JPH051970A - 面形状測定装置 - Google Patents
面形状測定装置Info
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- JPH051970A JPH051970A JP18171991A JP18171991A JPH051970A JP H051970 A JPH051970 A JP H051970A JP 18171991 A JP18171991 A JP 18171991A JP 18171991 A JP18171991 A JP 18171991A JP H051970 A JPH051970 A JP H051970A
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- JP
- Japan
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- light
- cgh
- diffracted light
- surface shape
- spherical wave
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 計算機ホログラムを用いて非球面の多い非球
面形状を高精度に測定することができる面形状測定装置
を得ること。 【構成】 物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干
渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホロ
グラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように
配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する
不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置す
ること。
面形状を高精度に測定することができる面形状測定装置
を得ること。 【構成】 物体の面形状を計算機ホログラムを用いて干
渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機ホロ
グラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するように
配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生する
不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配置す
ること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学系に用いられる非球
面光学素子等の面形状を測定する面形状測定装置に関す
るものである。
面光学素子等の面形状を測定する面形状測定装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光学系ではコンパクト化や応用分
野の広がりにより、従来の球面のみの光学系から非球面
を利用して性能を向上させることが盛んに行われる様に
なってきた。このような場合、問題となるのは作成した
非球面の検査である。特に非球面量が大きくなり、通常
のフィゾー型の干渉系では干渉縞が密になりすぎて、事
実上測定が不可能になってしまうという問題点がある。
野の広がりにより、従来の球面のみの光学系から非球面
を利用して性能を向上させることが盛んに行われる様に
なってきた。このような場合、問題となるのは作成した
非球面の検査である。特に非球面量が大きくなり、通常
のフィゾー型の干渉系では干渉縞が密になりすぎて、事
実上測定が不可能になってしまうという問題点がある。
【０００３】このため、従来、大きい非球面量を測定に
は種々の方式が提案されてきている。例えば接触または
非接触型のプローブを被検面に対して走査し、結果を信
号処理する方法が一例である。この方法は汎用的なもの
であるが、走査に伴う機械的な誤差が測定値に直接影響
してしまうという欠点がある。このような中で有力な方
法として計算機ホログラム（以下「ＣＧＨ」という。）
を用いる方法が知られている。
は種々の方式が提案されてきている。例えば接触または
非接触型のプローブを被検面に対して走査し、結果を信
号処理する方法が一例である。この方法は汎用的なもの
であるが、走査に伴う機械的な誤差が測定値に直接影響
