行なつた結果、本発明を完成する
に至つたものであり、その目的とするところは、
優れた平坦度と高い面精度とを同時に満足するよ
うに仕上げられた軟質金属板、特にアルミデイス
ク等、就中、極めて精密な用途に供せられる特殊
アルミ合金の環状盤等を効率良く取得するにあ
る。本発明の他の目的は、かゝる精密平面研磨に
好適にして、特に両面ラツピング研磨機に適用し
て優れた性能を発揮する人造砥石を提供するにあ
る。 ＜問題を解決するための手段＞ 上述の目的は、平均気孔径が10〜100μｍかつ
気孔率が60〜85容量％である連続微細気孔を具え
た三次元網状組織をなす構造体であつて、該組織
がポリビニルアセタール系樹脂、メラニン系樹脂
の硬化体およびその他の熱硬化性樹脂の硬化体よ
りなり、ポリビニルアセタール系樹脂に対するメ
ラミン系樹脂の硬化体およびその他の熱硬化性樹
脂の硬化体の和の比率が、重量比において40〜
150重量％であるマトリツクスと、該マトリツク
ス中において相連接し実質的に連続状態をなして
存在する低粒微細粒子との混合体からなると共
に、表面硬度(H)と砥粒番手(G)とが式、 −230≦Ｈ＋Ｇ／55≦−80 但し Ｈ：ロツクウエル硬度計、スーパーフイシヤル15
−ｙスケールで測定した値。 Ｇ：JIS−Ｒ−6001により分級された砥粒番手。 を満足する関係にあることを特徴とする軟質金属
用合金成砥石によつて達成される。 本発明における先ず第一の要点は、アルミデイ
スク等比較的軟質な金属の平面研磨用砥石とし
て、連続微細気孔を具えた三次元網状組織をなす
構造体を用いた点にある。すなわち、 本発明の如き三次元網状組織構造体は、レジノ
イド系ウレタン系人造砥石の独立気泡構造とは組
織を全く異にし、独立気泡は存在せず、空隙中に
枝が立体的に伸びた様な組織であり、気孔は無限
に連通したものとなる。従つて、研磨屑脱落砥粒
等はこの間隙から系外に排出され易く、また補足
された場合も目詰まり現象をおこしにくいもので
ある。 この効果が十分に得られるのは平均気孔径10乃
至100μｍの範囲であり、これを下廻ると密すぎ
て、目詰まり等の現象が出易い。またこれを上廻
ると、構造的に粗すぎて物性の均一性という面で
やゝ難がある。 また気孔率は60〜85容量％の範囲にある事が好
ましい。60容量％未満の場合は、独立気孔が存在
するようになり、85容量％を超えると強度の面で
やゝ不十分なものとなる。 本発明において、第二の要点は、砥粒の結合材
であるマトリツクスとして、ポリビニルアセター
ル系樹脂と、メラミン系樹脂の硬化体及びその他
の熱硬化性樹脂の硬化体との混合体を用いた点に
ある。 既述の通り、ポリビニルアセタール系樹脂に耐
水性付与を目的として熱硬化性樹脂硬化体を配合
したものは耐水性合成砥石として公知であるが本
発明者等は、ポリビニルアセタール系樹脂の他に
メラニン系樹脂を選定し、更にその他の熱硬化性
樹脂を併用し、その合計の比率が重量比において
ポリビニルアセタール系樹脂に対し40〜150重量
％の範囲内にあるものが、本発明の目的であるア
ルミデイスク等比較的軟質の金属の表面研磨に好
適である事を見出したものである。 すなわち、結合材をかかる比率に設定し、後述
するが如き方法で熱処理を施すことにより、本発
明の目的である軟質金属の表面研磨に必要な硬
さ、切りれ味（研削力）、および適度な弾性をも
つ砥石となりうるのである。 特に、本発明の目的に適合するためにには、砥
石の靭性（ねばり）が少ない事が必要であり、靭
性が高いと、切り味が落ち、目詰まり現象も起こ
し易くなる。ポリビニルアセタール系樹脂は、砥
粒の保持力、結合力及び親水性には優れるが、
やゝ靭性の高いものである為、メラミン系樹脂硬
化体を用いることでその靭性を低減せしめ、脆性
を与えるとともに、その硬度の不足を他の熱硬化
性樹脂で補おうとするものである。他の熱硬化性
樹脂としては、フエノール系樹脂、尿素系樹脂、
