JPH05202855A - 流体回転装置 - Google Patents
流体回転装置Info
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- JPH05202855A JPH05202855A JP4013779A JP1377992A JPH05202855A JP H05202855 A JPH05202855 A JP H05202855A JP 4013779 A JP4013779 A JP 4013779A JP 1377992 A JP1377992 A JP 1377992A JP H05202855 A JPH05202855 A JP H05202855A
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- fluid
- rotor
- vacuum pump
- housing
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/08—Rotary-piston machines or pumps of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/0085—Prime movers
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/402—Plurality of electronically synchronised motors
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- F04C2240/50—Bearings
- F04C2240/51—Bearings for cantilever assemblies
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 排気速度を同一に保ったままで、高真空ポン
プの性能アップを図ることを目的とする。 【構成】 外径の異なる２つのスクリュー６、７を組み
合せ、径の小さいスクリュー７の軸２上に高真空ポンプ
を設けることにより、高真空ポンプの性能の向上と制御
安定性の向上を図る。
プの性能アップを図ることを目的とする。 【構成】 外径の異なる２つのスクリュー６、７を組み
合せ、径の小さいスクリュー７の軸２上に高真空ポンプ
を設けることにより、高真空ポンプの性能の向上と制御
安定性の向上を図る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この本発明は真空ポンプ，コンプ
レッサ等の流体回転装置に関するものである。
レッサ等の流体回転装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プロセスにおけるＣＶＤ装
置，ドライエッチング装置，スパッタリング装置，蒸着
装置等には、真空環境を作り出すための真空ポンプが必
要不可欠である。近年、半導体プロセスのクリーン化・
高真空化等の動向に伴い、真空ポンプに対する要求水準
はますます高度になってきている。
置，ドライエッチング装置，スパッタリング装置，蒸着
装置等には、真空環境を作り出すための真空ポンプが必
要不可欠である。近年、半導体プロセスのクリーン化・
高真空化等の動向に伴い、真空ポンプに対する要求水準
はますます高度になってきている。
【０００３】高真空を作り出すために、半導体設備では
通常粗引きポンプ（容積型真空ポンプ）と高真空ポンプ
（ターボ分子ポンプ）の組み合せからなる真空排気シス
テムを構成している。粗引きポンプで大気からある程度
の真空圧に到達後、高真空ポンプに切り換えて、所定の
厚真空圧を得るのである。
通常粗引きポンプ（容積型真空ポンプ）と高真空ポンプ
（ターボ分子ポンプ）の組み合せからなる真空排気シス
テムを構成している。粗引きポンプで大気からある程度
の真空圧に到達後、高真空ポンプに切り換えて、所定の
厚真空圧を得るのである。
【０００４】図８は従来の容積型真空ポンプ（粗引きポ
ンプ）の一種であるスクリュータイプの真空ポンプを示
すものである。図８において、１０１はハウジング、１
０２は第１回回転軸、１０３は第２回転軸、１０４と１
０５はそれぞれ回転軸１０２と１０３に支持された筒型
ロータ、１０６と１０７はそれぞれロータ１０４と１０
５の外周部に形成されたねじ溝である。従来のスクリュ
ータイプの真空ポンプは、ハウジング１０１内に第１回
転軸１０２と第２回転軸１０３が平行に備えられ、その
回転軸上にロータ１０４と１０５を備えており、各ロー
タ１０４と１０５にねじ溝１０６と１０７を備えて、ね
じ溝の凹凸が形成されていて、自ら（１０６または１０
７）の凹部（溝）を相手（１０７または１０６）の凸部
（山）と噛み合わせることにより、両者の間に密閉空間
を作り出している。前記両ロータ１０４と１０５が回転
すると、その回転に伴い、前記密閉空間の容積が変化し
て、吸入作用と吐出作用を行うのである。
ンプ）の一種であるスクリュータイプの真空ポンプを示
すものである。図８において、１０１はハウジング、１
０２は第１回回転軸、１０３は第２回転軸、１０４と１
０５はそれぞれ回転軸１０２と１０３に支持された筒型
ロータ、１０６と１０７はそれぞれロータ１０４と１０
５の外周部に形成されたねじ溝である。従来のスクリュ
ータイプの真空ポンプは、ハウジング１０１内に第１回
転軸１０２と第２回転軸１０３が平行に備えられ、その
回転軸上にロータ１０４と１０５を備えており、各ロー
タ１０４と１０５にねじ溝１０６と１０７を備えて、ね
じ溝の凹凸が形成されていて、自ら（１０６または１０
７）の凹部（溝）を相手（１０７または１０６）の凸部
（山）と噛み合わせることにより、両者の間に密閉空間
を作り出している。前記両ロータ１０４と１０５が回転
すると、その回転に伴い、前記密閉空間の容積が変化し
て、吸入作用と吐出作用を行うのである。
【０００５】図９は従来の運動量移送式真空ポンプ（高
真空ポンプ）の一種であるタービン翼を持つねじ溝式真
空ポンプを示すものである。図９において、２０１はハ
