JPH05206251A - オリエンテイションフラット位置合わせ装置 - Google Patents
オリエンテイションフラット位置合わせ装置Info
- Publication number
- JPH05206251A JPH05206251A JP1051492A JP1051492A JPH05206251A JP H05206251 A JPH05206251 A JP H05206251A JP 1051492 A JP1051492 A JP 1051492A JP 1051492 A JP1051492 A JP 1051492A JP H05206251 A JPH05206251 A JP H05206251A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- orientation flat
- carrier
- wafers
- orientation
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエーハのオリフラ（オリエンテイションフ
ラット）の位置を揃える装置の構造に関し、オリフラ合
わせの精度向上を目的とする。 【構成】 キャリア台11と、ウェーハ１の周縁に接して
これを回転させる駆動ローラ12と、上面の高さが等しい
二個の支持部13, 14と、支持部13, 14を上下に移動させ
る上下移動手段15とを有する。先ず複数のウェーハ１を
直立保持したウエーハキャリア２をキャリア台11に載置
し、駆動ローラ12によりウェーハ１を回転してオリフラ
1aの位置が下側となるように粗アライメントし、次に二
個の支持部13, 14がオリフラ1aの中央の両側で支持して
ウェーハ１を持ち上げてオリフラ1aを水平にしたのち下
降して再びウェーハキャリア２に直立保持させる。
ラット）の位置を揃える装置の構造に関し、オリフラ合
わせの精度向上を目的とする。 【構成】 キャリア台11と、ウェーハ１の周縁に接して
これを回転させる駆動ローラ12と、上面の高さが等しい
二個の支持部13, 14と、支持部13, 14を上下に移動させ
る上下移動手段15とを有する。先ず複数のウェーハ１を
直立保持したウエーハキャリア２をキャリア台11に載置
し、駆動ローラ12によりウェーハ１を回転してオリフラ
1aの位置が下側となるように粗アライメントし、次に二
個の支持部13, 14がオリフラ1aの中央の両側で支持して
ウェーハ１を持ち上げてオリフラ1aを水平にしたのち下
降して再びウェーハキャリア２に直立保持させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造工程に
おいてウェーハのオリエンテイション・フラット（以
下、オリフラと記す）の位置を揃えるオリフラ合わせ装
置の構造に関する。
おいてウェーハのオリエンテイション・フラット（以
下、オリフラと記す）の位置を揃えるオリフラ合わせ装
置の構造に関する。
【０００２】半導体装置の製造工程のうちウェーハ処理
工程では、ウェーハを処理装置にローディングする前に
オリフラを基準として所定の向きに位置決めすることが
一般に行われている。これをオリフラ合わせと称し、ウ
ェーハ処理装置がバッチ方式の場合には通常、装置間搬
送用の汎用ウェーハキャリア（カセット）等に収容した
多数のウェーハを一括してオリフラ合わせする。
工程では、ウェーハを処理装置にローディングする前に
オリフラを基準として所定の向きに位置決めすることが
一般に行われている。これをオリフラ合わせと称し、ウ
ェーハ処理装置がバッチ方式の場合には通常、装置間搬
送用の汎用ウェーハキャリア（カセット）等に収容した
多数のウェーハを一括してオリフラ合わせする。
【０００３】
【従来の技術】従来のオリフラ合わせ装置の例を図２を
参照しながら説明する。図２は従来例の説明図であり、
(a)→(c) がオリフラ合わせの過程を順に示している。
尚、同図において図１と同じものには同一の符号を付与
した。この装置はキャリア台11、駆動ローラ12等からな
っている。２は多数のウェーハ１を直立保持するウェー
ハキャリアであり、各ウェーハ１はウェーハキャリア２
内部の対向する傾斜面2aに接触して支持される。
参照しながら説明する。図２は従来例の説明図であり、
(a)→(c) がオリフラ合わせの過程を順に示している。
尚、同図において図１と同じものには同一の符号を付与
した。この装置はキャリア台11、駆動ローラ12等からな
っている。２は多数のウェーハ１を直立保持するウェー
ハキャリアであり、各ウェーハ１はウェーハキャリア２
内部の対向する傾斜面2aに接触して支持される。
【０００４】駆動ローラ12はモータ等からなる回転手段
（図示は省略）により水平の回転軸の周りを回転する。
この駆動ローラ12はウェーハキャリア２に収容される総
てのウェーハ１に接触可能な長さを有する。又、この駆
動ローラ12の高さは、ウェーハキャリア２をキャリア台
11の所定の位置に載置した際に水平状態のオリフラ1aと
の間隙が略ゼロとなるように調整されている。
（図示は省略）により水平の回転軸の周りを回転する。
この駆動ローラ12はウェーハキャリア２に収容される総
てのウェーハ１に接触可能な長さを有する。又、この駆
動ローラ12の高さは、ウェーハキャリア２をキャリア台
11の所定の位置に載置した際に水平状態のオリフラ1aと