してしまうという欠点がある。このような中で有力な方
法として計算機ホログラム（以下「ＣＧＨ」という。）
を用いる方法が知られている。
【０００４】ＣＧＨはあらかじめ設計値として分かって
いる面形状より計算して作成されるもので、所定の入射
光が入射した時、所望の非球面量に相当する波面を参照
波面として回折する。回折された参照波が被検面からの
光と干渉し測定が行われるというものである。ＣＧＨは
計算により任意の波面を形成できるため汎用性に富んで
おり、また干渉縞の形で被検面全体を一度に測定できる
というメリットを持っている。
いる面形状より計算して作成されるもので、所定の入射
光が入射した時、所望の非球面量に相当する波面を参照
波面として回折する。回折された参照波が被検面からの
光と干渉し測定が行われるというものである。ＣＧＨは
計算により任意の波面を形成できるため汎用性に富んで
おり、また干渉縞の形で被検面全体を一度に測定できる
というメリットを持っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例のＣＧＨによる測定では、干渉縞で被検面の測定観察
を行う際、光軸近くで不要な回折光が重なりあって、観
察を行うことのできない領域が存在するという問題点が
あった。光軸付近の形状は素子の形状を検査する場合特
に重要であるが、測定が困難なのは重大な問題である。
本発明は上記の点を考慮してなされたもので、光軸付近
での不要な回折光の重なりを除去し、所望の成分の光の
みを取り出すことによって被検面全体を高速に精度良く
測定することを目的としている。
例のＣＧＨによる測定では、干渉縞で被検面の測定観察
を行う際、光軸近くで不要な回折光が重なりあって、観
察を行うことのできない領域が存在するという問題点が
あった。光軸付近の形状は素子の形状を検査する場合特
に重要であるが、測定が困難なのは重大な問題である。
本発明は上記の点を考慮してなされたもので、光軸付近
での不要な回折光の重なりを除去し、所望の成分の光の
みを取り出すことによって被検面全体を高速に精度良く
測定することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記問
題点を解決するため、ＣＧＨをオフアクシスタイプの構
成とし、光学的なフィルタリング手法を駆使することに
よって不要な回折光を除去し、被検面全体の観察を可能
としたものである。このため、図２に示す様にＣＧＨは
ＣＧＨに入射するまでの干渉計の主光学系の光軸に対し
斜めに配置され、被検物自体もその光軸が前記主光学系
やＣＧＨの法線面と共通にならない様に配置される。Ｃ
ＧＨには前記主光学系の中にある球面波を発生するレン
ズまたはミラー系により発生された球面波が入射する。
主光学系の中ではＣＧＨによって発生する不要な回折光
を除去するため、前記球面波発生光学系のＣＧＨと逆側
にある焦点位置にピンホールが配置されていることを特
徴としている。
題点を解決するため、ＣＧＨをオフアクシスタイプの構
成とし、光学的なフィルタリング手法を駆使することに
よって不要な回折光を除去し、被検面全体の観察を可能
としたものである。このため、図２に示す様にＣＧＨは
ＣＧＨに入射するまでの干渉計の主光学系の光軸に対し
斜めに配置され、被検物自体もその光軸が前記主光学系
やＣＧＨの法線面と共通にならない様に配置される。Ｃ
ＧＨには前記主光学系の中にある球面波を発生するレン
ズまたはミラー系により発生された球面波が入射する。
主光学系の中ではＣＧＨによって発生する不要な回折光
を除去するため、前記球面波発生光学系のＣＧＨと逆側
にある焦点位置にピンホールが配置されていることを特
徴としている。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の実施例１にもとずく非球面測
定装置の概略図である。図中１はレーザ光源、２及び３
はレンズで、レンズ２と３でレーザ光１を所定の径の平
行光束にコリメートする。レーザ光はビームスプリッタ
４を透過した後、球面波変換レンズ５に入射する。球面
波変換レンズ５の第１面６は参照平面となっており、入
射した光の一部は６で反射して参照波Ｒとして元の主光
学系に戻る。
定装置の概略図である。図中１はレーザ光源、２及び３
はレンズで、レンズ２と３でレーザ光１を所定の径の平
行光束にコリメートする。レーザ光はビームスプリッタ
４を透過した後、球面波変換レンズ５に入射する。球面
波変換レンズ５の第１面６は参照平面となっており、入
射した光の一部は６で反射して参照波Ｒとして元の主光
