JPH05196579A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
- Publication number
- JPH05196579A JPH05196579A JP4008920A JP892092A JPH05196579A JP H05196579 A JPH05196579 A JP H05196579A JP 4008920 A JP4008920 A JP 4008920A JP 892092 A JP892092 A JP 892092A JP H05196579 A JPH05196579 A JP H05196579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- foreign matter
- glass substrate
- glass
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶パネル製造工程等に用いられるガラス基
板など、ガラス材表面の異物検査装置において、ガラス
材の裏面に異物が付着する場合でも、ガラス材の表面の
異物のみを確実に検出する装置を提供することを目的と
する。 【構成】 レーザースキャニングのための照射光１とし
て、ガラス基板３を透過しない波長の光、或はガラスの
透過率が低い波長の光を使用する。
板など、ガラス材表面の異物検査装置において、ガラス
材の裏面に異物が付着する場合でも、ガラス材の表面の
異物のみを確実に検出する装置を提供することを目的と
する。 【構成】 レーザースキャニングのための照射光１とし
て、ガラス基板３を透過しない波長の光、或はガラスの
透過率が低い波長の光を使用する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネル製造工程等
に用いられる基板表面の異物検査装置に関するものであ
る。
に用いられる基板表面の異物検査装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶パネルが急に注目されるよう
になり、その製造工程は急速に進歩してきた。しかし、
各工程における異物検査は、人間の目によって行われて
いるのが現状である。大量生産に向けて、この検査工程
の自動化が望まれている。現在、異物検査装置として
は、画像認識によって処理を行っているものが一般的で
あるが、この方法では高速検査は難しい。そこで、高速
検査実現のために、レーザースキャニング方式による異
物検査装置の開発も進められている。以下図面を参照し
ながら、レーザースキャニング方式による異物検出の原
理を説明する。
になり、その製造工程は急速に進歩してきた。しかし、
各工程における異物検査は、人間の目によって行われて
いるのが現状である。大量生産に向けて、この検査工程
の自動化が望まれている。現在、異物検査装置として
は、画像認識によって処理を行っているものが一般的で
あるが、この方法では高速検査は難しい。そこで、高速
検査実現のために、レーザースキャニング方式による異
物検査装置の開発も進められている。以下図面を参照し
ながら、レーザースキャニング方式による異物検出の原
理を説明する。
【０００３】図２は、レーザースキャニング方式による
異物欠陥の検出原理を示すものである。同図において、
５は照射光、６は照射光５によって照射される異物であ
る。７は、照射光５が異物６によって散乱した散乱光で
ある。８はガラス基板であり、その表面に異物６が存在
する。このように、照射光が異物に照射されて生じる散
乱光を検出することによって、異物の存在を判定する。
すなわち、ガラス基板の表面に異物が存在する時には、
散乱光が検出されるけれども、ガラス基板の表面に何も
存在しない時には、散乱光は検出されないので、散乱光
の有無によってガラス基板の表面に異物が存在するかど
うか判断することができるのである。
異物欠陥の検出原理を示すものである。同図において、
５は照射光、６は照射光５によって照射される異物であ
る。７は、照射光５が異物６によって散乱した散乱光で
ある。８はガラス基板であり、その表面に異物６が存在
する。このように、照射光が異物に照射されて生じる散
乱光を検出することによって、異物の存在を判定する。
すなわち、ガラス基板の表面に異物が存在する時には、
散乱光が検出されるけれども、ガラス基板の表面に何も
存在しない時には、散乱光は検出されないので、散乱光
の有無によってガラス基板の表面に異物が存在するかど
うか判断することができるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
基板上に一般のレーザー光を照射した場合、裏面異物の
影響によって誤検出する恐れがある。図３で、これを説
明する。同図において、９は照射光、１２は照射光９に
よって検査されるガラス基板である。１０は照射光９が
ガラス基板１２の表面で反射した反射光である。１１
は、照射光９がガラス基板１２の表面で屈折してガラス
基板１２の中に透過した透過光である。１３はガラス基
板１２の裏面に付着した異物、１４は透過光１１が異物
１３に当たって生じた散乱光であり、１５は散乱光１４
