JPH0519680B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0519680B2 JPH0519680B2 JP8912384A JP8912384A JPH0519680B2 JP H0519680 B2 JPH0519680 B2 JP H0519680B2 JP 8912384 A JP8912384 A JP 8912384A JP 8912384 A JP8912384 A JP 8912384A JP H0519680 B2 JPH0519680 B2 JP H0519680B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray beam
- group
- ray
- zone plate
- diffraction grating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この出願の発明は、Ｘ線光源から放射されるＸ
線光束を、例えば分折試料の配置された位置に収
束させるもので、口径が大きくかつ明るいＸ線レ
ンズに関するものである。
線光束を、例えば分折試料の配置された位置に収
束させるもので、口径が大きくかつ明るいＸ線レ
ンズに関するものである。
(ロ) 従来技術
オングストロームオーダの波長を持つＸ線の波
長領域においては、一般の光学系におけるレンズ
やミラーに相当する通過あるいは反射効率のよい
光学素子を得ることは非常に困難である。
長領域においては、一般の光学系におけるレンズ
やミラーに相当する通過あるいは反射効率のよい
光学素子を得ることは非常に困難である。
使用目的は相違するが、分光を行なうためのミ
ラーの如きわん曲結晶はミラーと同様な光の収束
作用を有しているが、Ｘ線光束がわん曲結晶に入
射し、反射して折り返されるときに、Ｘ線光束の
大部分がわん曲結晶に吸収され、入射されたＸ線
光束の1/1000程度のものしか分析試料に照射させ
ることができず、極めて効率の悪いものである。
ラーの如きわん曲結晶はミラーと同様な光の収束
作用を有しているが、Ｘ線光束がわん曲結晶に入
射し、反射して折り返されるときに、Ｘ線光束の
大部分がわん曲結晶に吸収され、入射されたＸ線
光束の1/1000程度のものしか分析試料に照射させ
ることができず、極めて効率の悪いものである。
極く最近の新技術として凸レンズと同様の作用
を持つゾーンプレートと呼ばれる同心円状の格子
を持つレンズを用いてＸ線光束を収束させようと
する技術が提案されているが、いまだ実用化の域
には達していない。
を持つゾーンプレートと呼ばれる同心円状の格子
を持つレンズを用いてＸ線光束を収束させようと
する技術が提案されているが、いまだ実用化の域
には達していない。
かかる提案によるものは、Ｘ線光源から発散さ
れるＸ線光束をゾーンプレートに入射させ、ゾー
ンプレートを通過する時に或る特定方向に回折さ
せ、或る特定波長のＸ線光束を一点に収束させよ
うとするものである。
れるＸ線光束をゾーンプレートに入射させ、ゾー
ンプレートを通過する時に或る特定方向に回折さ
せ、或る特定波長のＸ線光束を一点に収束させよ
うとするものである。
これを第１図ａ，ｂにより説明する。
同図ａにはＸ線光束が入射される側から眺めた
ゾーンプレート１が模式的に示されており、白い
部分がＸ線光束を通過させる格子である。同図ｂ
において、ゾーンプレート１から距離ａの位置Ｐ
に配置されたＸ線光源から発散されたＸ線光束は
ゾーンプレート１により或る特定方向に回折さ
れ、ゾーンプレート１から距離ｂの位置の点Ｑに
収束される。
ゾーンプレート１が模式的に示されており、白い
部分がＸ線光束を通過させる格子である。同図ｂ
において、ゾーンプレート１から距離ａの位置Ｐ
に配置されたＸ線光源から発散されたＸ線光束は
ゾーンプレート１により或る特定方向に回折さ
れ、ゾーンプレート１から距離ｂの位置の点Ｑに
収束される。
現在の技術レベルにおいては、前記したような
単一のゾーンプレートの製作可能な口径は、Ｘ線
光束の波長から決定されるもので、100Å程度の
波長では口径がせいぜい３mm程度であり、10Å程
度の波長で１mm程度である。このように、製作可
能なゾーンプレートの口径が小であるため、レン