学系に戻る。
【０００８】球面波変換レンズ５を透過した光は収束球
面波としてＣＧＨ７に斜入射する。ＣＧＨ７はこの斜入
射球面波と被検非球面の理想値に対して設計されてお
り、ＣＧＨ７の１次回折光が被検面と等しい波面を発生
する様になっている。該１次回折光は被検面８上で設計
値である理想非球面形状に共役な波面を形成し、被検面
８で反射を受けて再びＣＧＨ７に戻る。ＣＧＨ７を再び
透過した波面は相反則により今度はー１次の回折光が入
射した球面波に対応した発散球面波となって、球面波発
生レンズ５に至り、球面波発生レンズ５を透過して物体
波Ｉに変換される。この光は実際の被検面８からの反射
光なので、被検面８が設計値に対応して理想的にできて
いれば該透過光、即ち物体波Ｉは完全な平行光となる。
また理想値からずれた場合、その量に対応して平行光か
らずれるところは、通常のフィゾー型の干渉計と同様で
ある。
面波としてＣＧＨ７に斜入射する。ＣＧＨ７はこの斜入
射球面波と被検非球面の理想値に対して設計されてお
り、ＣＧＨ７の１次回折光が被検面と等しい波面を発生
する様になっている。該１次回折光は被検面８上で設計
値である理想非球面形状に共役な波面を形成し、被検面
８で反射を受けて再びＣＧＨ７に戻る。ＣＧＨ７を再び
透過した波面は相反則により今度はー１次の回折光が入
射した球面波に対応した発散球面波となって、球面波発
生レンズ５に至り、球面波発生レンズ５を透過して物体
波Ｉに変換される。この光は実際の被検面８からの反射
光なので、被検面８が設計値に対応して理想的にできて
いれば該透過光、即ち物体波Ｉは完全な平行光となる。
また理想値からずれた場合、その量に対応して平行光か
らずれるところは、通常のフィゾー型の干渉計と同様で
ある。
【０００９】ＣＧＨ７には実際には各種の次数の回折光
が存在している。測定に使用するのはそのうちのただ一
つであるため、ＣＧＨの設計に当たってはそれら余分な
回折光が測定光に混じり込まないような配慮が必要であ
る。ここまでの光に経路に当たってＣＧＨの設計で考慮
しなければならないのは次の４つの成分である。
が存在している。測定に使用するのはそのうちのただ一
つであるため、ＣＧＨの設計に当たってはそれら余分な
回折光が測定光に混じり込まないような配慮が必要であ
る。ここまでの光に経路に当たってＣＧＨの設計で考慮
しなければならないのは次の４つの成分である。
【００１０】第１に考慮しなければならないのは主光学
系の球面波変換レンズ５からＣＧＨ７に入射した球面波
の７による各回折次数の反射光、第２に考慮しなければ
ならないのは各回折次数の透過光である。また第３に考
慮しなければならないのは今度は逆に被検面８からの反
射してＣＧＨ７に入射した球面波のＣＧＨ７による各回
折次数の反射光、そして第４に考慮しなければならない
のはＣＧＨ７による各回折次数の透過光である。
系の球面波変換レンズ５からＣＧＨ７に入射した球面波
の７による各回折次数の反射光、第２に考慮しなければ
ならないのは各回折次数の透過光である。また第３に考
慮しなければならないのは今度は逆に被検面８からの反
射してＣＧＨ７に入射した球面波のＣＧＨ７による各回
折次数の反射光、そして第４に考慮しなければならない
のはＣＧＨ７による各回折次数の透過光である。
【００１１】本発明では光学系の配置とＣＧＨ７によ
り、これら４つの余分な成分の回折光について検出を行
う光との空間周波数分布が重なることがないようにする
ことが特徴である。例えば本発明の光学系ではオフアク
シスの配置を取っている。このためＣＧＨ７に入射した
光の０次の反射光は球面波変換レンズ５に戻らないよう
な配置となっている。従来のオンアクシス型のＣＧＨ検
査の手法ではこのような回折光の分離が困難であった
が、本発明のような手法を取れば分離を容易に行うこと
ができる。このように不要回折光の分離は光学系自体の
配置とＣＧＨの設計により可能となる。
り、これら４つの余分な成分の回折光について検出を行
う光との空間周波数分布が重なることがないようにする
ことが特徴である。例えば本発明の光学系ではオフアク
シスの配置を取っている。このためＣＧＨ７に入射した
光の０次の反射光は球面波変換レンズ５に戻らないよう
な配置となっている。従来のオンアクシス型のＣＧＨ検
査の手法ではこのような回折光の分離が困難であった
が、本発明のような手法を取れば分離を容易に行うこと
ができる。このように不要回折光の分離は光学系自体の
配置とＣＧＨの設計により可能となる。
【００１２】不要回折光の除去にはこの他に光学的なフ
