JPH05190017A - 誘電体磁器組成物及びその製造方法 - Google Patents
誘電体磁器組成物及びその製造方法Info
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- JPH05190017A JPH05190017A JP4025663A JP2566392A JPH05190017A JP H05190017 A JPH05190017 A JP H05190017A JP 4025663 A JP4025663 A JP 4025663A JP 2566392 A JP2566392 A JP 2566392A JP H05190017 A JPH05190017 A JP H05190017A
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Landscapes
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 900℃以下の温度の焼成で緻密に焼結させ
ることができ、しかも所望の電気特性を備えている低誘
電率の誘電体磁器組成物を提供すること。 【構成】 組成式:a(xBa−yCa−zSr)O−
bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d/2)A
l2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる組成物を主成分とする焼結体からな
る。
ることができ、しかも所望の電気特性を備えている低誘
電率の誘電体磁器組成物を提供すること。 【構成】 組成式:a(xBa−yCa−zSr)O−
bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d/2)A
l2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる組成物を主成分とする焼結体からな
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は損失の小さな低誘電率の
誘電体磁器組成物及びその製造方法に関するものであ
る。
誘電体磁器組成物及びその製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】損失の小さな低誘電率の誘電体磁器組成
物を誘電体層の材料に用いた磁器コンデンサは、一般
に、高周波回路におけるフィルター等に使用されてい
る。このような低誘電率の誘電体磁器組成物は一般的に
1200〜1300℃という高温で焼結されることが多
いので、これを積層磁器コンデンサの誘電体層の材料と
して使用する場合は、積層磁器コンデンサの内部電極の
材料にPt,Pdあるいはこれらの合金のような高融点
の金属を使う必要があった。
物を誘電体層の材料に用いた磁器コンデンサは、一般
に、高周波回路におけるフィルター等に使用されてい
る。このような低誘電率の誘電体磁器組成物は一般的に
1200〜1300℃という高温で焼結されることが多
いので、これを積層磁器コンデンサの誘電体層の材料と
して使用する場合は、積層磁器コンデンサの内部電極の
材料にPt,Pdあるいはこれらの合金のような高融点
の金属を使う必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする問題点】しかし、Pt,Pd
あるいはこれらの合金は電気伝導度が低く、これを内部
電極の材料として使用した積層磁器コンデンサを高周波
回路におけるフィルターに使用した場合は、損失が大き
くなり、Qが低下してしまうという欠点があった。この
ため、電気伝導度のより高いAg,Cu等の金属を積層
磁器コンデンサの内部電極の材料として使用できるよう
に、1000℃以下、好ましくは900℃以下の温度の
焼成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気
特性を備えている誘電体磁器組成物を開発する必要があ
った。
あるいはこれらの合金は電気伝導度が低く、これを内部
電極の材料として使用した積層磁器コンデンサを高周波
回路におけるフィルターに使用した場合は、損失が大き
くなり、Qが低下してしまうという欠点があった。この
ため、電気伝導度のより高いAg,Cu等の金属を積層
磁器コンデンサの内部電極の材料として使用できるよう
に、1000℃以下、好ましくは900℃以下の温度の
焼成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気
特性を備えている誘電体磁器組成物を開発する必要があ
った。
【0004】本発明の目的は、900℃以下の温度の焼
成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気特
性を備えている低誘電率の誘電体磁器組成物とその製造
方法を提供することにある。
成で緻密に焼結させることができ、しかも所望の電気特
性を備えている低誘電率の誘電体磁器組成物とその製造
方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る誘電体磁器
組成物は、組成式:a(xBa−yCa−zSr)O−
bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d/2)A
l2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる組成物を主成分とする焼結体からなる
ものである。
組成物は、組成式:a(xBa−yCa−zSr)O−
bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d/2)A
l2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる組成物を主成分とする焼結体からなる
ものである。
【0006】ここで、5モル%≦a≦60モル%とした
のは、aが5モル%未満になったり、60モル%を越え
たりすると、いずれの場合も、900℃の温度の焼成で
緻密な焼結体が得られなくなるからである。また、10
モル%≦b≦70モル%としたのは、bが10モル%未
満になると組成物がガラス化せず、bが70モル%を越
えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られなくな
るからである。
のは、aが5モル%未満になったり、60モル%を越え
たりすると、いずれの場合も、900℃の温度の焼成で
緻密な焼結体が得られなくなるからである。また、10
モル%≦b≦70モル%としたのは、bが10モル%未
満になると組成物がガラス化せず、bが70モル%を越
えると、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られなくな
るからである。
【0007】また、0モル%<c≦30モル%としたの
は、cが30モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。また、0モル%
<d≦30モル%としたのは、dが30モル%を越える
と、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られなくなるか
らである。また、0モル%<e≦30モル%としたの
は、eが30モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。
は、cが30モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。また、0モル%
<d≦30モル%としたのは、dが30モル%を越える
と、900℃の焼成で緻密な焼結体が得られなくなるか
らである。また、0モル%<e≦30モル%としたの
は、eが30モル%を越えると、900℃の焼成で緻密
な焼結体が得られなくなるからである。
【0008】以上説明したこの誘電体磁器組成物は、焼
成して酸化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Z
r,Al及びTiの各原料化合物の中の少なくともB
a,Ca,Sr及びSiの各原料化合物を混合して加熱
溶融し、この溶融したものを急冷してガラス化し、この
ガラス化したものを微粉砕し、この微粉砕したものを含
めて全ての原料化合物の混合物を成形し、この成形した
ものを焼成する方法によって製造することができる。
成して酸化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Z
r,Al及びTiの各原料化合物の中の少なくともB
a,Ca,Sr及びSiの各原料化合物を混合して加熱
溶融し、この溶融したものを急冷してガラス化し、この
ガラス化したものを微粉砕し、この微粉砕したものを含
めて全ての原料化合物の混合物を成形し、この成形した
ものを焼成する方法によって製造することができる。
【0009】ここで、原料化合物としては、焼成して酸
化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Zr,Al
及びTiの各化合物を使用することができる。後述する
実施例では、原料化合物としてBaCO3 ,CaCO
3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO2 ,ZrO2 ,Al
2 O3 及びTiO2 を原料化合物として使用したが、加
熱によって酸化物となるものであればこれら以外の化合
物を使用できることはもちろんである。
化物となるBa,Ca,Sr,Si,Hf,Zr,Al
及びTiの各化合物を使用することができる。後述する
実施例では、原料化合物としてBaCO3 ,CaCO
3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO2 ,ZrO2 ,Al
2 O3 及びTiO2 を原料化合物として使用したが、加
熱によって酸化物となるものであればこれら以外の化合
物を使用できることはもちろんである。
【0010】また、各原料化合物は、式:a(xBa−
yCa−zSr)O−bSiO2 −c(mHf−nZ
r)O2 −(d/2)Al2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる割合で使用する。各原料化合物の割合
の限定理由は上述した誘電体磁器組成物の説明における
と全く同様である。
yCa−zSr)O−bSiO2 −c(mHf−nZ
r)O2 −(d/2)Al2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、x+y+z=1、
10モル%≦b≦70モル%、0モル%<c≦30モル
%、m+n=1、0モル%<d≦30モル%、0モル%
<e≦30モル%、a+b+c+d+e=100モル
%)で表わされる割合で使用する。各原料化合物の割合
の限定理由は上述した誘電体磁器組成物の説明における
と全く同様である。
【0011】更に、Hf,Zr,Al及びTiの各化合
物については、他の原料化合物とともにガラス化して使
用してもよいし、あるいはガラス化した他の原料化合物
に後から混合して使用してもよい。いずれの場合も所望
の誘電体磁器組成物を得ることができる。
物については、他の原料化合物とともにガラス化して使
用してもよいし、あるいはガラス化した他の原料化合物
に後から混合して使用してもよい。いずれの場合も所望
の誘電体磁器組成物を得ることができる。
【0012】
実施例1及び比較例1 まず、表1の試料No.1-1の場合について説明する。Ba
CO3 ,CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を、表1の試料
No.1-1に示すモル比で秤量し、これらを水とともにボー
ルミルに入れ、湿式で十分に撹拌混合して混合物を得
た。ここで、HfO2 とZrO2 の比率はHfO2 :Z
rO2 =5:5とした。
CO3 ,CaCO3 ,SrCO3 ,SiO2 ,HfO
2 ,ZrO2 ,Al2 O3 及びTiO2 を、表1の試料
No.1-1に示すモル比で秤量し、これらを水とともにボー
ルミルに入れ、湿式で十分に撹拌混合して混合物を得
た。ここで、HfO2 とZrO2 の比率はHfO2 :Z
rO2 =5:5とした。
【0013】次に、この混合物を乾燥した後、坩堝に入
れて1700℃に加熱し、溶融した混合物を水中に滴下
して急冷し、ガラスを得た。そして、このガラスを粉砕
して、平均粒径1μm程度の微粉末とし、このガラス粉
末に有機バインダー(PVA)を加えて十分に混合し、
1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み1mmの円板状の成
形体を作製した。
れて1700℃に加熱し、溶融した混合物を水中に滴下
して急冷し、ガラスを得た。そして、このガラスを粉砕
して、平均粒径1μm程度の微粉末とし、このガラス粉
末に有機バインダー(PVA)を加えて十分に混合し、
1ton/cm2 の圧力で直径10mm、厚み1mmの円板状の成
形体を作製した。
【0014】次に、この成形体を焼成炉に入れ、大気雰
囲気中において400〜600℃で10時間保持して成
形体中の有機バインダーを燃焼除去させ、その後、炉内
温度を900℃まで上昇させ、この温度で2時間保持さ
せて成形体を焼結させた。
囲気中において400〜600℃で10時間保持して成
形体中の有機バインダーを燃焼除去させ、その後、炉内
温度を900℃まで上昇させ、この温度で2時間保持さ
せて成形体を焼結させた。
【0015】次に、この焼結させた成形体の表裏面に銀
ペーストを塗布して焼き付け、直径7mmの銀電極を表裏
面に備えた測定用の試料を得た。そして、この試料の電
気特性(比誘電率εr 及びQ)を、1MHz,1Vrm
s,20℃の条件で測定した。結果は表1の試料No.1-1
の電気特性の欄に示す通りとなった。
ペーストを塗布して焼き付け、直径7mmの銀電極を表裏
面に備えた測定用の試料を得た。そして、この試料の電
気特性(比誘電率εr 及びQ)を、1MHz,1Vrm
s,20℃の条件で測定した。結果は表1の試料No.1-1
の電気特性の欄に示す通りとなった。
【0016】以上、No.1-1の試料の作製方法及びその電
気特性の測定方法について述べたが、試料No.1-2〜1-23
についても、組成を表1に示すように変化させた他は、
No.1-1の試料と全く同一の方法で試料を作製し、全く同
一の方法でその電気特性を測定した。結果は表1の電気
特性の欄に示す通りとなった。
気特性の測定方法について述べたが、試料No.1-2〜1-23
についても、組成を表1に示すように変化させた他は、
No.1-1の試料と全く同一の方法で試料を作製し、全く同
一の方法でその電気特性を測定した。結果は表1の電気
特性の欄に示す通りとなった。
【0017】
【表1】
【0018】次に、表1に示す結果について、各Noの試
料の組成及びその電気特性等を参照しながら説明する。
まず、試料No.1-1〜1-3 に示すように、aが60モル%
で、Baの量が0〜60モル%の範囲(0≦x≦1)に
ある場合は所望の電気特性の組成物が得られる。また、
試料No.1-4〜1-6 に示すように、aが60モル%で、C
aの量が0〜60モル%の範囲(0≦y≦1)にある場
合は所望の電気特性の組成物が得られる。更に、試料N
o.1-7〜1-9 に示すように、aが60モル%で、Srの
量が0〜60モル%の範囲(0≦z≦1)にある場合は
所望の電気特性の組成物が得られる。
料の組成及びその電気特性等を参照しながら説明する。
まず、試料No.1-1〜1-3 に示すように、aが60モル%
で、Baの量が0〜60モル%の範囲(0≦x≦1)に
ある場合は所望の電気特性の組成物が得られる。また、
試料No.1-4〜1-6 に示すように、aが60モル%で、C
aの量が0〜60モル%の範囲(0≦y≦1)にある場
合は所望の電気特性の組成物が得られる。更に、試料N
o.1-7〜1-9 に示すように、aが60モル%で、Srの
量が0〜60モル%の範囲(0≦z≦1)にある場合は
所望の電気特性の組成物が得られる。
【0019】また、試料No.1-1〜1-11に示すように、a
が5〜60モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得
られるが、試料No.1-12 に示すように、aが3モル%に
なるか、試料No.1-13 に示すように、aが65モル%に
なると、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、
aの適正範囲は5〜60モル%である。
が5〜60モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得
られるが、試料No.1-12 に示すように、aが3モル%に
なるか、試料No.1-13 に示すように、aが65モル%に
なると、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、
aの適正範囲は5〜60モル%である。
【0020】次に、試料No.1-15,1-16に示すように、b
が10〜70モル%の場合は所望の電気特性の組成物が
得られるが、試料No.1-14 に示すように、bが5モル%
になると組成物がガラス化せず、また、試料No.1-17 に
示すように、bが75モル%になると、組成物が170
0℃で溶融しなくなる。従って、bの適正範囲は10〜
70モル%である。
が10〜70モル%の場合は所望の電気特性の組成物が
得られるが、試料No.1-14 に示すように、bが5モル%
になると組成物がガラス化せず、また、試料No.1-17 に
示すように、bが75モル%になると、組成物が170
0℃で溶融しなくなる。従って、bの適正範囲は10〜
70モル%である。
【0021】次に、試料No.1-18 に示すように、cが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-19 に示すように、cが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、cの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-19 に示すように、cが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、cの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0022】次に、試料No.1-20 に示すように、dが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-21 に示すように、dが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、dの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-21 に示すように、dが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、dの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0023】次に、試料No.1-22 に示すように、eが3
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-23 に示すように、eが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、eの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
0モル%の場合は所望の電気特性の組成物が得られる
が、試料No.1-23 に示すように、eが35モル%になる
と、組成物が900℃で焼結しなくなる。従って、eの
適正範囲は少なくとも30モル%以下である。
【0024】実施例2及び比較例2 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、TiO
2 を除き、表2に示す割合で秤量して混合し、実施例1
と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにTiO
2 を表2に示す割合で加え、これらを湿式で粉砕混合し
て混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例
1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性
を測定した。結果は表2の電気特性の欄に示す通りとな
った。この結果によれば、実施例2及び比較例2のよう
にして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例
1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例
2及び比較例2ではTiO2 を他の原料化合物とともに
ガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様
の結果が得られることがわかる。
2 を除き、表2に示す割合で秤量して混合し、実施例1
と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにTiO
2 を表2に示す割合で加え、これらを湿式で粉砕混合し
て混合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例
1と同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性
を測定した。結果は表2の電気特性の欄に示す通りとな
った。この結果によれば、実施例2及び比較例2のよう
にして製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例
1の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例
2及び比較例2ではTiO2 を他の原料化合物とともに
ガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様
の結果が得られることがわかる。
【0025】
【表2】
【0026】実施例3及び比較例3 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、Al2
O3 を除き、表3に示す割合で秤量して混合し、実施例
1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにAl
2 O3 を表3に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混
合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と
同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測
定した。結果は表3の電気特性の欄に示す通りとなっ
た。この結果によれば、実施例3及び比較例3のように
して製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1
の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例3
及び比較例3ではAl2 O3 を他の原料化合物とともに
ガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様
の結果が得られることがわかる。
O3 を除き、表3に示す割合で秤量して混合し、実施例
1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガラスにAl
2 O3 を表3に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混
合物を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と
同様の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測
定した。結果は表3の電気特性の欄に示す通りとなっ
た。この結果によれば、実施例3及び比較例3のように
して製造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1
の場合と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例3
及び比較例3ではAl2 O3 を他の原料化合物とともに
ガラス化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様
の結果が得られることがわかる。
【0027】
【表3】
【0028】実施例4及び比較例4 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 及びZrO2 を除き、表4に示す割合で秤量して混合
し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガ
ラスにHfO2 及びZrO2 を表4に示す割合で加え、
湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物
を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製
し、その電気特性を測定した。結果は表4の電気特性の
欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例4及
び比較例4のようにして製造した誘電体磁器組成物も実
施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。
しかして、実施例4及び比較例4ではHfO2 及びZr
O2 を他の原料化合物とともにガラス化しなくても実施
例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られることが
わかる。
2 及びZrO2 を除き、表4に示す割合で秤量して混合
し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られたガ
ラスにHfO2 及びZrO2 を表4に示す割合で加え、
湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物
を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製
し、その電気特性を測定した。結果は表4の電気特性の
欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例4及
び比較例4のようにして製造した誘電体磁器組成物も実
施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。
しかして、実施例4及び比較例4ではHfO2 及びZr
O2 を他の原料化合物とともにガラス化しなくても実施
例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られることが
わかる。
【0029】
【表4】
【0030】実施例5及び比較例5 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、Al2
O3 及びTiO2 を除き、表5に示す割合で秤量して混
合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られた
ガラスにAl2 O3 及びTiO2 を表5に示す割合で加
え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混
合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を
作製し、その電気特性を測定した。結果は表5の電気特
性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例
5及び比較例5のようにして製造した誘電体磁器組成物
も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示し
た。しかして、実施例5及び比較例5ではAl2 O3 及
びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス化しなくて
も実施例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られる
ことがわかる。
O3 及びTiO2 を除き、表5に示す割合で秤量して混
合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、得られた
ガラスにAl2 O3 及びTiO2 を表5に示す割合で加
え、湿式で粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混
合物を用いて、実施例1と同様の手順で測定用の試料を
作製し、その電気特性を測定した。結果は表5の電気特
性の欄に示す通りとなった。この結果によれば、実施例
5及び比較例5のようにして製造した誘電体磁器組成物
も実施例1及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示し
た。しかして、実施例5及び比較例5ではAl2 O3 及
びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス化しなくて
も実施例1及び比較例1の場合と同様の結果が得られる
ことがわかる。
【0031】
【表5】
【0032】実施例6及び比較例6 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 及びTiO2 を除き、表6に示す割合で秤
量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、
得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を表
6に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合物を得
た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同様の手
順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。
結果は表6の電気特性の欄に示す通りとなった。この結
果によれば、実施例6及び比較例6のようにして製造し
た誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と全
く同様の傾向を示した。しかして、実施例6及び比較例
6ではHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を他の原料化合
物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の
場合と同様の結果が得られることがわかる。
2 ,ZrO2 及びTiO2 を除き、表6に示す割合で秤
量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷し、
得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を表
6に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合物を得
た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同様の手
順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。
結果は表6の電気特性の欄に示す通りとなった。この結
果によれば、実施例6及び比較例6のようにして製造し
た誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と全
く同様の傾向を示した。しかして、実施例6及び比較例
6ではHfO2 ,ZrO2 及びTiO2 を他の原料化合
物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較例1の
場合と同様の結果が得られることがわかる。
【0033】
【表6】
【0034】実施例7及び比較例7 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を除き、表7に示す割合で
秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷
し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びAl2 O
3 を表7に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合物
を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同様
の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定し
た。結果は表7の電気特性の欄に示す通りとなった。こ
の結果によれば、実施例7及び比較例7のようにして製
造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合
と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例7及び比
較例7ではHfO2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を他の原
料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較
例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を除き、表7に示す割合で
秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融して急冷
し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 及びAl2 O
3 を表7に示す割合で加え、湿式で粉砕混合して混合物
を得た。以後は、この混合物を用いて、実施例1と同様
の手順で測定用の試料を作製し、その電気特性を測定し
た。結果は表7の電気特性の欄に示す通りとなった。こ
の結果によれば、実施例7及び比較例7のようにして製
造した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合
と全く同様の傾向を示した。しかして、実施例7及び比
較例7ではHfO2 ,ZrO2 及びAl2 O3 を他の原
料化合物とともにガラス化しなくても実施例1及び比較
例1の場合と同様の結果が得られることがわかる。
【0035】
【表7】
【0036】実施例8及び比較例8 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を、HfO
2 ,ZrO2 ,Al2O3 及びTiO2 を除き、表8に
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 ,A
l2 O3 及びTiO2 を表8に示す割合で加え、湿式で
粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物を用い
て、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、そ
の電気特性を測定した。結果は表8の電気特性の欄に示
す通りとなった。この結果によれば、実施例8及び比較
例8のようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1
及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかし
て、実施例8及び比較例8ではHfO2 ,ZrO2 ,A
l2 O3 及びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス
化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果
が得られることがわかる。
2 ,ZrO2 ,Al2O3 及びTiO2 を除き、表8に
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、得られたガラスにHfO2 ,ZrO2 ,A
l2 O3 及びTiO2 を表8に示す割合で加え、湿式で
粉砕混合して混合物を得た。以後は、この混合物を用い
て、実施例1と同様の手順で測定用の試料を作製し、そ
の電気特性を測定した。結果は表8の電気特性の欄に示
す通りとなった。この結果によれば、実施例8及び比較
例8のようにして製造した誘電体磁器組成物も実施例1
及び比較例1の場合と全く同様の傾向を示した。しかし
て、実施例8及び比較例8ではHfO2 ,ZrO2 ,A
l2 O3 及びTiO2 を他の原料化合物とともにガラス
化しなくても実施例1及び比較例1の場合と同様の結果
が得られることがわかる。
【0037】
【表8】
【0038】実施例9及び比較例9 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を表9に示
す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融し
て急冷し、ガラス粉末を得た。但し、HfO2とZrO2
の比率はHfO2 :ZrO2 =1:9とした。以後
は、このガラス粉末を用いて、実施例1と同様の手順で
測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。結果
は表9の電気特性の欄に示す通りとなった。この結果に
よれば、実施例9及び比較例9のようにして製造した誘
電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と全く同
様の傾向を示した。
す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融し
て急冷し、ガラス粉末を得た。但し、HfO2とZrO2
の比率はHfO2 :ZrO2 =1:9とした。以後
は、このガラス粉末を用いて、実施例1と同様の手順で
測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。結果
は表9の電気特性の欄に示す通りとなった。この結果に
よれば、実施例9及び比較例9のようにして製造した誘
電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と全く同
様の傾向を示した。
【0039】
【表9】
【0040】実施例10及び比較例10 実施例1で使用したものと同様の原料化合物を表10に
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、ガラス粉末を得た。但し、HfO2 とZr
O2 の比率はHfO2 :ZrO2 =9:1とした。以後
は、このガラス粉末を用いて、実施例1と同様の手順で
測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。結果
