JPH05203070A - 弁 - Google Patents

弁

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JPH05203070A
JPH05203070A JP4297012A JP29701292A JPH05203070A JP H05203070 A JPH05203070 A JP H05203070A JP 4297012 A JP4297012 A JP 4297012A JP 29701292 A JP29701292 A JP 29701292A JP H05203070 A JPH05203070 A JP H05203070A
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valve
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middle plate
opening
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Frank Bantien
バンティーン フランク
Udo Jauernig
ヤウアーニヒ ウド
Hans-Peter Trah
トラー ハンス−ペーター
Kurt Weiblen
ヴァイプレン クルト
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 操作部材の行程を小さくし、下側のプレート
の大きな変形を回避して、流体の極めて正確な調量を得
る。 【構成】 上側のプレート２９と下側のプレート３３と
の間に、真ん中のプレート３１が配置されており、該真
ん中のプレートが、弁長手方向軸線１の方向で減じられ
た肉厚を有する弾性変形可能なダイヤフラム範囲８３
と、半径方向で該ダイヤフラム範囲８３によって取り囲
まれた、少なくとも１つの噴射開口７７を閉鎖するため
に働く閉鎖部分８１とを有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体を調量するための
弁、特に燃料噴射弁であって、弁長手方向軸線に対して
同心的に配置された操作部材と、該操作部材のための操
作開口を有する上側のプレートと、少なくとも１つの噴
射開口を有する下側のプレートとが設けられている形式
のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許第４６４７０１３号明細書に基
づき、流体を調量するための弁が既に公知である。この
公知の弁は、操作部材と、この操作部材のための操作開
口を有する上側のプレートと、複数の噴射開口を有する
下側のプレートとを有している。弁を開放するために
は、操作部材が所定の行程を実施し、この行程により下
側のプレートの噴射開口は上側のプレートから離れる方
向で移動させられ、こうして弁を通る流体の通流が形成
される。弁の開放横断面を開放するためには、操作部材
の比較的大きな行程が必要となる。さらに、下側のプレ
ートの変形に対する制限部、たとえばストッパが設けら
れていないので、弁の規定された不変の開放横断面積が
保証されていない。弁を通って流れる流体の圧力は、弁
の開放横断面の大きさに影響を与えてしまい、この場
合、流体は下側のプレートを変形させ、これによって下
側のプレートの噴射開口の範囲を上側のプレートから一
層離れる方向に移動させてしまう。下側のプレートの大
きな変形に基づき、このプレートの破断の危険が生じて
しまう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の弁を改良して、操作部材の行程が小さく
て済み、下側のプレートの大きな変形が回避されて、流
体の極めて正確な調量が可能となるような弁を提供する
ことである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、上側のプレートと下側のプレート
との間に、真ん中のプレートが配置されており、該真ん
中のプレートが、弁長手方向軸線の方向で減じられた肉
厚を有する弾性変形可能なダイヤフラム範囲と、半径方
向で該ダイヤフラム範囲によって取り囲まれた、少なく
とも１つの噴射開口を閉鎖するために働く閉鎖部分とを
有しているようにした。
【０００５】
【発明の効果】本発明による弁は、従来のものに比べて
次のような利点を持っている。すなわち、操作部材と閉
