JPH0520889U - 基板搬送用チヤツクと基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板を不用意に損傷させたり、電気的に不良
にすることなく、基板を所定の場所から所定の場所に搬
送することを可能とする基板搬送用チャックと基板搬送
装置を提供することを目的とする。 【構成】 水平方向に移動自在に配置されるとともに昇
降自在に配置されたチャック本体と、上記チャック本体
に取付けられ圧力流体の供給・排出により膨張・収縮す
る袋体を備えた複数個のチャック要素と、を具備した基
板搬送用チャックである。又、上記基板搬送用チャック
を組み込んだ基板搬送装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、各種電子機器が取付けられたり、プリントされたりしている電気の 基板を搬送するときに使用する基板搬送用チャックと、該基板搬送用チャックを 組み込んだ基板搬送装置に係り、特に、基板を直接掴む部分の構成を改良したも のに関する。

【０００２】

【従来の技術】

各種電子機器の製造ラインにおいては、基板上に各種電子機器が組み込まれた り、或いは、電子回路がプリントされたりしており、その際、上記基板は複数個 の工程を経るべく適宜所定の場所から所定の場所に搬送されていく。従来、この 種の基板の搬送作業は、ベルトコンベア或いは搬送ロボット等によって行われて いた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来の構成によると次のような問題があった。ベルトコンベアだけで搬送 する構成では限界があるために、その間に各種の搬送ロボットが使用されている 。上記搬送ロボットは、薄板状の基板を両面から掴むようにして保持し、これを 所定の場所まで搬送した後、離すという構成が一般的である。ところが、そのよ うな構成の搬送ロボットを使用した場合には、基板を損傷させてしまうことがあ った。又、基板を掴んだときに、基板上の回路を電気的に接続させてしまうよう なこともあり、それによって、基板上の回路が損傷してしまうようなこともあっ た。

【０００４】 本考案はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、基 板を不用意に損傷させたり、電気的に不良にすることなく、基板を所定の場所か ら所定の場所に搬送することを可能とする基板搬送用チャックと基板搬送装置を 提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するべく本願考案による基板搬送用チャックは、水平方向に移 動自在に配置されるとともに昇降自在に配置されたチャック本体と、上記チャッ ク本体に取付けられ圧力流体の供給・排出により膨張・収縮する袋体を備えた複 数個のチャック要素と、を具備し、上記複数個のチャック要素の袋体内に圧力流 体を供給することによって袋体を膨張させて基板の側部を掴むとともに、圧力流 体を排出することにより袋体を収縮させて基板を離すようにしたことを特徴とす るものである。

【０００６】 又、本願考案による基板搬送装置は、装置本体と、上記装置本体に取付けられ 隣接する別の場所より搬送されてくる基板を受け入れて装置本体内の所定位置ま で搬送する搬送手段と、上記装置本体に取付けられ上記搬送手段によって所定位 置まで搬送された基板を所定量だけ上昇させる上昇手段と、上記装置本体に取付 けられ上記上昇手段によって上昇された基板を掴んで所定場所まで搬送する請求 項１記載の基板搬送用チャックと、を具備したことを特徴とするものである。そ の際、基板搬送用チャックを、複数個のチャック要素を直交する二軸方向に移動 させて任意の位置に固定させるものとして、それによって、基板の大きさに適宜 対応するように構成することが考えられる。

【０００７】

【作用】

まず、本願考案による基板搬送用チャックであるが、これは、複数個のチャッ ク要素を備えていて、それぞれのチャック要素には袋体が取付けられている。こ の袋体は、圧力流体の供給・排出によって、膨張・収縮する構成のものである。 そして、基板を掴む場合には、圧力流体を供給することにより袋体を膨張させて 、複数個の袋体によって基板を側方から掴む。又、掴んだ基板を離す場合には、 圧力流体を排出して袋体を収縮させればよい。

【０００８】 又、本願考案による基板搬送装置の場合であるが、搬送手段上に別の場所から 基板が搬送されてくる。搬入された基板は搬送手段によって所定の場所まで搬送 される。次に、上昇手段によって基板が所定量だけ上昇される。次に、基板搬送 用チャックが下降して上記基板を掴む。次に、基板を掴んだ基板搬送用チャック が移動して基板を所定の場所まで搬送する。そして、掴んだ基板を離すものであ る。又、基板搬送用チャックの各チャック要素を直交する二軸方向に移動可能に 設けた場合には、予め基板の大きさに応じた位置に固定することになる。

【０００９】

【実施例】

以下、図１ないし図５を参照して本考案の一実施例を説明する。まず、装置本 体１があり、この装置本体１は、例えば、基板製造ラインの所定の場所に配置さ れている。又、装置本体１は、図に示すように、４本の脚部３及び各種フレーム 等から構成されている。上記装置本体１には、搬送手段５が設置されている。こ の搬送手段５は、図２に示すように、左右両側部に配置された一対のベルトコン ベア７、７’から構成されている。上記ベルトコンベア７は、図１に示すように 、駆動モータ９と、複数個（図では４個）の回転体１１と、上記回転体１１に巻 回されたベルト１３とから構成されている。上記ベルトコンベア７’も同様の構 成になっている。

