JPH05200329A - 噴霧発生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法 - Google Patents
噴霧発生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法Info
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- JPH05200329A JPH05200329A JP2861992A JP2861992A JPH05200329A JP H05200329 A JPH05200329 A JP H05200329A JP 2861992 A JP2861992 A JP 2861992A JP 2861992 A JP2861992 A JP 2861992A JP H05200329 A JPH05200329 A JP H05200329A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 合成樹脂で形成される吹き出し部材の表面に
水滴が生じることを低減して均一な噴霧粒子で噴霧する
ことができるようにする。 【構成】 合成樹脂材で形成される吹き出し部材Bの表
面に極微小凹凸を形成する。また吹き出し部材の表面に
親水基を形成する。これにより吹き出し部材の表面に蒸
気の粒子が水滴化せずに濡れ広がらせるようにすること
ができる。
水滴が生じることを低減して均一な噴霧粒子で噴霧する
ことができるようにする。 【構成】 合成樹脂材で形成される吹き出し部材Bの表
面に極微小凹凸を形成する。また吹き出し部材の表面に
親水基を形成する。これにより吹き出し部材の表面に蒸
気の粒子が水滴化せずに濡れ広がらせるようにすること
ができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、喉や鼻等の呼吸器系に
生じた炎症などの治療に用いられる吸入器や、洋服地の
起毛を復活させるミストを供給する噴霧器など、噴霧発
生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法に関するも
のである。
生じた炎症などの治療に用いられる吸入器や、洋服地の
起毛を復活させるミストを供給する噴霧器など、噴霧発
生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図14及び図15は噴霧発生装置の一種
である吸入器Aを示すものであり、吸入器Aは蒸気発生
ユニット1と吸入液タンク2とを備えて形成され、蒸気
発生ユニット1から蒸気管3を通して供給される蒸気
と、吸入液タンク2から吸い上げ管4を通して吸い上げ
られる薬液等の吸入液とを混合して、カバー5の吹き出
し口6から吹き出させて吸入液を噴霧させるようにした
ものである。この吸入器Aにあって、吹き出し部材Bを
構成するカバー5の吹き出し口6や、蒸気管3の噴霧ノ
ズル7、吸い上げ管4の吸い上げノズル8などは合成樹
脂を材料として形成したものを用いるのが一般的であ
る。
である吸入器Aを示すものであり、吸入器Aは蒸気発生
ユニット1と吸入液タンク2とを備えて形成され、蒸気
発生ユニット1から蒸気管3を通して供給される蒸気
と、吸入液タンク2から吸い上げ管4を通して吸い上げ
られる薬液等の吸入液とを混合して、カバー5の吹き出
し口6から吹き出させて吸入液を噴霧させるようにした
ものである。この吸入器Aにあって、吹き出し部材Bを
構成するカバー5の吹き出し口6や、蒸気管3の噴霧ノ
ズル7、吸い上げ管4の吸い上げノズル8などは合成樹
脂を材料として形成したものを用いるのが一般的であ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】今日工業製品用の部品
材料として多用される汎用合成樹脂は撥水性を有するも
のが多い。従って吸入器Aの吹き出し部材Bとして表面
が撥水性を有する合成樹脂で成形したものを使用した場
合、高温の蒸気が吹き出し部材Bの表面で凝縮すると高
温の水滴として吹き出し部材Bの表面に付着することに
なる。この高温の水滴9は図16に示すように特に吹き
出し口6の噴霧カイド10の内面に発生し易い。そして
この高温の水滴9は、あるものは吸入液タンク2へと重
力作用で落下するが、あるものは噴出圧によって吹き出
し口6から湯玉となって飛散することになる。しかしこ
のように高温の水滴9が湯玉となって飛散して吸入器A
を使用する人の口中に入ると、使用者が火傷を負う危険
があって安全性に問題があり、また水滴9が飛ばされる
際に大きな音が発生するために使用者に心理的な不安を
与えるという問題もあり、さらには水滴によって不均一
な粒径になった蒸気が使用者の口中に入ることになって
使用者に不快感を及ぼすという問題もあった。加えて、
水滴9が肥大化して吹き出し口6から垂れ落ちて周囲を
汚したり、吸入器A自体が水滴9の残渣で汚されるとい
う問題もあった。
材料として多用される汎用合成樹脂は撥水性を有するも
のが多い。従って吸入器Aの吹き出し部材Bとして表面
が撥水性を有する合成樹脂で成形したものを使用した場
合、高温の蒸気が吹き出し部材Bの表面で凝縮すると高
温の水滴として吹き出し部材Bの表面に付着することに
なる。この高温の水滴9は図16に示すように特に吹き
出し口6の噴霧カイド10の内面に発生し易い。そして
この高温の水滴9は、あるものは吸入液タンク2へと重
力作用で落下するが、あるものは噴出圧によって吹き出
し口6から湯玉となって飛散することになる。しかしこ
のように高温の水滴9が湯玉となって飛散して吸入器A
を使用する人の口中に入ると、使用者が火傷を負う危険
があって安全性に問題があり、また水滴9が飛ばされる
際に大きな音が発生するために使用者に心理的な不安を
与えるという問題もあり、さらには水滴によって不均一
な粒径になった蒸気が使用者の口中に入ることになって
使用者に不快感を及ぼすという問題もあった。加えて、
水滴9が肥大化して吹き出し口6から垂れ落ちて周囲を
汚したり、吸入器A自体が水滴9の残渣で汚されるとい
う問題もあった。
【0004】上記では噴霧発生装置の一種である吸入器
Aについて説明したが、洋服地の起毛を復活させるよう
ミストを供給する噴霧器にあっても、同様にして水滴が
発生してミストの一部に水滴が混在すると、洋服地の起
毛性にばらつきが生じる等の問題が起こるものである。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、合成樹
脂で形成される吹き出し部材の表面に水滴が生じること
を低減して均一な噴霧粒子で噴霧することができる噴霧
発生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法を提供す
ることを目的とするものである。
Aについて説明したが、洋服地の起毛を復活させるよう
ミストを供給する噴霧器にあっても、同様にして水滴が
発生してミストの一部に水滴が混在すると、洋服地の起
毛性にばらつきが生じる等の問題が起こるものである。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、合成樹
脂で形成される吹き出し部材の表面に水滴が生じること
を低減して均一な噴霧粒子で噴霧することができる噴霧
発生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法を提供す
ることを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明に係る噴霧発生装
置の吹き出し部材は、合成樹脂材で形成され、表面に極
微小凹凸条が形成されて成ることを特徴とするものであ
り、さらに合成樹脂素材よりも多くの親水基が表面に形
成されて成ることを特徴とするものである。また本発明
に係る噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法は、
噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される吹き出し部材の
表面を、電離気体で処理することを特徴とするものであ
る。
置の吹き出し部材は、合成樹脂材で形成され、表面に極
微小凹凸条が形成されて成ることを特徴とするものであ
り、さらに合成樹脂素材よりも多くの親水基が表面に形
成されて成ることを特徴とするものである。また本発明
に係る噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法は、
噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される吹き出し部材の
表面を、電離気体で処理することを特徴とするものであ