がガラス基板１２の表面に出てきたものである。このよ
うに、ガラス基板の表面に異物が存在しない場合でも、
裏面に付着した異物による散乱光が表面に現れて、表面
の異物と誤って検出する恐れがある。
基板上に一般のレーザー光を照射した場合、裏面異物の
影響によって誤検出する恐れがある。図３で、これを説
明する。同図において、９は照射光、１２は照射光９に
よって検査されるガラス基板である。１０は照射光９が
ガラス基板１２の表面で反射した反射光である。１１
は、照射光９がガラス基板１２の表面で屈折してガラス
基板１２の中に透過した透過光である。１３はガラス基
板１２の裏面に付着した異物、１４は透過光１１が異物
１３に当たって生じた散乱光であり、１５は散乱光１４
がガラス基板１２の表面に出てきたものである。このよ
うに、ガラス基板の表面に異物が存在しない場合でも、
裏面に付着した異物による散乱光が表面に現れて、表面
の異物と誤って検出する恐れがある。
【０００５】そこで、本発明は、ガラス基板の裏面にあ
る異物が付着する場合でも、ガラス基板の表面の異物の
みを確実に検出する装置を提供することを目的とするも
のである。
る異物が付着する場合でも、ガラス基板の表面の異物の
みを確実に検出する装置を提供することを目的とするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的はレーザースキ
ャニングのための照射光として、ガラスを透過しない波
長の光、或は、ガラスの透過率が低い波長の光を使用す
ることにより、達成される。
ャニングのための照射光として、ガラスを透過しない波
長の光、或は、ガラスの透過率が低い波長の光を使用す
ることにより、達成される。
【０００７】
【作用】本発明では、ガラスを透過しない波長の光、或
は、ガラスの透過率が低い波長の光を、照射光として使
用するため、ガラス基板の裏面に付着した異物の影響に
よって誤検出する心配がなく、ガラス基板の表面の異物
のみを確実に検出することができる。
は、ガラスの透過率が低い波長の光を、照射光として使
用するため、ガラス基板の裏面に付着した異物の影響に
よって誤検出する心配がなく、ガラス基板の表面の異物
のみを確実に検出することができる。
【０００８】図１は、この原理を示すものである。同図
において、１は照射光、３は照射光１によって検査され
るガラス基板である。２は照射光１がガラス基板３の表
面で反射した反射光である。４はガラス基板３の裏面に
付着した異物である。ここで、照射光として、ガラスを
透過しない、或は透過率の低い波長の光を使用するた
め、ガラス基板の中に透過する光は全くないか或は殆ど
ない。従って、裏面に付着した異物による散乱光は発生
せず、ガラス基板の表面に異物が存在する時のみ散乱光
を生じるので、表面の異物のみを検出することができ
る。
において、１は照射光、３は照射光１によって検査され
るガラス基板である。２は照射光１がガラス基板３の表
面で反射した反射光である。４はガラス基板３の裏面に
付着した異物である。ここで、照射光として、ガラスを
透過しない、或は透過率の低い波長の光を使用するた
め、ガラス基板の中に透過する光は全くないか或は殆ど
ない。従って、裏面に付着した異物による散乱光は発生
せず、ガラス基板の表面に異物が存在する時のみ散乱光
を生じるので、表面の異物のみを検出することができ
る。
【０００９】
【実施例】ガラスは、普通、波長３００nm〜２５７０nm
程度の光を透過する性質を持っている。従って、この範
囲外の波長の光を照射光として使用する。そうすれば、
ガラス基板の中に光が透過しないので、裏面の影響を受
けることなく、ガラス基板表面の異物検査を行うことが
できる。
程度の光を透過する性質を持っている。従って、この範
囲外の波長の光を照射光として使用する。そうすれば、
ガラス基板の中に光が透過しないので、裏面の影響を受
けることなく、ガラス基板表面の異物検査を行うことが
できる。
【００１０】ガラスを透過しない波長の光を発するレー
ザーとしては、エキシマレーザー，ＣＯ2レーザーなど
がある。これらのレーザーを、異物検査装置の光源とし
て使用する。
ザーとしては、エキシマレーザー，ＣＯ2レーザーなど
がある。これらのレーザーを、異物検査装置の光源とし
て使用する。
【００１１】或は、白色光を回折格子やプリズムによっ
て分光し、ガラスを透過しない波長の光をスリットによ
って取り出し異物検査装置の光源として使用する。
て分光し、ガラスを透過しない波長の光をスリットによ
って取り出し異物検査装置の光源として使用する。
【００１２】以下、図面を参照しながら本発明のこの方
法の実施例について説明する。図４は、回折格子による
特定波長光の抽出方法である。同図において、１６は白
色光、１７は白色光１６を回折する回折格子、１８は回
折格子１７によって回折された回折光、１９は回折光１
８を再び回折する回折格子、２０は回折格子１９によっ
て再び回折された回折光、２１は回折光２０から特定波
長の光を取り出すためのスリットであり、２２はスリッ
ト２１によって取り出された特定波長の光である。この
ように、回折格子を用いることによって、白色光源から
所望の波長の光を取り出すことができる。
法の実施例について説明する。図４は、回折格子による
