JPH104132A

JPH104132A - チップ移載装置

Info

Publication number: JPH104132A
Application number: JP17702596A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Kubo; 智弘久保
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-06-17
Filing date: 1996-06-17
Publication date: 1998-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】チップの移載に要する時間を短縮でき、機械
的な故障が少なく、かつ経済的なチップ移載装置を提供
する。【解決手段】チップ移載装置３０は、チップを吸着保
持する吸着ホルダ２２ａを下向きに備えたインデックス
テーブル１４と、インデックステーブル１４を回転させ
る回転駆動装置１８と、吸着ホルダ２２ａの下方に位置
し、チップを載せるチップ台１６と、チップ台１６を昇
降させる昇降装置３６とを備えている。本装置では、チ
ップ１５を載せたチップ台１６を昇降装置３６により上
昇させ、チップ１５を吸着ホルダ２２ａ下端に接触、吸
着させる。次いで、インデックステーブル１４を所定の
位置に回転させる。インデックステーブル１４の回転開
始と同時にチップ台１６を下降させ、次のチップをチッ
プ台１５上に載せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ移載装置に
関し、更に詳しくは、チップの移載に要する時間を短縮
してインデックスタイムを短くできる、簡単な機構のチ
ップ移載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの製造過程では、例えば
検査工程では、チップを検査するためにチップを一つの
場所から別の場所に移載する作業が頻繁に行われてい
る。チップ移載装置の一つの例は、インデックステーブ
ルに設けられた吸着ホルダでチップ台上のチップを吸
着、保持し、インデックステーブルを回転させて、チッ
プ台上からから別の場所にチップを移載するいわゆるイ
ンデックス方式のチップ移載装置である。図４（ａ）及
び（ｂ）は、それぞれ、従来のインデックス方式のチッ
プ移載装置の斜視図及び矢視Ｉ−Ｉの側面図である。チ
ップ移載装置１０は、チップを吸着保持して水平面で回
転する円板状のインデックステーブル１４と、移載する
チップ１５を予め載せておくチップ台１６と、インデッ
クステーブル１４をその中心の周りに回転させる回転駆
動装置１８とから構成される。

【０００３】インデックステーブル１４の下側の互いに
直交する対角線上の外周部４カ所には、チップを下端に
吸着し、吸着ホルダ駆動装置２４により昇降動する吸着
ホルダ２２が設けられている。吸着ホルダ駆動装置２４
は、昇降機構に加えて、吸着ホルダ２２の昇降動を案内
する高精度なリニアガイド及びその他シャフト、スプリ
ング、カム等の精巧な部品から構成されている。

【０００４】図５（ａ）から（ｄ）は、チップ１５を移
載する際のチップ移載装置１０の各動作毎の吸着ホルダ
２２及びチップ台１６の部分拡大側面図である。チップ
移載装置１０を用いてチップを移載するには、先ず、図
５（ａ）に示すように、チップ１５をチップ台１６に載
せ、次いで、回転駆動装置１８によりインデックステー
ブル１４を回転し、吸着ホルダ２２をチップ１５の真上
に位置させ、回転を停止する。次いで、図５（ｂ）に示
すように、駆動装置２４により吸着ホルダ２２を下降さ
せてチップ１５に接触させ、チップ１５を吸着させる。
その後、図５（ｃ）に示すように、チップ１５を吸着保
持した吸着ホルダ２２を上昇させる。続いて、図５
（ｄ）に示すように、インデックステーブル１４を所定
角度回転させて停止し、次いで吸着ホルダ２２を所定位
置まで下降させ、吸着作用を解除して、チップ１４を所
定位置に載置する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のチップ
移載装置には以下のような問題があった。第１には、イ
ンデックステーブルがチップ台上に位置決めされ、吸着
ホルダが下降してチップを吸着し、更に上昇した後に、
インデックステーブルの回転を開始する必要があるの
で、チップの移載に要する時間（即ち、インデックスタ
イム）が長くなることである。第２には、インデックス
テーブルの回転動作と吸着ホルダの昇降動作を交互に行
うために、機械的な故障が発生し易く、生産性の向上が
難しいことである。第３には、チップ移載装置の製作コ
ストが嵩むことである。即ち、吸着ホルダ駆動装置を吸
着ホルダに設けているので、吸着ホルダ駆動装置の重量
によりインデックステーブルの慣性モーメントが大きく
なって、大型の回転駆動装置が必要になり、また、イン
デックステーブルが４分割、６分割、更には８分割と多
分割になるにつれて、その分割数の数だけ吸着ホルダ駆
動装置が必要になるので、製作コストが嵩むことであ
る。

【０００６】以上のような事情に照らして、本発明の目
的は、チップの移載に要する時間を短縮でき、機械的な
故障が少なく、かつ経済的なチップ移載装置を提供する
ことである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るチップ移載装置は、上面にチップを載
置させて昇降動するチップ台と、下端にチップを吸着保
持する吸着ホルダを下側に備えて、自在に回転するイン
デックステーブルと、インデックステーブルを回転さ
せ、インデックステーブルの吸着ホルダの下端をチップ
台上に位置決めする回転駆動装置とを備えていることを
特徴としている。

【０００８】インデックステーブルの平面形状は、特に
制約はなく、円板でも角板でも良い。また、吸着ホルダ
は、損傷を与えずにチップを吸着保持できる限り、特に
制約はない。本発明のチップ移載装置を用いてチップを
吸着保持して移載するには、まず、回転駆動装置により
インデックステーブルを回転させ、チップを載せたチッ
プ台の真上に吸着ホルダを位置させる。次いで、チップ
台を上昇させ、チップ台上のチップを吸着ホルダに吸着
させる。続いて、チップ台を下降させると同時にインデ
ックステーブルを回転し始め、所定の角度回転させたと
ころで停止させ、吸着ホルダの吸着作用を解除してチッ
プを所定場所に載置する。