ウジング、２０２は筒型ロータ、２０３はタービン翼、
２０４はねじ溝である。２０５ａ、２０５ｂは回転軸２
０７を支持するラジアル磁気軸受、２０６はスラスト磁
気軸受である。従来のタービン翼を持つねじ溝式真空ポ
ンプはハウジング２０１内にロータ２０２が備えられて
おり、ロータ２０２の側方部分の上部にはタービン翼２
０３が、下部にはねじ溝２０４が備えられており、それ
ぞれが気体分子に運動量を与えて、吸入・吐出作用を行
う。
真空ポンプ）の一種であるタービン翼を持つねじ溝式真
空ポンプを示すものである。図９において、２０１はハ
ウジング、２０２は筒型ロータ、２０３はタービン翼、
２０４はねじ溝である。２０５ａ、２０５ｂは回転軸２
０７を支持するラジアル磁気軸受、２０６はスラスト磁
気軸受である。従来のタービン翼を持つねじ溝式真空ポ
ンプはハウジング２０１内にロータ２０２が備えられて
おり、ロータ２０２の側方部分の上部にはタービン翼２
０３が、下部にはねじ溝２０４が備えられており、それ
ぞれが気体分子に運動量を与えて、吸入・吐出作用を行
う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前述した
真空ポンプ及びこれらの真空ポンプを組み合わせた真空
排気システムには以下述べるような課題があった。
真空ポンプ及びこれらの真空ポンプを組み合わせた真空
排気システムには以下述べるような課題があった。
【０００７】（１）粗引きポンプ（容積式真空ポンプ）
の課題 図８のスクリュー真空ポンプでは、２個のロータ１０
４，１０５の同期回転はタイミングギヤ１１０ａ，１１
０ｂの働きによっている。すなわち、モータ１０８の回
転は、駆動ギヤ１０９ａから中間ギヤ１０９ｂに伝達さ
れ、両ロータ１０４，１０５の軸に設けられて互いに噛
み合っているタイミングギヤの一方１１０ｂに伝達され
る。両ロータ１０４，１０５の回転角の位相は、これら
２個のタイミングギヤ１１０ａ，１１０ｂの噛み合いに
より調節されている。この種の真空ポンプでは、このよ
うに、モータの動力伝達と同期回転にギヤを用いている
ので、前記各ギヤが納められている機械作動室に満たさ
れた潤滑油１１１が、前記ギヤに供給される構成となっ
ている。また、この潤滑油がロータを収納する流体作動
室１１２に侵入しないように、両室間にメカニカルシー
ル１１３が設けられている。
の課題 図８のスクリュー真空ポンプでは、２個のロータ１０
４，１０５の同期回転はタイミングギヤ１１０ａ，１１
０ｂの働きによっている。すなわち、モータ１０８の回
転は、駆動ギヤ１０９ａから中間ギヤ１０９ｂに伝達さ
れ、両ロータ１０４，１０５の軸に設けられて互いに噛
み合っているタイミングギヤの一方１１０ｂに伝達され
る。両ロータ１０４，１０５の回転角の位相は、これら
２個のタイミングギヤ１１０ａ，１１０ｂの噛み合いに
より調節されている。この種の真空ポンプでは、このよ
うに、モータの動力伝達と同期回転にギヤを用いている
ので、前記各ギヤが納められている機械作動室に満たさ
れた潤滑油１１１が、前記ギヤに供給される構成となっ
ている。また、この潤滑油がロータを収納する流体作動
室１１２に侵入しないように、両室間にメカニカルシー
ル１１３が設けられている。
【０００８】このような構成からなる２ロータ型のスク
リュー真空ポンプには、動力伝達と同期回転のために
多数のギヤを必要とし、部品点数が多く装置が複雑化す
る、ギヤを用いた接触型の同期回転であるため高速化
ができず、装置が大型化する、メカニカルシールの摩
耗によるシールの定期的交換がやはり必要であり、完全
なメンテナンスフリーでない、メカニカルシールによ
る摺動トルクが大きいため機械的損失が大きい、等の問
題があった。
リュー真空ポンプには、動力伝達と同期回転のために
多数のギヤを必要とし、部品点数が多く装置が複雑化す
る、ギヤを用いた接触型の同期回転であるため高速化
ができず、装置が大型化する、メカニカルシールの摩
耗によるシールの定期的交換がやはり必要であり、完全
なメンテナンスフリーでない、メカニカルシールによ
る摺動トルクが大きいため機械的損失が大きい、等の問
題があった。
【０００９】（２）高真空ポンプ（運動量移送式ターボ
分子ポンプ）の課題 ターボ分子ポンプも、前述した粗引きポンプ同様に、半
導体プロセスのクリーン化に対応できる構造が用いられ
ている。例えば図９で示すタービン翼を持つねじ溝式タ
ーボ分子ポンプの場合、油潤滑による玉軸受構造に代わ
り、磁気軸受２０５ａ、２０５ｂ、２０６が用いられる
様になっている。ターボ分子ポンプの場合、軸受が収納
される空間は真空状態となる。通常真空中での機械的擢
動をともなう潤滑は困難な場合が多いが、磁気軸受を用
いることにより、この問題点は解消される。また玉軸受
構造の場合の様なオイルだめを必要としないため、装置
を任意の姿勢で真空チャンバーに取りつけることができ
る、等の特徴を有する。しかしその反面、前記した様
に、各軸に電磁石、センサー、コントローラを必要と
し、玉軸受方式と比べ大幅にコストアップしてしまうと
いう問題点があった。
分子ポンプ）の課題 ターボ分子ポンプも、前述した粗引きポンプ同様に、半
導体プロセスのクリーン化に対応できる構造が用いられ
ている。例えば図９で示すタービン翼を持つねじ溝式タ
ーボ分子ポンプの場合、油潤滑による玉軸受構造に代わ
り、磁気軸受２０５ａ、２０５ｂ、２０６が用いられる
様になっている。ターボ分子ポンプの場合、軸受が収納
される空間は真空状態となる。通常真空中での機械的擢
動をともなう潤滑は困難な場合が多いが、磁気軸受を用
いることにより、この問題点は解消される。また玉軸受
構造の場合の様なオイルだめを必要としないため、装置
を任意の姿勢で真空チャンバーに取りつけることができ
る、等の特徴を有する。しかしその反面、前記した様
に、各軸に電磁石、センサー、コントローラを必要と
し、玉軸受方式と比べ大幅にコストアップしてしまうと
いう問題点があった。
【００１０】（３）真空排気システムとしての課題 従来の粗引きポンプ（容積式真空ポンプ）では、大気圧
に近い粘性流の領域で排気するが、得られる作動範囲は
１０-1Ｐａ程度までの低真空度にしか達しない。一方、