の間隙が略ゼロとなるように調整されている。
【０００５】この装置により次のようにしてオリフラ合
わせを行う。先ず、駆動ローラ12を回転した状態で、オ
リフラ1aの位置がランダムな多数のウェーハ１を収容し
たウェーハキャリア２を、オリフラ合わせ装置の上方か
らキャリア台11上の所定の位置にセットする。ウェーハ
１はその外周が駆動ローラ12に接触し、ウェーハキャリ
ア２から持ち上げられて回転するが、オリフラ1aが下側
で略水平になるとウェーハ１はその外周がウェーハキャ
リア２の傾斜面2aに接触して回転が止まる。
わせを行う。先ず、駆動ローラ12を回転した状態で、オ
リフラ1aの位置がランダムな多数のウェーハ１を収容し
たウェーハキャリア２を、オリフラ合わせ装置の上方か
らキャリア台11上の所定の位置にセットする。ウェーハ
１はその外周が駆動ローラ12に接触し、ウェーハキャリ
ア２から持ち上げられて回転するが、オリフラ1aが下側
で略水平になるとウェーハ１はその外周がウェーハキャ
リア２の傾斜面2aに接触して回転が止まる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の装置
では、たとえ装置を高精度に調整しても、ウェーハ及び
ウェーハキャリアの寸法のバラツキ等の影響を受けて充
分なオリフラ合わせ精度が得られない、という問題があ
った。オリフラ合わせ精度が充分でないと、例えばオリ
フラ部でウェーハの有無を検出する自動ウェーハ・ハン
ドリング装置では検出ミスの原因となる。
では、たとえ装置を高精度に調整しても、ウェーハ及び
ウェーハキャリアの寸法のバラツキ等の影響を受けて充
分なオリフラ合わせ精度が得られない、という問題があ
った。オリフラ合わせ精度が充分でないと、例えばオリ
フラ部でウェーハの有無を検出する自動ウェーハ・ハン
ドリング装置では検出ミスの原因となる。
【０００７】本発明はこのような問題を解決して、ウェ
ーハキャリアに直立保持された多数のウェーハを一括し
て高精度のオリフラ合わせを行うことが可能なオリフラ
合わせ装置を提供することを目的とする。
ーハキャリアに直立保持された多数のウェーハを一括し
て高精度のオリフラ合わせを行うことが可能なオリフラ
合わせ装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的は、本発明によ
れば、[1] 上面の高さが等しい二個の支持部と該支持部
を上下に移動させる上下移動手段とを備え、該二個の支
持部が直立保持されたウェーハの下方から上昇して該ウ
ェーハのオリエンテイションフラットに接触して該ウェ
ーハを持ち上げるように構成したことを特徴とするオリ
エンテイションフラット位置合わせ装置とすることで、
[2] 前記[1] に加え、直立保持された前記ウェーハの外
周に接触して前記オリエンテイションフラットの位置が
下側となるまで該ウェーハを回転させる駆動ローラを有
することを特徴とするオリエンテイションフラット位置
合わせ装置とすることで、達成される。
れば、[1] 上面の高さが等しい二個の支持部と該支持部
を上下に移動させる上下移動手段とを備え、該二個の支
持部が直立保持されたウェーハの下方から上昇して該ウ
ェーハのオリエンテイションフラットに接触して該ウェ
ーハを持ち上げるように構成したことを特徴とするオリ
エンテイションフラット位置合わせ装置とすることで、
[2] 前記[1] に加え、直立保持された前記ウェーハの外
周に接触して前記オリエンテイションフラットの位置が
下側となるまで該ウェーハを回転させる駆動ローラを有
することを特徴とするオリエンテイションフラット位置
合わせ装置とすることで、達成される。
【０００９】
【作用】本発明によれば、ウェーハキャリアに直立保持
されているウェーハを、予めオリフラがウェーハの下側
で水平に比較的近い姿勢になるように従来技術によりプ
リアライメントを行った後、二個の支持部がオリフラ上
の二点で支持して持ち上げる。この二個の支持部の上面
の高さは等しいから、オリフラが傾斜していると先ず一
方の支持部だけがオリフラに接触する。支持部が上昇す
るに従ってオリフラの傾斜は次第に矯正され、他方の支
持部がオリフラに接触した時点で水平になる。従って、
プリアライメントの精度がラフであっても、従来技術で
は得られない高精度のオリフラ合わせが可能となる。
尚、ウェーハが僅かでも持ち上がれば、二個の支持部が
共に接触していることになる。
されているウェーハを、予めオリフラがウェーハの下側
で水平に比較的近い姿勢になるように従来技術によりプ
リアライメントを行った後、二個の支持部がオリフラ上
の二点で支持して持ち上げる。この二個の支持部の上面
の高さは等しいから、オリフラが傾斜していると先ず一
方の支持部だけがオリフラに接触する。支持部が上昇す
るに従ってオリフラの傾斜は次第に矯正され、他方の支
持部がオリフラに接触した時点で水平になる。従って、
プリアライメントの精度がラフであっても、従来技術で
は得られない高精度のオリフラ合わせが可能となる。
尚、ウェーハが僅かでも持ち上がれば、二個の支持部が
共に接触していることになる。
【００１０】
【実施例】本発明に基づくオリフラ合わせ装置の実施例
を図１を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例