熱硬化型ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂等、が
挙げられるが、本発明の目的達成の為には、特に
フエノール系樹脂が好適であり、またこれらの熱
硬化性樹脂は前記メラミン系樹脂に対し、重量比
にて20〜40重量％の比率にて用いることが特に好
適である。 すなわち本発明において、マトリツクスとして
ポリビニルアセタール系樹脂と、メラミン系樹脂
硬化体及びその他の熱硬化性樹脂硬化体とを併用
することは、ポリビニルアセタール系樹脂の持つ
砥粒保持力、親水性及び弾性が、それ以外の樹脂
の硬さ、脆性、耐水性等の優れた性質とを相俟つ
て、軟質金属表面研磨に適した切れ味と研磨力と
を有し、目詰まりの起こりにくい、すなわち効果
の持続性に優れた砥石となり得るのである。 上述の特長を象徴する特性値としては、ロツク
ウエル硬度計スーパーフイシヤル15−Ｙスケール
で測定した砥石の表面硬度(H)が挙げられ、この値
が下式に示す不等式を満足する場合、砥石は本発
明の目的である軟質金属の平面研磨に好適な物性
を有するものである。 −230≦Ｈ＋Ｇ／55≦−80 （但し、Ｇ： JIS−Ｒ−6001により分級された
砥粒番手、） 上式の下限を下廻ると脆弱過ぎて切り味が劣
り、また砥石自体の消耗が激しく、一方、上限を
上廻ると硬度および靭性が高過ぎて目詰まり現象
が起こり易く、本発明の目的とする砥石としての
好適な性能を発揮し難い。 上式によつて明確な如く、砥粒番手が低い程、
すなわち砥粒々径が大きい程、硬度を高目にする
ことが好ましい。 本発明における第三の要点は、研磨性能を持つ
砥粒の配位・分布状態に係わる点である。すなわ
ちこの種の合成砥石においては、樹脂マトリツク
ス等の結合材の中に砥粒の粒子が分布されてお
り、研磨作用においては、研磨面が存在する砥
粒々子が摩擦により被研磨体が摺擦して脱落し、
系外へ排出されるという現象を繰り返し、砥石は
自らの厚味を減少させつつ、被研磨体表面を研磨
してゆくものであるが、砥粒の比率が少ないと、
１個の砥粒が独立して存在する事となり、その砥
粒が脱落した後は、ミクロ的見方をすれば結合材
のみで表面を摺擦する。すなわち研磨刀のない部
分での摺擦を行なう為、切れ味（研削力）が劣る
ものとなる。特に本発明の如く、アルミデイスク
等軟質金属の表面研磨を目的とする場合、かかる
現象は好ましくなく、表面斑、研磨斑等の問題に
つながり易い。 本発明においては、かかる好ましからざる現象
を回避する為、個々の砥粒がマトリツクス中で
各々独立して存在せず隣接した砥粒粒子と相互に
連接し、実質的に連続した状態をなして分布して
いる。かゝる砥粒の状態は、本発明になる砥石の
マトリツクスが、60〜85容量％という高い気孔率
をもつて三次元的に均一に連通した、平均孔径10
〜100μｍの連続気孔構造をなし、このようなマ
トリツクスの微細骨格中に適度な粒度の砥粒微細
粒子が充分な量をもつて、所謂、目白押しをなし
て配位され、均一に分布していることに由来す
る。また、かゝる配位・分布を確実にするための
好適な砥粒番手は、少なくとも800番、含有量は
混合体重量の25重量％以上、更に好適には40重量
％以上である。 本発明にかゝる砥石は次の如き方法にて製造さ
れる。 すなわち、平均重合度300〜2000鹸化度80モル
％以上のポリビニルアルコール又はその誘導体、
変成体を一種あるいはそれ以上混合して水溶液と
なし、それにメラミン系樹脂およびその他の熱可
塑性樹脂のモノマー、オリゴマーあるいは重合体
等からなる前駆体の水溶液、非水溶媒溶液、エマ
ルジヨン等を加え、均一に撹拌し、更に砥粒、架
橋剤としてのアルデヒド類、触媒としての酸類、
及び気孔生成剤としての澱粉類等を加えて、均一
粘調スラリーを調製し、これを所定の型枠に注型
する。然る後、40乃至100℃の温度にて均一昼夜、
湯浴あるいはその他の浴中で反応固化を行なつた
後取出し、水洗して余剰のアルデヒド類、酸類、
