JPH05201766A - 窒化珪素質焼結体 - Google Patents

窒化珪素質焼結体

Info

Publication number
JPH05201766A
JPH05201766A JP4035624A JP3562492A JPH05201766A JP H05201766 A JPH05201766 A JP H05201766A JP 4035624 A JP4035624 A JP 4035624A JP 3562492 A JP3562492 A JP 3562492A JP H05201766 A JPH05201766 A JP H05201766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon nitride
sintered compact
based sintered
wear resistance
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4035624A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshikatsu Mitsunaga
敏勝 光永
Takashi Tsuru
隆志 津留
Yasuo Imamura
保男 今村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denka Co Ltd
Original Assignee
Denki Kagaku Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denki Kagaku Kogyo KK filed Critical Denki Kagaku Kogyo KK
Priority to JP4035624A priority Critical patent/JPH05201766A/ja
Publication of JPH05201766A publication Critical patent/JPH05201766A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 耐摩耗ライナー、圧延ロール、ガイドロー
ル、溶接治具、切削工具等に好適な耐摩耗性に優れた窒
化珪素質焼結体の提供。 【構成】 Al2O3 、MgO 、SiO2、SrO 、CaO 、AlN 及び
それらを成分とする化合物の中から選ばれた1種又は2
種以上を1〜10重量%、Nd成分及びPr成分をNd2O3
びPr6 O11 換算でそれぞれ1〜10重量%を含むことを
特徴とする窒化珪素質焼結体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、耐摩耗性に優れた窒化
珪素質焼結体に関する。
【0002】
【従来の技術】窒化珪素は、強度が大きく、耐熱衝撃性
と耐食性に優れており、同じ高強度材料である炭化珪素
に比べて靱性が高く取扱いやすい利点があるので近年さ
まざまな分野で用いられている。
【0003】例えば、従来、ライナーにはアルミナが用
いられてきたが、摩耗が激しいので窒化珪素が注目され
始めた。また、金属線材圧延ロールやガイドロールには
窒化珪素が利用されるようになり、ロールの寿命向上と
線材の質向上に寄与してきた(特開昭59−21413
号公報)。しかし、冷間圧延工程やガイドロール等の比
較的緩やかな条件では問題なく使用できるが、条件がよ
り過酷な熱間圧延工程では、表面の肌荒れ等が問題とな
っており、より耐摩耗性の良好な窒化珪素セラミックス
の開発が望まれていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、以上の
ような状況に鑑み、窒化珪素セラミックスの耐摩耗性の
改善について鋭意検討を進めた結果、特定の希土類を特
定量存在させればよいことを見出し、本発明を完成させ
たものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、Al
2O3 、MgO 、SiO2、SrO 、CaO 、AlN 及びそれらを成分
とする化合物の中から選ばれた1種又は2種以上を1〜
10重量%、Nd成分及びPr成分をNd2O3 及びPr6O11でそ
れぞれ1〜10重量%を含んでなることを特徴とする窒
化珪素質焼結体である。
【0006】以下、さらに詳しく本発明について説明す
る。
【0007】従来より、窒化珪素の焼結助剤にはさまざ
まな元素の酸化物や窒化物が検討されている。例えば、
特開昭57−141393号公報では、Pr6O11もしくは
Pr6O11とY2O3とを併用することが検討されているが、得
られた焼結体の耐摩耗性は十分でなかった。
【0008】本発明は、耐摩耗性の向上を目的とし、そ
の向上剤として、例えばNd2O3 とPr6O11のようなNd成分
とPr成分を併用し、焼結助剤として、Al2O3 、MgO 、Si
O2、SrO 、CaO 、AlN 及びそれらを成分とする化合物の
中から選ばれた1種又は2種以上を用いたところに大き
な特徴がある。
【0009】耐摩耗性向上剤であるNd成分及びPr成分の
窒化珪素焼結体中における存在量は、Nd2O3 及びPr6O11
換算でそれぞれ1〜10重量%である。Nd成分又はPr成
分が1重量%未満では耐摩耗性が向上せず、また、10
重量%をこえると窒化珪素本来の特性が損なわれる。
【0010】上記Nd成分とPr成分の割合にあって、Nd/