ズとして非常に暗いものであり、実用に値する程
度の明るさが得られないという欠点がある。
単一のゾーンプレートの製作可能な口径は、Ｘ線
光束の波長から決定されるもので、100Å程度の
波長では口径がせいぜい３mm程度であり、10Å程
度の波長で１mm程度である。このように、製作可
能なゾーンプレートの口径が小であるため、レン
ズとして非常に暗いものであり、実用に値する程
度の明るさが得られないという欠点がある。
(ハ) 目的
この出願の発明は、前記した従来技術の有する
欠点を解消するものであつて、その第１の発明は
Ｘ線光源から発生される平行Ｘ線光束を回折格子
群に入射させ、その透過Ｘ線光束を焦点距離の円
周上の位置に配列したゾーンプレート群に入射さ
せ、一点に収束させる構成により、明るくかつ口
径の大きなＸ線レンズを提供し、そして波長純度
の高いＸ線を得ようとすることを目的とし、第２
の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を、焦
点距離の円周上の位置に配列した第１のゾーンプ
レート群に入射させ、これを通過したＸ線光束を
回折格子群に入射させ、これを通過したＸ線光束
を焦点距離の円周上の位置に配列された第２のゾ
ーンプレートに入射させ、一点に収束させる構成
により、明るくかつ口径の大きなＸ線レンズを提
供し、そして波長純度の高いＸ線を得ようとする
ことを目的とする。
欠点を解消するものであつて、その第１の発明は
Ｘ線光源から発生される平行Ｘ線光束を回折格子
群に入射させ、その透過Ｘ線光束を焦点距離の円
周上の位置に配列したゾーンプレート群に入射さ
せ、一点に収束させる構成により、明るくかつ口
径の大きなＸ線レンズを提供し、そして波長純度
の高いＸ線を得ようとすることを目的とし、第２
の発明はＸ線光源から発散されるＸ線光束を、焦
点距離の円周上の位置に配列した第１のゾーンプ
レート群に入射させ、これを通過したＸ線光束を
回折格子群に入射させ、これを通過したＸ線光束
を焦点距離の円周上の位置に配列された第２のゾ
ーンプレートに入射させ、一点に収束させる構成
により、明るくかつ口径の大きなＸ線レンズを提
供し、そして波長純度の高いＸ線を得ようとする
ことを目的とする。
(ニ) 構成
この出願の第１の発明は、Ｘ線光源から発散さ
れる平行Ｘ線光束を回折格子群により或る特定波
長のＸ線光束のみを通過させ、次に多数のゾーン
プレート群に入射させ、そのゾーンプレート群の
焦点に収束させるものであり、第２の発明はＸ線
光源から発散されるＸ線光束を第１のゾーンプレ
ート群に入射させ、これを通過したＸ線光束を回
折格子群に入射させ、或る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、これを第２のゾーンプレート群に
入射させ、その焦点に収束させるものである。
れる平行Ｘ線光束を回折格子群により或る特定波
長のＸ線光束のみを通過させ、次に多数のゾーン
プレート群に入射させ、そのゾーンプレート群の
焦点に収束させるものであり、第２の発明はＸ線
光源から発散されるＸ線光束を第１のゾーンプレ
ート群に入射させ、これを通過したＸ線光束を回
折格子群に入射させ、或る特定波長のＸ線光束の
みを通過させ、これを第２のゾーンプレート群に
入射させ、その焦点に収束させるものである。
(ホ) 実施例
以下において、この出願の第１の発明と第２の
発明とを実施例により説明する。
発明とを実施例により説明する。
第２図はこの出願の第１の発明に係わるものを
示し、同図ａは第１の発明のＸ線レンズの実施例
の側面を、同図ｂはＸ線光束が入射される側から
眺めた回折格子の模式図を、同図ｃは入射された
Ｘ線光束が回折され、特定波長のＸ線光束のみを
通過させる状態を示すものである。
示し、同図ａは第１の発明のＸ線レンズの実施例
の側面を、同図ｂはＸ線光束が入射される側から
眺めた回折格子の模式図を、同図ｃは入射された
Ｘ線光束が回折され、特定波長のＸ線光束のみを
通過させる状態を示すものである。
第２図ａにおいて、Ｂは不図示のＸ線光源から
発生される平行Ｘ線光束であり、２は透過型回折
格子群であり、この回折格子群２は不要な回折光
や散乱光をシールドするシールド板２１a，２１
ｂ，…２１oにより挟持される回折格子２1，２2，
…２o-1からなり、かつＸ線光束Ｂに対し直交す
