JPH05199680A - 電源装置 - Google Patents
電源装置Info
- Publication number
- JPH05199680A JPH05199680A JP2739892A JP2739892A JPH05199680A JP H05199680 A JPH05199680 A JP H05199680A JP 2739892 A JP2739892 A JP 2739892A JP 2739892 A JP2739892 A JP 2739892A JP H05199680 A JPH05199680 A JP H05199680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- control system
- power
- uninterruptible
- private generator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Stand-By Power Supply Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 工場内等に設置される無停電電源装置の容量
を小さくする。 【構成】 常用電源１と自家発電機電源２と、常用電源
１からの電力が停止したときに自家発電機電源２側に切
換える切換器３と、常用電源１が停止した後自家発電機
２が作動するまでの間電力を供給する無停電電源装置４
とを備え、常用回路にはシステム制御系の内のシステム
制御系の内の安全確保に必要な装置であるバックアップ
制御系６のみ無停電電源装置４を介して接続する。
を小さくする。 【構成】 常用電源１と自家発電機電源２と、常用電源
１からの電力が停止したときに自家発電機電源２側に切
換える切換器３と、常用電源１が停止した後自家発電機
２が作動するまでの間電力を供給する無停電電源装置４
とを備え、常用回路にはシステム制御系の内のシステム
制御系の内の安全確保に必要な装置であるバックアップ
制御系６のみ無停電電源装置４を介して接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は常用電源の供給が停止し
た後自家発電機電源が作動するまでの間、無停電電源装
置にて電力を供給するようにした電源装置に関する。
た後自家発電機電源が作動するまでの間、無停電電源装
置にて電力を供給するようにした電源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電源装置においては、図９に示す
ように常用電源１０１と自家発電機電源１０２からの電
力を切換器１０３を介してシステム制御系装置１０５、
温度コントロール系装置１０６、動力系装置１０７及び
その他の装置１０８に供給するようにするとともに、シ
ステム制御系装置１０５の前段には無停電電源装置１０
４を備えて、常用電源１０１からの電力の供給が停止し
た後自家発電機電源１０２が作動して所定の出力に達す
る数十秒の間は無停電電源装置１０４にてシステム制御
系装置１０５に電力を供給することで、安全を確保する
ようにしている。
ように常用電源１０１と自家発電機電源１０２からの電
力を切換器１０３を介してシステム制御系装置１０５、
温度コントロール系装置１０６、動力系装置１０７及び
その他の装置１０８に供給するようにするとともに、シ
ステム制御系装置１０５の前段には無停電電源装置１０
４を備えて、常用電源１０１からの電力の供給が停止し
た後自家発電機電源１０２が作動して所定の出力に達す
る数十秒の間は無停電電源装置１０４にてシステム制御
系装置１０５に電力を供給することで、安全を確保する
ようにしている。
【０００３】この電源装置においては、図１０に示すよ
うに無停電電源装置１０４からシステム制御系装置１０
５を構成するすべての装置Ａ〜Ｅに電力を供給するた
め、無停電電源装置１０４の容量は装置Ａ〜Ｅの総積算
量に設定され、装置Ａ〜Ｅの容量がそれぞれ２ＫＶＡで
あれば無停電電源装置１０４の容量は１０ＫＶＡに設定
している。
うに無停電電源装置１０４からシステム制御系装置１０
５を構成するすべての装置Ａ〜Ｅに電力を供給するた
め、無停電電源装置１０４の容量は装置Ａ〜Ｅの総積算
量に設定され、装置Ａ〜Ｅの容量がそれぞれ２ＫＶＡで
あれば無停電電源装置１０４の容量は１０ＫＶＡに設定
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の電源装置のように無停電電源装置から常用のシ
ステム制御系装置全部に電力を供給すると、無停電電源
装置の容量が大きくなって装置が大型化し、コストも高
くなる。
た従来の電源装置のように無停電電源装置から常用のシ
ステム制御系装置全部に電力を供給すると、無停電電源
装置の容量が大きくなって装置が大型化し、コストも高
くなる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、電源装置に接続される各装置の内の安全確