上述した従来の高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）の構
成では、得られる作動範囲が１０-8Ｐａ程度まで達する
が、大気圧に近い粘性流の領域で排気することができな
い。そこで、従来はまず粗引きポンプ（例えば前述した
スクリューポンプ）で１０0〜１０-1Ｐａ程度まで真空
引きした後に高真空ポンプ（運動量移送式ターボ分子ポ
ンプ）で所定の高真空に達するようにしている。
に近い粘性流の領域で排気するが、得られる作動範囲は
１０-1Ｐａ程度までの低真空度にしか達しない。一方、
上述した従来の高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）の構
成では、得られる作動範囲が１０-8Ｐａ程度まで達する
が、大気圧に近い粘性流の領域で排気することができな
い。そこで、従来はまず粗引きポンプ（例えば前述した
スクリューポンプ）で１０0〜１０-1Ｐａ程度まで真空
引きした後に高真空ポンプ（運動量移送式ターボ分子ポ
ンプ）で所定の高真空に達するようにしている。
【００１１】しかし、近年の半導体プロセスの複合化に
伴い、複数個の真空チャンバーを独立させて真空排気す
る、いわゆるマルチチャンバー方式が半導体加工設備の
主流を占めるようになっている。このマルチチャンバー
化に対応するためには、チャンバー１つ１つに粗引きポ
ンプと高真空ポンプの組合せからなる真空排気システム
を必要とするが、このような真空排気システムをすべて
のチャンバーに対して構成すると、真空排気系装置全体
が大型化・複雑化してしまうという問題点があった。
伴い、複数個の真空チャンバーを独立させて真空排気す
る、いわゆるマルチチャンバー方式が半導体加工設備の
主流を占めるようになっている。このマルチチャンバー
化に対応するためには、チャンバー１つ１つに粗引きポ
ンプと高真空ポンプの組合せからなる真空排気システム
を必要とするが、このような真空排気システムをすべて
のチャンバーに対して構成すると、真空排気系装置全体
が大型化・複雑化してしまうという問題点があった。
【００１２】そこで上記した（１）〜（３）の課題に応
えられるために、本発明の一人は複数個のロータの組み
合わせからなる容積式真空ポンプ構造部分の１軸上に、
運動量移送式真空ポンプ構造部分を形成し、かつ、この
複数個の軸を同期制御することにより、１台で大気圧か
ら高真空まで引ける広帯域用真空ポンプ（特願平２−２
５５７９８号）を既に提案し、出願中である。
えられるために、本発明の一人は複数個のロータの組み
合わせからなる容積式真空ポンプ構造部分の１軸上に、
運動量移送式真空ポンプ構造部分を形成し、かつ、この
複数個の軸を同期制御することにより、１台で大気圧か
ら高真空まで引ける広帯域用真空ポンプ（特願平２−２
５５７９８号）を既に提案し、出願中である。
【００１３】本発明は前記提案をさらに改良し、クリー
ン、シンプル構造、コンパクト等の前回提案の真空ポン
プの特徴を維持したままで、例えば 〔１〕粗引ポンプの排気能力を維持したままで、同期制
御駆動のより一層の安定化が図れる。 〔２〕高真空領域での排気能力を一層高め、かつ高い到
達真空圧が得られる。等の特徴がだせる真空ポンプを提
供するものである。
ン、シンプル構造、コンパクト等の前回提案の真空ポン
プの特徴を維持したままで、例えば 〔１〕粗引ポンプの排気能力を維持したままで、同期制
御駆動のより一層の安定化が図れる。 〔２〕高真空領域での排気能力を一層高め、かつ高い到
達真空圧が得られる。等の特徴がだせる真空ポンプを提
供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の真空ポンプは、ハウジング内に収納された複
数個のロータと、これらのロータの回転軸を支持する軸
受と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口および
吐出口と、前記複数個のロータの少なくとも一つを回転
駆動するモータより構成される流体回転装置において、
前記複数個のロータの少なくとも一つは他と外径寸法が
異なっておりかつ前記複数個のロータを非接触で同期制
御する手段が前記複数個のロータのそれぞれの回転軸に
設けられていることを特徴とするものである。
に本発明の真空ポンプは、ハウジング内に収納された複
数個のロータと、これらのロータの回転軸を支持する軸
受と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口および
吐出口と、前記複数個のロータの少なくとも一つを回転
駆動するモータより構成される流体回転装置において、
前記複数個のロータの少なくとも一つは他と外径寸法が
異なっておりかつ前記複数個のロータを非接触で同期制
御する手段が前記複数個のロータのそれぞれの回転軸に
設けられていることを特徴とするものである。
【００１５】
【作用】本発明では、外径の異なる複数のロータの組み
合わせから、たとえばスクリュー型の容積式ポンプが構
成されており、かつ従来のタイミングギヤの様な機械的
な接触による伝達手段を用いないで、それぞれのロータ
が同期回転する様に構成されている。径小のロータは同
期制御運転を行う上で、次の理由により「高速化」が容
易となる。 機械的な固有振動数を高く設定できるため、高い回転
数でも系の危険速度を越えることはない。
合わせから、たとえばスクリュー型の容積式ポンプが構
成されており、かつ従来のタイミングギヤの様な機械的
な接触による伝達手段を用いないで、それぞれのロータ
が同期回転する様に構成されている。径小のロータは同
期制御運転を行う上で、次の理由により「高速化」が容
易となる。 機械的な固有振動数を高く設定できるため、高い回転
数でも系の危険速度を越えることはない。
【００１６】ロータに加わる流体圧力によって発生す
る負荷トルク及びトルク変動の絶対値を小さくできるた
め、同期制御運転を乱す外乱が小さい。
る負荷トルク及びトルク変動の絶対値を小さくできるた
め、同期制御運転を乱す外乱が小さい。
【００１７】径小ロータ軸は高速化が図れるため、例え
ばその軸上に運動量移送式ポンプを設けて複合型ポンプ
を構成した場合、高真空ポンプの外径を小さく保ったま
まで、高真空領域での排気速度アップ，真空到達度の向
上が図れる等の特徴が得られるのである。
ばその軸上に運動量移送式ポンプを設けて複合型ポンプ
を構成した場合、高真空ポンプの外径を小さく保ったま
まで、高真空領域での排気速度アップ，真空到達度の向
上が図れる等の特徴が得られるのである。
【００１８】
【実施例】図１，図２はこの発明にかかる流体回転装置
の一実施例としての真空ポンプを示す。第１回転軸１，
第２回転軸２はハウジング３内に収納された軸受４ａ，
４ｂ，５ａ，５ｂによって支持されている。第１回転軸
１には大径筒形ロータ６が、また回転軸２には小径筒形
ロータ７が嵌合されている。各ロータ６，７の外周面に
は互いに噛み合うようにしてねじ溝８，９が形成されて
いる。これら両スクリューの互いに噛み合う部分は、容
積型真空ポンプ構造部分Ａとなっている。すなわち、両
ねじ溝８，９の噛み合い部分の凹部（溝）と凸部および
ハウジング３の間に形成された密閉空間が、両回転軸
１，２の回転に伴い周期的に容積変化を起こし、この容
積変化により吸入・排気作用を発揮するようになってい
るのである。
の一実施例としての真空ポンプを示す。第１回転軸１，
第２回転軸２はハウジング３内に収納された軸受４ａ，
４ｂ，５ａ，５ｂによって支持されている。第１回転軸
１には大径筒形ロータ６が、また回転軸２には小径筒形
ロータ７が嵌合されている。各ロータ６，７の外周面に
は互いに噛み合うようにしてねじ溝８，９が形成されて
いる。これら両スクリューの互いに噛み合う部分は、容
積型真空ポンプ構造部分Ａとなっている。すなわち、両
ねじ溝８，９の噛み合い部分の凹部（溝）と凸部および
ハウジング３の間に形成された密閉空間が、両回転軸
１，２の回転に伴い周期的に容積変化を起こし、この容
積変化により吸入・排気作用を発揮するようになってい
るのである。
【００１９】第２回転軸１の上部には前記筒形ロータ７
と一体でやはりスリーブ形状の上部ロータ１０が設けら
れている。この上部ロータ１０は前記ハウジング３と固
定スリーブ１１によって形成される間隙の間に、せまい
隙間を介して回転可能に収納されている。また前記上部
ロータ１０の内周面と外周面にはねじ溝１２ａ、１２ｂ
が形成されている。上部ロータ１０、ねじ溝１２ａ、１
２ｂ、固定スリーブ１１により、運動量移送式の真空ポ
ンプ構造部分Ｂを構成している。このねじ溝１２ａ、１
２ｂの分子ドラッグ作用により、吸気孔１３から流入し
た気体を容積型ねじ溝ポンプが収納されている空間１４
へ排気する。さらに容積型ねじ溝ポンプに流入した気体
は排気孔１５から排出される。
と一体でやはりスリーブ形状の上部ロータ１０が設けら
れている。この上部ロータ１０は前記ハウジング３と固
定スリーブ１１によって形成される間隙の間に、せまい
隙間を介して回転可能に収納されている。また前記上部
ロータ１０の内周面と外周面にはねじ溝１２ａ、１２ｂ
が形成されている。上部ロータ１０、ねじ溝１２ａ、１
２ｂ、固定スリーブ１１により、運動量移送式の真空ポ
ンプ構造部分Ｂを構成している。このねじ溝１２ａ、１
２ｂの分子ドラッグ作用により、吸気孔１３から流入し
た気体を容積型ねじ溝ポンプが収納されている空間１４
へ排気する。さらに容積型ねじ溝ポンプに流入した気体
は排気孔１５から排出される。
【００２０】ロータ６，７の各下端外周面には、図３に
示すようなねじ溝同士の接触防止用ギヤ１６，１７が設
けられている。接触防止ギヤ１６，１７には多少の金属
間接触にも耐えられるように、固体潤滑膜が形成されて
いる。これら両接触防止用ギヤ１６，１７の互いの噛み
合い部分の隙間（バックラッシュ）δ2は、両ロータ
６，７の各外周面に形成されたスクリューの互いの噛み
合い部分の隙間（バックラッシュ）δ1（図示せず）よ
りも小さくなるように設計されている。そのため、両接
触防止用ギヤ１６，１７は、両回転軸１，２の同期回転
が円滑に行われているときは互いが接触することはない
が、万一、この同期がずれたときは、ねじ溝８，９同士
の接触に先立って互いに接触することにより、両ねじ溝
８，９の接触衝突を防止する働きをする。このとき、バ
ックラッシュδ1δ2が微小であると、実用的なレベルで
部材の加工精度が得られないという点が懸念される。し
かし、ポンプの一行程中の流体の漏れ総量は、ポンプの
一行程に要する時間に比例するので、回転軸１，２の高
速回転であれば、両ねじ溝８，９間のバックラッシュδ
1を少々大きくしても十分に真空ポンプの性能（到達真
空度など）を維持できる。そのため、回転軸を高速で回
転できる本発明の真空ポンプでは、通常の加工精度で、
ねじ溝８，９間の衝突防止に必要な寸法のバックラッシ
ュδ1，δ2を十分に確保できる。
示すようなねじ溝同士の接触防止用ギヤ１６，１７が設
けられている。接触防止ギヤ１６，１７には多少の金属
間接触にも耐えられるように、固体潤滑膜が形成されて
いる。これら両接触防止用ギヤ１６，１７の互いの噛み
合い部分の隙間（バックラッシュ）δ2は、両ロータ
６，７の各外周面に形成されたスクリューの互いの噛み
合い部分の隙間（バックラッシュ）δ1（図示せず）よ
りも小さくなるように設計されている。そのため、両接
触防止用ギヤ１６，１７は、両回転軸１，２の同期回転
が円滑に行われているときは互いが接触することはない
が、万一、この同期がずれたときは、ねじ溝８，９同士
の接触に先立って互いに接触することにより、両ねじ溝
８，９の接触衝突を防止する働きをする。このとき、バ
ックラッシュδ1δ2が微小であると、実用的なレベルで
部材の加工精度が得られないという点が懸念される。し
かし、ポンプの一行程中の流体の漏れ総量は、ポンプの
一行程に要する時間に比例するので、回転軸１，２の高
速回転であれば、両ねじ溝８，９間のバックラッシュδ
1を少々大きくしても十分に真空ポンプの性能（到達真
空度など）を維持できる。そのため、回転軸を高速で回
転できる本発明の真空ポンプでは、通常の加工精度で、
ねじ溝８，９間の衝突防止に必要な寸法のバックラッシ
ュδ1，δ2を十分に確保できる。
【００２１】なお、本実施例では軸受部に玉軸受を用
い、かつその潤滑のためにグリースを用いている。また
通常半導体工場等で常備されている高圧のクリーンな窒
素ガスを利用して、ガスパージ機構により流体作動室へ
のグリースの侵入を防いでいる。１８，１９は前記窒素
ガスの供給通路、２０はハウジングに設けられた供給用
継手である。
い、かつその潤滑のためにグリースを用いている。また
通常半導体工場等で常備されている高圧のクリーンな窒
素ガスを利用して、ガスパージ機構により流体作動室へ
のグリースの侵入を防いでいる。１８，１９は前記窒素
ガスの供給通路、２０はハウジングに設けられた供給用
継手である。
【００２２】各ロータ６，７は、その外径比べで決まる
回転数比を一定に保ちながら、それぞれの回転軸１，２
の下部に独立して設けられたＡＣサーボモータ２１，２
２により数万回転の高速で回転する。この実施例におけ
る２つの回転軸のＰＬＬ同期制御は、図５のブロック図
で示す方法によった。すなわち、各回転軸１，２の下端
部には図１にみるようにロータリエンコーダ２３，２４
が設けられているが、これらのロータリエンコーダ２
３，２４からの出力パルスは、仮想のロータを想定して
設定された設定指令パルス（目標値）と照合される。目
標値と各軸１，２からの出力値（回転数，回転角度）と
の間の偏差は、位相差カウンターにより演算処理され、
この偏差を消去するように各軸のサーボモータの回転が
制御される。
回転数比を一定に保ちながら、それぞれの回転軸１，２
の下部に独立して設けられたＡＣサーボモータ２１，２
２により数万回転の高速で回転する。この実施例におけ
る２つの回転軸のＰＬＬ同期制御は、図５のブロック図
で示す方法によった。すなわち、各回転軸１，２の下端
部には図１にみるようにロータリエンコーダ２３，２４
が設けられているが、これらのロータリエンコーダ２
３，２４からの出力パルスは、仮想のロータを想定して
設定された設定指令パルス（目標値）と照合される。目
標値と各軸１，２からの出力値（回転数，回転角度）と
の間の偏差は、位相差カウンターにより演算処理され、
この偏差を消去するように各軸のサーボモータの回転が
制御される。
【００２３】ロータリエンコーダとしては、磁気式エン
コーダや通常の光学式エンコーダであってもよいが、実
施例ではレーザ光の回折・干渉を応用した高分解能で高
速応答性のレーザ式エンコーダを用いた。図４はレーザ
式エンコーダの一例を示す。図において、９１は多数の
スリットを円状に配置した移動スリット板であって、第
１回転軸２や第２回転軸３に連結した軸９２により回転
駆動される。９３は移動スリット板９１に対面する固定
スリット板であってスリットが扇形に配置されている。
レーザダイオード９４からの光はコリメータレンズ９５
を経て両スリット板９１，９３の各スリットを通り、受
光素子９６に受光される。
コーダや通常の光学式エンコーダであってもよいが、実
施例ではレーザ光の回折・干渉を応用した高分解能で高
速応答性のレーザ式エンコーダを用いた。図４はレーザ
式エンコーダの一例を示す。図において、９１は多数の
スリットを円状に配置した移動スリット板であって、第
１回転軸２や第２回転軸３に連結した軸９２により回転
駆動される。９３は移動スリット板９１に対面する固定
スリット板であってスリットが扇形に配置されている。
レーザダイオード９４からの光はコリメータレンズ９５
を経て両スリット板９１，９３の各スリットを通り、受
光素子９６に受光される。
【００２４】この発明にかかる流体回転装置は、空調用
のコンプレッサ等であってもよいのであるが、その回転
部のロータ（図１では６、７に相当）は、ルーツ型，歯
車型，単ローベ型，複ローベ型，ネジ型，外円周ピスト
ン型のもの（いずれも図示せず）等であってもよい。
のコンプレッサ等であってもよいのであるが、その回転
部のロータ（図１では６、７に相当）は、ルーツ型，歯
車型，単ローベ型，複ローベ型，ネジ型，外円周ピスト
ン型のもの（いずれも図示せず）等であってもよい。
【００２５】図６は、２つのロータの同期制御を２つの
モータによる電子制御によるものではなく、１つのモー
タとマグネットギヤの組み合せで構成した場合を示す。
４００ａは径大のロータ６に、また４００ｂは径小ロー
タに設けられたマグネットである。この構成では、２つ
のロータ４００ａ、４００ｂを駆動源は、径大ロータ側
に設けられたモータ４０１でよく、またエンコーダは不
要となる。なおマグネットギヤは、図６の様な「周対向
型」でなく、図７で示すような「面対向型」でよい。４
５０ａ、４５０ｂはそれぞれ径大ロータ及び径小ロータ
に設けられたマグネットギヤである。
モータによる電子制御によるものではなく、１つのモー
タとマグネットギヤの組み合せで構成した場合を示す。
４００ａは径大のロータ６に、また４００ｂは径小ロー
タに設けられたマグネットである。この構成では、２つ
のロータ４００ａ、４００ｂを駆動源は、径大ロータ側
に設けられたモータ４０１でよく、またエンコーダは不
要となる。なおマグネットギヤは、図６の様な「周対向
型」でなく、図７で示すような「面対向型」でよい。４
５０ａ、４５０ｂはそれぞれ径大ロータ及び径小ロータ
に設けられたマグネットギヤである。
【００２６】この様に、排気量が小さく、ロータ軸が軽
員荷のポンプでは、マグネットギヤ、流体クラッチ等の
非接触同期運転による伝達手段を用いることができる。
員荷のポンプでは、マグネットギヤ、流体クラッチ等の
非接触同期運転による伝達手段を用いることができる。
【００２７】
【発明の効果】この発明にかかる流体回転装置は、例え
ば既に提案している真空ポンプ（特願平２−２５５７９
８号）の様に電子制御による回転同期制御をしているの
で、次のような特徴を合わせもつことができる。すなわ
ち、本発明を容積型の真空ポンプに適用した場合、従来
のスクリューポンプ等に用いられる機械的な控動をとも
なうタイミングギヤを有しない。また、この発明では、
個々のロータが独立したモータで駆動されるようになっ
ているので、ギヤによる動力伝達機能を有しない。たと
えば、容積式のポンプやコンプレッサでは、２個以上の
ロータの相対運動により、容積の変化する密閉空間を作
り出す必要があり、従来は伝達ギヤやタイミングギヤ、
あるいはリンクやカム機構を用いた複雑な伝達メカニズ
ムによって、前記２個以上のロータの同期回転を行って
いた。タイミングギヤや伝達メカニズムの部分に潤滑油
を供給することにより、ある程度の高速化は可能である
が、装置の振動，騒音，信頼性を考慮したとき、回転数
の上限はせいぜい１万rpmであった。これに対し、この
発明では、前述のように機械的擢動をともなう複雑なメ
カニズムを必要としないため、ロータの回転部を１万rp
m以上の高速で回転させることができるとともに、メカ
ニズム部分の省略による装置の簡素化が実現できる。オ
イルシールを必要としないため、機械摺動によるトルク
損失がなく、またオイルシールおよびオイルの定期的交
換も不要となる。なお、真空ポンプの動力はトルクと回
転数の積であり、回転数が上がるとトルクが小さくて済
む。したがって、この発明では、高速化によるトルク低
減により、モータを小形化できるという副次的効果も生
じる。さらに、この発明では、個々のロータを互いに独
立したモータで駆動するようにしているため、個々のモ
ータに必要なトルクはさらに小さくなる。これらの効果
により、たとえば実施例にみるように各モータをロータ
内に内蔵させたビルトイン構造にして、装置全体の大幅
なコンバクト化・軽量化・省スペース化を図るというこ
とも可能になるのである。
ば既に提案している真空ポンプ（特願平２−２５５７９
８号）の様に電子制御による回転同期制御をしているの
で、次のような特徴を合わせもつことができる。すなわ
ち、本発明を容積型の真空ポンプに適用した場合、従来
のスクリューポンプ等に用いられる機械的な控動をとも
なうタイミングギヤを有しない。また、この発明では、
個々のロータが独立したモータで駆動されるようになっ
ているので、ギヤによる動力伝達機能を有しない。たと
えば、容積式のポンプやコンプレッサでは、２個以上の
ロータの相対運動により、容積の変化する密閉空間を作
り出す必要があり、従来は伝達ギヤやタイミングギヤ、
あるいはリンクやカム機構を用いた複雑な伝達メカニズ
ムによって、前記２個以上のロータの同期回転を行って
いた。タイミングギヤや伝達メカニズムの部分に潤滑油
を供給することにより、ある程度の高速化は可能である
が、装置の振動，騒音，信頼性を考慮したとき、回転数
の上限はせいぜい１万rpmであった。これに対し、この
発明では、前述のように機械的擢動をともなう複雑なメ
カニズムを必要としないため、ロータの回転部を１万rp
m以上の高速で回転させることができるとともに、メカ
ニズム部分の省略による装置の簡素化が実現できる。オ
イルシールを必要としないため、機械摺動によるトルク
損失がなく、またオイルシールおよびオイルの定期的交
換も不要となる。なお、真空ポンプの動力はトルクと回
転数の積であり、回転数が上がるとトルクが小さくて済
む。したがって、この発明では、高速化によるトルク低
減により、モータを小形化できるという副次的効果も生
じる。さらに、この発明では、個々のロータを互いに独
立したモータで駆動するようにしているため、個々のモ
ータに必要なトルクはさらに小さくなる。これらの効果
により、たとえば実施例にみるように各モータをロータ
内に内蔵させたビルトイン構造にして、装置全体の大幅
なコンバクト化・軽量化・省スペース化を図るというこ
とも可能になるのである。
【００２８】さらにロータの少なくとも１つの同軸上
に、運動量移送式の真空ポンプを設けたことにより、大
気から高真空（１０-8torr以下)まで一気に一台で引け
る複合型の広帯域真空ポンプが実現できる。
に、運動量移送式の真空ポンプを設けたことにより、大
気から高真空（１０-8torr以下)まで一気に一台で引け
る複合型の広帯域真空ポンプが実現できる。
【００２９】以上は既に提案済の真空ポンプの持つ特徴
であるが、本発明はこれらの特徴に加えて、次の様な効
果がさらに得られる。
であるが、本発明はこれらの特徴に加えて、次の様な効
果がさらに得られる。
【００３０】低真空領域で十分な排気能力を維持した
ままで、高真空領域でより大きな排気速度と低い到達が
達成できる。
ままで、高真空領域でより大きな排気速度と低い到達が
達成できる。
【００３１】同期制御を乱す外乱に対して、あるいは
立ち上がり運転時の過渡時の同期制御に対しても、十分
に安定な制御系が実現できる。
立ち上がり運転時の過渡時の同期制御に対しても、十分
に安定な制御系が実現できる。
【００３２】上記が実現できる理由を本発明の実施例
（図６）を用いて説明すると次の様である。
（図６）を用いて説明すると次の様である。
【００３３】実施例では外径の異なる複数のロータの組
み合わせから、たとえばスクリュー型の容積ポンプが構
成されており、かつ径小のロータの同軸上に高真空ポン
プである、たとえばねじ溝式ポンプが形成されている。
径小のロータ軸は同期制御運転を行う上で、次の理由に
より、「高速化」が容易となる。
み合わせから、たとえばスクリュー型の容積ポンプが構
成されており、かつ径小のロータの同軸上に高真空ポン
プである、たとえばねじ溝式ポンプが形成されている。
径小のロータ軸は同期制御運転を行う上で、次の理由に
より、「高速化」が容易となる。
【００３４】（１）機械的な固有振動数を高く設定でき
るため、高い回転数でも系の危険速度を越えることはな
い。
るため、高い回転数でも系の危険速度を越えることはな
い。
【００３５】（２）負荷トルク及びトルク変動の絶対値
を小さくできるため、同期制御運転を乱す外乱が小さ
い。
を小さくできるため、同期制御運転を乱す外乱が小さ
い。
【００３６】径小ロータ軸が「高速化」できることによ
り、その同軸上に設けられた高真空ポンプの性能（排気
気圧、真空到達圧）を向上させることができる。また逆
に性能を維持したままで高真空ポンプの外径を小さくす
ることもできる。
り、その同軸上に設けられた高真空ポンプの性能（排気
気圧、真空到達圧）を向上させることができる。また逆
に性能を維持したままで高真空ポンプの外径を小さくす
ることもできる。
【００３７】上記の効果は「機械系」から見た理由に