る。
【0006】電離気体による処理は、グロー放電や、コ
ロナ放電や、イオンビーム照射でおこなうことができ
る。
ロナ放電や、イオンビーム照射でおこなうことができ
る。
【0007】
【作用】合成樹脂材で形成される吹き出し部材の表面に
極微小凹凸条を形成し、また合成樹脂素材よりも多くの
親水基が表面に形成することによって、蒸気が水滴化せ
ずに濡れ広がらせるようにすることができ、水滴が生じ
ることを防ぐことができる。
極微小凹凸条を形成し、また合成樹脂素材よりも多くの
親水基が表面に形成することによって、蒸気が水滴化せ
ずに濡れ広がらせるようにすることができ、水滴が生じ
ることを防ぐことができる。
【0008】また、グロー放電や、コロナ放電や、イオ
ンビーム照射して電離気体で合成樹脂の吹き出し部材の
表面を処理することによって、吹き出し部材の表面に極
微小凹凸条や親水基を形成させて水滴が生じない表面に
処理することができる。
ンビーム照射して電離気体で合成樹脂の吹き出し部材の
表面を処理することによって、吹き出し部材の表面に極
微小凹凸条や親水基を形成させて水滴が生じない表面に
処理することができる。
【0009】
【実施例】以下本発明を実施例によって詳述する。 (実施例1)本実施例は請求項4に対応するものであ
り、図2(a)のように吹き出し部材Bを成形するため
の上下型24a,24bから構成される成形金型24の
キャビティ25の表面にサンドペーパー等で磨いたり、
イオンエッチング等を施したりして、極微小の成形用凹
凸条26が形成してある。この成形金型24内にポリス
チレン(PS)樹脂等の流動性の高い合成樹脂を注入し
て成形をおこなうことによって、図2(b)のように成
形金型24の成形用凹凸条26が転写されて表面に極微
小凹凸条27が形成された吹き出し部材Bを得ることが
できる。このように成形して得られた吹き出し部材Bの
表面を走査電子顕微鏡で見たところ、極微小凹凸条27
は図3に示すように、溝幅W1 =0.2μm、溝深さD
=0.005μmの極微小凹条溝27aと、この極微小
凹条溝27a間の幅W2 =0.5μmの極微小凸条27
bとで形成されていることが観察された。
り、図2(a)のように吹き出し部材Bを成形するため
の上下型24a,24bから構成される成形金型24の
キャビティ25の表面にサンドペーパー等で磨いたり、
イオンエッチング等を施したりして、極微小の成形用凹
凸条26が形成してある。この成形金型24内にポリス
チレン(PS)樹脂等の流動性の高い合成樹脂を注入し
て成形をおこなうことによって、図2(b)のように成
形金型24の成形用凹凸条26が転写されて表面に極微
小凹凸条27が形成された吹き出し部材Bを得ることが
できる。このように成形して得られた吹き出し部材Bの
表面を走査電子顕微鏡で見たところ、極微小凹凸条27
は図3に示すように、溝幅W1 =0.2μm、溝深さD
=0.005μmの極微小凹条溝27aと、この極微小
凹条溝27a間の幅W2 =0.5μmの極微小凸条27
bとで形成されていることが観察された。
【0010】このように、成形金型24に設けた成形用
凹凸条26を転写させて表面に極微小凹凸条27を形成
するように成形した吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性
を表面接触角測定装置を用いて測定したところ、成形金
型24に成形用凹凸条26を設けず極微小凹凸条27を
形成しないように成形した吹き出し部材Bの表面の水2
0に対する接触角θ1 =78°(図4(a))であるの
に対して、上記のように極微小凹凸条27を形成した吹
き出し部材Bの表面の水に対する接触角θ2 =12°
(図4(b))であり、水に対する濡れの著しい向上が
みられた。また吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出
し口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記の
ように極微小凹凸条27を形成する方法で成形し、これ
を吸入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、噴射さ
れる蒸気は図1に符号15で示すように吹き出し口6の
噴霧ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴
の飛散や水滴による汚れの発生が皆無であった。また吹
き出し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク
2を用いて同様にして成形したところ、水に対する著し
い濡れ性の向上がみられ、水滴残渣による表面の汚れを
防止することができた。
凹凸条26を転写させて表面に極微小凹凸条27を形成
するように成形した吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性
を表面接触角測定装置を用いて測定したところ、成形金
型24に成形用凹凸条26を設けず極微小凹凸条27を
形成しないように成形した吹き出し部材Bの表面の水2
0に対する接触角θ1 =78°(図4(a))であるの
に対して、上記のように極微小凹凸条27を形成した吹
き出し部材Bの表面の水に対する接触角θ2 =12°
(図4(b))であり、水に対する濡れの著しい向上が
みられた。また吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出
し口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記の
ように極微小凹凸条27を形成する方法で成形し、これ
を吸入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、噴射さ
れる蒸気は図1に符号15で示すように吹き出し口6の
噴霧ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴
の飛散や水滴による汚れの発生が皆無であった。また吹
き出し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク
2を用いて同様にして成形したところ、水に対する著し
い濡れ性の向上がみられ、水滴残渣による表面の汚れを
防止することができた。
【0011】尚、成形金型24に成形用凹凸条26を設
ける手段としては、上記したものに限定されるものでは
なく、CD用金型に用いられる電鋳法等によってもよ
く、成形金型24のキャビティ25の表面に極微小な凹
凸条が形成できればよいものである。 (実施例2)本実施例は請求項5に対応するものであ
り、ポリスチレン樹脂等の合成樹脂材を成形金型に注入
して吹き出し部材Bを成形する際に、吹き出し部材Bの
表面の組成の配向性が現れるように、すなわち図5
(a)に示すように樹脂を構成する高分子が樹脂の注入
時の流れ方向(イ矢印)に沿って配列するよう成形をお
こなう。そしてこのように成形して成形金型から取り出
した吹き出し部材Bの表面を、カウフマン型イオン銃を
用いて加速電圧500V、加速電流500mAの条件で
アルゴンイオンビーム(矢印ロで示す)による電離気体
でエッチングした。この方法で形成した吹き出し部材B
の表面を走査電子顕微鏡で見たところ、図5(b)に示
すように、樹脂の分子の配向に沿ってアルゴンビームエ
ッチングで極微小凹条溝27aが表面に設けられること
によって形成される極微小凹凸条27が観察された。
ける手段としては、上記したものに限定されるものでは
なく、CD用金型に用いられる電鋳法等によってもよ
く、成形金型24のキャビティ25の表面に極微小な凹
凸条が形成できればよいものである。 (実施例2)本実施例は請求項5に対応するものであ
り、ポリスチレン樹脂等の合成樹脂材を成形金型に注入
して吹き出し部材Bを成形する際に、吹き出し部材Bの
表面の組成の配向性が現れるように、すなわち図5
(a)に示すように樹脂を構成する高分子が樹脂の注入
時の流れ方向(イ矢印)に沿って配列するよう成形をお
こなう。そしてこのように成形して成形金型から取り出
した吹き出し部材Bの表面を、カウフマン型イオン銃を
用いて加速電圧500V、加速電流500mAの条件で
アルゴンイオンビーム(矢印ロで示す)による電離気体
でエッチングした。この方法で形成した吹き出し部材B
の表面を走査電子顕微鏡で見たところ、図5(b)に示
すように、樹脂の分子の配向に沿ってアルゴンビームエ
ッチングで極微小凹条溝27aが表面に設けられること
によって形成される極微小凹凸条27が観察された。
【0012】また、ガラス繊維フィラー28を混入した
ポリスチレン樹脂等の合成樹脂材を成形金型に注入して
吹き出し部材Bを成形するにあたって、吹き出し部材B