保に必要な装置に対してのみ無停電電源装置にて電力を
供給するようにした。
決するため、電源装置に接続される各装置の内の安全確
保に必要な装置に対してのみ無停電電源装置にて電力を
供給するようにした。
【０００６】
【作用】無停電電源装置からは電源装置に接続される各
装置のうちの安全確保に必要な装置に対してのみ電力を
供給するので、無停電電源装置が負担する容量が小さく
なる。
装置のうちの安全確保に必要な装置に対してのみ電力を
供給するので、無停電電源装置が負担する容量が小さく
なる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る電源装置の電力
系統図、図２は同電源装置におけるシステム制御系の電
力系統の説明図、図３は同電源装置における他のシステ
ム制御系の電力系統の説明図、図４は無停電電源装置の
構成図、図５は同電源装置の作動状態の説明図、図６は
同電源装置に接続するガス浸炭焼き入れ装置の平面図、
図７は同焼き入れ装置の浸炭炉及び焼き入れ槽の断面
図、図８は同焼き入れ装置のシステム制御部の要部回路
構成図である。
説明する。ここで、図１は本発明に係る電源装置の電力
系統図、図２は同電源装置におけるシステム制御系の電
力系統の説明図、図３は同電源装置における他のシステ
ム制御系の電力系統の説明図、図４は無停電電源装置の
構成図、図５は同電源装置の作動状態の説明図、図６は
同電源装置に接続するガス浸炭焼き入れ装置の平面図、
図７は同焼き入れ装置の浸炭炉及び焼き入れ槽の断面
図、図８は同焼き入れ装置のシステム制御部の要部回路
構成図である。
【０００８】電源装置は図１に示すように、常用電源１
と、自家発電機電源２と、常用電源１からの電力が停止
したときには給電路を自家発電機電源２側に切換える切
換器３と、常用電源１が停止した後自家発電機２が作動
するまでの間電力を供給する無停電電源装置４とを備
え、常用回路にはシステム制御系のうちの基本システム
制御系装置５、温度コントロール系装置７、動力系装置
８及びその他の装置９を接続するとともに、無停電電源
装置４を介してシステム制御系のうちの安全確保に必要
な装置であるバックアップ制御系６を接続している。
と、自家発電機電源２と、常用電源１からの電力が停止
したときには給電路を自家発電機電源２側に切換える切
換器３と、常用電源１が停止した後自家発電機２が作動
するまでの間電力を供給する無停電電源装置４とを備
え、常用回路にはシステム制御系のうちの基本システム
制御系装置５、温度コントロール系装置７、動力系装置
８及びその他の装置９を接続するとともに、無停電電源
装置４を介してシステム制御系のうちの安全確保に必要
な装置であるバックアップ制御系６を接続している。
【０００９】ここで、システム制御系装置に対する電力
系統について説明すると、先ず図２に示す例は、システ
ム制御系を構成する装置Ａ〜Ｅのうちの基本システム制
御系を構成する装置Ａ１〜Ｅ１とバックアップ制御系を
構成するＡ２〜Ｅ２とを同一制御盤に収納した場合であ
る。また、図３に示す例は、基本システム制御系を構成
する装置Ａ１〜Ｅ１とバックアップ制御系を構成するＡ
２〜Ｅ２とを別の制御盤に収納した場合である。
系統について説明すると、先ず図２に示す例は、システ
ム制御系を構成する装置Ａ〜Ｅのうちの基本システム制
御系を構成する装置Ａ１〜Ｅ１とバックアップ制御系を
構成するＡ２〜Ｅ２とを同一制御盤に収納した場合であ
る。また、図３に示す例は、基本システム制御系を構成
する装置Ａ１〜Ｅ１とバックアップ制御系を構成するＡ
２〜Ｅ２とを別の制御盤に収納した場合である。
【００１０】基本システム制御系とバックアップ制御系
を同一制御盤に収納するか別の制御盤に収納するかは任
意であるが、同一制御盤に収納した場合には停電時にバ
ックアップ制御系のみ制御盤の中で作動していることに
なり、かかる状態が好ましくないときには別の制御盤と
すればよい。
を同一制御盤に収納するか別の制御盤に収納するかは任
意であるが、同一制御盤に収納した場合には停電時にバ
ックアップ制御系のみ制御盤の中で作動していることに
なり、かかる状態が好ましくないときには別の制御盤と
すればよい。
【００１１】また、無停電電源装置４について図４を参
照して説明すると、この装置は正常時には整流器／充電
器１１から蓄電池１２に浮動充電しながらインバータ１
３から給電し、停電時には蓄電池１２によりインバータ
１３の運転を継続して無停電の安定供給電力を供給す
る。
照して説明すると、この装置は正常時には整流器／充電
器１１から蓄電池１２に浮動充電しながらインバータ１
３から給電し、停電時には蓄電池１２によりインバータ
１３の運転を継続して無停電の安定供給電力を供給す
る。
【００１２】以上のように構成した電源装置において
は、図５をも参照して、通常は常用電源１から切換器３
を介して各装置５〜９に電力が供給されているが、常用
電源１が停止したときには自家発電機電源２が作動を開