気孔生成剤を除去する。こうして得られた中間体
は、形態的には砥石の形態を整えてはいるが、樹
脂の硬化反応が行なわれておらず、性能は不十分
である。 従つてこの中間体を100℃程度の温度で加熱し、
水分を蒸発除去、乾燥した後、樹脂の硬化を行な
う為の熱処理（キユアリング）を行なわねばなら
ないが、キユアリングに必要な温度及び時間は、
使用した樹脂の種類及び量によつて微妙に異なる
ものである。一般的には100乃至250℃で20乃至
100時間のキユアリングを施せば、硬化反応は
ほゞ達成される。 硬化が不十分であると靭性が大きく、またキユ
アリング条件が過酷で硬化が進みすぎると熱分解
が同時に生起し、好ましからざる現象を起こり易
いので、条件の特定は慎重に行なう必要がある。 またセキユアリングにおいて急激な昇温を避け
る為、段階的な昇温を行なつたり、不活性ガス雰
囲気中で行なつたりすることも有効である。 ポリビニルアルコール以外の樹脂については前
述の如く、反応原液の段階で混合（プレミツク
ス）しても良いが反応終了後の中間体にその液状
前駆体を含浸せしめてからキユアリングしてもよ
く、また一つの樹脂をプレミツクスし、もう一つ
の樹脂を後処理するという手段を用いてよく、特
に方法については限定されない。更に熱硬化を促
進するための触媒を併用することも有効である。 液状の樹脂は、水溶液、有機溶剤に溶解した溶
液、エマルジヨン、あるいは樹脂原液のいずれも
使用しうるが、作業性および混合比のコントロー
ルのし易さから見て、水溶液を使用する方法が最
も好適である。 また、本発明に言う砥粒微細粒子とは、ダイヤ
モンド、窒化硼素、炭化珪素、熔融アルミナ、ガ
ーネツト、エメリー、酸化セリウム酸化クロム等
研削力を有する化合物又は単体からなる研磨材料
のいずれかを粉砕し、適当な方法にてJIS規格
R6001に規定された粒度に分級されたものを指す
ものであるが、特に本発明の目的を達成するに
は、炭素珪素、熔融アルミナ、酸化クロム、酸化
セリウムよりなる超硬セラミツクス砥粒の内少な
くとも１種を選定することが好ましい。 ＜作用＞ 前述の如くして得られた砥石は所望の形状に成
型された後、軟質金属の表面研磨用途に供せられ
るが、特にアルミデイスク等、特殊アルミ合金の
環状盤の表面研磨の如き、極めて精密な用途に供
せられる場合、研磨前後の厚味、すなわち切削量
が精度高く定められており、しかも平坦度、厚味
のバラツキが極端におさえられている為、一般的
な研磨装置には適用されにくく、例えば両面ラツ
ピング式研磨機等、極めて精密な装置に装着して
用いる事が好ましい。ここで言う両面ラツピング
式研磨機とは、円形又は環形盤状の金属製定盤を
上下面に備え、その間に被研磨体を１枚またはそ
れ以上はさみこんで圧着し、上下両定盤を逆方向
あるいは同方向の場合は速度を変えて回動せし
め、被研磨体表面を摺動擦過せしめて、研磨を行
なう装置を言い、本発明になる砥石を適用する場
合には、砥石が均一平面を形成するよう、両定盤
にこれを装着して用いるものである。稼動時には
研磨助剤たる液体を適量流し、研磨面を濡らしつ
つ研磨が行なわれるものであるが、ここで用いら
れる液体所謂、研磨液は、水、ある種の界面活性
剤を含んだ水あるいは有機溶剤等である。 かくして本発明になる砥石を両面ラツピング式
研磨機に装着し、例えばアルミデイスクの研磨を
行なうと、優れた耐水性と砥粒保持力とを有する
マトリツクス樹脂中に均一且つ緻密に充填され、
相互に連接した砥粒微細粒子は、マトリツクスの
適度な硬度、弾性、脆性などと相俟つて、冴えた
切れ味すなわち研削力を示し、また砥粒々子は摺
擦研磨作用により順次脱落しても背後に連接した
新しい砥粒が表面に現れて砥面が直ちに更新再生
されると共に、研削屑、脱落砥粒等は連続微細気
孔から排出され易いため、目詰まりを起こ難いか
ら高い研磨力が長期に亘つて維持される。また、
本発明砥石の超微細砥粒の前述せる特殊の配位・
分布状態のために、研磨作業時、マトリツクス樹