の表面にガラス繊維フィラー28の配向性が現れるよう
に、すなわち図6(a)に示すようにガラス繊維フィラ
ー28が樹脂の注入時の流れ方向(イ矢印)に沿って配
列するよう成形をおこなった。そしてこのように成形し
て成形金型から取り出した吹き出し部材Bの表面を、上
記と同様の条件でアルゴンイオンビーム(矢印ロで示
す)による電離気体でエッチングした。この方法で形成
した吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見たとこ
ろ、図6(b)に示すように、ガラス繊維フィラー28
の配向(樹脂の配向でもある)に沿ってアルゴンビーム
エッチングで極微小凹条溝27aが表面に設けられるこ
とによって形成される極微小凹凸条27が観察された。
ポリスチレン樹脂等の合成樹脂材を成形金型に注入して
吹き出し部材Bを成形するにあたって、吹き出し部材B
の表面にガラス繊維フィラー28の配向性が現れるよう
に、すなわち図6(a)に示すようにガラス繊維フィラ
ー28が樹脂の注入時の流れ方向(イ矢印)に沿って配
列するよう成形をおこなった。そしてこのように成形し
て成形金型から取り出した吹き出し部材Bの表面を、上
記と同様の条件でアルゴンイオンビーム(矢印ロで示
す)による電離気体でエッチングした。この方法で形成
した吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見たとこ
ろ、図6(b)に示すように、ガラス繊維フィラー28
の配向(樹脂の配向でもある)に沿ってアルゴンビーム
エッチングで極微小凹条溝27aが表面に設けられるこ
とによって形成される極微小凹凸条27が観察された。
【0013】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6に上記のよ
うにして極微小凹凸条27を形成し、これを吸入器Aに
装着して蒸気を発生させたところ、噴射される蒸気は図
1に符号15で示すように吹き出し口6の噴霧ガイド1
0の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水滴
による汚れの発生が皆無であった。また吹き出し部材B
として蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて同
様にして成形したところ、水に対する著しい濡れ性の向
上がみられ、水滴残渣による表面の汚れを防止すること
ができた。
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6に上記のよ
うにして極微小凹凸条27を形成し、これを吸入器Aに
装着して蒸気を発生させたところ、噴射される蒸気は図
1に符号15で示すように吹き出し口6の噴霧ガイド1
0の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水滴
による汚れの発生が皆無であった。また吹き出し部材B
として蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて同
様にして成形したところ、水に対する著しい濡れ性の向
上がみられ、水滴残渣による表面の汚れを防止すること
ができた。
【0014】尚、フィラーとしては上記のようなガラス
に限定されるものではなく、合成樹脂材とエッチングレ
ートが異なるものであれば良い。 (実施例3)本実施例は請求項6に対応するものであ
り、図7に示すように試料処理室29内の試料固定台に
アクリルニトリルスチレン(AS)樹脂等で成形した吹
き出し部材Bをセットし、試料処理室29内を0.00
1Torr以下に減圧した。この後に試料処理室29の
上部に設けられたプラズマ発生室30にガス導入口30
aから酸素ガスを導入し、0.1Torrの一定圧力下
で放電用高周波電源31によって入力100W、高周波
13.56MHzの条件でプラズマ発生室30内をグロ
ー放電させ、発生する電離気体(プラズマ)中の電気的
に中性な粒子(中性な活性種を含む)のみを試料処理室
29内に導入して、吹き出し部材Bの表面を数秒〜数分
間処理した。
に限定されるものではなく、合成樹脂材とエッチングレ
ートが異なるものであれば良い。 (実施例3)本実施例は請求項6に対応するものであ
り、図7に示すように試料処理室29内の試料固定台に
アクリルニトリルスチレン(AS)樹脂等で成形した吹
き出し部材Bをセットし、試料処理室29内を0.00
1Torr以下に減圧した。この後に試料処理室29の
上部に設けられたプラズマ発生室30にガス導入口30
aから酸素ガスを導入し、0.1Torrの一定圧力下
で放電用高周波電源31によって入力100W、高周波
13.56MHzの条件でプラズマ発生室30内をグロ
ー放電させ、発生する電離気体(プラズマ)中の電気的
に中性な粒子(中性な活性種を含む)のみを試料処理室
29内に導入して、吹き出し部材Bの表面を数秒〜数分
間処理した。
【0015】このように酸素ガス雰囲気下でグロー放電
処理して発生させた電離気体中の電気的に中性な粒子の
みを試料処理室29内に導入して吹き出し部材Bの表面
を処理して表面を改質した後、吹き出し部材Bの表面の
水の濡れ性の変化を表面接触角測定装置を用いて測定し
たところ、前記の図4の場合と同様に小さくなってお
り、水に対する著しい濡れの向上がみられた。さらに吹
き出し部材Bの表面をX線光電子分光分析にて分析した
ところ、図8の炭素原子の1s軌道から出た光電子を検
出したC1sスペクトル図にみられるように、処理する
前の吹き出し部材B(図8に未処理サンプルとして示
す)に比べて処理した後の吹き出し部材B(図8に処理
サンプルとして示す)では、濡れ性向上の原因の一つと
なるカルボニル基等の酸素原子を有する親水基が多く存
在することが認められた。従って、上記の処理をおこな
うことによって吹き出し部材Bの表面に合成樹脂素材よ
りも多くの親水基を形成することができ、このために水
に対する濡れを著しく向上できるものと考えられる。ま
たこのような処理をした吹き出し部材Bの表面を走査電
子顕微鏡で見たところ、未処理の吹き出し部材Bと殆ど
変化はなく、表面にダメージ等が発生することなく処理
されていることが観察された。
処理して発生させた電離気体中の電気的に中性な粒子の
みを試料処理室29内に導入して吹き出し部材Bの表面
を処理して表面を改質した後、吹き出し部材Bの表面の
水の濡れ性の変化を表面接触角測定装置を用いて測定し
たところ、前記の図4の場合と同様に小さくなってお
り、水に対する著しい濡れの向上がみられた。さらに吹
き出し部材Bの表面をX線光電子分光分析にて分析した
ところ、図8の炭素原子の1s軌道から出た光電子を検
出したC1sスペクトル図にみられるように、処理する
前の吹き出し部材B(図8に未処理サンプルとして示
す)に比べて処理した後の吹き出し部材B(図8に処理
サンプルとして示す)では、濡れ性向上の原因の一つと
なるカルボニル基等の酸素原子を有する親水基が多く存
在することが認められた。従って、上記の処理をおこな
うことによって吹き出し部材Bの表面に合成樹脂素材よ
りも多くの親水基を形成することができ、このために水
に対する濡れを著しく向上できるものと考えられる。ま
たこのような処理をした吹き出し部材Bの表面を走査電
子顕微鏡で見たところ、未処理の吹き出し部材Bと殆ど
変化はなく、表面にダメージ等が発生することなく処理
されていることが観察された。
【0016】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記のよ
うにグロー放電による電離気体で処理し、これを吸入器
Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例1と同様
に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイド10の表
面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水滴による
汚れの発生が皆無であった。また吹き出し部材Bとして
蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて同様にし
て成形したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみ
られ、水滴残渣による表面の汚れを防止することができ
た。さらに、変性ポリフェニレンオキサイド樹脂(PP
O)で形成される噴霧ノズル7は蒸気の通路が極めて細
い管状であるために表面コーティングして濡れ性の向上
を図ることは不可能であるが、同様にしてグロー放電処
理による電離気体で処理したところ、細い通路内も表面
処理できるために水に対する著しい濡れ性の向上がみら