鎖部分とが、弁開放横断面の開放もしくは遮断のために
比較的小さな行程しか実施しなくて済む。閉鎖部分に
は、操作部材によって閉鎖力が加えられ、この閉鎖力は
閉鎖部分を下側のプレートに圧着させて、弁を通る通流
を遮断する。閉鎖部分の開放行程は上側のプレートに対
する閉鎖部分の当接によって制限され、こうして全ての
運転状態において弁の規定された開放横断面積の維持が
保証される。操作部材と閉鎖部分との行程が小さく形成
されていることに基づき、操作部材の駆動ユニットに対
する要求を減少させ、ダイヤフラム部分または閉鎖部分
の損傷による弁の故障危険を阻止することが可能とな
る。
【０００６】請求項２以下に記載の手段により、請求項
１に記載の弁の有利な改良が可能になる。
【０００７】軸方向で真ん中のプレートのダイヤフラム
範囲と下側のプレートとの間に流入室が形成されてい
て、該流入室に、前記閉鎖部分を上側のプレートの方向
に移動させようとする開放圧が生ぜしめられるようにな
っていると特に有利である。こうして、操作部材が閉鎖
部分に押圧力を加えていない場合に、閉鎖部分は上側の
プレートに圧着され、したがって充分に圧力とは無関係
な弁開放横断面積が保証される。弁の遮断は、閉鎖部材
によって閉鎖部分に閉鎖力が加えられることによって行
なわれるので、閉鎖部分は下側のプレートに圧着され、
ひいては弁の開放横断面が遮断される。
【０００８】弁の極めて単純な構造を得るためには、開
放圧として、弁に供給される流体の圧力が用いられると
有利である。
【０００９】上側のプレートと真ん中のプレートと下側
のプレートとが、シリコンから形成されていて、異方性
エッチングによって加工成形されていると有利である。
こうして、弁のプレートを極めて簡単で廉価に、しかも
特に正確に構成することができる。
【００１０】各プレート間の特に密で簡単に形成され得
る結合を得るためには、上側のプレートが真ん中のプレ
ートと、該真ん中のプレートが下側のプレートと、それ
ぞれボンディングによって結合されていると有利であ
る。
【００１１】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく
説明する。
【００１２】図１には、本発明の１実施例による、たと
えば混合気圧縮形の火花点火式内燃機関の燃料噴射装置
に使用可能な燃料噴射弁が部分的に示されている。弁長
手方向軸線１に対して同心的に、弁の、たとえば強磁性
材料から構成された支持体３は段付けされた貫通孔５を
有している。貫通孔５には、操作ニードル８が配置され
ている。支持体３に設けられた貫通孔５は円筒状のガイ
ド区分９を有しており、このガイド区分は操作ニードル
８の軸方向運動時に操作ニードル８をガイドするために
働く。このためには、操作ニードル８がガイドつば１３
を有しており、このガイドつばは貫通孔５のガイド区分
９に対して半径方向の小さな間隔を有している。
【００１３】操作ニードル８の軸方向運動、つまり弁の
開放運動および閉鎖運動は、たとえば公知の形式で電磁
的に行なわれる。図１に示したように、操作ニードル８
は支持体３から突出した端部で可動子１５と結合されて
おり、この可動子はコア１４および電磁コイル１７と協
働する。操作ニードル８はガイドつば１３と可動子１５
との間に、半径方向外側を向いた上側の保持つば１１を
有している。この保持つばは貫通孔５のガイド区分９の
周壁に対して半径方向の小さな間隔を有していて、場合
によっては長手方向溝を備えており、これによって周囲
を流れる流れが改善される。
【００１４】支持体３には、軸方向で操作ニードル８の
保持つば１１と可動子１５との間に環状の板１６が配置
されている。この板は弁長手方向軸線１に対して同心的
に延びる貫通孔１８を有しており、この貫通孔を通って
操作ニードル８が貫通している。板１６と保持つば１１
との間には、圧縮ばね１９が設けられている。この圧縮
ばねは操作ニードル８を電磁石１７とは反対の方向に移
動させようとしている。操作ニードル８の操作は圧電式
に行われても有利である。
【００１５】操作ニードル８は可動子１５とは反対の側
の端部に、弁長手方向軸線１に対して同心的に構成され
たピン状の操作部材２１を有している。貫通孔５のガイ
ド区分９に続いて、支持体３の前記電磁石とは反対の側
の下端部２２には、貫通孔５の貫通開口２３が構成され
ている。この貫通開口はガイド区分９よりも著しく小さ