る方向に配列されている。１は多数のゾーンプレ
ート群を示し、シールド板１１a，１１b，…１１
ｏにより挟持されたゾーンプレート１1，１2，…
１o-1からなり、焦点F1を中心とした焦点距離1
の位置の円周上の位置に配列されている。なお、
ゾーンプレート１1，１2，…１o-1は回折格子２1，
２2，…２o-1を通過する主光束の進行方向に対し
直交する方向に配列される。
発生される平行Ｘ線光束であり、２は透過型回折
格子群であり、この回折格子群２は不要な回折光
や散乱光をシールドするシールド板２１a，２１
ｂ，…２１oにより挟持される回折格子２1，２2，
…２o-1からなり、かつＸ線光束Ｂに対し直交す
る方向に配列されている。１は多数のゾーンプレ
ート群を示し、シールド板１１a，１１b，…１１
ｏにより挟持されたゾーンプレート１1，１2，…
１o-1からなり、焦点F1を中心とした焦点距離1
の位置の円周上の位置に配列されている。なお、
ゾーンプレート１1，１2，…１o-1は回折格子２1，
２2，…２o-1を通過する主光束の進行方向に対し
直交する方向に配列される。
かかる構成のＸ線レンズの作用について説明す
ると、不図示のＸ線光源から発生される平行Ｘ線
光束Ｂは図面の右方向に向けて進行し、不要な回
折光や散乱光は回折格子群２のシールド板２１a，
２１b，…２１oによりシールドされ、回折格子２
１，２2，…２o-1に入射する。
ると、不図示のＸ線光源から発生される平行Ｘ線
光束Ｂは図面の右方向に向けて進行し、不要な回
折光や散乱光は回折格子群２のシールド板２１a，
２１b，…２１oによりシールドされ、回折格子２
１，２2，…２o-1に入射する。
第２図ｂ，ｃに示すように、いま不図示のＸ線
光源からの平行Ｘ線光束Ｂは黒線で模式的に示し
た回折格子２1に入射し、或る特定波長のＸ線光
束Ｂのみをβ角度回折させ、次段のゾーンプレー
ト１1に入射させる。他の回折格子２2，２3，…
２o-1も同様にして或る特定波長のＸ線光束Ｂの
みを焦点F1の向きに通過させ、ゾープレート１2，
１3，…１o-1に入射させる。それぞれのゾーンプ
レート１1，１2，…１o-1を通過するＸ線光束Ｂ
の主光束がゾーンプレートの持つ収束作用によ
り、例えば不図示の分析試料の配置されている焦
点F1に収束される。
光源からの平行Ｘ線光束Ｂは黒線で模式的に示し
た回折格子２1に入射し、或る特定波長のＸ線光
束Ｂのみをβ角度回折させ、次段のゾーンプレー
ト１1に入射させる。他の回折格子２2，２3，…
２o-1も同様にして或る特定波長のＸ線光束Ｂの
みを焦点F1の向きに通過させ、ゾープレート１2，
１3，…１o-1に入射させる。それぞれのゾーンプ
レート１1，１2，…１o-1を通過するＸ線光束Ｂ
の主光束がゾーンプレートの持つ収束作用によ
り、例えば不図示の分析試料の配置されている焦
点F1に収束される。
次に、この出願の第２の発明のＸ線レンズの実
施例を説明する。第３図ａはその実施例の側面
を、同図ｂはＸ線光源から発散されるＸ線光束が
収束点に収束される原理を説明する図である。
施例を説明する。第３図ａはその実施例の側面
を、同図ｂはＸ線光源から発散されるＸ線光束が
収束点に収束される原理を説明する図である。
第３図ａにおいて、F1は不図示のＸ線光源の
配置された焦点であり、ここから発散されたＸ線
光束Ｂは図面の右方向に向つて進行して行く。１
は焦点F1を中心とし焦点距離1の円周上の位置
に、発散しながら進行してくるＸ線光束Ｂに対し
直交する方向に多数のゾーンプレート１1，１2，
…１o-1と、これらのゾーンプレートを挟持する
シールド板１１a，１１b，…１１oとからなる第
１のゾーンプレート群である。２は回折格子群で
あり、回折格子２1，２2，…２o-1とこれらの回
折格子を挟持するシールド板２１a，２１b，…２
１oとからなるものである。３は第２のゾーンプ
レート群であり、回折格子群２を通過したＸ線光
束Ｂの進行方向に対し直交する方向に配置され、
かつ焦点F2を中心とする焦点距離2の円周上の位
置に配列されたゾーンプレート３1，３2，…３o-
１と、これらのゾーンプレートを挟持するシール
ド板３１a，３１b，…３１oとからなる。
配置された焦点であり、ここから発散されたＸ線
光束Ｂは図面の右方向に向つて進行して行く。１
は焦点F1を中心とし焦点距離1の円周上の位置
