JPH05189906A - 浮上型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
浮上型磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH05189906A JPH05189906A JP508692A JP508692A JPH05189906A JP H05189906 A JPH05189906 A JP H05189906A JP 508692 A JP508692 A JP 508692A JP 508692 A JP508692 A JP 508692A JP H05189906 A JPH05189906 A JP H05189906A
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- Japan
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- spring
- suspension
- magnetic head
- spring pressure
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 記録媒体に対するスライダの浮上量を小さ
く、かつ正確に設定できるようにする。 【構成】 スライダ１とサスペンション２とを結合して
後にサスペンション２のばね部３に熱エネルギーを与え
てばね圧の調整を行う。
く、かつ正確に設定できるようにする。 【構成】 スライダ１とサスペンション２とを結合して
後にサスペンション２のばね部３に熱エネルギーを与え
てばね圧の調整を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
ドライブ装置（以下ＨＤＤという）における浮上型磁気
ヘッドの製造方法に係わる。
ドライブ装置（以下ＨＤＤという）における浮上型磁気
ヘッドの製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】ＨＤＤ等においては、記録媒体例えばハ
ードディスク（以下ＨＤという）から浮上するようにな
されたスライダに磁気ヘッドが配置されて、記録再生動
作時には例えばＨＤに対し磁気ヘッドが所要の狭間隔を
保持して対向するようになされている。
ードディスク（以下ＨＤという）から浮上するようにな
されたスライダに磁気ヘッドが配置されて、記録再生動
作時には例えばＨＤに対し磁気ヘッドが所要の狭間隔を
保持して対向するようになされている。
【０００３】この場合、スライダは、記録媒体との相対
的移行による空気流によって浮上するようになされる。
的移行による空気流によって浮上するようになされる。
【０００４】図１に示すようにスライダ１は、上述の浮
上力に抗する弾性的押圧力すなわちばね圧を与えるサス
ペンション２の遊端に設けられて所要の浮上量が設定さ
れるようになされている。
上力に抗する弾性的押圧力すなわちばね圧を与えるサス
ペンション２の遊端に設けられて所要の浮上量が設定さ
れるようになされている。
【０００５】一方、ＨＤＤにおいてその記録密度の増大
と共に、磁気ヘッドと媒体との狭間隔化、したがってス
ライダの浮上量の低減が要求される。この浮上量は、サ
ブミクロンオーダー例えば０．１μｍ以下にも及ぶ縮減
化が期待される方向にある。そして、この浮上量の縮減
化に伴い浮上量のばらつき、すなわち公差もより小さく
することの必要性が生じている。
と共に、磁気ヘッドと媒体との狭間隔化、したがってス
ライダの浮上量の低減が要求される。この浮上量は、サ
ブミクロンオーダー例えば０．１μｍ以下にも及ぶ縮減
化が期待される方向にある。そして、この浮上量の縮減
化に伴い浮上量のばらつき、すなわち公差もより小さく
することの必要性が生じている。
【０００６】この磁気ヘッドすなわちスライダの浮上量
のばつらきの発生因子としては、スライダ１の浮上面い
わゆるＡＢＳ（エア・ベアリング・サーフェス）４に設
けられたレール５のレール幅、レール形状すなわちその
長手方向に関する弯曲いわゆるクラウン、よじれすなわ
ちツイスト等、さらにサスペンション荷重、サスペンシ
ョンのねじれ（ロール）、サスペンションによるスライ
ダに対する荷重点とスライダ中心とのずれ等が挙げられ
る。
のばつらきの発生因子としては、スライダ１の浮上面い
