JPH0519281A - マトリクス型表示パネル形成用の基板 - Google Patents
マトリクス型表示パネル形成用の基板Info
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- JPH0519281A JPH0519281A JP3171322A JP17132291A JPH0519281A JP H0519281 A JPH0519281 A JP H0519281A JP 3171322 A JP3171322 A JP 3171322A JP 17132291 A JP17132291 A JP 17132291A JP H0519281 A JPH0519281 A JP H0519281A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 33
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬＣＤパネルの作製工程における検査を改良
する。 【構成】 複数のマトリクス型表示パネルがマトリクス
状に配置されて単一基板に一体的に形成されたマトリク
ス型表示パネル形成用の基板において、複数のマトリク
ス型表示パネルが有する各々のスキャンラインは当該ス
キャンラインの方向に隣接するマトリクス型表示パネル
の有する各々のスキャンラインと個々に短絡され、各々
のデータラインは当該データラインの方向に隣接するマ
トリクス型表示パネルの有する各々のデータラインと個
々に短絡されている。そして、各々のデータラインの一
端と各々のスキャンラインの一端が全て短絡され、各々
のデータラインの他端と各々のスキャンラインの他端に
は検査用の電極パッドが個々に設けられている。
する。 【構成】 複数のマトリクス型表示パネルがマトリクス
状に配置されて単一基板に一体的に形成されたマトリク
ス型表示パネル形成用の基板において、複数のマトリク
ス型表示パネルが有する各々のスキャンラインは当該ス
キャンラインの方向に隣接するマトリクス型表示パネル
の有する各々のスキャンラインと個々に短絡され、各々
のデータラインは当該データラインの方向に隣接するマ
トリクス型表示パネルの有する各々のデータラインと個
々に短絡されている。そして、各々のデータラインの一
端と各々のスキャンラインの一端が全て短絡され、各々
のデータラインの他端と各々のスキャンラインの他端に
は検査用の電極パッドが個々に設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマトリクス型表示パネル
形成用の基板と、マトリクス型表示パネルの製造方法に
係り、特に詳細には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用い
たアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）
などに使用される。
形成用の基板と、マトリクス型表示パネルの製造方法に
係り、特に詳細には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用い
たアクティブマトリクス型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）
などに使用される。
【０００２】
【従来の技術】平板型の表示装置としてＬＣＤパネルが
注目されている。このＬＣＤパネルはガラスなどの基板
において、９パネルあるいは１６パネルなど複数の単位
で一体に形成され、最後にパネルごとに分断されてドラ
イバの実装などがされる。
注目されている。このＬＣＤパネルはガラスなどの基板
において、９パネルあるいは１６パネルなど複数の単位
で一体に形成され、最後にパネルごとに分断されてドラ
イバの実装などがされる。
【０００３】これを模式的に図示すると、９パネルの場
合は図３のようになる。ガラス基板１には９個のＬＣＤ
パネル２1 〜２9 が３×３のマトリクスに配置されるよ
うになっており、これらは短絡ライン３によって囲まれ
ている。これを、より詳細に図示すると、図４（ａ）の
ようになる。ガラス基板１には碁盤目状に導電性の短絡
ラインが一体に配設され、この中には各々のＬＣＤパネ
ル２1 〜２9 用のスキャンライン４とデータライン５が
マトリクスに配線されている。そして、スキャンライン
４とデータライン５の一端は個々に短絡ライン３に接続
され、スキャンライン４の他端にはスキャン検査パッド
６、データライン５の他端にはデータ検査パッド７が設
けられている。これを更に詳細に示すと、図４（ｂ）の
ようになる。個々のＬＣＤパネル２1 〜２9 にはマトリ
クスに絵素８が形成され、この絵素には駆動素子として
のＴＦＴ９のドレインが接続されている。そして、ＴＦ
Ｔ９のゲートにはスキャンライン４が、ソースにはデー
タライン５がそれぞれ接続されている。
合は図３のようになる。ガラス基板１には９個のＬＣＤ