に、発散しながら進行してくるＸ線光束Ｂに対し
直交する方向に多数のゾーンプレート１1，１2，
…１o-1と、これらのゾーンプレートを挟持する
シールド板１１a，１１b，…１１oとからなる第
１のゾーンプレート群である。２は回折格子群で
あり、回折格子２1，２2，…２o-1とこれらの回
折格子を挟持するシールド板２１a，２１b，…２
１oとからなるものである。３は第２のゾーンプ
レート群であり、回折格子群２を通過したＸ線光
束Ｂの進行方向に対し直交する方向に配置され、
かつ焦点F2を中心とする焦点距離2の円周上の位
置に配列されたゾーンプレート３1，３2，…３o-
１と、これらのゾーンプレートを挟持するシール
ド板３１a，３１b，…３１oとからなる。
かかる構成のＸ線レンズの作用について説明す
る。
る。
焦点F1に配置された不図示のＸ線光源から発
散されるＸ線光束Ｂは図面の右方向に向けて発散
しながら進行し、焦点距離1の円周上の位置に配
列された第１のゾーンプレート群１に入射する。
第１のゾーンプレート群１により或る特定波長を
持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応する回折格
子２に平行に通過させられ、回折格子群２に向つ
て進行する。回折格子群２のシールド板２１a，
２１b，…２１oにより不要な回折光や散乱光がシ
ールドされ、それ以外のＸ線光束Ｂが回折格子２
１，２2，…２o-1に入射される。回折格子２1，２
２，…２o-1により入射されたＸ線光束Ｂのうち特
定波長を持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応す
る第２のゾーンプレート群３の方向に回折され、
焦点F2を中心とした焦点距離2の円周上の位置に
配列された第２のゾーンプレート群３に入射され
る。第２のゾーンプレート群３により、入射され
たＸ線光束Ｂは、例えば分析試料の配置された焦
点F2に収束される。
散されるＸ線光束Ｂは図面の右方向に向けて発散
しながら進行し、焦点距離1の円周上の位置に配
列された第１のゾーンプレート群１に入射する。
第１のゾーンプレート群１により或る特定波長を
持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応する回折格
子２に平行に通過させられ、回折格子群２に向つ
て進行する。回折格子群２のシールド板２１a，
２１b，…２１oにより不要な回折光や散乱光がシ
ールドされ、それ以外のＸ線光束Ｂが回折格子２
１，２2，…２o-1に入射される。回折格子２1，２
２，…２o-1により入射されたＸ線光束Ｂのうち特
定波長を持つＸ線光束Ｂのみがそれぞれに対応す
る第２のゾーンプレート群３の方向に回折され、
焦点F2を中心とした焦点距離2の円周上の位置に
配列された第２のゾーンプレート群３に入射され
る。第２のゾーンプレート群３により、入射され
たＸ線光束Ｂは、例えば分析試料の配置された焦
点F2に収束される。
第３図ｂにおいて、Ｘ線光源から発散されるＸ
線線光束Ｂは第１のゾーンプレート群１のゾーン
プレートに１1入射され、このゾーンプレート１1
を通過したＸ線光束B1はシールド板２１aと２１b
とにより挟持される回折格子２1-1に入射角θ1に
て入射され、射出角θ2だけ回折されて第２のゾー
ンプレート群３のゾーンプレート３1に向けて射
出される。回折格子２1に対する入射角θ1、射出
角θ2、射出されたＸ線光束Ｂの波長をλ、回折格
子２1-1と２1-2との間隔、回折次数をＰとする
と、それらの関係は回折の基本形式としてよく知
られているように、sinθ2−sinθ1＝（λ／ｄ）、（Ｐ
＝０、±１、±２、…）の関係式で示される。
線線光束Ｂは第１のゾーンプレート群１のゾーン
プレートに１1入射され、このゾーンプレート１1
を通過したＸ線光束B1はシールド板２１aと２１b
とにより挟持される回折格子２1-1に入射角θ1に
て入射され、射出角θ2だけ回折されて第２のゾー
ンプレート群３のゾーンプレート３1に向けて射
出される。回折格子２1に対する入射角θ1、射出
角θ2、射出されたＸ線光束Ｂの波長をλ、回折格
子２1-1と２1-2との間隔、回折次数をＰとする
と、それらの関係は回折の基本形式としてよく知
られているように、sinθ2−sinθ1＝（λ／ｄ）、（Ｐ