ィルタリング手法を共用する。ＣＧＨ７の不要回折光と
しては先に説明した収束球面波の反射、あるいは透過回
折光群や、被検面８より入射した透過回折光群等が挙げ
られるが、ここで不要回折光波面群が球面波変換レンズ
５を透過した後につくる波面をＧとする。
ィルタリング手法を共用する。ＣＧＨ７の不要回折光と
しては先に説明した収束球面波の反射、あるいは透過回
折光群や、被検面８より入射した透過回折光群等が挙げ
られるが、ここで不要回折光波面群が球面波変換レンズ
５を透過した後につくる波面をＧとする。
【００１３】球面波変換レンズ５から戻ってくる光はこ
の様に参照波Ｒ、物体波Ｉ、及び不要回折光Ｇの混合状
態となっている。これら３種の波Ｒ、Ｉ、Ｇは球面波変
換レンズ５に続いてビームスプリッタ４で今度は反射し
た後、レンズ９を透過し、ピンホール１０に到達する。
ピンホール１０は球面波変換レンズ５とレンズ９の合成
焦点面上に配置され、光学的なフィルタリングを行う役
目をする。
の様に参照波Ｒ、物体波Ｉ、及び不要回折光Ｇの混合状
態となっている。これら３種の波Ｒ、Ｉ、Ｇは球面波変
換レンズ５に続いてビームスプリッタ４で今度は反射し
た後、レンズ９を透過し、ピンホール１０に到達する。
ピンホール１０は球面波変換レンズ５とレンズ９の合成
焦点面上に配置され、光学的なフィルタリングを行う役
目をする。
【００１４】光学的なフィルタリングの作用を明確にす
るため、ピンホール１０の位置での光の状態について説
明を加える。球面波変換レンズ５から戻ってくる波面を
考えると、参照波Ｒは主光学系の光軸方向に伝播する平
面波である。又、物体波Ｉも往きにＣＧＨの＋１次、帰
りにー１次を用いたことで、相反則より被検面８の情報
を含んだ形で主光学系の光軸方向に伝播する平面波とな
っている。ＩとＲは従って同一方向に進行する平面波と
して重畳された状態にあり、両者の干渉が被検面の形状
を示すことになる。これに対し波面Ｇは光学系の配置と
ＣＧＨの設計によりその伝播方向を波面Ｉ、Ｒと共通部
分を持たない様にすることができる。ピンホール１０の
ところには波面Ｉ、Ｒ、Ｇの伝播する方向、即ち空間周
波数に応じた光の広がりが表れるが、本発明の様にすれ
ばＩ、ＲとＧとが実質的に重なりを持たない様にするこ
とができる。従ってピンホール１０の径を適当に定めれ
ば波面Ｉ、Ｒのみを干渉縞観察面１１に導くことが可能
である。
るため、ピンホール１０の位置での光の状態について説
明を加える。球面波変換レンズ５から戻ってくる波面を
考えると、参照波Ｒは主光学系の光軸方向に伝播する平
面波である。又、物体波Ｉも往きにＣＧＨの＋１次、帰
りにー１次を用いたことで、相反則より被検面８の情報
を含んだ形で主光学系の光軸方向に伝播する平面波とな
っている。ＩとＲは従って同一方向に進行する平面波と
して重畳された状態にあり、両者の干渉が被検面の形状
を示すことになる。これに対し波面Ｇは光学系の配置と
ＣＧＨの設計によりその伝播方向を波面Ｉ、Ｒと共通部
分を持たない様にすることができる。ピンホール１０の
ところには波面Ｉ、Ｒ、Ｇの伝播する方向、即ち空間周
波数に応じた光の広がりが表れるが、本発明の様にすれ
ばＩ、ＲとＧとが実質的に重なりを持たない様にするこ
とができる。従ってピンホール１０の径を適当に定めれ
ば波面Ｉ、Ｒのみを干渉縞観察面１１に導くことが可能
である。
【００１５】不要回折光Ｇのフィルタリングによる除去
は、図２に示した様に基本的には主光学系の光軸に対し
ＣＧＨ７を斜めに配置すること、及びＣＧＨ７からの回
折光を入射球面波に対して更に斜めに導くという本発明
の構成によって実現される。ＣＧＨ７の斜め配置はＣＧ
Ｈ７からの反射回折光を主光学系に戻さない役割を果し
ている。一方、ＣＧＨ７からの斜め回折光の配置はＣＧ
Ｈ７に入射する球面波の０次光が被検面に到達しないこ
とを意味しており、不要回折光の除去に効果が大きい。
ＣＧＨ７の斜め回折角はＣＧＨ７のキヤリア周波数によ
って決められるもので、この角度を設計的に定めること
によって不要回折光を効率よく除去することができる。
は、図２に示した様に基本的には主光学系の光軸に対し
ＣＧＨ７を斜めに配置すること、及びＣＧＨ７からの回
折光を入射球面波に対して更に斜めに導くという本発明
の構成によって実現される。ＣＧＨ７の斜め配置はＣＧ
Ｈ７からの反射回折光を主光学系に戻さない役割を果し
ている。一方、ＣＧＨ７からの斜め回折光の配置はＣＧ
Ｈ７に入射する球面波の０次光が被検面に到達しないこ
とを意味しており、不要回折光の除去に効果が大きい。
ＣＧＨ７の斜め回折角はＣＧＨ７のキヤリア周波数によ