れた。
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記のよ
うにグロー放電による電離気体で処理し、これを吸入器
Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例1と同様
に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイド10の表
面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水滴による
汚れの発生が皆無であった。また吹き出し部材Bとして
蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて同様にし
て成形したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみ
られ、水滴残渣による表面の汚れを防止することができ
た。さらに、変性ポリフェニレンオキサイド樹脂(PP
O)で形成される噴霧ノズル7は蒸気の通路が極めて細
い管状であるために表面コーティングして濡れ性の向上
を図ることは不可能であるが、同様にしてグロー放電処
理による電離気体で処理したところ、細い通路内も表面
処理できるために水に対する著しい濡れ性の向上がみら
れた。
【0017】(実施例4)本実施例は請求項8及び請求
項10に対応するものであり、図9に示すように反応器
12内にアクリルニトリルスチレン樹脂などの樹脂成形
品で形成された吹き出し部材Bを入れて電極13a,1
3b間にセットし、反応器12内を0.01Torrに
減圧した。この後に反応器12内にガス導入口14から
酸素ガスを導入した。このように酸素ガス雰囲気にして
0.1Torrの一定圧力下で入力100W、高周波1
3.56MHzの条件でグロー放電させ、発生する電離
気体(プラズマ)で吹き出し部材Bの表面を数秒〜数分
間処理した。
項10に対応するものであり、図9に示すように反応器
12内にアクリルニトリルスチレン樹脂などの樹脂成形
品で形成された吹き出し部材Bを入れて電極13a,1
3b間にセットし、反応器12内を0.01Torrに
減圧した。この後に反応器12内にガス導入口14から
酸素ガスを導入した。このように酸素ガス雰囲気にして
0.1Torrの一定圧力下で入力100W、高周波1
3.56MHzの条件でグロー放電させ、発生する電離
気体(プラズマ)で吹き出し部材Bの表面を数秒〜数分
間処理した。
【0018】このように酸素ガス雰囲気下でグロー放電
処理して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するこ
とによって表面を改質した後、吹き出し部材Bの表面の
水の濡れ性の変化を表面接触角測定装置を用いて測定し
たところ、接触角は前記図4の場合と同様に小さくなっ
ており、水に対する濡れの著しい向上がみられた。また
このようにグロー放電処理した後の吹き出し部材Bの表
面を走査電子顕微鏡で見たところ、グロー放電処理によ
る電離気体の作用で極微小な凹条溝27aによる極微小
凹凸条27が生成されていることが観察された。さらに
吹き出し部材Bの表面をX線光電子分光分析による分析
をしたところ、上記実施例3の場合と同様に濡れ性向上
の原因の一つとなるカルボニル基等の酸素原子を有する
親水基が処理をする前よりも表面に多く存在することが
認められた。このように極微小凹凸条27の生成や親水
基の存在によって水に対して濡れを著しく向上させるこ
とができるものと考えられる。
処理して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するこ
とによって表面を改質した後、吹き出し部材Bの表面の
水の濡れ性の変化を表面接触角測定装置を用いて測定し
たところ、接触角は前記図4の場合と同様に小さくなっ
ており、水に対する濡れの著しい向上がみられた。また
このようにグロー放電処理した後の吹き出し部材Bの表
面を走査電子顕微鏡で見たところ、グロー放電処理によ
る電離気体の作用で極微小な凹条溝27aによる極微小
凹凸条27が生成されていることが観察された。さらに
吹き出し部材Bの表面をX線光電子分光分析による分析
をしたところ、上記実施例3の場合と同様に濡れ性向上
の原因の一つとなるカルボニル基等の酸素原子を有する
親水基が処理をする前よりも表面に多く存在することが
認められた。このように極微小凹凸条27の生成や親水
基の存在によって水に対して濡れを著しく向上させるこ
とができるものと考えられる。
【0019】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記のよ
うにグロー放電処理による電離気体で処理し、これを吸
入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例1の
場合と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイ
ド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や
水滴による汚れの発生が皆無になった。また吹き出し部
材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用い
て同様にしてグロー放電処理による電離気体で処理した
ところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、水滴
残渣による表面の汚れを防止することができた。さらに
蒸気管3や吸い上げ管4を同様にしてグロー放電処理に
よる電離気体で処理したところ、水に対する著しい濡れ
性の向上がみられ、管の途中に発生する水滴によって液
輸送の妨げを防止することができ、効率良く蒸気を発生
させることができた。また、変性ポリフェニレンオキサ
イド樹脂(PPO)で形成される噴霧ノズル7は蒸気の
通路が極めて細い管状であるために表面コーティングし
て濡れ性の向上を図ることは不可能であるが、同様にし
てグロー放電処理による電離気体で処理したところ、細
い通路内も表面処理できるために水に対する著しい濡れ
性の向上がみられた。
口6を用いるにあたって、この吹き出し口6を上記のよ
うにグロー放電処理による電離気体で処理し、これを吸
入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例1の
場合と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイ
ド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や
水滴による汚れの発生が皆無になった。また吹き出し部
材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用い
て同様にしてグロー放電処理による電離気体で処理した
ところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、水滴
残渣による表面の汚れを防止することができた。さらに
蒸気管3や吸い上げ管4を同様にしてグロー放電処理に
よる電離気体で処理したところ、水に対する著しい濡れ
性の向上がみられ、管の途中に発生する水滴によって液
輸送の妨げを防止することができ、効率良く蒸気を発生
させることができた。また、変性ポリフェニレンオキサ
イド樹脂(PPO)で形成される噴霧ノズル7は蒸気の
通路が極めて細い管状であるために表面コーティングし
て濡れ性の向上を図ることは不可能であるが、同様にし
てグロー放電処理による電離気体で処理したところ、細
い通路内も表面処理できるために水に対する著しい濡れ
性の向上がみられた。
【0020】(実施例5)本実施例は請求項9に対応す
るものであり、上記実施例4のように酸素ガス雰囲気中
でグロー放電して電離気体(プラズマ)で吹き出し部材
Bの表面を処理するにあたって、図10に示すように吹
き出し部材Bの先端に電離気体よりもマイナスの電位を
可変に持たせるように可変バイアス電源32に接続した
電極33を設け、100Vの負の電圧を電極33に印加
し、電離気体空間中の正電化を持った粒子の吹き出し部
材Bに衝突させるエネルギーを変化させた。この実施例
にあっても、実施例4と同様の効果を得ることができる
と共に、可変バイアス電圧によりグロー放電処理による
電離気体処理の効果を吹き出し部材Bの部位によって変
えることが可能になり、特に水に対する濡れ性を向上さ
せたい吹き出し部材Bの先端部分の効率的な処理が可能
となった。
るものであり、上記実施例4のように酸素ガス雰囲気中
でグロー放電して電離気体(プラズマ)で吹き出し部材