＝０、±１、±２、…）の関係式で示される。
焦点F1から発散されたＸ線光束B1を焦点F2の
方向に回折させるためには、入射角θ1と、射出角
θ2と、格子間隔ｄとが上記した式を満足させるこ
とが必要となる。その第１の手段として回折格子
２1-1，２1-2，２1-3，…の間隔をd1，d2，…とそ
れぞれ異ならせるか、又は第２の手段として格子
間隔ｄを一定とした場合に入射角θ1と射出角θ2と
がそれぞれ異なるように、回折格子２1-1，２
1-2，…をそれぞれ傾むけるようにしなければな
らない。
方向に回折させるためには、入射角θ1と、射出角
θ2と、格子間隔ｄとが上記した式を満足させるこ
とが必要となる。その第１の手段として回折格子
２1-1，２1-2，２1-3，…の間隔をd1，d2，…とそ
れぞれ異ならせるか、又は第２の手段として格子
間隔ｄを一定とした場合に入射角θ1と射出角θ2と
がそれぞれ異なるように、回折格子２1-1，２
1-2，…をそれぞれ傾むけるようにしなければな
らない。
この出願の第１の発明と第２の発明との実施例
の説明において、焦点と回折格子とを結ぶ中心軸
線上にもゾーンプレートを設ける場合について述
べてあるが、前記した中心軸線上に位置するゾー
ンプレートのみは省略してもよい。
の説明において、焦点と回折格子とを結ぶ中心軸
線上にもゾーンプレートを設ける場合について述
べてあるが、前記した中心軸線上に位置するゾー
ンプレートのみは省略してもよい。
このようにこの出願の第１の発明と第２の発明
のＸ線レンズは口径が大で、明るくかつこれによ
り波長純度の高いＸ線光束が得られるので、これ
を試料に照射した場合は精度の高い分析結果が得
られる。
のＸ線レンズは口径が大で、明るくかつこれによ
り波長純度の高いＸ線光束が得られるので、これ
を試料に照射した場合は精度の高い分析結果が得
られる。
(ヘ) 効果
以上説明したようにこの出願の第１の発明によ
ると、平行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、特
定波長のＸ線光束のみをゾーンプレート群に入射
させ、収束させるものであるから、口径が大で、
明るいＸ線レンズを提供することができ、かつこ
れにより波長純度の高いＸ線光束を得ることがで
き、また第２の発明によると、Ｘ線光源から発散
されたＸ線光束を第１のゾーンプレート群に入射
させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入
射させ、特定波長のＸ線光束のみを第２のゾーン
プレート群に入射させ、収束させるものであるか
ら、口径が大で、明るいＸ線レンズを提供するこ
とができ、かつ波長純度の高いＸ線光束を得るこ
とができる。
ると、平行Ｘ線光束を回折格子群に入射させ、特
定波長のＸ線光束のみをゾーンプレート群に入射
させ、収束させるものであるから、口径が大で、
明るいＸ線レンズを提供することができ、かつこ
れにより波長純度の高いＸ線光束を得ることがで
き、また第２の発明によると、Ｘ線光源から発散
されたＸ線光束を第１のゾーンプレート群に入射
させ、これを通過したＸ線光束を回折格子群に入
射させ、特定波長のＸ線光束のみを第２のゾーン
プレート群に入射させ、収束させるものであるか
ら、口径が大で、明るいＸ線レンズを提供するこ
とができ、かつ波長純度の高いＸ線光束を得るこ
とができる。
第１図は従来技術のゾーンプレートを示し、同
図ａはゾーンプレートの模式図、同図ｂはゾーン
プレートを用いた光学系を示す図、第２図はこの
出願の第１の発明に係わるものを示し、同図ａは
その実施例の側面図、同図ｂは回折格子を正面か
ら眺めた模式図、同図ｃは回折格子を通過するＸ
線光束が回折される状態を説明する図、第３図は
この出願の第２の発明に係わるものを示し、同図
ａはその実施例の側面図、同図ｂはその原理を説
明する図である。 図中、１は第１の発明においてはゾーンプレー
ト群を、第２の発明においては第１のゾーンプレ
ート群、２は回折格子群、３は第２のゾーンプレ
ート群、１１a，１１b，…１１oはゾーンプレー
トのシールド板、１1，１2，…１o-1はゾーンプ
レート、２１a，２１b，…２１oは回折格子のシ
ールド板、２1，２2，…２o-1は回折格子、３１a，
３１b，…３１oはゾーンプレートのシールド板、