は表10の電気特性の欄に示す通りとなった。この結果
によれば、実施例10及び比較例10のようにして製造
した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と
全く同様の傾向を示した。
示す割合で秤量して混合し、実施例1と同様に加熱溶融
して急冷し、ガラス粉末を得た。但し、HfO2 とZr
O2 の比率はHfO2 :ZrO2 =9:1とした。以後
は、このガラス粉末を用いて、実施例1と同様の手順で
測定用の試料を作製し、その電気特性を測定した。結果
は表10の電気特性の欄に示す通りとなった。この結果
によれば、実施例10及び比較例10のようにして製造
した誘電体磁器組成物も実施例1及び比較例1の場合と
全く同様の傾向を示した。
【0041】
【表10】
【0042】
【発明の効果】本発明によれば、従来よりも低い温度の
焼成で所望の電気的特性を有する低誘電率の誘電体磁器
組成物を得ることができるので、高周波用磁器コンデン
サの内部電極としてAgやCuのような電気伝導度の良
い、安価な材料を使用することができ、従って、従来よ
りも更に電気的特性の優れた磁器コンデンサを安価に提
供することができるという効果がある。
焼成で所望の電気的特性を有する低誘電率の誘電体磁器
組成物を得ることができるので、高周波用磁器コンデン
サの内部電極としてAgやCuのような電気伝導度の良
い、安価な材料を使用することができ、従って、従来よ
りも更に電気的特性の優れた磁器コンデンサを安価に提
供することができるという効果がある。
【0043】また、本発明によれば、従来よりも低い温
度の焼成で所望の電気的特性を有する誘電体磁器組成物
を得ることができるので、誘電体磁器組成物を焼結させ
るためのエネルギーコストを低下させることができ、従
って、従来よりも安価な磁器コンデンサを提供すること
ができるという効果がある。
度の焼成で所望の電気的特性を有する誘電体磁器組成物
を得ることができるので、誘電体磁器組成物を焼結させ
るためのエネルギーコストを低下させることができ、従
って、従来よりも安価な磁器コンデンサを提供すること
ができるという効果がある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野 洋一 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (72)発明者 増田 淳 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 組成式:a(xBa−yCa−zSr)
O−bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d/
2)Al2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、 x+y+z=1、 10モル%≦b≦70モル%、 0モル%<c≦30モル%、 m+n=1、 0モル%<d≦30モル%、 0モル%<e≦30モル%、 a+b+c+d+e=100モル%) で表わされる組成物を主成分とする焼結体からなること
を特徴とする誘電体磁器組成物。 - 【請求項2】 焼成して酸化物となるBa,Ca,S
r,Si,Hf,Zr,Al及びTiの各原料化合物の
中の少なくともBa,Ca,Sr及びSiの各原料化合
物を混合して加熱溶融する工程と、この溶融したものを
急冷してガラス化する工程と、このガラス化したものを
微粉砕する工程と、この微粉砕したものを含めて全ての
原料化合物の混合物を成形する工程と、この成形したも
のを焼成する工程とを備え、 前記各原料化合物が、式:a(xBa−yCa−zS
r)O−bSiO2 −c(mHf−nZr)O2 −(d
/2)Al2 O3 −eTiO2 (但し、5モル%≦a≦60モル%、 x+y+z=1、 10モル%≦b≦70モル%、 0モル%<c≦30モル%、 m+n=1、 0モル%<d≦30モル%、 0モル%<e≦30モル%、 a+b+c+d+e=100モル%)で表わされる割合
になっていることを特徴とする誘電体磁器組成物の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4025663A JP2865927B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4025663A JP2865927B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190017A true JPH05190017A (ja) | 1993-07-30 |
| JP2865927B2 JP2865927B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=12172041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4025663A Expired - Fee Related JP2865927B2 (ja) | 1992-01-16 | 1992-01-16 | 誘電体磁器組成物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2865927B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959298A (ja) * | 1972-10-12 | 1974-06-08 | ||
| JPH01102808A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-20 | Murata Mfg Co Ltd | 温度補償用誘電体磁器組成物 |
-
1992
- 1992-01-16 JP JP4025663A patent/JP2865927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4959298A (ja) * | 1972-10-12 | 1974-06-08 | ||
| JPH01102808A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-20 | Murata Mfg Co Ltd | 温度補償用誘電体磁器組成物 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2865927B2 (ja) | 1999-03-08 |
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