Prの好ましい重量比は1/10〜10/1である。これ
の具体例としてはジジムがあるのでそれを使用するのが
便利である。
【0011】一方、焼結助剤であるAl2O3 、MgO 、Si
O2、SrO 、CaO 、AlN 及びそれらを成分とする化合物の
中から選ばれた1種又は2種以上の窒化珪素焼結体中に
おける存在量は、1〜10重量%であることが必要であ
る。1重量%未満では緻密な焼結体にはならず、また1
0重量%をこえると窒化珪素本来の特性が損なわれる。
本発明においては、例えば、CaO 、AlN 、Al2O3 を加え
サイアロン質焼結体にすることもできる。
【0012】本発明においては、La2O3 、Y2O3、CeO2
Sm2O3 等のようなNd成分とPr成分以外の希土類を含むこ
とは好ましくないが、不可避不純物としてそれぞれ1重
量%程度までの含有は問題とならない。また、TiC 、Ti
N 、CoO 、Fe2O3 等公知の耐摩耗性向上剤を含ませるこ
ともできる。
【0013】本発明の窒化珪素質焼結体は以下の方法に
よって好ましく製造することができる。すなわち、平均
粒径0.8〜1.0μm のSi3N4 粉末に、Al2O3 、MgO 、Si
O2、SrO 、CaO 、AlN 及びそれを成分とする化合物の中
から選ばれた焼結助剤の1種又は2種以上を1〜10重
量%、Nd2O3 及びPr6O11をそれぞれ1〜10重量%又は
ジジムを酸化物換算で1〜10重量%添加し、クロロセ
ン等の有機溶媒と共にボールミルにて1〜5時間の湿式
混合を行い、乾燥後、解砕して混合原料粉末を調整す
る。次いで、それをプレス成形、冷間静水圧法(CIP
法)、射出成形、押し出し成形、鋳込み成形等により成
形した後、常圧焼結、ホットプレス焼結、熱間静水圧
(HIP)焼結等により焼結することによって製造する
ことができる。
【0014】
【実施例】以下、実施例と比較例をあげてさらに具体的
に本発明を説明する。 実施例1〜12 比較例1〜10 平均粒径1μmのSi3N4 粉末に焼結助剤と耐摩耗向上剤
を表1に示す量を秤量し、クロロセンを溶媒として1時
間の湿式混合を行い混合原料粉末を調整した。それを金
型成形後、2.7ton /cm2 圧でCIP処理して成形体を
成形し、温度1700℃×20時間常圧焼結して相対密
度97〜99%の窒化珪素質焼結体を製造した。比較例
1は市販のアルミナ焼結体である。
【0015】得られた窒化珪素質焼結体を平面研削盤で
40×40×5mmに研削後、ダイヤモンドスラリー
(粒径1〜2μm)を用い市販のウインゴ研磨機で鏡面
に仕上げ、硬度、破壊靱性及び耐摩耗性を以下に従って
測定した。それらの結果を表1に示す。
【0016】表1から明らかなように、本発明の窒化珪
素質焼結体は、サンドブラストと摺動摩耗の何れの耐摩
耗性試験においても優れていることがわかる。
【0017】(1)硬 度 :ビッカース硬度計(明石
製作所製 荷重20kg) (2)破壊靱性:JIS R1606に準じたIF法(明石
製作所製 荷重20kg) (3)耐摩耗性(リングオンディスク法):水中で銅リ
ングを押し付けながら一定周速で回転させた際の摩耗量
を測定した。 試験機;神鋼造機株式会社製 相手材;銅リング(外径25×内径20×厚み20m
m) 荷 重;125Kg/cm2 周 速;0.1m/s 試験時間;120分 評 価;120分試験後の摩耗量(cm3)
【0018】(4)耐摩耗性(サンドブラスト法):焼
結体に研磨材を所定時間噴射し摩耗量を求めた。 試験機;サンドブラスト(不二製作所製「形式SF−4
5−401」) ノズル;穴径7mm 材質B4C 研磨材;アルミナ質ホワイトランダム(#60) 噴射時間;120分 噴射スパン;距離50mm 角度90度 評 価;120分噴射後の摩耗量(g)
【0019】
【表1】
【0020】
【発明の効果】本発明の窒化珪素質焼結体は、耐摩耗性
に優れたものである。本発明の窒化珪素質焼結体は、耐
摩耗ライナー、圧延ロール、ガイドロール、溶接治具、
切削工具等の耐摩耗部材として使用することができる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Al2O3 、MgO 、SiO2、SrO 、CaO 、AlN
    及びそれらを成分とする化合物の中から選ばれた1種又
    は2種以上を1〜10重量%、Nd成分及びPr成分をNd2O
    3 及びPr6O11換算でそれぞれ1〜10重量%を含んでな
    ることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
JP4035624A 1992-01-27 1992-01-27 窒化珪素質焼結体 Pending JPH05201766A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4035624A JPH05201766A (ja) 1992-01-27 1992-01-27 窒化珪素質焼結体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4035624A JPH05201766A (ja) 1992-01-27 1992-01-27 窒化珪素質焼結体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05201766A true JPH05201766A (ja) 1993-08-10