Bの表面を処理するにあたって、図10に示すように吹
き出し部材Bの先端に電離気体よりもマイナスの電位を
可変に持たせるように可変バイアス電源32に接続した
電極33を設け、100Vの負の電圧を電極33に印加
し、電離気体空間中の正電化を持った粒子の吹き出し部
材Bに衝突させるエネルギーを変化させた。この実施例
にあっても、実施例4と同様の効果を得ることができる
と共に、可変バイアス電圧によりグロー放電処理による
電離気体処理の効果を吹き出し部材Bの部位によって変
えることが可能になり、特に水に対する濡れ性を向上さ
せたい吹き出し部材Bの先端部分の効率的な処理が可能
となった。
【0021】(実施例6)本実施例は請求項11に対応
するものであり、実施例4のようにグロー放電処理して
電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあたっ
て、反応器12内にアルゴンガスを導入して、入力20
0W、高周波13.56MHzの条件でグロー放電をお
こない、吹き出し部材Bの表面の付着した有機汚染物を
物理的衝撃効果で除去した後、続いて酸素ガスを反応器
12に導入して、実施例1と同様にしてグロー放電処理
した。この実施例でも上記実施例1と同様の効果を得る
ことができると共に、吹き出し部材Bの表面を清浄にす
ることができる。
するものであり、実施例4のようにグロー放電処理して
電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあたっ
て、反応器12内にアルゴンガスを導入して、入力20
0W、高周波13.56MHzの条件でグロー放電をお
こない、吹き出し部材Bの表面の付着した有機汚染物を
物理的衝撃効果で除去した後、続いて酸素ガスを反応器
12に導入して、実施例1と同様にしてグロー放電処理
した。この実施例でも上記実施例1と同様の効果を得る
ことができると共に、吹き出し部材Bの表面を清浄にす
ることができる。
【0022】(実施例7)本実施例は請求項12に対応
するものであり、図11に示すように下の電極16aの
上に誘電体17を配置し、誘電体17上にアクリルニト
リルスチレン樹脂等で成形した吹き出し部材Bがセット
してある。上の電極16bは吹き出し口6等で形成され
る吹き出し部材Bの凹形状に沿った形に形成して吹き出
し部材B内に差し込むようにしてある。そして大気圧下
で数秒〜数分間、入力500Wの条件でコロナ放電さ
せ、発生する電離気体(プラズマ)で吹き出し部材Bの
表面を数秒〜数分間処理する。
するものであり、図11に示すように下の電極16aの
上に誘電体17を配置し、誘電体17上にアクリルニト
リルスチレン樹脂等で成形した吹き出し部材Bがセット
してある。上の電極16bは吹き出し口6等で形成され
る吹き出し部材Bの凹形状に沿った形に形成して吹き出
し部材B内に差し込むようにしてある。そして大気圧下
で数秒〜数分間、入力500Wの条件でコロナ放電さ
せ、発生する電離気体(プラズマ)で吹き出し部材Bの
表面を数秒〜数分間処理する。
【0023】このようにコロナ放電処理して電離気体で
吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面を改
質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変化を
表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触角は
図4の場合と同様に小さくなっており、水に対する濡れ
の著しい向上がみられた。またこのようにコロナ放電処
理した後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見
たところ、コロナ放電処理による電離気体の作用で極微
小な凹条溝27aによる極微小凹凸条27が生成されて
いることが観察された。さらに吹き出し部材Bの表面を
X線光電子分光分析による分析をしたところ、上記実施
例3の場合と同様に濡れ性向上の原因の一つとなるカル
ボニル基等の酸素原子を有する親水基が処理をする前よ
りも表面に多く存在することが認められた。
吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面を改
質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変化を
表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触角は
図4の場合と同様に小さくなっており、水に対する濡れ
の著しい向上がみられた。またこのようにコロナ放電処
理した後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微鏡で見
たところ、コロナ放電処理による電離気体の作用で極微
小な凹条溝27aによる極微小凹凸条27が生成されて
いることが観察された。さらに吹き出し部材Bの表面を
X線光電子分光分析による分析をしたところ、上記実施
例3の場合と同様に濡れ性向上の原因の一つとなるカル
ボニル基等の酸素原子を有する親水基が処理をする前よ
りも表面に多く存在することが認められた。
【0024】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いて上記のコロナ放電処理による電離気体で処
理し、これを吸入器Aに装着して蒸気を発生させたとこ
ろ、実施例1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の
噴霧ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴
の飛散や水滴による汚れの発生が皆無であった。また吹
き出し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク
2を用いて同様にしてコロナ放電処理による電離気体で
処理したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみら
れ、水滴残渣による表面の汚れを防止することができ
た。
口6を用いて上記のコロナ放電処理による電離気体で処
理し、これを吸入器Aに装着して蒸気を発生させたとこ
ろ、実施例1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の
噴霧ガイド10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴
の飛散や水滴による汚れの発生が皆無であった。また吹
き出し部材Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク
2を用いて同様にしてコロナ放電処理による電離気体で
処理したところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみら
れ、水滴残渣による表面の汚れを防止することができ
た。
【0025】(実施例8)本実施例は請求項13及び請
求項15に対応するものであり、図12に示すように真
空容器18内の試料固定台にアクリルニトリルスチレン
樹脂等で成形した吹き出し部材Bをセットし、真空容器
18内を1×10-3Torr以下に減圧し、真空容器1
8に設けたカウフマン型イオン銃19にて加速電圧40
0V、加速電流80mAの条件で真上から酸素イオンビ
ームを数秒〜数分間吹き出し部材Bの表面に照射し、酸
素イオンビームの照射によって発生する電離気体を作用
させた。
求項15に対応するものであり、図12に示すように真
空容器18内の試料固定台にアクリルニトリルスチレン
樹脂等で成形した吹き出し部材Bをセットし、真空容器
18内を1×10-3Torr以下に減圧し、真空容器1
8に設けたカウフマン型イオン銃19にて加速電圧40
0V、加速電流80mAの条件で真上から酸素イオンビ
ームを数秒〜数分間吹き出し部材Bの表面に照射し、酸
素イオンビームの照射によって発生する電離気体を作用
させた。
【0026】このようにイオンビーム照射による電離気
体で吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面
を改質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変
化を表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触
角は図4の場合と同様に小さくなっており、水に対する
濡れの著しい向上がみられた。またこのようにイオンビ
ーム照射した後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微