始するとともに切換器３が自家発電機電源２側に切換わ
るが、自家発電機電源２の出力が所定の出力に達するま
での間に約数十秒を要するため、この間無停電電源装置
４を接続しているバックアップ制御系装置６にのみ所定
の電力が供給され、他の装置５，７〜９には所定の電力
が供給されない。
は、図５をも参照して、通常は常用電源１から切換器３
を介して各装置５〜９に電力が供給されているが、常用
電源１が停止したときには自家発電機電源２が作動を開
始するとともに切換器３が自家発電機電源２側に切換わ
るが、自家発電機電源２の出力が所定の出力に達するま
での間に約数十秒を要するため、この間無停電電源装置
４を接続しているバックアップ制御系装置６にのみ所定
の電力が供給され、他の装置５，７〜９には所定の電力
が供給されない。
【００１３】このように、無停電電源装置４からシステ
ム制御系装置のうちの安全確保に必要な装置であるバッ
クアップ制御系装置６のみに電力を供給するようにする
ことによって、システム制御系装置全部に電力を供給す
る場合に比べて無停電電源装置４の容量は少なくて済む
ようになる。このようにしても、常用電源１が停止する
原因としては夏場の落雷、送電途中の事故によるものが
殆どであり、そのため頻繁に発生するものではなく、し
かも自家発電機電源に切り替わるに要する時間が数十秒
と極めて短時間であることからすれば、問題が生じるこ
とはない。
ム制御系装置のうちの安全確保に必要な装置であるバッ
クアップ制御系装置６のみに電力を供給するようにする
ことによって、システム制御系装置全部に電力を供給す
る場合に比べて無停電電源装置４の容量は少なくて済む
ようになる。このようにしても、常用電源１が停止する
原因としては夏場の落雷、送電途中の事故によるものが
殆どであり、そのため頻繁に発生するものではなく、し
かも自家発電機電源に切り替わるに要する時間が数十秒
と極めて短時間であることからすれば、問題が生じるこ
とはない。
【００１４】次に、本発明を具体的適用例について説明
するが、表面改質を目的とする熱処理、例えばガス浸炭
焼き入れ、ガス軟窒化、その他還元性雰囲気を使用する
ものは雰囲気ガスの爆発防止対策を構造的に設置しなけ
ればならない。そこで、ここでは、ガス浸炭焼き入れ装
置に適用した例について説明する。
するが、表面改質を目的とする熱処理、例えばガス浸炭
焼き入れ、ガス軟窒化、その他還元性雰囲気を使用する
ものは雰囲気ガスの爆発防止対策を構造的に設置しなけ
ればならない。そこで、ここでは、ガス浸炭焼き入れ装
置に適用した例について説明する。
【００１５】先ず、図６及び図７を参照して、ワークＷ
は搬入装置２１により加熱炉２２に扉２２ａを介して搬
入され、所定の温度に加熱された後扉２２ｂを介して送
り出され、中間搬送装置２３で搬送され、浸炭炉２４に
扉２４ａを介して送られる。そして、浸炭炉２４うちで
扉２４ｂを介して水素、一酸化炭素、窒素、二酸化炭素
を主成分にした浸炭性雰囲気ガス中に送られ、この雰囲
気ガス中で前記成分を浸炭後、扉２４ｃを介して焼き入
れ層２５に送られる。
は搬入装置２１により加熱炉２２に扉２２ａを介して搬
入され、所定の温度に加熱された後扉２２ｂを介して送
り出され、中間搬送装置２３で搬送され、浸炭炉２４に
扉２４ａを介して送られる。そして、浸炭炉２４うちで
扉２４ｂを介して水素、一酸化炭素、窒素、二酸化炭素
を主成分にした浸炭性雰囲気ガス中に送られ、この雰囲
気ガス中で前記成分を浸炭後、扉２４ｃを介して焼き入
れ層２５に送られる。
【００１６】この焼き入れ層２５では、浸炭炉２４の扉
２４ｃが昇降用シリンダ３０で開けられて、ワークＷが
バスケット３１に搬入され、このバスケット３１が昇降
用シリンダ３２により焼き入れ油３３の中にワークＷを
投入し、ワークＷの表面硬化を促した後、再度昇降用シ
リンダ３２によりバスケット３１を上昇させて、昇降用
シリンダ３４で扉２５ａを開き、電動モータ３５，３６
により払出し装置２６に払出す。そして、払出し装置２
６の電動モータ３６を駆動して次工程に送り出す。
２４ｃが昇降用シリンダ３０で開けられて、ワークＷが
バスケット３１に搬入され、このバスケット３１が昇降
用シリンダ３２により焼き入れ油３３の中にワークＷを
投入し、ワークＷの表面硬化を促した後、再度昇降用シ
リンダ３２によりバスケット３１を上昇させて、昇降用
シリンダ３４で扉２５ａを開き、電動モータ３５，３６
により払出し装置２６に払出す。そして、払出し装置２
６の電動モータ３６を駆動して次工程に送り出す。
【００１７】この装置においては、浸炭性雰囲気ガスと
外部とを遮断している扉２４ａと扉２５ａの近辺は各扉
２４ａ，２５ａが開いたときに外気と接触して爆発が生
じるのを防止するため、フレームカーテンとして可燃性
ガスを燃焼させ、外気の侵入を防止する構造になってい
る。扉２５ａの部分で説明すると、可燃性ガス４１を電
磁バルブ４２を介して他方の電磁バルブ４４から供給さ
れるエアー４３と混合して、絞り弁４４を介してノズル