な直径を有していて、この貫通開口を通って操作ニード
ル８の操作部材２１が貫通している。支持体３の下端部
２２には、貫通開口２３に続いて、孔付きユニット２５
が配置されている。この孔付きユニット２５は支持体３
に接触した、たとえば正方形の上側のプレート２９と、
正方形の真ん中のプレート３１と、正方形の下側のプレ
ート３３とから成っている。
【００１６】上側のプレート２９と、真ん中のプレート
３１と、下側のプレート３３とは、たとえば単結晶シリ
コンから構成されている。上側のプレート２９は真ん中
のプレート３１と、真ん中のプレート３１は下側のプレ
ート３３と、それぞれボンディング結合されている。ボ
ンディング過程では、まず、互いに結合させたい端面が
研磨され、表面が化学的に処理される。引き続き、互い
に結合させたいプレートの処理された表面が合わせられ
る。ボンディングプロセスはたとえば窒素雰囲気におけ
るプレートの熱処理によって終了される。しかし、単結
晶シリコンの使用の他に、別の適当な材料、たとえば別
の単結晶半導体、たとえばゲルマニウムまたは化合物半
導体、たとえばガリウムヒ素を選択することも可能であ
る。上側のプレート２９と真ん中のプレート３１と下側
のプレート３３との軸方向厚さは、それぞれ約０．２〜
０．５ｍｍ、有利には約０．３ｍｍである。
【００１７】支持体３に対する孔付きユニット２５の不
変の位置を保証して、弁長手方向軸線１に対する孔付き
ユニット２５の水平方向でのずれを阻止するためには、
支持体３の下端部２２の端面３５に切欠き３７が構成さ
れている。この切欠き３７は孔付きユニット２５を部分
的に取り囲んで係合し、上側のプレート２９は真ん中の
プレート３１とは反対の側の端面３９で前記切欠き３７
の底部４１に密に接触している。支持体３の下端部２２
は、たとえば供給ブシュ４３によって取り囲まれてい
て、しかも半径方向では底部分４５によって、さらに部
分的に軸方向でも円筒状部分４７によって取り囲まれて
いる。供給ブシュ４３はたとえば接着結合、ロック結合
または縁曲げ結合によって支持体３に固く結合されてい
て、軸方向で支持体に対して固定されている。ポット形
の供給ブシュ４３の円筒状部分４７は軸方向において孔
付きユニット２５の範囲に、たとえば３つの一貫して延
びる横方向開口４９を有している。これらの横方向開口
は半径方向で円筒状部分４７の外周面からこの円筒状部
分の壁を通って内方に向かって環状の供給室５１にまで
延びている。この供給室は半径方向において、支持体３
の周面もしくは孔付きユニット２５の周面と、供給ブシ
ュ４３の円筒状部分４７によって半径方向で制限され
た、段付けされた長手方向孔５３との間に形成されてい
る。
【００１８】供給ブシュ４３の底部分４５には、支持体
３に面した側で切欠き５５が構成されている。供給ブシ
ュ４３は切欠き５５の平らな接触面５７で、孔付きユニ
ット２５の下側のプレート３３の、前記真ん中のプレー
ト３１とは反対の側の下端面５９に密に接触している。
こうして、孔付きユニット２５の軸方向位置は信頼性良
く固定され、弁長手方向軸線１の方向およびこの方向に
対して垂直な方向での孔付きユニットのずれは阻止され
る。切欠き５５に続いて、供給ブシュ４３の底部分４５
には、孔付きユニット２５とは反対の側で流出開口６１
が設けられており、この流出開口は孔付きユニット２５
に面した側に、円筒状の第１の区分６３と、この第１の
区分に続いて円錐台形に拡開した第２の区分６５とを有
している。
【００１９】供給ブシュ４３に設けられた長手方向孔５
３には、たとえば３つの横方向開口４９とは反対の側の
端部で第１の環状溝６７が構成されており、この第１の
環状溝はシールリング６９を収容している。シールリン
グ６９は支持体３の周面に密に接触していて、支持体３
の周面と、供給ブシュ４３の長手方向孔５３の壁との間
のシールを形成している。
【００２０】前記弁が供給ブシュ４３で、たとえば内燃
機関の吸込み導管に設けられた弁収容部に組み付けられ
る場合、供給ブシュ４３をその横方向開口４９の上下で
弁収容部の周壁に対してシールすることが必要となる。
この目的のためには、供給ブシュ４３の周面に横方向開
口４９の上方では電磁コイル１７寄りの側に第２の環状
溝７１が加工成形されていて、横方向開口４９の下方で
はたとえば底部分４５に第３の環状溝７３が加工成形さ
れている。これらの環状溝には、各１つのシールリング
を配置することができる。