脂のみによる摺擦現象を生ずることなく、平坦な
被研磨体全面に亘つて砥粒々子が接触・摺擦し、
常時均一な研磨作用が行なわれる。従つて、本発
明砥石は、平坦な表面を有する軟質金属板に、研
磨斑のない、高い平滑度と優れた仕上り面精度と
を効率良く与えるものである。 ＜実施例＞ 以下実施例に従い本発明の実施態様を説明す
る。尚、本実施例において使用した装置・器具は
次の通りである。 ●研磨装置……スピードフアム社製両面研磨機
（型式SFDL 9B−5SSG） ●表面粗さ計……東京精密社製 表面粗さ計（型
式、サーフコム553A） ●結合度……大越式砥石結合度試験機（東京工機
社製） ●硬度計……松沢精機製ロツクウエル硬度計（型
式 SF−15Y） ●被研磨材……アルミニウム合金製環状板で、
JIS規格AA5086 合金製のものを用いた。 また研磨条件および、表面精度、硬度、結合度
の測定条件は下記の通りである。 ●研磨条件（SFDL−9B−5SSG） ●圧力100ｇｒ／cm² ●研磨時間 ……３分／１バツチ ●上部定盤回転数 ……20R／Ｍ（左回り） ●下部定盤回転数 ……60R／Ｍ（右回り） ●キヤリアー定盤回転数 ……20R／Ｍ（右回り） ●水供給量 ……５／分 ●表面精度測定条件（^Ra _Rnax）（サーフコム553A） ●表面精度測定条件（W_CM） ●カツトオフ値 ……0.8mm以上 ●測定長 ……2.5mm ●カツトオフ値 ……0.8mm以下 ●測定長 ……80mm なおこゝでいうRa、Rmax、W_CMについては、
次式で表わされるパラメーターである Ra ……中心線平均粗さ Ra＝１／Ｌ∫^L _O｜ｆ(x)｜dx Rmax……最大高さ Rmax＝Pmax−Vmin W_CM……３波最大うねり W_CM＝Pmax−Vmin Ra 粗さ曲線より計算 Rmax 断面曲線より計算 W_CM ３波うねり曲線より計算 ◎表面硬度測定条件 ロツクウエルスーパーフイシヤル15−Ｙスケ
ール使用 荷重15Kg 測定子1/2インチ鋼球 ◎結合度 荷重10Kg用いJIS Ｒ−6240法に準処した方法
にて測定 実施例 １ 砥粒としてＣ砥粒2000番（炭化珪素、平均粒径
7.1〜8.9ミクロンメーターのもの）を用いた。 ポリビニルアルコールは重合度1700完全鹸化の
ものを用いて水溶液化し、これに水溶性のフエノ
ール樹脂として住友デユレズ(株)製PR−96IA、水
溶性のメラミ樹脂として昭和高分子(株)製SM−
700をそれぞれ所定量混合し、更にこれに触媒と
しての硫酸、架橋剤としてのホルムアルデハイ
ド、気孔生成剤としてのコーンスターチを加え、
前述砥粒と混合して均一のスラリー状液を調整し
た。このスラリー液を所定の型枠に注型し、60℃
の水浴中にて１昼夜反応固化せしめて中間体を得
た後、水洗し、過剰の酸、ホルムアルデハイド、
コーンスターチ等を除去して乾燥し、然る後、
130℃の温度にて約50時間熱処理して、所期の砥
石を得た。 本実施例で用いた砥石の組成は第１表に示す。
かくして得られた砥石を、第１図に示す如き略扇
形の形状１に切断成型し、金属製取付板２に接合
し、ボルトにて研磨装置SFDL−9B5SSGの上下
ラツピング盤３に取付けた。キヤリアーを用い
て、被研磨材を固定し、研磨装置の所定の条件に
て、研磨を行なつた。研磨液（クーラント）とし
ては水を用い、所定時間研磨後、被研磨材の表面
形状を検査した。 また、砥石面の目詰まり状態等確認の為砥石の
ドレツシング作業なしで15バツチ連続研磨を行な
い、砥面の状態および研磨の状態を検査した。結
果を第１表に記す。

【表】

【表】 第１表より明らかな如く、硬度範囲が所定の範
囲内にあるものは、仕上り面精度も良好でかつ15
バツチ経過後の研磨性能の低下もそれ程著しくな
い。 メラミン系樹脂とフエノール系樹脂の和のポリ
ビニルアセタール系樹脂に対する比が150％を超
越えるもの（試験No.１）は、硬度が高く仕上り面