ヘッド４５からフレームカーテン４６として燃焼させ
る。
外部とを遮断している扉２４ａと扉２５ａの近辺は各扉
２４ａ，２５ａが開いたときに外気と接触して爆発が生
じるのを防止するため、フレームカーテンとして可燃性
ガスを燃焼させ、外気の侵入を防止する構造になってい
る。扉２５ａの部分で説明すると、可燃性ガス４１を電
磁バルブ４２を介して他方の電磁バルブ４４から供給さ
れるエアー４３と混合して、絞り弁４４を介してノズル
ヘッド４５からフレームカーテン４６として燃焼させ
る。
【００１８】ところで、扉２５ａが開いてフレームカー
テンで外気を遮断しながらワークＷを搬出している最中
に停電した場合、電磁バルブ４２，４４が閉状態になっ
てフレームカーテン４６が消失してしまい、そのため浸
炭性雰囲気ガスが外気にふれて爆発を誘発する。そこ
で、この装置では、電磁バルブ４２，４４を制御するに
必要な制御系のみをバックアップ制御系として無停電電
源装置による電力供給を行うようにしている。
テンで外気を遮断しながらワークＷを搬出している最中
に停電した場合、電磁バルブ４２，４４が閉状態になっ
てフレームカーテン４６が消失してしまい、そのため浸
炭性雰囲気ガスが外気にふれて爆発を誘発する。そこ
で、この装置では、電磁バルブ４２，４４を制御するに
必要な制御系のみをバックアップ制御系として無停電電
源装置による電力供給を行うようにしている。
【００１９】このシステム制御部の扉２５ａ部の回路に
ついて図８を参照して説明すると、基本システム制御部
（系）５のバスケット３１が焼き入れ工程を完了し、上
昇して上昇端に来た時にリレーＲＡの接点Ｒａが閉じ
る。これにより、バックアップ制御部（系）６のフレー
ムカーテンに着火され、リレーＲＢが作動して接点Ｒｂ
が閉じ、扉２５ａに開指令が入って扉２５ａが開き始め
る。そして、扉２５ａが開き完了するとリレーＲＣが作
動して接点Ｒｃが閉じてリレーＲＤが作動して接点Ｒｄ
が閉じて搬出モータ３５，３６が駆動されてワークＷが
搬出される。
ついて図８を参照して説明すると、基本システム制御部
（系）５のバスケット３１が焼き入れ工程を完了し、上
昇して上昇端に来た時にリレーＲＡの接点Ｒａが閉じ
る。これにより、バックアップ制御部（系）６のフレー
ムカーテンに着火され、リレーＲＢが作動して接点Ｒｂ
が閉じ、扉２５ａに開指令が入って扉２５ａが開き始め
る。そして、扉２５ａが開き完了するとリレーＲＣが作
動して接点Ｒｃが閉じてリレーＲＤが作動して接点Ｒｄ
が閉じて搬出モータ３５，３６が駆動されてワークＷが
搬出される。
【００２０】ワークＷの搬出が終了するとリレーＲＥが
作動して接点Ｒｅが閉じ搬出完了信号が出力されて扉２
５ａが下降する。その後、扉２５ａが閉り完了するとリ
レーＲＦが作動して接点Ｒｆが閉じてフレームカーテン
が消火され、リレーＲＧが作動して接点Ｒｇが閉じる。
これにより、基本システム制御部５のリレーＲＨが作動
して接点Ｒｈが閉じてサイクルが完了する。
作動して接点Ｒｅが閉じ搬出完了信号が出力されて扉２
５ａが下降する。その後、扉２５ａが閉り完了するとリ
レーＲＦが作動して接点Ｒｆが閉じてフレームカーテン
が消火され、リレーＲＧが作動して接点Ｒｇが閉じる。
これにより、基本システム制御部５のリレーＲＨが作動
して接点Ｒｈが閉じてサイクルが完了する。
【００２１】このとき、バックアップ制御部６にのみ無
停電電源装置４を設けているので、フレームカーテンの
着火後常用電源１が停止しても無停電電源装置４から電
力が供給されてフレームカーテンは着火状態のまま自家
発電機電源２の出力が所定出力に達するまで待機し、爆
発の誘発を防止できる。
停電電源装置４を設けているので、フレームカーテンの
着火後常用電源１が停止しても無停電電源装置４から電
力が供給されてフレームカーテンは着火状態のまま自家
発電機電源２の出力が所定出力に達するまで待機し、爆
発の誘発を防止できる。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
無停電電源装置からは電源装置に接続される各装置のう
ちの安全確保に必要な装置に対してのみ電力を供給する
ようにしたので、すべての装置に電力を供給する場合に
比べて無停電電源装置の容量を小さくすることができ、
装置の小型化、据え付けスペースの削減、コストの削減
ができ、メンテナンスも容易になる。
無停電電源装置からは電源装置に接続される各装置のう
ちの安全確保に必要な装置に対してのみ電力を供給する
ようにしたので、すべての装置に電力を供給する場合に
比べて無停電電源装置の容量を小さくすることができ、
装置の小型化、据え付けスペースの削減、コストの削減
ができ、メンテナンスも容易になる。
【図１】本発明に係る電源装置の電力系統図
【図２】同電源装置におけるシステム制御系の電力系統
の説明図
の説明図
【図３】同電源装置における他のシステム制御系の電力
系統の説明図
系統の説明図
【図４】無停電電源装置の構成図
【図５】同電源装置の作動状態の説明図