３1，３2，…３o-1はゾーンプレートを示す。
図ａはゾーンプレートの模式図、同図ｂはゾーン
プレートを用いた光学系を示す図、第２図はこの
出願の第１の発明に係わるものを示し、同図ａは
その実施例の側面図、同図ｂは回折格子を正面か
ら眺めた模式図、同図ｃは回折格子を通過するＸ
線光束が回折される状態を説明する図、第３図は
この出願の第２の発明に係わるものを示し、同図
ａはその実施例の側面図、同図ｂはその原理を説
明する図である。 図中、１は第１の発明においてはゾーンプレー
ト群を、第２の発明においては第１のゾーンプレ
ート群、２は回折格子群、３は第２のゾーンプレ
ート群、１１a，１１b，…１１oはゾーンプレー
トのシールド板、１1，１2，…１o-1はゾーンプ
レート、２１a，２１b，…２１oは回折格子のシ
ールド板、２1，２2，…２o-1は回折格子、３１a，
３１b，…３１oはゾーンプレートのシールド板、
３1，３2，…３o-1はゾーンプレートを示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｘ線光源から放射される平行Ｘ線光束から特
定波長を持つＸ線光束を通過させる回折格子群
と、前記回折格子群を通過した特定波長のＸ線光
束が入射される、焦点距離1の円周上の位置に配
列されたゾーンプレート群とを備えるＸ線レン
ズ。 ２ Ｘ線光源を中心とした焦点距離1の円周上の
位置に配列された第１のゾーンプレート群と、前
記第１のゾーンプレート群を通過したＸ線光束か
ら特定波長のＸ線光束のみを通過させる回折格子
群と、前記回折格子群を通過した特定波長のＸ線
光束が入射され、焦点距離2を中心とした円周上
の位置に配列された第２のゾーンプレート群とを
備えるＸ線レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912384A JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912384A JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60233600A JPS60233600A (ja) | 1985-11-20 |
| JPH0519680B2 true JPH0519680B2 (ja) | 1993-03-17 |
Family
ID=13962107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8912384A Granted JPS60233600A (ja) | 1984-05-02 | 1984-05-02 | Ｘ線レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60233600A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62126334A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-08 | Fujitsu Ltd | Ｘ線顕微鏡 |
| JP2884583B2 (ja) * | 1989-02-16 | 1999-04-19 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線集光器 |
| US5869841A (en) * | 1996-12-10 | 1999-02-09 | University Of Chicago | 3-dimensional imaging system using crystal diffraction lenses |
| JP2002195963A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ours Tex Kk | Ｘ線分光装置およびｘ線分析装置 |
| JP4265941B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-05-20 | 株式会社リコー | 光学ヘッド装置および光情報記録再生装置 |