って決められるもので、この角度を設計的に定めること
によって不要回折光を効率よく除去することができる。
【００１６】実際には本発明の構成でも一つだけ除けな
い不要回折光が存在する。それは被検面８から反射した
光がＣＧＨ７によって反射された時の−１次（又は＋１
次）光であるが、これは反射によって発散球面波となり
ピンホール１０の位置では大きく広がった光となるの
で、ピンホールの径を適切に選ぶことにより、実際の測
定に与える影響は殆ど無視できる。
い不要回折光が存在する。それは被検面８から反射した
光がＣＧＨ７によって反射された時の−１次（又は＋１
次）光であるが、これは反射によって発散球面波となり
ピンホール１０の位置では大きく広がった光となるの
で、ピンホールの径を適切に選ぶことにより、実際の測
定に与える影響は殆ど無視できる。
【００１７】以上の様に本発明の構成を用いれば不要回
折光が実質的に全く無視できる影響しか与えないため、
従来型で問題となっていた被検面の測定できない領域の
問題が解決され、Ｓ／Ｎ比の良い測定を容易に行うこと
ができる。
折光が実質的に全く無視できる影響しか与えないため、
従来型で問題となっていた被検面の測定できない領域の
問題が解決され、Ｓ／Ｎ比の良い測定を容易に行うこと
ができる。
【００１８】図３は本発明の実施例２の概略図である。
図中実施例１と同一の部材については同じ番号がつけら
れている。本実施例が実施例１と異なるのは、参照波の
形成のさせ方である。本実施例ではビームスプリッタ４
で反射された光を参照平面６に向けて反射させ、再び元
のビームスプリッタ４に戻す構成にしている。その他の
作用、例えば不要回折光の除去の仕方などは実施例１と
同じである。干渉縞観察面１１で観察されるのは参照面
６と被検面からの反射光の干渉となるが、参照面を被検
面と全く独立させたことにより、観察の際の干渉縞のピ
ッチに微調などを参照面を傾けることによって、被検面
と別個に行うことができるという利点を持っている。
図中実施例１と同一の部材については同じ番号がつけら
れている。本実施例が実施例１と異なるのは、参照波の
形成のさせ方である。本実施例ではビームスプリッタ４
で反射された光を参照平面６に向けて反射させ、再び元
のビームスプリッタ４に戻す構成にしている。その他の
作用、例えば不要回折光の除去の仕方などは実施例１と
同じである。干渉縞観察面１１で観察されるのは参照面
６と被検面からの反射光の干渉となるが、参照面を被検
面と全く独立させたことにより、観察の際の干渉縞のピ
ッチに微調などを参照面を傾けることによって、被検面
と別個に行うことができるという利点を持っている。
【００１９】図４は本発明の実施例３の概略図である。
この場合にも実施例２と同じく参照波を形成させるやり
方が実施例１と異なっている。レーザ１から出た光はレ
ンズ２により発散光となってハーフミラー１２に入射す
る。ハーフミラー１２を透過した光が球面波変換レンズ
５に至ってからは実施例１と同様であるが、本実施例で
は、参照波はハーフミラー１２からの反射光に対し、今
度は参照球面１３によって設定される。ピンホール１０
の位置はレンズ系５と９を考慮して決定され、効率よく
被検面からの光と参照球面からの光が干渉し、その他の
不要回折光がフィルタリングにより除去できる様になっ
ている。
この場合にも実施例２と同じく参照波を形成させるやり
方が実施例１と異なっている。レーザ１から出た光はレ
ンズ２により発散光となってハーフミラー１２に入射す
る。ハーフミラー１２を透過した光が球面波変換レンズ
５に至ってからは実施例１と同様であるが、本実施例で
は、参照波はハーフミラー１２からの反射光に対し、今
度は参照球面１３によって設定される。ピンホール１０
の位置はレンズ系５と９を考慮して決定され、効率よく
被検面からの光と参照球面からの光が干渉し、その他の
不要回折光がフィルタリングにより除去できる様になっ
ている。
【００２０】
【発明の効果】以上説明した様に本発明のオフアクシス
構成のＣＧＨによる非球面測定法は、従来問題となって
いたＣＧＨによる不要回折光を効率的に除去できるた
め、Ｓ／Ｎ比良く被検面の測定を行うことが可能となっ
た。またこの結果、従来問題となっていた光軸上付近で
の計測も可能となった。
構成のＣＧＨによる非球面測定法は、従来問題となって
いたＣＧＨによる不要回折光を効率的に除去できるた
め、Ｓ／Ｎ比良く被検面の測定を行うことが可能となっ
た。またこの結果、従来問題となっていた光軸上付近で
の計測も可能となった。