精度やゝ悪い。継続テストを行なうと、Rmaxの
値が上昇し、条痕の発生が多くなる事を示してい
る。またその比が40％を下回るもの（試験No.５）
は、研削力が低く目詰まりし易く、特にW_CMの値
が高く、平坦度が出ない傾向が認められる。 砥粒含有量が少なく、連続して存在しないもの
（試験No.６）は、全く研削力がなく、不適である。 更に、熱硬化性樹脂がメラミン系樹脂のみで構
成されてあるもの（試験No.７）は、脆すぎて砥石
の磨耗が激しく、特に部分的な磨耗がある為にこ
れも不適である。 実施例 ２ 粒砥番手を種々に変化せしめた砥石を前記実施
例１に述べたと同様の手順と作製し、同様の研磨
作業を行なつた上、検査した結果を第２表に示
す。

【表】

【表】 第２表から明らかな通り、番手の低い程、すな
わち砥粒が粗い程研削力があり、まな砥石の磨耗
も激しいが、これは研磨の性格上当然のことであ
り、特に支障はない。 総合的な見方をすれば、本発明になる砥石は、
アルミデイスク等、軟質金属の研磨に十分適用可
能であり、稼動に際しては10〜12バツチに１度程
度の頻度でドレツシング（表面更新）作業を行な
つてやれば、研磨力の変化も少なく、十分に使用
に耐えうるものである。 ＜発明の効果＞ 本発明により、従来既存の砥石では到底実現し
得なかつた、優れた平坦度と高い面精度とを同時
に備えた、軟質金属板、例えばアルミデイスクを
効率良く取得することが可能となつたため、電子
工業、事務機器産業等の発達に伴なう情報蓄積媒
体としての高精度仕上アルミデイスク等の急速な
需要増に充分対処することが出来ると共に、研磨
作業効率の上昇は生産加工コストの低減を可能と
するなど、産業界への寄与は頗る大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明砥石の使用状況を説明するため
のラツピング式研磨機のラツピング盤の斜視図で
ある。 １……砥石、２……取付板、３……ラツピング
盤。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 平均気孔径が10〜100μｍかつ気孔率が60〜
   85容量％である連続微細気孔を具えた三次元網状
   組織をなす構造体であつて、該組織がポリビニル
   アセタール系樹脂、メラニン系樹脂の硬化体およ
   びその他の熱硬化性樹脂の硬化体よりなり、ポリ
   ビニルアセタール系樹脂に対するメラミン系樹脂
   の硬化体およびその他の熱硬化性樹脂の硬化体の
   和の比率が、重量比において40〜150重量％であ
   るマトリツクスと、該マトリツクス中において相
   連接し実質的に連続状態をなして存在する低粒微
   細粒子との混合体からなると共に、表面硬度(H)と
   砥粒番手(G)とが式、 −230≦Ｈ＋Ｇ／55≦−80 但し Ｈ： ロツクウエル硬度計、スーパーフイシヤル
   15−ｙスケールで測定した値。 Ｇ：JIS−Ｒ−6001により分級された砥粒番手。 を満足する関係にあることを特徴とする軟質金属
   用合成砥石。 ２ その他の熱硬化性樹脂がフエノール系樹脂、
   あるいはその誘導体であり、メラミン系樹脂に対
   する20〜40重量％用いられる前記特許請求の範囲
   第１項記載の軟質金属用研磨砥石。 ３ 砥粒微細粒子が、炭化珪素、溶融アルミナ、
   酸化セリウムおよび酸化クロムよりなる群から選
   ばれた少なくとも一つの超硬セラミツクよりなる
   前記特許請求の範囲第１項記載の軟質金属用研磨
   砥石。 ４ 砥粒番手(G)が少なくとも800番である前記特
   許請求の範囲第１項記載の軟質金属用研磨砥石。 ５ 砥粒微細粒子が混合体の重量に対して少なく
   とも25重量％含有されている前記特許請求の範囲
   第１項軟質金属用研磨砥石。 ６ 砥粒微細粒子の含有量が少なくとも40重量％
   である前記特許請求の範囲第１項記載の軟質金属
   用研磨砥石。