特定波長光の抽出方法である。同図において、１６は白
色光、１７は白色光１６を回折する回折格子、１８は回
折格子１７によって回折された回折光、１９は回折光１
８を再び回折する回折格子、２０は回折格子１９によっ
て再び回折された回折光、２１は回折光２０から特定波
長の光を取り出すためのスリットであり、２２はスリッ
ト２１によって取り出された特定波長の光である。この
ように、回折格子を用いることによって、白色光源から
所望の波長の光を取り出すことができる。
【００１３】図５はプリズムによる特定波長光の抽出方
法である。同図において、２３は白色光、２４は白色光
２３を分光するプリズム、２５はプリズム２４によって
分光された光、２６は分光された光２５から特定波長の
光を取り出すためのスリットであり、２７はスリット２
６によって取り出された特定波長の光である。このよう
に、プリズムを用いることによって、白色光源から所望
の波長の光を取り出すことができる。
法である。同図において、２３は白色光、２４は白色光
２３を分光するプリズム、２５はプリズム２４によって
分光された光、２６は分光された光２５から特定波長の
光を取り出すためのスリットであり、２７はスリット２
６によって取り出された特定波長の光である。このよう
に、プリズムを用いることによって、白色光源から所望
の波長の光を取り出すことができる。
【００１４】以上のようにして、白色光からガラスを透
過しない波長の光を取り出し、異物検査装置の光源とし
て使用する。
過しない波長の光を取り出し、異物検査装置の光源とし
て使用する。
【００１５】なお、これまでの説明では、ガラス基板の
表面検査として述べてきたが、ガラス以外の透過性の基
板に対して、その基板を透過しない波長の光を照射して
異物検査を行ってもよい。この場合も、原理は全く同じ
である。
表面検査として述べてきたが、ガラス以外の透過性の基
板に対して、その基板を透過しない波長の光を照射して
異物検査を行ってもよい。この場合も、原理は全く同じ
である。
【００１６】ガラス基板の上には、カラーフィルターや
電極，保護膜等が載っていても構わない。
電極，保護膜等が載っていても構わない。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、本発明によると、照射光
がガラス材の中に透過しないので、裏面の影響が表面に
現れる心配がない。従って、ガラス材の裏面に異物が付
着していても、表面の異物のみを確実に検出することが
できる。これを用いて、レーザースキャニング方式によ
るガラス材表面の高速異物検査装置が可能となる。
がガラス材の中に透過しないので、裏面の影響が表面に
現れる心配がない。従って、ガラス材の裏面に異物が付
着していても、表面の異物のみを確実に検出することが
できる。これを用いて、レーザースキャニング方式によ
るガラス材表面の高速異物検査装置が可能となる。
【図１】本発明における課題解決の原理を示す図
【図２】従来例における異物検出の原理を示す図
【図３】従来例における問題点の原理を示す図
【図４】本発明の一実施例における、特定波長の光を取
り出す方法を示す構成図
り出す方法を示す構成図
【図５】本発明の一実施例における、特定波長の光を取
り出す方法を示す構成図
り出す方法を示す構成図
１，５，９ 照射光 ２，１０ 反射光 ３，８，１２ ガラス基板 ４，６，１３ 異物 ７，１４，１５ 散乱光 １１ 透過光 １６，２３ 白色光 １７，１９ 回折格子 １８，２０ 回折光 ２１，２６ スリット ２２，２７ 特定波長の光 ２４ プリズム ２５ 分光された光
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザースキャニング方式による異物検
査装置において、照射光として、ガラスを透過しない波
長の光、或は、ガラスの透過率が低い波長の光を使用す
ることを特徴とする異物検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4008920A JPH05196579A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4008920A JPH05196579A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196579A true JPH05196579A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11706097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4008920A Pending JPH05196579A (ja) | 1992-01-22 | 1992-01-22 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05196579A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001343332A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Sharp Corp | 電子部品の評価方法および評価装置 |