【００１０】 装置本体１には、図中右方向から基板（図２に仮想線で示す）１５が搬送され てくる。搬送されてきた基板１５は、図２に示すように、上記ベルトコンベア７ 、７’のベルト１３、１３上に搬入される。搬入された基板１５は、ベルトコン ベア７、７’によって、図２に示す位置まで搬送される。尚、この実施例では、 搬送手段５を一対のベルトコンベア７、７’によって構成しているが、それに限 定されるものではなく、１個のベルトコンベア、３個以上のベルトコンベアによ って構成してもよく、さらに、ベルトコンベア以外の種類の搬送手段を採用して もよい。

【００１１】 装置本体１の図中左側端部には、基板１５を所定量だけ上昇させる上昇手段１ ７が設けられている。上記上昇手段１７は、左右両側部に配置された一対のリフ ト機構１９、１９’から構成されている。リフト機構１９は、エアーシリンダ２ １と、このエアーシリンダ２１のロッド２３に固定された台２５とから構成され ている。上記リフト機構１９’についても同様の構成になっている。そして、上 記リフト機構１９、１９’のエアーシリンダ２１にエアーを供給することにより 、ロッド２３を図中上方に伸張させ、それによって、台２５を所定量だけ上昇さ せる（図１中仮想線で示す）。これによって、ベルトコンベア７、７’上に載置 されていた基板１５が所定量だけ浮上した状態となる。

【００１２】 装置本体１の上部には基板搬送用チャック２７が取付けられている。上記基板 搬送用チャック２７は、装置本体１に取付けられたロッドレスシリンダ２９に取 付けられており、このロッドレスシリンダ２９によって、図中左右方向に移動可 能に設置されている。つまり、ロッドレスシリンダ２９は、図１中仮想線で示す 位置から実線で示す位置まで往復動し、それに伴って、基板搬送用チャック２７ も、図中仮想線で示す位置から実線で示す位置まで移動するものである。

【００１３】 基板搬送用チャック２７は、チャック本体３１を備えており、このチャック本 体３１は、エアーシリンダ３３を介して上記ロッドレスシリンダ２９に取付けら れている。上記エアーシリンダ３３にエアーを供給・排出することにより、チャ ック本体３１ひいては基板搬送用チャック２７を所定量だけ昇降させるものであ る。

【００１４】 上記チャック本体３１の下面側には、複数個のチャック要素３５が取付けられ ている。すなわち、基板１５を図２中上下方向より挟むように、図２中上下両側 部に任意個数ずつ（図では３個ずつ）設置されている。その様子を図３に示す。 上記チャック要素３５は、短管３７と、この短管３７の先端に取付けられた弾性 ゴム製の袋体３９等から構成されている。上記短管３７には、図示しないエアー チューブが接続されており、図示しない三方電磁弁を適宜切換えて、エアーチュ ーブ及び短管３７を介して、袋体３９内にエアーを供給・排出することにより、 図４及び図５に示すように、袋体３９を膨張・収縮させるものである。そして、 複数個のチャック要素３５の袋体３９が膨張することにより、基板１５を側部か ら掴み、袋体３９が収縮することにより、基板１５を離すものである。尚、上記 チャック要素３５としては、例えば、株式会社ブリヂストン社製の「エアーピッ カー（商品名）」等の使用が考えられる。

【００１５】 上記複数個のチャック要素３５は、チャック本体３１に対して、直交する二方 向に移動可能に取付けられている。すなわち、図２に示すように、チャック本体 ３１には、一対の移動体４１、４１’が取付けられていて、これら移動体４１、 ４１’は、長穴４７に沿って図２中上下方向に移動可能に取付けられている。既 に述べたチャック要素３５は、これら一対の移動体４１、４１’に所定個数ずつ 取付けられている。よって、移動体４１、４１’を図２中上下方向に移動させる ことにより、チャック要素３５の同方向への位置を調整することができる。尚、 移動体４１、４１’の移動位置は、ネジ４５によって固定される。

【００１６】 又、各移動体４１、４１’にそれぞれ取付けられたチャック要素３５は、移動 体４１、４１’の長手方向（図２中左右方向）に移動可能に取付けられている。 これは、図示しないガイド部材に沿って移動するものである。そして、その移動 位置は、ロック部材４３によってロックされるようになっている。よって、各チ ャック要素３５の同方向への位置を適宜調整できるようになっている。このよう に、チャック要素３５を直交する二方向に対して移動可能に取付けてその位置を 調整できるようにしたのは、基板１５の大きさが適宜変更された場合に、それに 対応して所定の場所に位置するためである。