Family

ID=12447020

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4035624A Pending JPH05201766A (ja) 1992-01-27 1992-01-27 窒化珪素質焼結体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05201766A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001097264A1 (fr) * 2000-06-16 2001-12-20 Ibiden Co., Ltd. Plaque chauffante

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001097264A1 (fr) * 2000-06-16 2001-12-20 Ibiden Co., Ltd. Plaque chauffante
US6825555B2 (en) 2000-06-16 2004-11-30 Ibiden Co., Ltd. Hot plate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6753284B2 (en) Sintered alumina ceramic, method for producing the same, and cutting tool
JP2719941B2 (ja) 窒化珪素焼結体
JPH0680470A (ja) 窒化ケイ素焼結体の製造方法
KR0127871B1 (ko) 질화규소기 소결체 및 그 제조방법
JP2855243B2 (ja) 耐摩耗性の優れた窒化珪素質焼結体
JP3395247B2 (ja) 窒化ケイ素系焼結体
JP4177493B2 (ja) セラミックス焼結体
JPH05201766A (ja) 窒化珪素質焼結体
JPH05301776A (ja) 立方晶窒化硼素質焼結体
JP3588162B2 (ja) 窒化珪素質切削工具およびその製造方法
JP3145470B2 (ja) 炭化タングステン−アルミナ質焼結体およびその製法
JPS6018620B2 (ja) ジルコニア質伸線用ダイス及びその製造方法
EP0963962A1 (en) Alumina-base ceramic sinter and process for producing the same
JP3419495B2 (ja) 複合セラミックス
US5672553A (en) Superplastic silicon nitride sintered body
JP4588379B2 (ja) 半導体製造装置用部材の製造方法
JP2000335976A (ja) 窒化珪素質焼結体とその製造方法およびこれを用いた耐摩耗性部材
JP2001322009A (ja) アルミナセラミックス切削工具およびその製造方法
JP2604155B2 (ja) 被覆層を有するセラミックス工具
JP2920138B1 (ja) 熱間圧延ライン用セラミック治具
JP2581936B2 (ja) アルミナ質焼結体及びその製造方法
JPH06666B2 (ja) 精密加工性に優れたセラミックス材料
JP2922713B2 (ja) 工具用ジルコニア質焼結体
JP2700786B2 (ja) 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法
JP2000086347A (ja) セラミック焼結体及びその製造方法