わゆるＡＢＳ（エア・ベアリング・サーフェス）４に設
けられたレール５のレール幅、レール形状すなわちその
長手方向に関する弯曲いわゆるクラウン、よじれすなわ
ちツイスト等、さらにサスペンション荷重、サスペンシ
ョンのねじれ（ロール）、サスペンションによるスライ
ダに対する荷重点とスライダ中心とのずれ等が挙げられ
る。
【０００７】したがって浮上量の公差を小さくするため
には、これら発生因子の全てについて設計値に近づける
必要がある。しかしながら、このような全ての因子に対
してばらつきがなく、各寸法、ばね圧等の公差を抑える
ことは極めて困難であることと、その組立工程中での取
扱い等によってばね圧の変化が少なからず起こることは
避け得ない問題である。
には、これら発生因子の全てについて設計値に近づける
必要がある。しかしながら、このような全ての因子に対
してばらつきがなく、各寸法、ばね圧等の公差を抑える
ことは極めて困難であることと、その組立工程中での取
扱い等によってばね圧の変化が少なからず起こることは
避け得ない問題である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明においては、磁
気ヘッドが取付けられたスライダに対してサスペンショ
ンが結合されて所要の浮上量が設定されるようにした浮
上型磁気ヘッドにおいて、狭小な浮上面の設定を小さい
公差をもって行うことができるようにした浮上型磁気ヘ
ッドの製造方法を提供する。
気ヘッドが取付けられたスライダに対してサスペンショ
ンが結合されて所要の浮上量が設定されるようにした浮
上型磁気ヘッドにおいて、狭小な浮上面の設定を小さい
公差をもって行うことができるようにした浮上型磁気ヘ
ッドの製造方法を提供する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明においては、図１
にその組立られた浮上型磁気ヘッドの一例の斜視図を示
すように、磁気ヘッド１１が配置されるスライダ１と、
これを弾性的に支持する少なくとも対のばね部３を有す
るサスペンション２と結合して後に、これら対のばね部
３に対し個々に熱エネルギーを与えて、これら各ばね部
のばね圧を調整してスライダ１に記録媒体面から所要の
浮上量が得られるようにする。
にその組立られた浮上型磁気ヘッドの一例の斜視図を示
すように、磁気ヘッド１１が配置されるスライダ１と、
これを弾性的に支持する少なくとも対のばね部３を有す
るサスペンション２と結合して後に、これら対のばね部
３に対し個々に熱エネルギーを与えて、これら各ばね部
のばね圧を調整してスライダ１に記録媒体面から所要の
浮上量が得られるようにする。
【００１０】
【作用】本発明においては、サスペンション２にスライ
ダ１を結合させて後に、サスペンション２のばね部３に
熱エネルギーを与えてこれらばね部３にそれぞれ所要の
ばね圧が生じるようにするものであり、このように両ば
ね部に対しそのばね圧の調整が行われることによって両
者のばね圧のバランスによってサスペンション２の傾
き、すなわちローリング調整を行い、かつ両ばね部３の
ばね圧によって全体の記録媒体に対する押圧力の調整を
行うことができる。
ダ１を結合させて後に、サスペンション２のばね部３に
熱エネルギーを与えてこれらばね部３にそれぞれ所要の
ばね圧が生じるようにするものであり、このように両ば
ね部に対しそのばね圧の調整が行われることによって両
者のばね圧のバランスによってサスペンション２の傾
き、すなわちローリング調整を行い、かつ両ばね部３の
ばね圧によって全体の記録媒体に対する押圧力の調整を
行うことができる。
【００１１】すなわち、一般にばね圧は、ばね材を屈曲
させてばね圧が生ずるようになし、その後熱処理を行っ
てこの屈曲によって生じた機械的歪みを開放すると共に
ばね圧の調整、具体的には、ばね圧の低下による調整を
行う。
させてばね圧が生ずるようになし、その後熱処理を行っ
てこの屈曲によって生じた機械的歪みを開放すると共に
ばね圧の調整、具体的には、ばね圧の低下による調整を
行う。
【００１２】このばね圧と加熱との関係を図２によって
説明する。この場合横軸に時間経過を示し縦軸にばね圧
を示したもので、今、例えば板ばね等のばね材を屈曲さ
せて熱エネルギーを与えない状態ですなわち初期の状態
でのばね圧がＴ0 である場合、そのばね部３に熱エネル
ギーを与えるときその熱エネルギーの付与時間、すなわ
ち加熱区間τ1 においてそのばね圧が低下するが、τ1