| KR20110097182A (ko) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | 가부시끼가이샤 야마나시 기쥬쯔 고오보오 | 이물질 검사 장치 및 검사 방법 |
| KR20150125313A (ko) | 2014-04-30 | 2015-11-09 | 주식회사 나노프로텍 | 편광을 이용한 투명기판 상면 이물 검출 장치 및 방법 |
| KR20160131647A (ko) | 2015-05-08 | 2016-11-16 | 주식회사 나노프로텍 | 초박판 투명기판 상면 이물 검출 장치 |
| KR20210036091A (ko) | 2019-09-25 | 2021-04-02 | 주식회사 나노프로텍 | 자외선을 이용한 투명기판 상면 이물 검출 장치 |
-
1992
- 1992-01-22 JP JP4008920A patent/JPH05196579A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001343332A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Sharp Corp | 電子部品の評価方法および評価装置 |
| KR20110097182A (ko) | 2010-02-25 | 2011-08-31 | 가부시끼가이샤 야마나시 기쥬쯔 고오보오 | 이물질 검사 장치 및 검사 방법 |
| KR20150125313A (ko) | 2014-04-30 | 2015-11-09 | 주식회사 나노프로텍 | 편광을 이용한 투명기판 상면 이물 검출 장치 및 방법 |
| US9316598B2 (en) | 2014-04-30 | 2016-04-19 | Nanoprotech Co., Ltd. | Method of detecting foreign material on upper surface of transparent substrate using polarized light |
| KR20160131647A (ko) | 2015-05-08 | 2016-11-16 | 주식회사 나노프로텍 | 초박판 투명기판 상면 이물 검출 장치 |
| KR20210036091A (ko) | 2019-09-25 | 2021-04-02 | 주식회사 나노프로텍 | 자외선을 이용한 투명기판 상면 이물 검출 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5355213A (en) | Inspection system for detecting surface flaws | |
| TW476847B (en) | Dark view inspection system for transparent media | |
| JPH06281589A (ja) | 欠陥評価装置 | |
| US6331708B2 (en) | Examining a diamond | |
| JPH08128959A (ja) | 光学的検査方法および光学的検査装置 | |
| KR20050035243A (ko) | 광학적 측정 방법 및 그 장치 | |
| JPH05196579A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH05100413A (ja) | 異物検査装置 | |
| JPH06249791A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH08327557A (ja) | 欠陥検査装置及び方法 | |
| AU711507B2 (en) | Examining a diamond | |
| JPH056929A (ja) | ウエハ異物検査方法及び装置 | |
| JP2004020447A (ja) | 表面欠陥検出方法 | |
| JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
| JPH03150451A (ja) | シート検査方法および装置 | |
| JP4626764B2 (ja) | 異物検査装置及び異物検査方法 | |
| JPS5599049A (en) | Defect detector | |
| JP2004257776A (ja) | 光透過体検査装置 | |
| JP2000146858A (ja) | 検査装置 | |
| JPH11258175A (ja) | 異物検査方法 | |
| JPS57184957A (en) | Defect inspecting device | |
| JP3297945B2 (ja) | 鋼板表面欠陥検出方法 | |
| JPH08122271A (ja) | 液晶用カラーフィルター検査方法及び装置 | |
| JP3064459B2 (ja) | マスクの異物検査方法 | |
| JPH09218162A (ja) | 表面欠陥検査装置 |