鏡で見たところ、イオンビーム照射による電離気体の作
用で極微小な凹条溝27aによる極微小凹凸条27が生
成されていることが観察された。さらに吹き出し部材B
の表面をX線光電子分光分析による分析をしたところ、
上記実施例3の場合と同様に濡れ性向上の原因の一つと
なるカルボニル基等の酸素原子を有する親水基が処理を
する前よりも表面に多く存在することが認められた。
体で吹き出し部材Bの表面を処理することによって表面
を改質した後、吹き出し部材Bの表面の水の濡れ性の変
化を表面接触角測定装置を用いて測定したところ、接触
角は図4の場合と同様に小さくなっており、水に対する
濡れの著しい向上がみられた。またこのようにイオンビ
ーム照射した後の吹き出し部材Bの表面を走査電子顕微
鏡で見たところ、イオンビーム照射による電離気体の作
用で極微小な凹条溝27aによる極微小凹凸条27が生
成されていることが観察された。さらに吹き出し部材B
の表面をX線光電子分光分析による分析をしたところ、
上記実施例3の場合と同様に濡れ性向上の原因の一つと
なるカルボニル基等の酸素原子を有する親水基が処理を
する前よりも表面に多く存在することが認められた。
【0027】吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し
口6を用いて上記のイオンビーム照射をおこない、これ
を吸入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例
1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイド
10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水
滴による汚れの発生は皆無であった。また吹き出し部材
Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて
同様にしてイオンビーム照射による電離気体で処理した
ところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、水滴
残渣による表面の汚れを防止することができた。
口6を用いて上記のイオンビーム照射をおこない、これ
を吸入器Aに装着して蒸気を発生させたところ、実施例
1と同様に噴射される蒸気は吹き出し口6の噴霧ガイド
10の表面に水滴化せずに濡れ広がり、水滴の飛散や水
滴による汚れの発生は皆無であった。また吹き出し部材
Bとして蒸気発生ユニット1や吸入液タンク2を用いて
同様にしてイオンビーム照射による電離気体で処理した
ところ、水に対する著しい濡れ性の向上がみられ、水滴
残渣による表面の汚れを防止することができた。
【0028】(実施例9)本実施例は請求項14に対応
するものであり、実施例8のようにイオンビーム照射す
るにあたって、吹き出し部材Bに図13のようにマスク
21をして、吹き出し部材Bの蒸気やミストが通過する
通路となる内面のみにイオンビームが照射され、吹き出
し部材Bの外面にはイオンビームが照射されないように
した。吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し口6を
用いてこのイオンビーム照射をおこない、これを吸入器
Aに装着して蒸気を発生させたところ、吹き出し口6の
内面のみが水滴化せずに濡れ広がり、上記各実施例と同
様の効果が得られ、また外面はイオンビーム照射がされ
ていないために水切れが良く、水濡れによる使用者の不
快感がなくなった。
するものであり、実施例8のようにイオンビーム照射す
るにあたって、吹き出し部材Bに図13のようにマスク
21をして、吹き出し部材Bの蒸気やミストが通過する
通路となる内面のみにイオンビームが照射され、吹き出
し部材Bの外面にはイオンビームが照射されないように
した。吹き出し部材Bとしてカバー5の吹き出し口6を
用いてこのイオンビーム照射をおこない、これを吸入器
Aに装着して蒸気を発生させたところ、吹き出し口6の
内面のみが水滴化せずに濡れ広がり、上記各実施例と同
様の効果が得られ、また外面はイオンビーム照射がされ
ていないために水切れが良く、水濡れによる使用者の不
快感がなくなった。
【0029】(実施例10)本実施例は請求項16に対
応するものであり、実施例4のようにイオンビーム照射
して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあた
って、真空容器18内に吹き出し部材Bをセットして加
速電圧1kV、加速電流160mAの条件でアルゴンビ
ームを照射して表面に付着した有機汚染物を除去した
後、実施例8と同じ条件で酸素イオンビームを照射して
処理する。この実施例でも上記実施例8と同様の効果を
得ることができると共に、吹き出し部材Bの表面を清浄
にすることができる。
応するものであり、実施例4のようにイオンビーム照射
して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあた
って、真空容器18内に吹き出し部材Bをセットして加
速電圧1kV、加速電流160mAの条件でアルゴンビ
ームを照射して表面に付着した有機汚染物を除去した
後、実施例8と同じ条件で酸素イオンビームを照射して
処理する。この実施例でも上記実施例8と同様の効果を
得ることができると共に、吹き出し部材Bの表面を清浄
にすることができる。
【0030】
【発明の効果】上記のように本発明は、合成樹脂材で形
成される吹き出し部材の表面に極微小凹凸を形成し、ま
た吹き出し部材の表面に親水基を形成したので、蒸気の
粒子が水滴化せずに濡れ広がらせるようにすることがで
きるものであり、水滴が生じることを防いで均一な粒子
を噴霧することができるものである。
成される吹き出し部材の表面に極微小凹凸を形成し、ま
た吹き出し部材の表面に親水基を形成したので、蒸気の
粒子が水滴化せずに濡れ広がらせるようにすることがで
きるものであり、水滴が生じることを防いで均一な粒子
を噴霧することができるものである。
【0031】またグロー放電や、コロナ放電や、イオン
ビーム照射して電離気体で合成樹脂の吹き出し部材の表
面を処理するようにしたので、吹き出し部材の表面に極
微小凹凸条を形成させたり、親水基を形成させたりし
て、水滴が生じない表面に処理することができるもので
あり、しかも表面に異なる材料を成膜するような必要な
く表面処理をおこなうことができるものであって、膜の
剥離による表面改質効果の寿命低下や、剥離した膜が吸
入器の場合に使用者の口中に入ったりするというような
問題はないものである。
ビーム照射して電離気体で合成樹脂の吹き出し部材の表
面を処理するようにしたので、吹き出し部材の表面に極
微小凹凸条を形成させたり、親水基を形成させたりし
て、水滴が生じない表面に処理することができるもので
あり、しかも表面に異なる材料を成膜するような必要な
く表面処理をおこなうことができるものであって、膜の
剥離による表面改質効果の寿命低下や、剥離した膜が吸
入器の場合に使用者の口中に入ったりするというような
問題はないものである。
【図1】本発明によって処理された噴霧発生装置の吹き
出し部材の断面図である。
出し部材の断面図である。
【図2】本発明の実施例1を示すものであり、(a),
(b)はそれぞれ概略断面図である。
(b)はそれぞれ概略断面図である。
【図3】本発明の実施例1の一部の拡大した斜視図であ
る。
る。
【図4】水滴の接触角の状態を示すものであり、
(a),(b)はそれぞれ拡大した断面図である。
(a),(b)はそれぞれ拡大した断面図である。
【図5】本発明の実施例2を示すものであり、(a),
(b)はそれぞれ一部の拡大した斜視図である。
(b)はそれぞれ一部の拡大した斜視図である。
【図6】本発明の実施例2を示すものであり、(a),
(b)はそれぞれ一部の拡大した斜視図である。
(b)はそれぞれ一部の拡大した斜視図である。
【図7】本発明の実施例3の概略断面図である。
【図8】本発明の実施例3におけるX線光電子分光分析
のC1sスペクトル図である。
のC1sスペクトル図である。
【図9】本発明の実施例4の概略図である。
【図10】本発明の実施例5の概略図である。
【図11】本発明の実施例7の概略図である。
【図12】本発明の実施例8の概略図である。
【図13】本発明の実施例9の概略図である。
【図14】吸入器の断面図である。
【図15】吸入器の分解斜視図である。
【図16】従来例の断面図である。
B 吹き出し部材 27 極微小凹凸条
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年4月20日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項9