の後すなわち加熱を停止した状態でばね圧が或る値まで
復帰していく。つまりこの場合ばね圧は、初期のばね圧
Ｔ0 より低い値Ｔ1 になる。さらにまたこの状態から区
間τ2 に渡って加熱すると、そのばね圧が低下し加熱を
停止することによってばね圧Ｔ1 より低いばね圧Ｔ2 と
なる。したがって、この加熱時間あるいは加熱回数の選
定によってばね圧を初期のばね圧Ｔ0 より低い所望の値
にすることができる。したがって、上述したようにサス
ペンションとスライダとを結合した状態ですなわち磁気
ヘッドの支持部に関する組立てが終了した時点でそのば
ね圧を測定して所要のばね圧になるように設定すること
ができ、このようにすることによって上述したスライダ
の寸法形状、サスペンション荷重、サスペンションのね
じれ等、あるいはスライダ中心とサスペンションによる
荷重のずれ等の公差を全て含んで所要の荷重とすること
ができることから正確にスライダの浮上量の設定ができ
狭小な浮上量とした場合においても公差の小さい浮上量
の設定を行うことができる。
説明する。この場合横軸に時間経過を示し縦軸にばね圧
を示したもので、今、例えば板ばね等のばね材を屈曲さ
せて熱エネルギーを与えない状態ですなわち初期の状態
でのばね圧がＴ0 である場合、そのばね部３に熱エネル
ギーを与えるときその熱エネルギーの付与時間、すなわ
ち加熱区間τ1 においてそのばね圧が低下するが、τ1
の後すなわち加熱を停止した状態でばね圧が或る値まで
復帰していく。つまりこの場合ばね圧は、初期のばね圧
Ｔ0 より低い値Ｔ1 になる。さらにまたこの状態から区
間τ2 に渡って加熱すると、そのばね圧が低下し加熱を
停止することによってばね圧Ｔ1 より低いばね圧Ｔ2 と
なる。したがって、この加熱時間あるいは加熱回数の選
定によってばね圧を初期のばね圧Ｔ0 より低い所望の値
にすることができる。したがって、上述したようにサス
ペンションとスライダとを結合した状態ですなわち磁気
ヘッドの支持部に関する組立てが終了した時点でそのば
ね圧を測定して所要のばね圧になるように設定すること
ができ、このようにすることによって上述したスライダ
の寸法形状、サスペンション荷重、サスペンションのね
じれ等、あるいはスライダ中心とサスペンションによる
荷重のずれ等の公差を全て含んで所要の荷重とすること
ができることから正確にスライダの浮上量の設定ができ
狭小な浮上量とした場合においても公差の小さい浮上量
の設定を行うことができる。
【００１３】
【実施例】本発明による製造方法の一例を説明する。
【００１４】本発明においては図１にその略線的拡大斜
視図を示すように、アルミナ、チタン酸カリウム、アル
チク（Ａｌ2 Ｏ3 とＴｉＣの混合によるホットプレスあ
るいは焼結体）等よりなるスライダ１が用意される。こ
のスライダ１には、その記録媒体すなわち例えばＨＤと
対向する面すなわち浮上面いわゆるＡＢＳ４に互いに平
行の例えば２本のレール５が設けられ、例えば一方のレ
ール５の側面に、ＡＢＳ面４に磁気ギャップが臨むよう
に例えばインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドあるいは
（及び）磁気抵抗効果型薄膜再生磁気ヘッド等の磁気ヘ
ッド１１がつくりつけられるなど配置される。
視図を示すように、アルミナ、チタン酸カリウム、アル
チク（Ａｌ2 Ｏ3 とＴｉＣの混合によるホットプレスあ
るいは焼結体）等よりなるスライダ１が用意される。こ
のスライダ１には、その記録媒体すなわち例えばＨＤと
対向する面すなわち浮上面いわゆるＡＢＳ４に互いに平
行の例えば２本のレール５が設けられ、例えば一方のレ
ール５の側面に、ＡＢＳ面４に磁気ギャップが臨むよう
に例えばインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドあるいは
（及び）磁気抵抗効果型薄膜再生磁気ヘッド等の磁気ヘ
ッド１１がつくりつけられるなど配置される。
【００１５】このスライダ１は、サスペンション２によ
って磁気記録媒体Ｓ、例えばＨＤに向かって押圧力が与
えられるようになされる。
って磁気記録媒体Ｓ、例えばＨＤに向かって押圧力が与
えられるようになされる。
【００１６】サスペンション２は、ジンバル部１２と板
ばね１３よりなるいわゆるロードビームとを有してなり
ロードビーム１３すなわち板ばねの基部側には、切込み
１４が設けられて叉状になされ、その両側に１本づつ、