【図６】同電源装置に接続するガス浸炭焼き入れ装置の
平面図
平面図
【図７】同焼き入れ装置の浸炭炉及び焼き入れ槽の断面
図
図
【図８】同焼き入れ装置のシステム制御部の要部回路構
成図
成図
【図９】従来の電源装置の電力系統図
【図１０】同電源装置におけるシステム制御系の電力系
統の説明図
統の説明図
１…常用電源、２…自家発電機電源、３…切換器、４…
無停電電源装置、５…基本システム制御系装置、６…バ
ックアップ制御系装置。
無停電電源装置、５…基本システム制御系装置、６…バ
ックアップ制御系装置。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年３月１７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
Claims (1)
- 【請求項１】 常用電源と自家発電機電源と無停電電源
装置とを備え、前記常用電源の供給が停止した後自家発
電機電源が作動するまでの間、無停電電源装置から電力
を供給するようにした電源装置において、この電源装置
に接続される各装置のうちの安全確保に必要な装置に対
してのみ前記無停電電源装置から電力を供給することを
特徴とする電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2739892A JPH05199680A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2739892A JPH05199680A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05199680A true JPH05199680A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=12219958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2739892A Pending JPH05199680A (ja) | 1992-01-17 | 1992-01-17 | 電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05199680A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000259105A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Taisei Corp | 建物におけるネオン点灯システム |
| WO2005022615A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Nikon Corporation | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1992
- 1992-01-17 JP JP2739892A patent/JPH05199680A/ja active Pending
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000259105A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Taisei Corp | 建物におけるネオン点灯システム |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885959B2 (en) | 2003-04-09 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator |
| JP2010118680A (ja) * | 2003-08-29 | 2010-05-27 | Nikon Corp | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP2010093302A (ja) * | 2003-08-29 | 2010-04-22 | Nikon Corp | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP2010103560A (ja) * | 2003-08-29 | 2010-05-06 | Nikon Corp | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP2010093301A (ja) * | 2003-08-29 | 2010-04-22 | Nikon Corp | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP4492538B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2010-06-30 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
| US7826031B2 (en) | 2003-08-29 | 2010-11-02 | Nikon Corporation | Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| US7847916B2 (en) | 2003-08-29 | 2010-12-07 | Nikon Corporation | Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| US10012909B2 (en) | 2003-08-29 | 2018-07-03 | Nikon Corporation | Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| US8854599B2 (en) | 2003-08-29 | 2014-10-07 | Nikon Corporation | Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| US8867017B2 (en) | 2003-08-29 | 2014-10-21 | Nikon Corporation | Liquid recovery apparatus, exposure apparatus, exposure method, and device manufacturing method |
| JPWO2005022615A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2006-10-26 | 株式会社ニコン | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| WO2005022615A1 (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-10 | Nikon Corporation | 液体回収装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9760014B2 (en) | 2003-10-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05199680A (ja) | 電源装置 | |
| JPS59228393A (ja) | 調理器 | |
| JP6873215B1 (ja) | 低引火点燃料船の無通電回避構造 | |
| CN100470421C (zh) | 用于弧焊机器人的控制器 | |
| JP2997748B2 (ja) | 機械式駐車設備における入出庫制御方法 | |
| JP3912211B2 (ja) | 電子部品実装用装置および電子部品実装用装置における動力供給制御方法 | |
| JP3377104B2 (ja) | 熱処理炉の制御システム | |
| JPS60158086A (ja) | コンクリ−トバケツト開閉装置 | |
| CN114087084B (zh) | 一种基于app的燃油发电机启停控制方法 | |
| JPH05333195A (ja) | 原子炉遠隔停止装置 | |
| CN118074148B (zh) | 一种自动电压控制类无功设备投切防误闭锁方法 | |
| CN115948632B (zh) | 一种用于混铁车液压驱动式智能加盖dcdc电控系统及控制方法 | |
| CN118645380A (zh) | 站台紧急关闭控制装置 | |
| JP2823380B2 (ja) | エレベータの運転装置 | |
| US12292190B2 (en) | Portable ignition system | |
| JPH07320617A (ja) | リレー制御回路 | |
| JPS63129236A (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
| CN209943648U (zh) | 气体电磁阀的驱动电路以及气体燃烧装置 | |
| KR920001877B1 (ko) | 반도체 제조에서의 수소 어닐링 방법과 그 장치 | |
| JP2568510Y2 (ja) | パーティキュレートトラップフィルタ再生装置 | |
| CN118343065A (zh) | 安全电路及焦炉车载炉门服务车 | |
| CN118912490A (zh) | 一种燃气锅炉的智能控制方法及装置 | |
| KR100559295B1 (ko) | 차량의 주전원 제어장치 | |
| JPH05240448A (ja) | 加熱調理器 | |
| JPS58202281A (ja) | マンコンベアの遠方監視制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020312 |