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項15
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】(実施例5)本実施例は請求項9に対応す
るものであり、上記実施例4のように酸素ガス雰囲気中
でグロー放電して電離気体(プラズマ)で吹き出し部材
Bの表面を処理するにあたって、図10に示すように吹
き出し部材Bの先端に電離気体よりもマイナスの電位を
可変に持たせるように可変バイアス電源32に接続した
電極33を設け、100Vの負の電圧を電極33に印加
し、電離気体空間中の正電荷を持った粒子の吹き出し部
材Bに衝突させるエネルギーを変化させた。この実施例
にあっても、実施例4と同様の効果を得ることができる
と共に、可変バイアス電圧によりグロー放電処理による
電離気体処理の効果を吹き出し部材Bの部位によって変
えることが可能になり、特に水に対する濡れ性を向上さ
せたい吹き出し部材Bの先端部分の効率的な処理が可能
となった。
るものであり、上記実施例4のように酸素ガス雰囲気中
でグロー放電して電離気体(プラズマ)で吹き出し部材
Bの表面を処理するにあたって、図10に示すように吹
き出し部材Bの先端に電離気体よりもマイナスの電位を
可変に持たせるように可変バイアス電源32に接続した
電極33を設け、100Vの負の電圧を電極33に印加
し、電離気体空間中の正電荷を持った粒子の吹き出し部
材Bに衝突させるエネルギーを変化させた。この実施例
にあっても、実施例4と同様の効果を得ることができる
と共に、可変バイアス電圧によりグロー放電処理による
電離気体処理の効果を吹き出し部材Bの部位によって変
えることが可能になり、特に水に対する濡れ性を向上さ
せたい吹き出し部材Bの先端部分の効率的な処理が可能
となった。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0029
【補正方法】変更
【補正内容】
【0029】(実施例10)本実施例は請求項16に対
応するものであり、実施例4のようにイオンビーム照射
して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあた
って、真空容器18内に吹き出し部材Bをセットして加
速電圧1kV、加速電流160mAの条件でアルゴンイ
オンビームを照射して表面に付着した有機汚染物を除去
した後、実施例8と同じ条件で酸素イオンビームを照射
して処理する。この実施例でも上記実施例8と同様の効
果を得ることができると共に、吹き出し部材Bの表面を
アルゴンイオンビームの物理的衝撃効果によって清浄に
することができる。
応するものであり、実施例4のようにイオンビーム照射
して電離気体で吹き出し部材Bの表面を処理するにあた
って、真空容器18内に吹き出し部材Bをセットして加
速電圧1kV、加速電流160mAの条件でアルゴンイ
オンビームを照射して表面に付着した有機汚染物を除去
した後、実施例8と同じ条件で酸素イオンビームを照射
して処理する。この実施例でも上記実施例8と同様の効
果を得ることができると共に、吹き出し部材Bの表面を
アルゴンイオンビームの物理的衝撃効果によって清浄に
することができる。
フロントページの続き (72)発明者 渡里 義衛 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (16)
- 【請求項1】 合成樹脂材で形成され、表面に極微小凹
凸条が形成されて成ることを特徴とする噴霧発生装置の
吹き出し部材。 - 【請求項2】 合成樹脂材で形成され、合成樹脂素材よ
りも多くの親水基が表面に形成されて成ることを特徴と
する噴霧発生装置の吹き出し部材。 - 【請求項3】 合成樹脂材で形成され、表面に極微小凹
凸条が形成されていると共に、素材よりも多くの親水基
が表面に形成されて成ることを特徴とする噴霧発生装置
の吹き出し部材。 - 【請求項4】 極微小凹凸条が成形金型表面から転写さ
れて形成されたものであることを特徴とする請求項1に
記載の噴霧発生装置の吹き出し部材。 - 【請求項5】 極微小凹凸条が表面組成に配向性を有す
る合成樹脂材に電離気体処理をおこなうことによって形
成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の
噴霧発生装置の吹き出し部材。 - 【請求項6】 表面の親水基が電離気体処理の際の電離
気体中の電気的に中性な粒子の反応で形成されているこ
とを特徴とする請求項2に記載の噴霧発生装置の吹き出
し部材。 - 【請求項7】 噴霧発生装置の合成樹脂材で形成される
吹き出し部材の表面を、電離気体で処理することを特徴
とする噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項8】 電離気体による処理がグロー放電処理で
あることを特徴とする請求項7に記載の噴霧発生装置の
吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項9】 グロー放電中のイオンを加速する可変バ
イアス電圧を印加する電極上に吹き出し部材を置いて処
理することを特徴とする請求項8に記載の噴霧発生装置
の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項10】 酸素ガス雰囲気中でグロー放電による
処理をおこなうことを特徴とする請求項8又は9に記載
の噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項11】 アルゴンガス雰囲気中でグロー放電に
よる処理をして吹き出し部材の表面をクリーニングした
後、酸素ガス雰囲気中でグロー放電による処理をおこな
うことを特徴とする請求項8又は9に記載の噴霧発生装
置の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項12】 電離気体による処理がコロナ放電処理
であることを特徴とする請求項7に記載の噴霧発生装置
の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項13】 電離気体による処理がイオンビーム照
射処理であることを特徴とする請求項7に記載の噴霧発
生装置の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項14】 吹き出し部材にマスクをしてイオンビ
ーム照射処理することを特徴とする請求項13に記載の
噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項15】 照射するイオンが酸素であることを特
徴とする請求項13又は14に記載の噴霧発生装置の吹
き出し部材の表面処理方法。 - 【請求項16】 アルゴンイオンを照射して吹き出し部
材の表面をクリーニングした後、酸素イオンを照射する
ことを特徴とする請求項13又は14に記載の噴霧発生
装置の吹き出し部材の表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4028619A JP2907408B2 (ja) | 1991-11-26 | 1992-02-15 | 噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-309615 | 1991-11-26 | ||
| JP30961591 | 1991-11-26 | ||
| JP4028619A JP2907408B2 (ja) | 1991-11-26 | 1992-02-15 | 噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18319296A Division JPH0919649A (ja) | 1996-07-12 | 1996-07-12 | 噴霧発生装置の吹き出し部材及びその表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05200329A true JPH05200329A (ja) | 1993-08-10 |
| JP2907408B2 JP2907408B2 (ja) | 1999-06-21 |
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ID=26366759