【００２１】ＣＧＨによる測定法は種々の非球面形状に
対して広範に応用することが可能であり、特に従来のフ
ィゾー型の干渉系で大きな非球面量を計測できないとい
う限界を取り除けることで大きな効果が見込まれる。本
発明の実施例では簡単な構成で従来の問題点を克服でき
るだけではなく、装置としての調整の容易さが達成され
るとともに、また時間的にも全面を一挙に測定できて効
率的など、実用上効果が大きい。
対して広範に応用することが可能であり、特に従来のフ
ィゾー型の干渉系で大きな非球面量を計測できないとい
う限界を取り除けることで大きな効果が見込まれる。本
発明の実施例では簡単な構成で従来の問題点を克服でき
るだけではなく、装置としての調整の容易さが達成され
るとともに、また時間的にも全面を一挙に測定できて効
率的など、実用上効果が大きい。
【図１】 本発明の実施例１の非球面測定系を示す図
【図２】 本発明の主要部を示す図
【図３】 本発明の実施例２の非球面測定系を示す図
【図４】 本発明の実施例３の非球面測定系を示す図
【符号の説明】 １ レーザ ２ レンズ ３ レンズ ４ ビームスプリッタ ５ 球面波発生レンズ ６ 参照平面 ７ ＣＧＨ ８ 被検面 ９ レンズ １０ ピンホール １１ 干渉縞観察面 １２ ハーフミラー １３ 参照球面
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 物体の面形状を計算機ホログラムを用い
て干渉計で測定する面形状測定装置において、該計算機
ホログラムは前記干渉計より球面波が斜めに入射するよ
うに配置されるとともに、該計算機ホログラムから発生
する不要な回折光を除去するピンホールを干渉計内に配
置することを特徴とする面形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18171991A JPH051970A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18171991A JPH051970A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH051970A true JPH051970A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=16105677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18171991A Pending JPH051970A (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH051970A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258248A1 (de) * | 2002-12-13 | 2004-07-15 | Carl Zeiss Smt Ag | System zur interferometrischen Passeprüfung |
| US7061626B1 (en) | 2004-05-14 | 2006-06-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Method of manufacturing an optical element using a hologram |
| US7106455B2 (en) | 2001-03-06 | 2006-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Interferometer and interferance measurement method |
| JP2007537426A (ja) * | 2004-05-14 | 2007-12-20 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学素子の製造方法 |
| JP2020535440A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 干渉計測システムの補償光学系 |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP18171991A patent/JPH051970A/ja active Pending
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