基づくものであるが、上記の効果は「電気系」の側か
ら見た理由による。はいわば表裏一体をなすもので
ある。すなわちロータの径小化により、モータの慣性負
荷を小さくでき、外乱に強く高い制御応答性を持つ安定
な同期制御系を構成できるのである。
基づくものであるが、上記の効果は「電気系」の側か
ら見た理由による。はいわば表裏一体をなすもので
ある。すなわちロータの径小化により、モータの慣性負
荷を小さくでき、外乱に強く高い制御応答性を持つ安定
な同期制御系を構成できるのである。
【００３８】本発明は、運動量移送式ポンプ部分（図１
では構造部分Ｂ）を取はずしてもクリーン・コンパクト
な粗引きポンプとして勿論使用できる。この場合でも、
上記の効果が得られるのは勿論である。
では構造部分Ｂ）を取はずしてもクリーン・コンパクト
な粗引きポンプとして勿論使用できる。この場合でも、
上記の効果が得られるのは勿論である。
【００３９】また２つのロータの同期制御を、２つのモ
ータとエンコーダ、コントローラによる電子制御による
ものではなく、例えばマグネットギヤによる非接触の伝
達手段により、非接触同期回転を行なうことも可能であ
る。この理由は、径小ロータ側の負荷トルクが、ロータ
の外径に比例して小さくなるからで、伝達駆動トルクの
限界が比較的小さいマグネットでも、トルクの伝達がで
きるからである。
ータとエンコーダ、コントローラによる電子制御による
ものではなく、例えばマグネットギヤによる非接触の伝
達手段により、非接触同期回転を行なうことも可能であ
る。この理由は、径小ロータ側の負荷トルクが、ロータ
の外径に比例して小さくなるからで、伝達駆動トルクの
限界が比較的小さいマグネットでも、トルクの伝達がで
きるからである。
【００４０】この発明の容積式真空ポンプの構造部分
に、ロータが外周部にねじ溝（スクリュー溝を含む）を
備えたものにすると、たとえばルーツ型真空ポンプでは
１回転で１回の吐出であって流入流出する作動流体が大
きな脈動を伴うのに対し、ねじ溝型ではほぼ流れが連続
流に近くなる。そのため、各軸のモータにかかるトルク
の変動が小さくなる。トルク変動は各回転軸の同期制御
回転を乱す原因となるが、トルク変動の小さなねじ溝式
の採用によって、より高速・高精度の同期制御が容易と
なるのである。ねじ溝式の場合、構造上、吸入側と吐出
側の間が多段の凹凸嵌合によって密閉されるため、内部
リークによる悪影響が小さくなって、真空到達速度を高
くとることができる。また、ねじ溝型ロータは、ギヤ型
ロータやルーツ型ロータのような異形ロータとは異な
り、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周
部の付近まで空洞にすることができ、内部空間が大きく
とれて、ここを実施例のごとく軸受部に利用する等の利
用ができて、装置の小形化を大いに図ることができるよ
うになる。
に、ロータが外周部にねじ溝（スクリュー溝を含む）を
備えたものにすると、たとえばルーツ型真空ポンプでは
１回転で１回の吐出であって流入流出する作動流体が大
きな脈動を伴うのに対し、ねじ溝型ではほぼ流れが連続
流に近くなる。そのため、各軸のモータにかかるトルク
の変動が小さくなる。トルク変動は各回転軸の同期制御
回転を乱す原因となるが、トルク変動の小さなねじ溝式
の採用によって、より高速・高精度の同期制御が容易と
なるのである。ねじ溝式の場合、構造上、吸入側と吐出
側の間が多段の凹凸嵌合によって密閉されるため、内部
リークによる悪影響が小さくなって、真空到達速度を高
くとることができる。また、ねじ溝型ロータは、ギヤ型
ロータやルーツ型ロータのような異形ロータとは異な
り、回転中心軸に垂直な断面が比較的円形に近く、外周
部の付近まで空洞にすることができ、内部空間が大きく
とれて、ここを実施例のごとく軸受部に利用する等の利
用ができて、装置の小形化を大いに図ることができるよ
うになる。
【図１】本発明にかかる真空ポンプの第１実施例を表す
断面図
断面図
【図２】第１実施例のハウジングの一部を切り開いてみ
た側面図
た側面図
【図３】第１実施例に用いた接触防止ギヤの平面図
【図４】第１実施例に用いたレーザ型エンコーダを示す
斜視図
斜視図
【図５】同期制御方法を示すブロック図
【図６】マグネットギヤを用いた実施例を示す断面図
【図７】面対向型マグネットギヤを示す図
【図８】従来のスクリュー式ポンプの断面図
【図９】従来のターボ分子ポンプの断面図
１ 回転軸 ２ 回転軸 ３ ハウジング ６ ロータ ７ ロータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ０４Ｃ 29/10 Ａ 6907−3Ｈ Ｆ０４Ｄ 19/04 Ｄ 8914−3Ｈ
Claims (6)
- 【請求項１】 ハウジング内に収納された複数個のロー
タと、これらのロータの回転軸を支持する軸受と、前記
ハウジングに形成された流体の吸入口および吐出口と、
前記複数個のロータの少なくとも一つを回転駆動するモ
ータより構成される流体回転装置において、前記複数個
のロータの少なくとも一つは、他と外径寸法が異なって
おり、かつ前記複数個のロータを非接触で同期制御する
手段が前記複数個のロータのそれぞれの回転軸に設けら
れていることを特徴とする流体回転装置。 - 【請求項２】 ハウジング内に収納された複数個のロー
タと、これらのロータの回転軸を支持する軸受と、前記
ハウジングに形成された流体の吸入口および吐出口と、
前記複数個のロータをそれぞれ独立して回転駆動するモ
ータと、前記モータの回転角および回転数を検知する検
出手段と、この検出手段からの信号によって前記複数個
のモータの回転を同期制御することにより前記ロータお
よびハウジングで形成される密閉空間の容積変化を利用
して流体の吸入および排気を行う流体回転装置におい
て、前記複数個のロータの少なくとも一つは、他のロー
タと外径が異なることを特徴とする流体回転装置。 - 【請求項３】 他のロータと比べて外径が径小のロータ
の同軸上に、高真空排気を目的とする真空ポンプの構造
部分が設けられていることを特徴とする請求項２記載の
流体回転装置。 - 【請求項４】 ロータが外周部にスクリューあるいはね
じ溝を備えたものである請求項２記載の流体回転装置。 - 【請求項５】 高真空ポンプ構造部分の少なくとも一つ
が気体分子に運動量を与える手段として、少なくとも一
部にタービン翼を備えた構造である請求項２記載の流体
回転装置。 - 【請求項６】 非接触で同期制御する手段がマグネット
ギヤであることを特徴とする請求項１記載の流体回転装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013779A JPH05202855A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 流体回転装置 |
| KR1019930000921A KR0130049B1 (ko) | 1992-01-29 | 1993-01-26 | 유체회전장치 |
| US08/009,632 US5449276A (en) | 1992-01-29 | 1993-01-27 | Two stage vacuum pump having different diameter interengaging rotors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4013779A JPH05202855A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 流体回転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05202855A true JPH05202855A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=11842732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4013779A Pending JPH05202855A (ja) | 1992-01-29 | 1992-01-29 | 流体回転装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5449276A (ja) |
| JP (1) | JPH05202855A (ja) |
| KR (1) | KR0130049B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309114A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Sakushiyon Gas Kikan Seisakusho:Kk | 回転・往復動装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3331749B2 (ja) * | 1994-06-27 | 2002-10-07 | 松下電器産業株式会社 | 真空ポンプ |
| DE19748385A1 (de) * | 1997-11-03 | 1999-05-06 | Peter Frieden | Trockenlaufender Schraubenverdichter oder Vakuumpumpe |
| DE19800825A1 (de) * | 1998-01-02 | 1999-07-08 | Schacht Friedrich | Trockenverdichtende Schraubenspindelpumpe |
| DE19817351A1 (de) * | 1998-04-18 | 1999-10-21 | Peter Frieden | Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Gaskühlung |
| US8764424B2 (en) | 2010-05-17 | 2014-07-01 | Tuthill Corporation | Screw pump with field refurbishment provisions |
| CN103104493B (zh) * | 2011-11-11 | 2015-12-09 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统 |
| US10115608B2 (en) * | 2012-05-25 | 2018-10-30 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for rapid pump-down of a high-vacuum loadlock |
| WO2016206737A1 (en) | 2015-06-24 | 2016-12-29 | Pierburg Pump Technology Gmbh | Mechanical automotive vacuum pump |
Family Cites Families (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE17689E (en) * | 1930-06-03 | Electrically-operated valve | ||
| US2243874A (en) * | 1934-10-16 | 1941-06-03 | Milo Ab | Rotary compressor |
| US2640428A (en) * | 1949-05-03 | 1953-06-02 | Dresser Ind | Drive for fluid handling devices of the rotary, positive displacement type |
| GB809445A (en) * | 1954-02-27 | 1959-02-25 | Heraeus Gmbh W C | Improvements in or relating to rotary high vacuum pumps |
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