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4028619A Expired - Fee Related JP2907408B2 (ja) | 1991-11-26 | 1992-02-15 | 噴霧発生装置の吹き出し部材の表面処理方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2907408B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007330839A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Alteco Inc | ノズル及びノズルの製造方法並びにノズルを用いたスクイズ性容器及び塗出機並びに容器入り接着剤並びに液体の供給方法 |
| CN106687164A (zh) * | 2014-07-31 | 2017-05-17 | 帕里专业皮效吸入管有限公司 | 雾化器和制造雾化器的方法 |
| US10376661B2 (en) | 2012-09-12 | 2019-08-13 | Pari Pharma Gmbh | Opening element for opening an ampoule in an aerosol generation device and aerosol generation device comprising the opening element |
| JP2020116405A (ja) * | 2012-06-25 | 2020-08-06 | フィッシャー アンド ペイケル ヘルスケア リミテッド | 加湿および凝縮液管理を行うための微細構造を備える医療用部品 |
| US11801358B2 (en) | 2013-03-14 | 2023-10-31 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Medical components with microstructures for humidification and condensate management |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5359818A (en) * | 1976-11-11 | 1978-05-30 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | Inverter driving device for aac motor |
| JPS6024957A (ja) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Seiko Epson Corp | インクジエツト記録ヘツド及びその製造方法 |
| JPS61157536A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Nok Corp | フツ素樹脂成形品の表面処理方法 |
| JPH02138343A (ja) * | 1988-03-29 | 1990-05-28 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 芳香族ポリアミドフィルムの製造法 |
| JPH03182758A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-08 | Canon Inc | 凹凸パターンの形成方法 |
-
1992
- 1992-02-15 JP JP4028619A patent/JP2907408B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5359818A (en) * | 1976-11-11 | 1978-05-30 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | Inverter driving device for aac motor |
| JPS6024957A (ja) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Seiko Epson Corp | インクジエツト記録ヘツド及びその製造方法 |
| JPS61157536A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Nok Corp | フツ素樹脂成形品の表面処理方法 |
| JPH02138343A (ja) * | 1988-03-29 | 1990-05-28 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 芳香族ポリアミドフィルムの製造法 |
| JPH03182758A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-08 | Canon Inc | 凹凸パターンの形成方法 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007330839A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Alteco Inc | ノズル及びノズルの製造方法並びにノズルを用いたスクイズ性容器及び塗出機並びに容器入り接着剤並びに液体の供給方法 |
| JP2020116405A (ja) * | 2012-06-25 | 2020-08-06 | フィッシャー アンド ペイケル ヘルスケア リミテッド | 加湿および凝縮液管理を行うための微細構造を備える医療用部品 |
| US11872332B2 (en) | 2012-06-25 | 2024-01-16 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Medical components with microstructures for humidification and condensate management |
| US10376661B2 (en) | 2012-09-12 | 2019-08-13 | Pari Pharma Gmbh | Opening element for opening an ampoule in an aerosol generation device and aerosol generation device comprising the opening element |
| US11801358B2 (en) | 2013-03-14 | 2023-10-31 | Fisher & Paykel Healthcare Limited | Medical components with microstructures for humidification and condensate management |
| CN106687164A (zh) * | 2014-07-31 | 2017-05-17 | 帕里专业皮效吸入管有限公司 | 雾化器和制造雾化器的方法 |
| US20170224937A1 (en) * | 2014-07-31 | 2017-08-10 | Pari GmbH Spezialisten für effektive Inhalation | Nebulizer and method for producing a nebulizer |
| JP2017522972A (ja) * | 2014-07-31 | 2017-08-17 | パリ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・スペツィアリステン・フィア・エフェクティブ・インハレーションPari Gmbh Spezialisten Fur Effektive Inhalation | 噴霧器および噴霧器の製造方法 |
| JP2020062431A (ja) * | 2014-07-31 | 2020-04-23 | パリ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・スペツィアリステン・フィア・エフェクティブ・インハレーションPari Gmbh Spezialisten Fur Effektive Inhalation | 噴霧器および噴霧器の製造方法 |
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| US20220118196A1 (en) * | 2014-07-31 | 2022-04-21 | Pari GmbH Spezialisten für effektive Inhalation | Nebulizer and method for producing a nebulizer |
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