即ち少なくとも対のばね部３が形成される。このばね部
３は、それぞれロードビームの長手方向に沿って「く」
の字状に屈曲されてマウント部２５に固定される。
ばね１３よりなるいわゆるロードビームとを有してなり
ロードビーム１３すなわち板ばねの基部側には、切込み
１４が設けられて叉状になされ、その両側に１本づつ、
即ち少なくとも対のばね部３が形成される。このばね部
３は、それぞれロードビームの長手方向に沿って「く」
の字状に屈曲されてマウント部２５に固定される。
【００１７】ジンバル部１２は、図３にその略線的斜視
図を示すように、帯状の例えば弾性金属板によって形成
され、その中央部に折り曲げ溝が設けられてこれが図１
に示すようにスライダ１のＡＢＳ４とは反対側に設けら
れた溝１５に嵌込まれるようになされる。ジンバル部１
２の中央部には切込みによって弾性舌片１４が形成され
ると共にこれに上方に膨出する突起１６が設けられる。
一方、板ばね（ロードビーム）１３の遊端は、ジンバル
部１２の後方端に溶接等によって結合されると共に、そ
の遊端の先端部１７がジンバル部１２の突起１６に衝合
するようになされる。このように、磁気ヘッド１１を有
するスライダ１が、サスペンション２を介してマウント
部２５に取付けられて成る磁気ヘッド構体いわゆるＨＧ
Ａ（ヘッド・ジンバル・アッセンブリ）２６は、このマ
ウント部２５において、磁気ヘッドを磁気記録媒体Ｓ、
例えばＨＤ上の所定位置に持ち来す駆動アーム（図示せ
ず）に固定される。
図を示すように、帯状の例えば弾性金属板によって形成
され、その中央部に折り曲げ溝が設けられてこれが図１
に示すようにスライダ１のＡＢＳ４とは反対側に設けら
れた溝１５に嵌込まれるようになされる。ジンバル部１
２の中央部には切込みによって弾性舌片１４が形成され
ると共にこれに上方に膨出する突起１６が設けられる。
一方、板ばね（ロードビーム）１３の遊端は、ジンバル
部１２の後方端に溶接等によって結合されると共に、そ
の遊端の先端部１７がジンバル部１２の突起１６に衝合
するようになされる。このように、磁気ヘッド１１を有
するスライダ１が、サスペンション２を介してマウント
部２５に取付けられて成る磁気ヘッド構体いわゆるＨＧ
Ａ（ヘッド・ジンバル・アッセンブリ）２６は、このマ
ウント部２５において、磁気ヘッドを磁気記録媒体Ｓ、
例えばＨＤ上の所定位置に持ち来す駆動アーム（図示せ
ず）に固定される。
【００１８】このようにして、記録媒体Ｓ、例えばＨＤ
の回転によるスライダ１と、ＨＤとの相対的移行による
空気流によるスライダの浮上力に抗する押圧力をサスペ
ンション２によって与えて、スライダ１が媒体Ｓの面に
対し所要の浮上量を保持するようになされる。
の回転によるスライダ１と、ＨＤとの相対的移行による
空気流によるスライダの浮上力に抗する押圧力をサスペ
ンション２によって与えて、スライダ１が媒体Ｓの面に
対し所要の浮上量を保持するようになされる。
【００１９】本発明においては、上述したようにサスペ
ンション２とスライダ１とを結合して後、すなわちサス
ペンション２の先端部にジンバル部１２を取付け、また
このジンバル部１２にスライダ１を係合させた状態で対
のばね部３に個々にレーザ光Ｌ等を局部的に所要の時間
に亘って、所要回数照射して熱エネルギーを与える加熱
を行って図２で説明したそれぞれのばね圧調整を行う。
ンション２とスライダ１とを結合して後、すなわちサス
ペンション２の先端部にジンバル部１２を取付け、また
このジンバル部１２にスライダ１を係合させた状態で対
のばね部３に個々にレーザ光Ｌ等を局部的に所要の時間
に亘って、所要回数照射して熱エネルギーを与える加熱
を行って図２で説明したそれぞれのばね圧調整を行う。
【００２０】上述のばね圧調整の具体的工程を、図４を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００２１】先ず、測定・記録手段４１によってスライ
ダ１のレール５の幅ＷL 、レール形状すなわちレールの
長手方向に関する弯曲いわゆるクラウン、及び左右のレ
ールの傾き、いわゆるツイスト等を測定し、その測定デ
ータを記録する。
ダ１のレール５の幅ＷL 、レール形状すなわちレールの
長手方向に関する弯曲いわゆるクラウン、及び左右のレ
ールの傾き、いわゆるツイスト等を測定し、その測定デ
ータを記録する。
【００２２】このスライダ１を図１で説明したように、