の説明図であり、 (a)→(c) がオリフラ合わせの過程を
順に示している。同図において、１はウェーハ、1aはウ
ェーハ１のオリフラ、２はウェーハキャリア、2aはウェ
ーハキャリア２の傾斜面、11はキャリア台、12は駆動ロ
ーラ、13及び14は支持部、15は上下移動手段である。こ
れらのうち、11〜15がオリフラ合わせ装置の構成部分で
ある。
を図１を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例
の説明図であり、 (a)→(c) がオリフラ合わせの過程を
順に示している。同図において、１はウェーハ、1aはウ
ェーハ１のオリフラ、２はウェーハキャリア、2aはウェ
ーハキャリア２の傾斜面、11はキャリア台、12は駆動ロ
ーラ、13及び14は支持部、15は上下移動手段である。こ
れらのうち、11〜15がオリフラ合わせ装置の構成部分で
ある。
【００１１】ウェーハキャリア２は多数（例えば25枚）
のウェーハ１を直立保持するものであり、上下面が開口
している。各ウェーハ１はウェーハキャリア２内部の対
向する傾斜面2aに接触して支持される。
のウェーハ１を直立保持するものであり、上下面が開口
している。各ウェーハ１はウェーハキャリア２内部の対
向する傾斜面2aに接触して支持される。
【００１２】駆動ローラ12はモータ等からなる回転手段
（図示は省略）により水平の回転軸の周りを回転する。
この駆動ローラ12はウェーハキャリア２に収容される総
てのウェーハ１に接触可能な長さを有する。又、この駆
動ローラ12の高さは、ウェーハキャリア２をキャリア台
11の所定の位置に載置した際に水平状態のオリフラ1aと
僅かな間隙を生じるように調整されている。
（図示は省略）により水平の回転軸の周りを回転する。
この駆動ローラ12はウェーハキャリア２に収容される総
てのウェーハ１に接触可能な長さを有する。又、この駆
動ローラ12の高さは、ウェーハキャリア２をキャリア台
11の所定の位置に載置した際に水平状態のオリフラ1aと
僅かな間隙を生じるように調整されている。
【００１３】支持部13及び14は駆動ローラ12と平行にこ
れを挟んで対峙した状態で連結されている。この支持部
13及び14はウェーハキャリア２に収容される総てのウェ
ーハ１に接触可能な長さを有する。これらは上下移動手
段15（例えばエアシリンダ）により上下に移動するが、
これらの上面の高さは常に等しい。
れを挟んで対峙した状態で連結されている。この支持部
13及び14はウェーハキャリア２に収容される総てのウェ
ーハ１に接触可能な長さを有する。これらは上下移動手
段15（例えばエアシリンダ）により上下に移動するが、
これらの上面の高さは常に等しい。
【００１４】この装置により次のようにしてオリフラ合
わせを行う。先ず、支持部13及び14を下方に下げ、駆動
ローラ12を回転した状態で、オリフラ1aの位置がランダ
ムな多数のウェーハ１を収容したウェーハキャリア２
を、オリフラ合わせ装置の上方からキャリア台11上の所
定の位置にセットする。ウェーハ１はその外周が駆動ロ
ーラ12に接触し、ウェーハキャリア２から持ち上げられ
て回転するが、接触点がオリフラ1aの中央に近づくとウ
ェーハ１はその外周がウェーハキャリア２の傾斜面2aに
接触して回転が止まる。この時オリフラ1aは水平に対し
て若干傾斜している（この傾斜は５°程度まで許容され
る）。ここで駆動ローラ12の回転を停止する。
わせを行う。先ず、支持部13及び14を下方に下げ、駆動
ローラ12を回転した状態で、オリフラ1aの位置がランダ
ムな多数のウェーハ１を収容したウェーハキャリア２
を、オリフラ合わせ装置の上方からキャリア台11上の所
定の位置にセットする。ウェーハ１はその外周が駆動ロ
ーラ12に接触し、ウェーハキャリア２から持ち上げられ
て回転するが、接触点がオリフラ1aの中央に近づくとウ
ェーハ１はその外周がウェーハキャリア２の傾斜面2aに
接触して回転が止まる。この時オリフラ1aは水平に対し
て若干傾斜している（この傾斜は５°程度まで許容され
る）。ここで駆動ローラ12の回転を停止する。
【００１５】次に、支持部13及び14を上昇させる。これ
らの一方がオリフラ1aに接触した時点で他方は接触しな
い。この状態が図１(a) である。更に上昇を続けるとウ
ェーハ１の姿勢は次第に矯正され、双方の支持部13及び
14がオリフラ1aに接触した時点でオリフラ1aは水平にな
る。この状態が図１(b) である。その後支持部13及び14
を下降させるとオリフラ1aが水平に保たれたままウェー
ハ１がウェーハキャリア２に直立保持される。この状態
が図１(c) である。
らの一方がオリフラ1aに接触した時点で他方は接触しな
い。この状態が図１(a) である。更に上昇を続けるとウ
ェーハ１の姿勢は次第に矯正され、双方の支持部13及び
14がオリフラ1aに接触した時点でオリフラ1aは水平にな
る。この状態が図１(b) である。その後支持部13及び14
を下降させるとオリフラ1aが水平に保たれたままウェー
ハ１がウェーハキャリア２に直立保持される。この状態
が図１(c) である。
【００１６】本発明は以上の実施例に限定されることな
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
駆動ローラ12とは異なるプリアライメント機構を備えた