【００２１】図２には、図１に示した弁の実施例で使用
される、上側のプレート２９と真ん中のプレート３１と
下側のプレート３３とから成る孔付きユニット２５が示
されている。前記プレート２９，３１，３３は正方形に
構成されていて、図１および図２に示したように周面形
状に関して同一の寸法を有している。上側のプレート２
９には、このプレートの上端面３９を起点として弁長手
方向軸線１に対して同心的に、真ん中のプレート３１の
方向に切頭円錐形にテーパされて、一貫して延びる、た
とえば正方形の操作開口７５が設けられている。図１お
よび図２に示した下側のプレート３３は、たとえば弁長
手方向軸線１に対して同心的に前記下側のプレートを通
って延びる噴射開口７７を有している。この噴射開口７
７は下側のプレート３３の、前記真ん中のプレート３１
に面した上端面７８を起点として流出開口６１に向けら
れて切頭円錐形にテーパした正方形の第１の区分７９
と、この第１の区分に続いて流出開口６１に向かって切
頭円錐形に拡開した正方形の第２の区分８０とを有して
いる。もちろん、弁長手方向軸線１の周囲に分配された
２つ以上噴射開口７７を設けることもできる。弁長手方
向軸線１に対して同心的に、真ん中のプレート３１はプ
レート状の閉鎖部分８１を有している。この閉鎖部分は
操作ニードル８によって操作されてない無圧状態におい
て、それぞれ軸方向間隔を持って上側のプレート２９と
下側のプレート３３との間のほぼ真ん中に位置してい
る。すなわち、前記弁は開放されている訳である。閉鎖
部分８１の周囲は、環状に構成されて弁長手方向軸線１
の方向で減じられた肉厚を有する弾性変形可能なダイヤ
フラム範囲８３によって半径方向で取り囲まれており、
このダイヤフラム範囲は上側のプレート２９と下側のプ
レート３３との間の真ん中に構成されている。真ん中の
プレート３１は半径方向外側でダイヤフラム範囲８３に
続いて、真ん中のプレートの外周にまで延びる支持範囲
８５を有している。この支持範囲で、真ん中のプレート
３１は上側のプレート２９と下側のプレート３３とに接
触している。すなわち、この支持範囲は軸方向で閉鎖部
分８１よりも厚く形成されている。真ん中のプレート３
１の閉鎖部分８１は半径方向で噴射開口７７の第１の区
分７９を越えて突出していて、下側のプレート３３の噴
射開口７７を上端面７８において遮断するために働く。
【００２２】真ん中のプレート３１の支持範囲８５に
は、下側のプレート３３に面した下端面８７を起点とし
て、少なくとも１つの切欠き８９、たとえば４つの切欠
き８９が構成されている。この切欠きは半径方向で真ん
中のプレート３１の周面と、ダイヤフラム範囲８３との
間に延びている。真ん中のプレート３１の切欠き８９は
下側のプレート３３の上端面７８と共に流体流入通路９
０を形成している。軸方向で下側のプレート３３と、真
ん中のプレート３１のダイヤフラム範囲８３との間に
は、環状の流入室９１が構成されている。下側のプレー
ト３３の上端面７８には、下端面５９の方向に延びる環
状溝９３が構成されている。半径方向において、環状溝
９３は切欠き８９と閉鎖部分８１との間に延びていて、
流入室９１の一部を成している。半径方向で環状溝９３
と噴射開口７７との間では、下側のプレート３３が上端
面７８に環状の、噴射開口７７を取り囲む弁座９５を有
しており、この弁座は閉鎖部分８１と協働するようにな
っている。
【００２３】上側のプレート２９の操作開口７５と、下
側のプレート３３の噴射開口７７と環状溝９３と、真ん
中のプレート３１の閉鎖部分８１と、ダイヤフラム部分
８３と、切欠き８９とは、たとえば異方性エッチングに
よって円錐台形もしくは切頭円錐形に加工成形されてい
る。環状の弁座９５に対する流体、たとえば燃料の供給
は、供給ブシュ４３に設けられた横方向開口４９と、供
給室５１と、孔付きユニット２５に切欠き８９によって
形成された流体流入通路９０とを通って、真ん中のプレ
ート３１と下側のプレート３３との間に形成された環状
の流入室９１内に行なわれる。このときに、流入室９１
には、供給された、調量したい燃料の圧力が生ぜしめら
れる。この圧力は開放圧として真ん中のプレート３１の
ダイヤフラム範囲８３と閉鎖部分８１とに作用して、真
ん中のプレート３１に面した前記上側のプレート２９の
下端面９７の方向に閉鎖部分８１を移動させようとす
る。この場合に、たとえば調量したい燃料の圧力は、た
とえば図１に示した供給ポンプ９９のシステム圧に相当