サスペンション２と結合し、マウント部２５にとりつけ
た磁気ヘッド構体いわゆるＨＧＡ２６を構成する。そし
て、このＨＧＡ２６について、測定・記録手段４２によ
ってそのスライダ中心と荷重点のずれ等を測定し、その
データを記録する。
サスペンション２と結合し、マウント部２５にとりつけ
た磁気ヘッド構体いわゆるＨＧＡ２６を構成する。そし
て、このＨＧＡ２６について、測定・記録手段４２によ
ってそのスライダ中心と荷重点のずれ等を測定し、その
データを記録する。
【００２３】一方ＨＧＡ２６について、スライダ１を、
サスペンション２の押圧力に抗して所定の高さ（Ｚ）に
持ち上げて設定し、このときのサスペンション２の押圧
力即ちばね圧を測定する。ＨＧＡ２６を、マウント部２
５で所定の測定アームに固定し、スライダ１の矢印ａで
示すロール、つまり傾きを、コリメータ等によって測定
し、この測定手段４３による測定データを測定・記録手
段４１及び４２における各測定記録データと共に、コン
ピュータ、例えばマイクロコンピュータ４４に入力し、
磁気ヘッドすなわちスライダ１が所定面に対し所定の浮
上量が得られるばね圧とロール方向の曲がりを計算す
る。
サスペンション２の押圧力に抗して所定の高さ（Ｚ）に
持ち上げて設定し、このときのサスペンション２の押圧
力即ちばね圧を測定する。ＨＧＡ２６を、マウント部２
５で所定の測定アームに固定し、スライダ１の矢印ａで
示すロール、つまり傾きを、コリメータ等によって測定
し、この測定手段４３による測定データを測定・記録手
段４１及び４２における各測定記録データと共に、コン
ピュータ、例えばマイクロコンピュータ４４に入力し、
磁気ヘッドすなわちスライダ１が所定面に対し所定の浮
上量が得られるばね圧とロール方向の曲がりを計算す
る。
【００２４】次に、ＨＧＡ２６に対し、そのマウント部
２５によるマウント位置とスライダ１のＡＢＳ４を、決
められた距離例えば上述の高さＺに設定し、このときの
スライダ１の荷重を荷重測定手段４５で測定しながら、
サスペンション２の板ばねすなわちロードビーム１３の
基部両側の対のばね部３にそれぞれレーザビームＬを照
射する。これらレーザビームＬは、そのビーム径が１ｍ
ｍ程度のレーザビームを同時に、或いは時分割的に、各
ばね部３について図２で説明した所要の時間τ 1 、τ2
‥‥、をもって所要の回数照射して必要な熱エネルギー
を与え初期のばね圧より低いばね圧に選定し、いわば両
ばね部３のばね圧の和によってスライダ１に対するばね
圧を設定すると共に、両ばね部３の相互のばね圧の調整
によってロール方向の曲がりを所定量に設定する。
２５によるマウント位置とスライダ１のＡＢＳ４を、決
められた距離例えば上述の高さＺに設定し、このときの
スライダ１の荷重を荷重測定手段４５で測定しながら、
サスペンション２の板ばねすなわちロードビーム１３の
基部両側の対のばね部３にそれぞれレーザビームＬを照
射する。これらレーザビームＬは、そのビーム径が１ｍ
ｍ程度のレーザビームを同時に、或いは時分割的に、各
ばね部３について図２で説明した所要の時間τ 1 、τ2
‥‥、をもって所要の回数照射して必要な熱エネルギー
を与え初期のばね圧より低いばね圧に選定し、いわば両
ばね部３のばね圧の和によってスライダ１に対するばね
圧を設定すると共に、両ばね部３の相互のばね圧の調整
によってロール方向の曲がりを所定量に設定する。
【００２５】このようにしてサスペンション２の押圧力
の調整がなされたＨＧＡ２６を、例えばＨＤＤヘッドア
ームにそのマウント部２５を介して取付ける。
の調整がなされたＨＧＡ２６を、例えばＨＤＤヘッドア
ームにそのマウント部２５を介して取付ける。
【００２６】このようにしてＨＧＡ２６の組立状態での
サスペンション２によるスライダ１に対する押圧力すな
わち例えばＨＤの回転による空気流による浮上力に抗し
た所定の押圧力を与えることができ浮上量の設定を正確
に行うことができる。
サスペンション２によるスライダ１に対する押圧力すな
わち例えばＨＤの回転による空気流による浮上力に抗し
た所定の押圧力を与えることができ浮上量の設定を正確
に行うことができる。
【００２７】このようにすれば、最終的にスライダ１の
レールの形状寸法、あるいはさらにスライダ荷重点のず
れ等誤差を全て含んだ所定の荷重に設定することができ
ることからこのようにして得たこの浮上型磁気ヘッド
は、記録媒体Ｓ例えばＨＤに対して公差の極めて小さい
浮上量を正確に得ることができる。
レールの形状寸法、あるいはさらにスライダ荷重点のず
れ等誤差を全て含んだ所定の荷重に設定することができ
ることからこのようにして得たこの浮上型磁気ヘッド
は、記録媒体Ｓ例えばＨＤに対して公差の極めて小さい
浮上量を正確に得ることができる。
【００２８】尚、上述した例においては、ロードビーム
１３が板ばねにより構成され、その固定部側の基部側に
おいて一対のばね部３を設けて所要のばね圧が得られる
ようにした場合であるが、１対以上のばね部３を設ける
など上述した構造に限らず種々の構成を採ることができ
る。
１３が板ばねにより構成され、その固定部側の基部側に
おいて一対のばね部３を設けて所要のばね圧が得られる
ようにした場合であるが、１対以上のばね部３を設ける
など上述した構造に限らず種々の構成を採ることができ
る。
【００２９】
【発明の効果】上述したように本発明においては、磁気
ヘッド構体、すなわちＨＧＡ２６を構成して後にばね圧
の調整を行うことができるので、スライダ１の特性、ま
たＨＧＡ２６におけるスライダ１に対する荷重点のずれ
等の全てを含んでばね圧の調整を行うことができ、公差
の小さいスライダ１に対する荷重の設定ができ、これに
よって記録媒体Ｓ例えばＨＤに対して高記録密度化によ
って小さい浮上量とする場合においてもその公差を充分
小さくすることができる。
ヘッド構体、すなわちＨＧＡ２６を構成して後にばね圧
の調整を行うことができるので、スライダ１の特性、ま
たＨＧＡ２６におけるスライダ１に対する荷重点のずれ
等の全てを含んでばね圧の調整を行うことができ、公差
の小さいスライダ１に対する荷重の設定ができ、これに
よって記録媒体Ｓ例えばＨＤに対して高記録密度化によ
って小さい浮上量とする場合においてもその公差を充分
小さくすることができる。
【図１】本発明製造方法によって得る磁気ヘッドの一例
の拡大斜視図である。
の拡大斜視図である。
【図２】ばね圧調整の説明に供する図である。
【図３】ジンバル部の一例の斜視図である。
【図４】本発明の製造方法の作業の説明に供するフロー
チャートである。
チャートである。
１ スライダ ２ サスペンション ３ ばね部 １１ 磁気ヘッド １２ ジンバル部 １３ 板ばね（ロードビーム）
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気ヘッドが配置されるスライダと、こ
れを弾性的に支持する少なくとも対のばね部を有するサ
スペンションとを結合して後に、上記対のばね部に対し
個々に熱エネルギーを与えてこれらばね部のばね圧をそ
れぞれ調整して上記スライダに記録媒体からの所要の浮
上量が得られるようにしたことを特徴とする浮上型磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP508692A JPH05189906A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP508692A JPH05189906A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05189906A true JPH05189906A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11601585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP508692A Pending JPH05189906A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05189906A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5712463A (en) * | 1995-09-19 | 1998-01-27 | International Business Machines Corporation | Laser apparatus and method for adjusting the gram load static attitude and flying height of a slider in a head suspension assembly |
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