【０００９】本発明では、従来のようにインデックステ
ーブルではなく、チップ台に昇降機構を備えているの
で、チップ台の昇降動とインデックステーブルの回転動
とを同時に行うことができ、従って、チップの移載に要
する時間を従来に比べ大幅に短縮させることができる。
また、チップ移載装置の機構が単純になって、故障の発
生が減少し、更には製作コストを節減することができ
る。本発明に係るチップ移載装置は、チップの種類には
関係なく適用でき、例えば、半導体デバイス等のチップ
の移載に好適に適用できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に、実施例を挙げ、添付図面
を参照して、本発明の実施の形態を具体的に説明する。実施例本実施例は、本発明に係るチップ移載装置の一例をデバ
イスチップに適用した例である。図１（ａ）及び（ｂ）
は、それぞれ、本実施例のチップ移載装置の斜視図及び
矢視II−IIの側面図である。図１の符号は、チップ移載
装置１０と同じ部品には同じ符号を付し、その説明を省
略する。本実施例のチップ移載装置３０は、インデック
ステーブル１４と、チップ台１６と、チップ台１６を昇
降させる空気圧式昇降装置３６と、昇降装置３６を載せ
た設置台３２とを備えている。また、吸着ホルダ２２
が、吸着ホルダ駆動装置２４を備えることなく、インデ
ックステーブル１４の下面に固定されていることを除い
て、インデックステーブル１４の構成は、チップ移載装
置１０のインデックステーブルと同じ構成である。

【００１１】図２（ａ）から（ｃ）は、チップ１５を吸
着保持して移載する際のチップ移載装置３０の各動作毎
の吸着ホルダ２２及びチップ台１６の部分拡大側面図で
ある。チップ移載装置３０を用いてチップを吸着保持し
て移載するには、図２（ａ）に示すように、先ず、チッ
プ台１６の上面３８にチップ１５を載せる。一方、回転
駆動装置１８によりインデックステーブル１４を回転さ
せ、チップ１５を載せたチップ台１６の真上に吸着ホル
ダ２２ａを位置させる。次いで、図２（ｂ）に示すよう
に、昇降装置３６を駆動してチップ台１６を上昇させ
て、チップ１５を吸着ホルダ２２ａの下端に接触、吸着
させる。次に、図２（ｃ）に示すように、昇降装置３６
を駆動して、チップ台１６を下降させると同時に、イン
デックステーブル１４の回転を開始し、所定角度回転さ
せる。かつ、チップ台１６を下降させながら、チップ台
上面３８には次の吸着ホルダ２２ｂに吸着させるチップ
（図示せず）を載せる。吸着ホルダ２２ａは、インデッ
クステーブル１４が所定角度回転して停止した直後に、
チップ１５を解離して、所定の場所に載置する。そこ
で、チップ１５には、所定の作業、例えばチップ検査が
施される。

【００１２】図２（ｃ）に示した態様とは別に、吸着ホ
ルダ２２ａにチップ１５を吸着させた後、図３（ａ）に
示すように、チップ台１６が元の位置に下降するまで、
インデックステーブル１４を停止させておき、チップ台
１６の下降が終了した後に図３（ｂ）に示すように、イ
ンデックステーブル１４の回転を開始させるようにする
こともできる。

【００１３】本実施例では、昇降装置３６をチップ台１
６に備え、従来のようにインデックステーブルには吸着
ホルダを昇降動させる駆動装置を備えていないので、チ
ップ移載装置の機構が単純になる。また、インデックス
テーブルの回転動とチップ台の昇降動とを同時に行うこ
とができるので、チップの移載に要する時間を大幅に短
縮することができる。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、昇降機構を、従来のよ
うにインデックステーブルではなく、チップ台に備えて
いるので、（１）チップを吸着させるためのチップ台昇
降動と、インデックステーブルの回転動とを同時に行う
ことができ、従って、チップ移載に要する時間を従来に
比べ大幅に短縮することができる。また（２）チップ移
載装置の機構が単純になって、故障の発生頻度が減少
し、かつ製作コストを節減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本実施例
のチップ移載装置の斜視図及び矢視II−IIの側面図であ
る。

【図２】図２（ａ）から（ｃ）は、本実施例のチップ移
載装置を用いて、チップ移載する際の各工程毎の吸着ホ
ルダ及びチップ台の部分拡大側面図である。

【図３】図３（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本実施例
のチップ移載装置を用いて、チップを移載する際の吸着
ホルダ及びチップ台の部分拡大側面図である。

【図４】図４（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、従来のチ
ップ移載装置の一例の斜視図及び矢視Ｉ−Ｉの側面図で
ある。

【図５】図５（ａ）から（ｄ）は、従来のチップ移載装
置を用いて、チップを移載する際の各工程毎の吸着ホル
ダとチップ台の部分拡大側面図である。

【符号の説明】

１０……従来のチップ移載装置、１４……インデックス
テーブル、１５……チップ、１６……チップ台、１８…
…回転駆動装置、２２ａ、ｂ……吸着ホルダ、２４……
駆動装置、３０……本発明に係るチップ移載装置、３２
……設置台、３６……昇降装置、３８……上面。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上面にチップを載置させて昇降動するチ
ップ台と、下端にチップを吸着保持する吸着ホルダを下側に備え
て、自在に回転するインデックステーブルと、インデックステーブルを回転させ、インデックステーブ
ルの吸着ホルダの下端をチップ台上に位置決めする回転
駆動装置とを備えていることを特徴とするチップ移載装
置。
【請求項２】チップ台が、流体圧アクチュエータにより
昇降動することを特徴とする請求項１のチップ移載装
置。