パネル２1 〜２9 が３×３のマトリクスに配置されるよ
うになっており、これらは短絡ライン３によって囲まれ
ている。これを、より詳細に図示すると、図４（ａ）の
ようになる。ガラス基板１には碁盤目状に導電性の短絡
ラインが一体に配設され、この中には各々のＬＣＤパネ
ル２1 〜２9 用のスキャンライン４とデータライン５が
マトリクスに配線されている。そして、スキャンライン
４とデータライン５の一端は個々に短絡ライン３に接続
され、スキャンライン４の他端にはスキャン検査パッド
６、データライン５の他端にはデータ検査パッド７が設
けられている。これを更に詳細に示すと、図４（ｂ）の
ようになる。個々のＬＣＤパネル２1 〜２9 にはマトリ
クスに絵素８が形成され、この絵素には駆動素子として
のＴＦＴ９のドレインが接続されている。そして、ＴＦ
Ｔ９のゲートにはスキャンライン４が、ソースにはデー
タライン５がそれぞれ接続されている。
【０００４】このようなマトリクス型表示パネルの製造
工程における検査、とりわけスキャンライン４とデータ
ライン５の断線およびプローグまたは短絡検査は、プロ
ーブカードを用いて行なわれる。すなわち、プローグま
たはプローブカードの針をスキャン検査パッド６および
データ検査パッド７に当接させ、その断線と短絡を短絡
ライン３を介して検査する。
工程における検査、とりわけスキャンライン４とデータ
ライン５の断線およびプローグまたは短絡検査は、プロ
ーブカードを用いて行なわれる。すなわち、プローグま
たはプローブカードの針をスキャン検査パッド６および
データ検査パッド７に当接させ、その断線と短絡を短絡
ライン３を介して検査する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば単一の
基板で９パネル、あるいは１６パネル形成するときに
は、スキャン検査パッド６およびデータ検査パッド７の
数は（６４０＋４８０）×９あるいは（６４０＋４８
０）×１６個にもなり、断線および短絡検査には長い時
間を要する。そして、この事情は、図５のように、９個
のＬＣＤパネル２1 〜２9 ごとに短絡ライン３1 〜３9
を設けたときも同様である。
基板で９パネル、あるいは１６パネル形成するときに
は、スキャン検査パッド６およびデータ検査パッド７の
数は（６４０＋４８０）×９あるいは（６４０＋４８
０）×１６個にもなり、断線および短絡検査には長い時
間を要する。そして、この事情は、図５のように、９個
のＬＣＤパネル２1 〜２9 ごとに短絡ライン３1 〜３9
を設けたときも同様である。
【０００６】ところで、ＬＣＤパネルの製造技術は、技
術革新により著しく進歩し、従来と比較して製造上の歩
留りが大幅に向上している。このため、スキャン検査パ
ッド６およびデータ検査パッド７を用いた検査の目的
が、従来は良品パネルを選び出すことにあったのに対し
て、最近では単一の基板に不良パネルがあるものを抜き
出すことに変化してきている。したがって、どの基板中
のパネルが不良であるかという事は、主たる関心事では
なくなっており、そのため、検査工程の簡略化が要望さ
れるようになってきている。
術革新により著しく進歩し、従来と比較して製造上の歩
留りが大幅に向上している。このため、スキャン検査パ
ッド６およびデータ検査パッド７を用いた検査の目的
が、従来は良品パネルを選び出すことにあったのに対し
て、最近では単一の基板に不良パネルがあるものを抜き
出すことに変化してきている。したがって、どの基板中
のパネルが不良であるかという事は、主たる関心事では
なくなっており、そのため、検査工程の簡略化が要望さ
れるようになってきている。
【０００７】そこで本発明は、検査工程の簡略化を図る
ことのできるマトリクス型表示パネル形成用の基板を提
供することを目的とする。
ことのできるマトリクス型表示パネル形成用の基板を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のマトリ
クス型表示パネルがマトリクス状に配置されて単一基板
に一体的に形成されたマトリクス型表示パネル形成用の
基板において、複数のマトリクス型表示パネルが有する
各々のスキャンラインは当該スキャンラインの方向に隣
接するマトリクス型表示パネルの有する各々のスキャン
ラインと個々に短絡され、複数のマトリクス型表示パネ
ルが有する各々のデータラインは当該データラインの方
向の隣接するマトリクス型表示パネルの有する各々のデ
ータラインと個々に短絡されていることを特徴とする。
ここで、各々のデータラインの一端と各々のスキャンラ
インの一端は全て短絡され、各々のデータラインの他端
と前記各々のスキャンラインの他端には検査用の電極パ
ッドが個々に設けられているのが望ましい。
クス型表示パネルがマトリクス状に配置されて単一基板
に一体的に形成されたマトリクス型表示パネル形成用の
基板において、複数のマトリクス型表示パネルが有する
各々のスキャンラインは当該スキャンラインの方向に隣
接するマトリクス型表示パネルの有する各々のスキャン
ラインと個々に短絡され、複数のマトリクス型表示パネ
ルが有する各々のデータラインは当該データラインの方
向の隣接するマトリクス型表示パネルの有する各々のデ
ータラインと個々に短絡されていることを特徴とする。
ここで、各々のデータラインの一端と各々のスキャンラ
インの一端は全て短絡され、各々のデータラインの他端
と前記各々のスキャンラインの他端には検査用の電極パ
ッドが個々に設けられているのが望ましい。
【０００９】
【作用】本発明によれば、各々のスキャンラインは単一
の基板上で隣接するマトリクス型表示パネル間で短絡さ
れ、また各々のデータラインについてもマトリクス型表
示パネル間で短絡されている。このため、単一の検査工
程により、隣接するマトリクス型表示パネルのスキャン
ライン、データラインの短絡および断線を、複数パネル
について同時に検査できる。
の基板上で隣接するマトリクス型表示パネル間で短絡さ
れ、また各々のデータラインについてもマトリクス型表
示パネル間で短絡されている。このため、単一の検査工
程により、隣接するマトリクス型表示パネルのスキャン
ライン、データラインの短絡および断線を、複数パネル
について同時に検査できる。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面により本発明の実施例を説明
する。なお、同一要素には同一符号を付し、重複する説
明は省略する。
する。なお、同一要素には同一符号を付し、重複する説
明は省略する。
【００１１】図１は実施例に係るアクティブマトリクス
型ＬＣＤパネル形成用の基板の平面図である。図示の通
り、単一のガラス基板１には９個のＬＣＤパネル２1 〜
２9 がマトリクスに配置され、これらの全体が短絡ライ
ン３により囲まれている。そして、スキャンライン４は
水平方向に隣接するＬＣＤパネル２1 〜２3 ，２4 〜２
6 ，２7 〜２9 について共通に形成され、データライン
５は垂直方向に隣接するＬＣＤパネル２1 ，２4 ，
２7 ，と、ＬＣＤパネル２2 ，２5 ，２8 と、ＬＣＤパ
ネル２3 ，２6 ，２9 とについて共通に形成されてい
る。スキャンライン４の左側端部とデータライン５の上
側端部は短絡ライン３に接続され、スキャンライン４の
右側端部にはスキャン検査パッド６が個々に設けられ、
データライン５の下側端部にはデータ検査パッド７が個
々に設けられている。
型ＬＣＤパネル形成用の基板の平面図である。図示の通
り、単一のガラス基板１には９個のＬＣＤパネル２1 〜
２9 がマトリクスに配置され、これらの全体が短絡ライ
ン３により囲まれている。そして、スキャンライン４は
水平方向に隣接するＬＣＤパネル２1 〜２3 ，２4 〜２
6 ，２7 〜２9 について共通に形成され、データライン
５は垂直方向に隣接するＬＣＤパネル２1 ，２4 ，
２7 ，と、ＬＣＤパネル２2 ，２5 ，２8 と、ＬＣＤパ
ネル２3 ，２6 ，２9 とについて共通に形成されてい
る。スキャンライン４の左側端部とデータライン５の上
側端部は短絡ライン３に接続され、スキャンライン４の
右側端部にはスキャン検査パッド６が個々に設けられ、
データライン５の下側端部にはデータ検査パッド７が個
々に設けられている。
【００１２】上記の実施例によれば、スキャンライン４
およびデータライン５の断線、短絡の検査が大幅に短縮
できる。これは、プローグまたはプローブカードの針を
当接させる回数自体が減少するためで、１基板９パネル
では１／３、１基板１６パネルでは１／４にできる。こ
こで、本発明によれば検査は簡略にできるが、不良パネ
ルが基板１中のどのパネルかは特定できない。しかし、
技術革新により歩留りの向上した現状では、基板１の広
い範囲で数個の欠陥が存在すれば、後の処理を行なわな
いようにした方が得策であるから、不良パネルの有無と
数を判別するだけで十分である。特に、ＬＣＤパネルの
製造においては、スキャンライン４およびデータライン
５の検査の後に、高コストの工程が施されるので、不良
パネルを含む基板１を容易に発見できることが大切であ
る。これをより詳しく説明すると、ＬＣＤパネルは図２
のような工程を経て作製される。
およびデータライン５の断線、短絡の検査が大幅に短縮
できる。これは、プローグまたはプローブカードの針を
当接させる回数自体が減少するためで、１基板９パネル
では１／３、１基板１６パネルでは１／４にできる。こ
こで、本発明によれば検査は簡略にできるが、不良パネ
ルが基板１中のどのパネルかは特定できない。しかし、
技術革新により歩留りの向上した現状では、基板１の広
い範囲で数個の欠陥が存在すれば、後の処理を行なわな
いようにした方が得策であるから、不良パネルの有無と
数を判別するだけで十分である。特に、ＬＣＤパネルの
製造においては、スキャンライン４およびデータライン
５の検査の後に、高コストの工程が施されるので、不良
パネルを含む基板１を容易に発見できることが大切であ
る。これをより詳しく説明すると、ＬＣＤパネルは図２
のような工程を経て作製される。
【００１３】まず、ガラス基板１の受け入れと洗浄がな
され（ステップ２０１）、全面にスキャンライン４が作
製される（ステップ２０２）。そして、プローバによっ
てスキャンライン４の断線および短絡が検査され、分別
される（ステップ２０３）。このとき、スキャンライン
４についての不良が一定数を越えていれば、後工程を行
なうことなく、前のステップに戻されるか、あるいは次
工程より外される。このスキャンライン４の検査におけ
るプローバの操作回数は、従来に比べて大幅に少なく、
この簡単な検査によって、後の工程（特に高コストのＴ
ＦＴ作製工程）が無駄に実行されるのを防止できる。
され（ステップ２０１）、全面にスキャンライン４が作
製される（ステップ２０２）。そして、プローバによっ
てスキャンライン４の断線および短絡が検査され、分別
される（ステップ２０３）。このとき、スキャンライン
４についての不良が一定数を越えていれば、後工程を行
なうことなく、前のステップに戻されるか、あるいは次
工程より外される。このスキャンライン４の検査におけ
るプローバの操作回数は、従来に比べて大幅に少なく、
この簡単な検査によって、後の工程（特に高コストのＴ
ＦＴ作製工程）が無駄に実行されるのを防止できる。
【００１４】次に、ＴＦＴの作製とその検査および分別
がなされ（ステップ２０４）、次いでデータライン５が
作製されて（ステップ２０５）、スキャンライン４およ
びデータライン５の検査および分別がプローバを用いて
なされる（ステップ２０５）。このステップ２０５の検
査も、スキャン検査パッド６およびデータ検査パッド７
が、各々のＬＣＤパネル２について共通にされているの
で、大幅に簡略にできる。 以上のようなスキャンライ
ン４およびデータライン５の検査によって、一定程度以
上の欠陥のあることが判別したガラス基板は、工程から
外され、あるいは前の工程に戻されるので、後の工程が
無駄になることはない。特に、対向基板を貼り合わせる
工程（ステップ２０９）は非常に高コストであり、また
絵素電極の作製工程（ステップ２０７）および液晶の封
入工程（ステップ２１０）もかなり高コストである。更
に配向膜の作製工程（ステップ２０８）やガラス基板を
ＬＣＤパネル２に分断する工程（ステップ２１１）も、
それなりにコストを要するが、あらかじめ簡単な検査で
いくつかの不良パネルを含むガラス基板１を工程から外
すことで、無駄をなくすことができる。
がなされ（ステップ２０４）、次いでデータライン５が
作製されて（ステップ２０５）、スキャンライン４およ
びデータライン５の検査および分別がプローバを用いて
なされる（ステップ２０５）。このステップ２０５の検
査も、スキャン検査パッド６およびデータ検査パッド７
が、各々のＬＣＤパネル２について共通にされているの
で、大幅に簡略にできる。 以上のようなスキャンライ
ン４およびデータライン５の検査によって、一定程度以
上の欠陥のあることが判別したガラス基板は、工程から
外され、あるいは前の工程に戻されるので、後の工程が
無駄になることはない。特に、対向基板を貼り合わせる
工程（ステップ２０９）は非常に高コストであり、また
絵素電極の作製工程（ステップ２０７）および液晶の封
入工程（ステップ２１０）もかなり高コストである。更
に配向膜の作製工程（ステップ２０８）やガラス基板を
ＬＣＤパネル２に分断する工程（ステップ２１１）も、
それなりにコストを要するが、あらかじめ簡単な検査で
いくつかの不良パネルを含むガラス基板１を工程から外
すことで、無駄をなくすことができる。
【００１５】ステップ２１１でガラス基板がＬＣＤパネ
ル２に分断された後には、全ての絵素の点灯による検
査、分別（ステップ２１２）と、ドライバ、ＴＡＢの実
装（ステップ２１３）と、ＬＣＤパネルとしての駆動検
査および分別（ステップ２１４）がされる。
ル２に分断された後には、全ての絵素の点灯による検
査、分別（ステップ２１２）と、ドライバ、ＴＡＢの実
装（ステップ２１３）と、ＬＣＤパネルとしての駆動検
査および分別（ステップ２１４）がされる。
【００１６】
【発明の効果】以上の通り、各々のスキャンラインとデ
ータラインは隣接するマトリクス型表示パネル間で短絡
されている。このため、単一の検査動作で、隣接するマ
トリクス型表示パネルのスキャンライン、データライン
の短絡および断線を同時に検査できる。このため、検
査、分別後の工程における材料費や工程数で設定される
コストミニマムに応じて、後工程から外すべき基板の欠
陥個数を求め、これに基づいて基板を選定することで、
低コストにマトリクス型表示パネルを得ることが可能に
なる。
ータラインは隣接するマトリクス型表示パネル間で短絡
されている。このため、単一の検査動作で、隣接するマ
トリクス型表示パネルのスキャンライン、データライン
の短絡および断線を同時に検査できる。このため、検
査、分別後の工程における材料費や工程数で設定される
コストミニマムに応じて、後工程から外すべき基板の欠
陥個数を求め、これに基づいて基板を選定することで、
低コストにマトリクス型表示パネルを得ることが可能に
なる。
【図１】実施例に係るＬＣＤパネルの平面図である。
【図２】実施例に係るＬＣＤパネルの製造工程を示すフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】従来例に係るＬＣＤパネルの平面図である。
【図４】図３のＬＣＤパネルの要部の構成図である。
【図５】従来例に係るＬＣＤパネルの平面図である。
１…ガラス基板
２…ＬＣＤパネル
３…検査ライン
４…スキャンライン
５…データライン
６…スキャン検査パッド
７…データ検査パッド
８…絵素
９…ＴＦＴ
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のマトリクス型表示パネルがマトリ
クス状に配置されて単一基板に一体的に形成されたマト
リクス型表示パネル形成用の基板において、 前記複数のマトリクス型表示パネルが有する各々のスキ
ャンラインは当該スキャンラインの方向に隣接した前記
マトリクス型表示パネルの有する前記各々のスキャンラ
インと個々に短絡され、 前記複数のマトリクス型表示パネルが有する各々のデー
タラインは当該データラインの方向に隣接した前記マト
リクス型表示パネルの有する前記各々のデータラインと
個々に短絡されていることを特徴とするマトリクス型表
示パネル形成用の基板。 - 【請求項２】 前記各々のデータラインの一端と前記各
々のスキャンラインの一端が全て短絡され、前記各々の
データラインの他端と前記各々のスキャンラインの他端
には検査用の電極パッドが個々に設けられている請求項
１記載のマトリクス型表示パネル形成用の基板。 - 【請求項３】 前記マトリクス型表示パネルが、薄膜ト
ランジスタを駆動素子とするアクティブマトリクス型表
示パネルである請求項１記載のマトリクス型表示パネル
形成用の基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17132291A JP3178011B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マトリクス型表示パネル形成用の基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17132291A JP3178011B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マトリクス型表示パネル形成用の基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519281A true JPH0519281A (ja) | 1993-01-29 |
| JP3178011B2 JP3178011B2 (ja) | 2001-06-18 |
Family
ID=15921098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17132291A Expired - Lifetime JP3178011B2 (ja) | 1991-07-11 | 1991-07-11 | マトリクス型表示パネル形成用の基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178011B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05341246A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Sharp Corp | マトリクス型表示素子の製造方法 |
| JPH1044416A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基板及びそれを用いたインクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
-
1991
- 1991-07-11 JP JP17132291A patent/JP3178011B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05341246A (ja) * | 1992-06-11 | 1993-12-24 | Sharp Corp | マトリクス型表示素子の製造方法 |
| JPH1044416A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド用基板及びそれを用いたインクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3178011B2 (ja) | 2001-06-18 |
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