| JP5046274B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-10-10 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線集光装置及びｘ線分析装置 |
| EP3498170A1 (en) * | 2017-12-12 | 2019-06-19 | Koninklijke Philips N.V. | Device and method for aligning an x-ray grating to an x-ray radiation source, and x-ray image acquisition system |
-
1984
- 1984-05-02 JP JP8912384A patent/JPS60233600A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60233600A (ja) | 1985-11-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4701005A (en) | Light beam combining method and apparatus | |
| US5579157A (en) | Confocal optical scanner | |
| US4435041A (en) | Chromatic aberration correction in a multiwavelength light beam deflection system | |
| KR100285510B1 (ko) | 회절격자광배가수집장치 | |
| US5009493A (en) | Mirror arrangement for a beam path in a multiple-reflection measuring cell | |
| US4575243A (en) | Monochromator | |
| JPH02115814A (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| US6449094B1 (en) | Optical system including diffraction optical element | |
| JPS5821714A (ja) | 光束分割器 | |
| JPH0519680B2 (ja) | ||
| JP2717035B2 (ja) | マルチビーム走査記録装置 | |
| JPH0810160B2 (ja) | 結像分光器 | |
| US3802767A (en) | Catoptric lens arrangement | |
| US4485303A (en) | Focus detection with splitter lens | |
| JPS5822725B2 (ja) | 光分波器 | |
| US3575511A (en) | Ebert monochromator with improved slit illumination using a cylindrical mirror | |
| EP0179717B1 (fr) | Procédé de réalisation d'un réseau holographique corrigé et appareil de diffraction utilisant un réseau corrigé réalisé par le procédé | |
| JPS58153388A (ja) | 半導体レ−ザ出力光モニタ−方法 | |
| US3947189A (en) | Optical data projection device | |
| US3956584A (en) | Optical system for a television camera with a bias-light emitting device | |
| JPH06273232A (ja) | 測色計の受光光学系 | |
| JPH0695027A (ja) | 均一照明用光学系 | |
| JPS60222815A (ja) | 可変光フイルタ | |
| JP3432235B2 (ja) | ホログラフィックフィルタの作成方法 | |
| GB2207253A (en) | Monochromator |