装置であっても、本発明は有効である。又、プリアライ
メントがなされた状態で直立保持されたウェーハのオリ
フラ合わせを行う装置においてはプリアライメント機構
は不要である。
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
駆動ローラ12とは異なるプリアライメント機構を備えた
装置であっても、本発明は有効である。又、プリアライ
メントがなされた状態で直立保持されたウェーハのオリ
フラ合わせを行う装置においてはプリアライメント機構
は不要である。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればウ
ェーハキャリアに直立保持された多数のウェーハを一括
して高精度のオリフラ合わせを行うことが可能なオリフ
ラ合わせ装置を提供することが出来る。
ェーハキャリアに直立保持された多数のウェーハを一括
して高精度のオリフラ合わせを行うことが可能なオリフ
ラ合わせ装置を提供することが出来る。
【図１】 本発明の実施例の説明図である。
【図２】 従来例の説明図である。
１ ウェーハ 1a オリエンテイションフラット（オリフラ） ２ ウェーハキャリア 2a 傾斜面 11 キャリア台 12 駆動ローラ 13, 14 支持部 15 上下移動手段
Claims (2)
- 【請求項１】 上面の高さが等しい二個の支持部(13, 1
4)と該支持部(13,14) を上下に移動させる上下移動手段
(15)とを備え、 該二個の支持部(13, 14)が直立保持されたウェーハ(1)
の下方から上昇して該ウェーハ(1) のオリエンテイショ
ンフラット(1a)に接触して該ウェーハ(1) を持ち上げる
ように構成したことを特徴とするオリエンテイションフ
ラット位置合わせ装置。 - 【請求項２】 直立保持された前記ウェーハ(1) の外周
に接触して前記オリエンテイションフラット(1a)の位置
が下側となるまで該ウェーハ(1) を回転させる駆動ロー
ラ(12)を有することを特徴とする請求項１記載のオリエ
ンテイションフラット位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1051492A JPH05206251A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | オリエンテイションフラット位置合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1051492A JPH05206251A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | オリエンテイションフラット位置合わせ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05206251A true JPH05206251A (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=11752334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1051492A Withdrawn JPH05206251A (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | オリエンテイションフラット位置合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05206251A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5636960A (en) * | 1992-07-29 | 1997-06-10 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for detecting and aligning a substrate |
| US6462411B1 (en) * | 1997-12-05 | 2002-10-08 | Kokusai Electric Co., Ltd | Semiconductor wafer processing apparatus for transferring a wafer mount |
-
1992
- 1992-01-24 JP JP1051492A patent/JPH05206251A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5636960A (en) * | 1992-07-29 | 1997-06-10 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for detecting and aligning a substrate |
| US6462411B1 (en) * | 1997-12-05 | 2002-10-08 | Kokusai Electric Co., Ltd | Semiconductor wafer processing apparatus for transferring a wafer mount |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |