JPH0520327U - Ｔａｂテープと電極の位置合わせ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 調整誤りにより位置合わせ誤差を防ぐ。 【構成】 プローブカード４の下側に配置されるカメラ
６と、カメラ６を移動する駆動機構７と、カメラ６の位
置情報を入力とする演算器８とを備え、プローブカード
４に位置マーク４Ａをつけ、ＴＡＢテープ１に位置マー
ク１Ｃをつけ、位置マーク４Ａと位置マーク１Ｃをカメ
ラ６により撮影し、演算器８で位置マーク４Ａの座標と
位置マーク１Ｃの座標を演算し、駆動機構５を駆動して
ＴＡＢテープ１と電極４の位置合わせをする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＴＡＢテープと電極の位置合わせ機構についてのものである。

【０００２】

【従来の技術】

次に、ＴＡＢテープの構成を図６により説明する。図６の１はＴＡＢテープ、 １ＡはＩＣチップ、１Ｂはパッドである。ＴＡＢテープ１には複数のパーフォレ ーションの列が両側にあけられる。ＴＡＢテープ１はポリイミド等の薄い樹脂フ ィルム上にパターンを形成し、中央にＩＣチップ１Ａをボンディングしたもので ある。

【０００３】 次に、従来技術によるＴＡＢテープ測定装置の構成を図７により説明する。供 給リール１１に巻かれたＴＡＢテープ１は、スプロケット３・４、収容リール１ ４の順に繰り出され、ＴＡＢテープ１はスプロケット３・４に直結されたモータ （図示省略）によりＴＡＢテープ１のピッチ分ずつ移動する。ＴＡＢテープ１が 移動すると、プッシャ−２が下降し、プローブカード４の電極３にＴＡＢテープ １を接触させ、ＴＡＢテープ１上のＩＣチップ１Ａを測定する。

【０００４】 次に、従来技術によるＴＡＢテープと電極の位置合わせ機構の構成を図８によ り説明する。なお、図８は実開平１−163335号公報の第１図と内容的には同じも のである。ＴＡＢテープ１はプーリ２Ａ・２Ｂの間を通過し、プッシャー２はボ ールねじ２Ｃの回転でＺ方向に移動する。クランプ２ＤはＴＡＢテープ１に対し プッシャー２の反対側に配置され、駆動機構２Ｅは、プッシャー２とクランプ３ をＸＹ方向に微動させる。

【０００５】 カメラ６は基準マークを撮影する。表示器９はカメラ６で撮影した基準マーク を表示する。表示器６に表示されている特定シンボルとＴＡＢテープ１の特定シ ンボルが一致するまで駆動機構２Ｅを微動させて、電極３とＴＡＢテープ１の位 置合わせをする。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ＴＡＢテープ１上のＩＣチップ１Ａを測定する前に、図７に示すようにプッシ ャー２の下のＩＣチップ１Ａのパッド１Ｂとプローブカード４上の電極３の位置 を調整する。この場合、調整誤りにより位置合わせに誤差がおきることがある。 この考案は、プローブカード４につけた第１の位置マークとＴＡＢテープ１につ けた第２の位置マークをカメラで撮影し、それらのデータと予め入力したデータ をもとに、演算器で演算してＴＡＢテープと電極３の位置合わせをするＴＡＢテ ープと電極の位置合わせ機構の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するため、この考案では、ＴＡＢテープ１の上側にプッシャー ２を配置し、ＴＡＢテープ１の下側に電極３を実装したプローブカード４を配置 し、プッシャー２を駆動機構５で下降させ、ＴＡＢテープ１をプッシャー２とプ ローブカード４で挟み、ＴＡＢテープ１と電極３を接触させ、ＴＡＢテープ１上 のＩＣチップ１Ａを測定するＴＡＢテープ測定装置において、プローブカード４ の下側に配置されるカメラ６と、カメラ６を移動する駆動機構７と、カメラ６の 位置情報を入力とする演算器８とを備え、プローブカード４に位置マーク４Ａを つけ、ＴＡＢテープ１に位置マーク１Ｃをつけ、位置マーク４Ａと位置マーク１ Ｃをカメラ６により撮影し、演算器８で位置マーク４Ａの座標と位置マーク１Ｃ の座標を演算し、駆動機構５を駆動してＴＡＢテープ１と電極４の位置合わせを する。

【０００８】

【作用】

次に、この考案によるＴＡＢテープと電極の位置合わせ機構の構成を図１によ り説明する。図１の１ＣはＴＡＢテープ１につけた位置マーク、４Ａはプローブ カード４につけた位置マーク、５はプッシャー２の駆動機構、７はカメラ６の駆 動機構、８は演算器である。

【０００９】 プッシャー２はＴＡＢテープ１の上側に配置され、電極３を実装したプローブ カード４はＴＡＢテープ１の下側に配置される。駆動機構５は図８の駆動機構２ Ｅと同じ作用をする。図１では、プッシャー２を駆動機構５で下降させ、ＴＡＢ テープ１をプッシャー２とプローブカード４で挟み、ＴＡＢテープ１と電極３を 接触させ、ＴＡＢテープ１上のＩＣチップ１Ａを図示を省略した測定器で測定す る。カメラ６はプローブカード４の下側に配置され、駆動機構７はカメラ６を移 動する。

【００１０】 図２は位置マーク１Ｃの説明用図面であり、図３は位置マーク４Ａの説明用図 面である。図４はＴＡＢテープ１、プローブカード４及びカメラ６の関係説明図 である。カメラ６でプローブカード４につけた位置マーク４Ａと、ＴＡＢテープ １につけた位置マーク１Ｃを撮影する。カメラ６を移動するのは、位置マーク４ Ａと位置マーク１Ｃの高さが違うので、ピント合わせをするためである。

【００１１】 演算器８はカメラ６の位置情報を入力とし、演算器８で位置マーク４Ａの座標 と位置マーク１Ｃの座標を演算する。演算器８の演算結果は、駆動機構５に送ら れ、駆動機構５を駆動してＴＡＢテープ１と電極４の位置合わせをする。

【００１２】 次に、ＴＡＢテープ１の上面から見た図を図５により説明する。駆動機構７を 駆動してカメラ６を移動させ、位置マーク４Ａを検出する。次に、駆動機構７を 駆動してカメラ６を移動させ、位置マーク１Ｃを検出する。

【００１３】 演算器８には、予め位置マーク４Ａ・１Ｃの座標を入力しておき、カメラ６で 検出した位置マーク４Ａ・１Ｃの座標を演算器８で演算させ、駆動機構５の移動 量を算出し、駆動機構５を駆動してＴＡＢテープ１の位置を補正する。これによ り、図５のように電極３がパッド１Ｂに重なるようになる。

【００１４】

【考案の効果】 この考案によれば、カメラを移動してプローブカードにつけた第１の位置マー クとＴＡＢテープにつけた第２の位置マークを検出し、カメラ出力を入力とする 演算器で座標を割り出し、演算器出力でプッシャーの駆動機構を微動させるので 、ＴＡＢテープと電極の位置合わせをすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるＴＡＢテープと電極の位置合わ
せ機構の構成図である。

【図２】位置マーク１Ｃの説明用図面である。

【図３】位置マーク４Ａの説明用図面である。

【図４】ＴＡＢテープ１、プローブカード４及びカメラ
６の関係説明図である。

【図５】ＴＡＢテープ１の上面から見た図である。

【図６】ＴＡＢテープの構成図である。

【図７】従来技術によるＴＡＢテープ測定装置の構成図
である。

【図８】従来技術によるＴＡＢテープと電極の位置合わ
せ機構の構成図である。

【符号の説明】

１ ＴＡＢ １Ａ ＩＣチップ １Ｂ パッド １Ｃ 位置マーク ２ プッシャー ３ 電極 ４ プローブカード ４Ａ 位置マーク ５ 駆動機構 ６ カメラ ７ 駆動機構 ８ 演算器

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＴＡＢテープ(1) の上側にプッシャー
   (2) を配置し、ＴＡＢテープ(1) の下側に電極(3) を実
   装したプローブカード(4) を配置し、プッシャー(2) を
   第１の駆動機構(5) で下降させ、ＴＡＢテープ(1) をプ
   ッシャー(2) とプローブカード(4) で挟み、ＴＡＢテー
   プ(1) と電極(3) を接触させ、ＴＡＢテープ(1) 上のＩ
   Ｃチップ(1A)を測定するＴＡＢテープ測定装置におい
   て、 プローブカード(4) の下側に配置されるカメラ(6) と、 カメラ(6) を移動する第２の駆動機構(7) と、 カメラ(6) の位置情報を入力とする演算器(8) とを備
   え、 プローブカード(4) に第１の位置マーク(4A)をつけ、 ＴＡＢテープ(1) に第２の位置マーク(1C)をつけ、 第１の位置マーク(4A)と第２の位置マーク(1C)をカメラ
   (6) により撮影し、演算器(8) で第１の位置マーク(4A)
   の座標と第２の位置マーク(1C)の座標を演算し、第１の
   駆動機構(5) を駆動してＴＡＢテープ(1) と電極(4) の
   位置合わせをすることを特徴とするＴＡＢテープと電極
   の位置合わせ機構。