【００１７】 以上の構成を基にその作用を説明する。まず、装置本体１の図中右側より図示 しない別の搬送装置によって基板１５が搬送され、装置本体１に取付けられた一 対のベルトコンベア７、７’のベルト１３上に搬入される。搬入された基板１５ は、ベルトコンベア７、７’によって、図２中仮想線で示す位置まで搬送される 。次に、上昇手段１７のリフト機構１９、１９が駆動して、ベルトコンベア７、 ７’上に載置されている基板１５を所定量だけ上昇させる。

【００１８】 次に、基板搬送用チャック２７が、エアーシリンダ３３の駆動によって所定量 だけ下降する。この時点では各チャック要素３５の袋体３９にはエアーが供給さ れておらず、袋体３９は収縮した状態にある。よって、基板搬送用チャック２７ が下降しても、各チャック要素３５の袋体３９は基板１５に非接触の状態にある 。これは、各チャック要素３５の位置を基板１５の大きさに応じて設定すること により実現される。

【００１９】 次に、各チャック要素３５の袋体３９内にエアーを供給して、これを膨張させ る。それによって、基板１５を搬送方向に直交する二方向の側部から掴むことに なる。その際、基板１５は複数個の袋体３９によってソフトにかつ確実に掴まれ る。次に、上記エアーシリンダ３３を駆動して、基板１５を掴んだ基板搬送用チ ャック２７を上昇させる。次に、ロッドレスシリンダ２９を駆動して、基板１５ を掴んだ基板搬送用チャック２７を図２中実線で示す位置まで移動させる。次に 、エアーシリンダ３３を駆動して、基板１５を掴んだ基板搬送用チャック２７を 所定量だけ下降させる。そして、各チャック要素３５の袋体３９内のエアーを排 出して収縮させる。それによって、基板１５は落下・排出され、例えば、図示し ない検査装置の所定位置に搬出されることになる。

【００２０】 以上本実施例によると次のような効果を奏することができる。まず、基板１５ を不用意に損傷させることなく、又、電気的に不良にするようなことなく、所定 の場所から所定の場所に搬送することができる。これは、基板搬送用チャック２ ７の複数個のチャック要素３５の袋体３９を膨張させることにより、基板１５を 側部方向からソフトにかつ確実に掴むようにしたからである。つまり、膨張した 袋体３９によって掴んでいるので基板１５に対してソフトに接触して掴むことが でき、又、基板１５を上下方向から掴むのではなく側部から掴むようにしている ので、基板上の回路に何ら接触するようなことがないからである。又、袋体３９ が絶縁性部材から構成されているからである。

【００２１】 基板搬送用チャック２７の各チャック要素３５は、直交する二方向に移動して その位置を調整可能になっているので、基板１５の大きさが変更されても容易に 対応することができる。

【００２２】 尚、本考案は前記一実施例に限定されるものではなく、各部の構成は、図示し たもの以外に色々考えられ、特に、チャック要素の数等については任意に設定す ればよい。又、袋体を膨張・収縮させるあ作動流体として、エアー以外のものを 使用してもよい。

【００２３】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案による基板搬送用チャックと基板搬送装置によると 、基板を不用意に損傷させたり、或いは、電気的に不良にしたりすることなく、 確実に所定の場所から所定の場所まで搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す図で基板搬送装置の側
面図である。

【図２】本考案の一実施例を示す図で基板搬送装置の平
面図である。

【図３】本考案の一実施例を示す図で基板搬送用チャッ
クの斜視図である。

【図４】本考案の一実施例を示す図でチャック要素の袋
体の作用を示す正面図である。

【図５】本考案の一実施例を示す図でチャック要素の袋
体の作用を示す正面図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ５ 搬送手段 １５ 基板 １７ 上昇手段 ２７ 基板搬送用チャック ２９ ロッドレスシリンダ ３３ エアーシリンダ ３５ チャック要素 ３９ 袋体

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平方向に移動自在に配置されるととも
   に昇降自在に配置されたチャック本体と、上記チャック
   本体に取付けられ圧力流体の供給・排出により膨張・収
   縮する袋体を備えた複数個のチャック要素と、を具備
   し、上記複数個のチャック要素の袋体内に圧力流体を供
   給することによって袋体を膨張させて基板の側部を掴む
   とともに、圧力流体を排出することにより袋体を収縮さ
   せて基板を離すようにしたことを特徴とする基板搬送用
   チャック。
2. 【請求項２】 装置本体と、上記装置本体に取付けられ
   隣接する別の場所より搬送されてくる基板を受け入れて
   装置本体内の所定位置まで搬送する搬送手段と、上記装
   置本体に取付けられ上記搬送手段によって所定位置まで
   搬送された基板を所定量だけ上昇させる上昇手段と、上
   記装置本体に取付けられ上記上昇手段によって上昇され
   た基板を掴んで所定場所まで搬送する請求項１記載の基
   板搬送用チャックと、を具備したことを特徴とする基板
   搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の基板搬送装置において、
   基板搬送用チャックは、複数個のチャック要素を直交す
   る二軸方向に移動させて任意の位置に固定させるもので
   あり、それによって、基板の大きさに適宜対応するもの
   であることを特徴とする基板搬送装置。