している。
【００２４】真ん中のプレート３１のダイヤフラム範囲
８３と閉鎖部分８１とには、流入室９１に生ぜしめられ
る開放圧に抗して、真ん中のプレート３１と上側のプレ
ート２９との間に生ぜしめられる圧力が作用する。この
ような支持体３の貫通孔５内でも生ぜしめられる圧力
は、たとえば噴射されなかった流体の、リザーバタンク
への戻し圧力に相当しているか、または流出開口６１に
おける吸込み管の範囲に生ぜしめられる吸込み管圧力に
相当している。この吸込み管圧力は一般に大気圧よりも
低く形成されるので、この場合には、流入室９１内の開
放圧が、逆方向で作用する閉鎖圧に抗して作用しなくて
済む。
【００２５】ダイヤフラム範囲８３のばね剛性は、既に
流入室９１に生ぜしめられる流体圧力が比較的小さなと
きに真ん中のプレート３１の閉鎖部分８１が上側のプレ
ート２９の下端面９７に圧着されるように設定されてい
る。これによって、充分に圧力とは無関係な規定された
弁開放横断面積が得られる。操作ニードル８の操作部材
２１は、電磁コイル１７の励磁されてない状態で弁を閉
鎖して、通流を遮断するために働く。この場合、操作部
材２１は圧縮ばね１９のばね力によって真ん中のプレー
ト３１の閉鎖部分８１を、調量したい流体の開放圧に抗
して弁座９５に押圧する。このときに、操作部材２１は
上側のプレート２９の操作開口７５を貫通している。弁
を開放して、弁座９５の傍らを通る流体の流れを可能に
するためには、電磁コイル１７がたとえば励磁されるの
で、操作ニードル８はその可動子１５によって圧縮ばね
１９のばね力に抗して閉鎖部分８１とは反対の方向の運
動を実施する。図１には、弁の開放位置が示されてい
る。上側のプレート２９と下側のプレート３１との間に
おける真ん中のプレート３１のダイヤフラム範囲８３と
閉鎖部分８１との対称的な構成に基づき、弁の開放もし
くは閉鎖のためには、いずれの方向でも半分の行程しか
必要とならない。これによって、ダイヤフラム範囲８３
の辺長さ、ひいては孔付きユニット２５の大きさをも小
さく保持することができる。
【００２６】孔付きユニット２５は燃料噴射弁において
使用されるだけでなく、別の流体を噴霧させるためにも
使用され得る。すなわち、たとえばインキやラッカを均
一に吹き付けるためや、製造プロセスまたはこれに類す
るものにおいて極めて微細な液滴が要求される場合に
は、いずれも前記孔付きユニットを使用することができ
る。
【００２７】上側のプレート２９と真ん中のプレート３
１と下側のプレート３３とを有する孔付きユニット２５
を備えた弁は、次のような利点を持っている。すなわ
ち、操作部材２１、ひいては閉鎖部分８１が、弁の閉鎖
または開放のために比較的小さな行程しか実施しない。
さらに、閉鎖部分８１の行程は、弁座９５への当接もし
くは上側のプレート２９の下端面９７への当接によって
軸方向で制限されるので、流体、たとえば燃料の極めて
正確な調量が保証されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による弁の断面図である。
【図２】図１に示した弁の孔付きユニットの断面図であ
る。
【符号の説明】
１ 弁長手方向軸線、 ３ 支持体、 ５ 貫通孔、
８ 操作ニードル、９ ガイド区分、 １１ 保持つ
ば、 １３ ガイドつば、 １４ コア、 １５ 可動
子、 １６ 板、 １８ 貫通孔、 ２１ 操作部材、
２２ 下端部、 ２３ 貫通開口、 ２５ 孔付きユ
ニット、 ２９，３２，３３ プレート、 ３５ 端
面、 ３７ 切欠き、 ３９ 上端面、 ４１ 底部、
４３ 供給ブシュ、 ４５ 底部分、 ４７ 円筒状
部分、 ４９ 横方向開口、 ５１供給室、 ５３ 長
手方向孔、 ５５ 切欠き、 ５７ 接触面、 ５９
下端面、 ６１ 流出開口、 ６３，６５ 区分、 ６
７ 環状溝、 ６９ シールリング、 ７１，７３ 環
状溝、 ７５ 操作開口、 ７７ 噴射開口、 ７８
上端面、 ７９，８０ 区分、 ８１ 閉鎖部分、 ８
３ ダイヤフラム範囲、 ８５ 支持範囲、 ８７ 下
端面、 ８９ 切欠き、 ９０ 流体流入通路、 ９１
流入室、 ９３ 環状溝、 ９５ 弁座、 ９７ 下
端面、 ９９供給ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウド ヤウアーニヒ ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン １ グスタフ−シュヴァープ−シュトラーセ 22 (72)発明者 ハンス−ペーター トラー ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン ブル クハルト ウー ヴェーバー シュトラー セ 37 (72)発明者 クルト ヴァイプレン ドイツ連邦共和国 メッツィンゲン ２ メッツィンガー シュトラーセ 14

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体を調量するための弁であって、弁長
    手方向軸線に対して同心的に配置された操作部材と、該
    操作部材のための操作開口を有する上側のプレートと、
    少なくとも１つの噴射開口を有する下側のプレートとが
    設けられている形式のものにおいて、上側のプレート
    （２９）と下側のプレート（３３）との間に、真ん中の
    プレート（３１）が配置されており、該真ん中のプレー
    トが、弁長手方向軸線（１）の方向で減じられた肉厚を
    有する弾性変形可能なダイヤフラム範囲（８３）と、半
    径方向で該ダイヤフラム範囲（８３）によって取り囲ま
    れた、少なくとも１つの噴射開口（７７）を閉鎖するた
    めに働く閉鎖部分（８１）とを有していることを特徴と
    する弁。
  2. 【請求項２】 軸方向で真ん中のプレート（３１）のダ
    イヤフラム範囲（８３）と下側のプレート（３３）との
    間に流入室（９１）が形成されており、該流入室に、前
    記閉鎖部分（８３）を上側のプレート（２９）の方向に
    移動させようとする開放圧が生ぜしめられるようになっ
    ている、請求項１記載の弁。
  3. 【請求項３】 開放圧として、弁に供給される流体の圧
    力が用いられる、請求項２記載の弁。
  4. 【請求項４】 上側のプレート（２９）と真ん中のプレ
    ート（３１）と下側のプレート（３３）とが、シリコン
    から形成されている、請求項１記載の弁。
  5. 【請求項５】 上側のプレート（２９）と真ん中のプレ
    ート（３１）と下側のプレート（３３）とが、異方性エ
    ッチングによって形成されている、請求項１から４まで
    のいずれか１項記載の弁。
  6. 【請求項６】 上側のプレート（２９）が真ん中のプレ
    ート（３１）と、該真ん中のプレート（３１）が下側の
    プレート（３３）と、それぞれボンディングによって結
    合されている、請求項４または５記載の弁。
  7. 【請求項７】 下側のプレート（３３）の前記真ん中の
    プレート（３１）に面した上端面（７８）に、少なくと
    も１つの噴射開口（７７）を取り囲む弁座（９５）が構
    成されており、該弁座が前記閉鎖部分（８１）と協働す
    るようになっている、請求項１記載の弁。
  8. 【請求項８】 真ん中のプレート（３１）に、下側のプ
    レート（３３）に面した下端面（８７）を起点として少
    なくとも１つの切欠き（８９）が構成されており、該切
    欠きが、半径方向で前記真ん中のプレート（３１）の外
    周面と、ダイヤフラム範囲（８３）との間に延びてい
    る、請求項１記載の弁。
  9. 【請求項９】 真ん中のプレート（３１）の前記切欠き
    （８９）と、下側のプレート（３３）の上端面（７８）
    とによって、流体流入通路（９０）が形成されている、
    請求項８記載の弁。
  10. 【請求項１０】 前記閉鎖部分（８１）が、操作されて
    ない状態でダイヤフラム範囲（８３）によって、上側の
    プレート（２９）と下側のプレート（３３）とに対して
    軸方向の間隔をおいて保持されるようになっている、請
    求項１記載の弁。
JP4297012A 1991-11-11 1992-11-06 弁 Pending JPH05203070A (ja)

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DE4202387.4 1992-01-29
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DE4136957.2 1992-01-29

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